專利名稱：監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備和方法、線結(jié)合設(shè)備及記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備、一種具有該設(shè)備的線結(jié)合設(shè)備、 一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法、一種可使用電子裝置讀取的記錄有用于實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
用于制造半導(dǎo)體的工藝被分類成制造(FAB)工藝、電子裸芯片分類(electronic die sorting, EDS)工藝以及裝配工藝。在這種情況下，F(xiàn)AB工藝被分成擴(kuò)散工藝、拍攝工藝、蝕刻工藝以及薄膜工藝，其中，EDS工藝是一種通過對(duì)構(gòu)成經(jīng)歷了 FAB工藝的晶片的每個(gè)芯片進(jìn)行電氣特性測(cè)試來辨別芯片是否存在缺陷的工藝，裝配工藝是這樣一種工藝，該工藝根據(jù)EDS工藝將質(zhì)量好的芯片逐個(gè)地分離，以使這些芯片形成封裝狀態(tài)，使得這些芯片具有電氣特性和物理特性，從而保護(hù)這些芯片免受外部機(jī)械/物理/化學(xué)沖擊的影響并將這些芯片安裝在印刷電路板(PCB)上。裝配工藝將晶片上的這些芯片逐個(gè)地分離，并將分離的芯片結(jié)合到引線框架。接下來，執(zhí)行使用高純度金線將這些芯片與毛細(xì)管(capillary)連接的線結(jié)合工藝，以在引線框架的引線和芯片的焊盤(用作芯片電路端子的柵極)之間進(jìn)行電連接。在線結(jié)合工藝中，由于半導(dǎo)體芯片(或者裸芯片)或者引線框架未被固定，所以可能會(huì)發(fā)生反彈。半導(dǎo)體芯片(或者裸芯片)或者引線框架的反彈表示半導(dǎo)體芯片或者引線框架漂浮在加熱部件(heat block)上的狀態(tài)。因此，半導(dǎo)體芯片或者引線框架的反彈導(dǎo)致結(jié)合面不穩(wěn)定、引線框架或者焊盤的相互作用不穩(wěn)定或者設(shè)備的結(jié)合參數(shù)不穩(wěn)定，而這些是導(dǎo)致各種類型的缺陷的因素。由于上述問題，裝配工藝或者封裝工藝通過在制造工藝期間更換模型時(shí)使用鉗子擠壓引線框架或者焊盤，或者通過監(jiān)測(cè)電路板殼體中的加熱部件的真空壓力來檢測(cè)反彈， 來幫助改進(jìn)加熱部件的設(shè)計(jì)以及固定引線框架或者焊盤的窗口夾(window clamp)的設(shè)計(jì)、 幫助開發(fā)精確地制造加熱部件和窗口夾的技術(shù)、幫助使用確定反彈的方法。然而，因當(dāng)金屬引線框架的夾持狀態(tài)不完全或者無法使用加熱部件的真空壓力時(shí)的反彈而使引線框架的質(zhì)量劣化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一方面提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備、一種具有該設(shè)備的線結(jié)合設(shè)備以及一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述用于檢測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備自動(dòng)實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，以檢測(cè)反彈的產(chǎn)生并且告知制造者反彈的產(chǎn)生。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；反彈檢測(cè)器，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。所述參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備還可包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示存在結(jié)合表面反彈。顯示單元可包括燈或者警報(bào)裝置。傳感器可以是測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的編碼器。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括 傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；反彈檢測(cè)器，獲取在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。所述參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備還可包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈的產(chǎn)生時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。傳感器可以是壓電式傳感器。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括 第一傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；第二傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；反彈檢測(cè)器，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，或者從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值獲取力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。第一參考變化率和第二參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備還可包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。第一傳感器可以是測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的編碼器，第二傳感器可以是壓電式傳感器。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種線結(jié)合設(shè)備，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括傳感器和結(jié)合表面反彈檢測(cè)器，傳感器設(shè)置在結(jié)合頭的上部上并且在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度，結(jié)合表面反彈檢測(cè)器從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。所述參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。線結(jié)合設(shè)備還可包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線
結(jié)合停止。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種線結(jié)合設(shè)備，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括傳感器和反彈檢測(cè)器，傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值，反彈檢測(cè)器獲取在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。所述參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。線結(jié)合設(shè)備還可包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線
結(jié)合停止。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種線結(jié)合設(shè)備，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括第一傳感器、第二傳感器以及反彈檢測(cè)器，第一傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度，第二傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值，反彈檢測(cè)器從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，或者從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值獲取力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。第一參考變化率和第二參考變化率可在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。線結(jié)合設(shè)備還可包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合停止。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；在測(cè)量的毛細(xì)管高度中獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度的變化率；通過將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。參考變化率可被設(shè)置成多個(gè)，其中，可在所述結(jié)合開始之前預(yù)先選擇一個(gè)參考變化率。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，向外界顯示反彈檢測(cè)結(jié)果。所述參考變化率可在所述結(jié)合開始之前被重新設(shè)定。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，使所述線結(jié)
合停止。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；在測(cè)量的力的反饋值中獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值的變化率；通過將力的反饋值的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。參考變化率可被設(shè)置成多個(gè)，可在所述結(jié)合開始之前預(yù)先選擇一個(gè)參考變化率。
用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，向外界顯示反彈檢測(cè)結(jié)果。可在所述結(jié)合開始之前重新設(shè)定參考變化率。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，使所述線結(jié)
合停止。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度以及從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；分別獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度和力的反饋值，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；分別計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率；通過將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較并將力的反饋值的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括在所述線結(jié)合開始之前重新設(shè)定第一參考變化率和第二參考變化率?？赏ㄟ^將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較并將力的反饋值的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，如果獲取的毛細(xì)管高度的變化率超過設(shè)定的第一參考變化率或者力的反饋值的變化率超過設(shè)定的第二參考變化率，則確定存在結(jié)合表面反彈。用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法還可包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，通過燈或者警報(bào)來顯示反彈檢測(cè)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種記錄介質(zhì)，所述記錄介質(zhì)記錄有實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的程序，并且使用電子裝置可讀取所述記錄介質(zhì)。


通過下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的以上和其他方面、特點(diǎn)及其他優(yōu)點(diǎn)將會(huì)被更加清楚地理解，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭的示例性實(shí)施例的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭的示例性實(shí)施例的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備；圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭的示例性實(shí)施例的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備；圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的另一示例性實(shí)施例的側(cè)視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備；圖5是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的示例性實(shí)施例的流程圖；圖6是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的流程圖7是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的流程圖；圖8A和圖8B是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的波形圖。
具體實(shí)施例方式雖然本發(fā)明可作各種修改并可具有多個(gè)實(shí)施例，但是在附圖中示出示例性實(shí)施例并將在具體實(shí)施方式
中進(jìn)行詳細(xì)的描述。然而，本發(fā)明不限于具體實(shí)施例并且應(yīng)該被解釋為包括在本發(fā)明的精神和范圍中所包括的所有變化、等同物以及替代物。將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備、一種具有該設(shè)備的線結(jié)合設(shè)備、一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法。在整個(gè)附圖中，相同的標(biāo)號(hào)將指示相同的部件，并且將省略對(duì)重復(fù)部件的描述。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的示例性實(shí)施例的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備。根據(jù)如圖1所示的示例性實(shí)施例，線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備和顯示單元(未示出)，該用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備包括傳感器21，設(shè)置在線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的上部上，以在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；反彈檢測(cè)器22，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并通過將獲取的變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元 (未示出)向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。線結(jié)合設(shè)備包括根據(jù)本發(fā)明的一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，檢測(cè)結(jié)合表面反彈；顯示單元，顯示檢測(cè)到的反彈；控制器，執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合停止；包括在通常的線結(jié)合設(shè)備中的部件。首先，將描述通常的線結(jié)合設(shè)備的部件中的與示例性實(shí)施例有關(guān)的部件。線結(jié)合設(shè)備包括轉(zhuǎn)換器12，通過毛細(xì)管將超聲波施加到結(jié)合頭10 ；線夾11，支撐穿透毛細(xì)管的線，并向所述線施加張力；電機(jī)13，驅(qū)動(dòng)結(jié)合臂。線夾11可設(shè)置在轉(zhuǎn)換器12的上部上，線夾11的第一端可被設(shè)置成與轉(zhuǎn)換器12 分隔開，線夾11的第二端可設(shè)置在結(jié)合臂上。電機(jī)13可豎直地驅(qū)動(dòng)結(jié)合臂，以使毛細(xì)管接近結(jié)合表面或者運(yùn)動(dòng)遠(yuǎn)離結(jié)合表面。根據(jù)本發(fā)明的一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備被構(gòu)造成包括傳感器21和反彈檢測(cè)器22，線結(jié)合設(shè)備的傳感器21和反彈檢測(cè)器22可一體地形成，或者線結(jié)合設(shè)備的反彈檢測(cè)器22和控制器(未示出)可一體地形成。當(dāng)線結(jié)合開始時(shí)，傳感器21可實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度并且存儲(chǔ)測(cè)量值。線結(jié)合設(shè)備可驅(qū)動(dòng)ζ軸電機(jī)13以使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面，并且通過施加壓力以被結(jié)合到結(jié)合表面并當(dāng)結(jié)合完成時(shí)提升毛細(xì)管的方法來執(zhí)行線結(jié)合。傳感器21可被構(gòu)造成包括測(cè)量旋轉(zhuǎn)角度位置和線性位移以測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的數(shù)字式位置傳感器(即，編碼器)。反彈檢測(cè)器22可使用在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度的數(shù)據(jù)來計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期期間的毛細(xì)管高度的變化率，并且可通過將計(jì)算的變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。結(jié)合執(zhí)行周期可被限定為從穿透毛細(xì)管的線結(jié)合到結(jié)合表面的結(jié)合時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束的加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的一段時(shí)間。反彈檢測(cè)器22可計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間毛細(xì)管高度的平均變化率、通過將計(jì)算的平均變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈、將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段并將在每個(gè)時(shí)間段中測(cè)量的毛細(xì)管高度的變化率的平均值與參考變化率比較以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈、將在多個(gè)結(jié)合執(zhí)行周期中的采樣時(shí)間內(nèi)的毛細(xì)管高度的變化率與參考變化率比較以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間毛細(xì)管高度的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的毛細(xì)管高度的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的毛細(xì)管高度的變化率。由于可在線結(jié)合開始之前預(yù)先設(shè)定或者重新設(shè)定參考變化率，所以參考變化率可反映根據(jù)設(shè)備特性和工作環(huán)境的各種因素。顯示單元(未示出)可用于當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)告知制造者。顯示單元可被構(gòu)造成包括燈或者警報(bào)裝置(例如，蜂鳴器等)，并被附著到線結(jié)合設(shè)備的外部?？刂破?未示出)可執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合工作停止。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備。根據(jù)如圖2所示的示例性實(shí)施例，線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備和顯示單元(未示出)，該用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備包括傳感器31，設(shè)置在線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的上部上，以在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；反彈檢測(cè)器32，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值獲取力的反饋值的變化率，并通過將獲取的力的反饋值的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元(未示出)向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。根據(jù)示例性實(shí)施例，將基于以下情況下的差異來描述線結(jié)合設(shè)備，S卩，如上所述的根據(jù)本發(fā)明的一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備(見圖1)被根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備替換的情況。根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備被構(gòu)造成包括傳感器31 和反彈檢測(cè)器32，線結(jié)合設(shè)備的傳感器31和反彈檢測(cè)器32可一體地形成，或者線結(jié)合設(shè)備的反彈檢測(cè)器32和控制器(未示出)可一體地形成。傳感器31可在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力(結(jié)合力)的反饋值并且存儲(chǔ)測(cè)量值。當(dāng)降低的毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓時(shí)產(chǎn)生結(jié)合力，并且結(jié)合力可從當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓時(shí)的時(shí)間點(diǎn)到當(dāng)加壓結(jié)束時(shí)的時(shí)間點(diǎn)發(fā)生變化。傳感器31可設(shè)置在結(jié)合頭的連接到轉(zhuǎn)換器12的區(qū)域中，并且可被構(gòu)造成包括在結(jié)合執(zhí)行周期期間測(cè)量結(jié)合力或者結(jié)合力的變化的壓電式傳感器。反彈檢測(cè)器32可使用在線結(jié)合工藝期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值來計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期期間力的反饋值的變化率，并且可通過將計(jì)算的變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。結(jié)合執(zhí)行周期可被限定為從毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓的結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束的加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的一段時(shí)間。反彈檢測(cè)器32可計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間力的反饋值的平均變化率、通過將計(jì)算的平均變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈、將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段并將在每個(gè)時(shí)間段中測(cè)量的力的反饋值的變化率的平均值與參考變化率比較以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈、將在多個(gè)結(jié)合執(zhí)行周期中的采樣時(shí)間內(nèi)的力的反饋值與參考反饋值比較以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間力的反饋值的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的力的反饋值的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的反饋值。由于可在線結(jié)合開始之前預(yù)先設(shè)定或者重新設(shè)定參考變化率，所以參考變化率可反映根據(jù)設(shè)備特性和工作環(huán)境的各種因素。顯示單元(未示出)可用于當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)告知制造者。顯示單元可被構(gòu)造成包括燈或者警報(bào)裝置(例如，蜂鳴器等)，并被附著到線結(jié)合設(shè)備的外部。控制器(未示出)可執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合工作停止。圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的示例性實(shí)施例的透視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的另一示例性實(shí)施例的側(cè)視圖，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備。根據(jù)如圖3所示的示例性實(shí)施例，線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備和顯示單元(未示出)，該用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備包括第一傳感器41，設(shè)置在結(jié)合頭10的上部上，并且在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；第二傳感器42，設(shè)置在線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭10的上部上，并且在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力(結(jié)合力)的反饋值；反彈檢測(cè)器43，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度和力的反饋值獲取毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率，并將獲取的變化率分別與設(shè)定的第一參考變化率和設(shè)定的第二參考變化率比較，以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元(未示出)向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。根據(jù)示例性實(shí)施例，將基于以下情況下的差異來描述線結(jié)合設(shè)備，S卩，如上所述的根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備(見圖2)被根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備替換的情況。根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備被構(gòu)造成包括第一傳感器41、第二傳感器42和反彈檢測(cè)器43。反彈檢測(cè)器43可與線結(jié)合設(shè)備的控制器(未示出)一體地形成。當(dāng)線結(jié)合開始時(shí)，第一傳感器41實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度并且存儲(chǔ)測(cè)量值，第二傳感器42可在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力(結(jié)合力)的反饋值并且存儲(chǔ)測(cè)量值。第一傳感器41可被構(gòu)造成包括測(cè)量旋轉(zhuǎn)角度位置和線性位移以測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的數(shù)字式位置傳感器(即，編碼器)，第二傳感器42可被構(gòu)造成包括設(shè)置在結(jié)合頭的連接到轉(zhuǎn)換器12的區(qū)域中并且在結(jié)合執(zhí)行周期期間測(cè)量結(jié)合力或者結(jié)合力的變化的壓電式傳感器。反彈檢測(cè)器43可使用在線結(jié)合工藝期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度和力的反饋值來計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期期間毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率，并且可通過將計(jì)算的變化率與第一參考變化率和第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。結(jié)合執(zhí)行周期可被限定為從穿透毛細(xì)管的線結(jié)合到結(jié)合表面的結(jié)合時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束的加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的一段時(shí)間。反彈檢測(cè)器43可計(jì)算在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間毛細(xì)管高度的平均變化率以及力的反饋值的平均變化率、通過將計(jì)算的平均變化率與第一參考變化率和第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。此外，反彈檢測(cè)器43將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段，并將在每個(gè)時(shí)間段中測(cè)量的毛細(xì)管高度的平均變化率和力的反饋值的變化率分別與第一參考變化率和第二參考變化率比較，以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。此外，反彈檢測(cè)器43可將在多個(gè)結(jié)合執(zhí)行周期期間的采樣時(shí)間內(nèi)的毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率分別與第一參考變化率和第二參考變化率比較，以檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。除檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈的方法之外，還可通過將毛細(xì)管高度和力的反饋值表示成波形并將所述波形與不存在結(jié)合表面反彈的情況下的波形比較來檢測(cè)結(jié)合表面反彈。第一參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間毛細(xì)管高度的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的毛細(xì)管高度的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的毛細(xì)管高度的變化率。第二參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間力的反饋值的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的力的反饋值的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的反饋值之間的差異。由于可在結(jié)合開始之前預(yù)先設(shè)定或者重新設(shè)定第一參考變化率和第二參考變化率，所以第一參考變化率和第二參考變化率可反映根據(jù)設(shè)備特性和工作環(huán)境的各種因素?？稍诓淮嬖诮Y(jié)合表面反彈的情況下根據(jù)毛細(xì)管高度和力的反饋值之間的差異將第一參考變化率和第二參考變化率設(shè)置為多個(gè)，可根據(jù)測(cè)量值與參考變化率之間的差異通過反彈警報(bào)過程和反彈檢測(cè)過程等來表示給顯示單元。如果對(duì)應(yīng)于獲取的毛細(xì)管高度的變化率超過第一參考變化率的情況或者獲取的結(jié)合力的反饋值的變化率超過設(shè)定的第二參考變化率的情況中的任何一種情況，則反彈檢測(cè)器43可檢測(cè)到存在結(jié)合表面反彈。根據(jù)本發(fā)明的另一方面的線結(jié)合設(shè)備的第二傳感器42可設(shè)置在轉(zhuǎn)換器12和結(jié)合臂彼此連接的位置，所述線結(jié)合設(shè)備包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備。圖5是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的示例性實(shí)施例的流程圖。根據(jù)示例性實(shí)施例，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度(S510)，獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度(S520)，計(jì)算在獲取周期內(nèi)毛細(xì)管高度的變化率(S530)，通過將計(jì)算的變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈(SMO)?？赏ㄟ^使用測(cè)量旋轉(zhuǎn)角度位置和線性位移的數(shù)字式位置傳感器(即，編碼器)來執(zhí)行毛細(xì)管高度的測(cè)量(S510)，并且可通過使用各種傳感器來測(cè)量毛細(xì)管高度。測(cè)量毛細(xì)管高度的傳感器可附著到線結(jié)合設(shè)備，并且可設(shè)置在線結(jié)合設(shè)備的結(jié)合頭的上部上，從而能夠容易地感測(cè)毛細(xì)管位置。在獲取毛細(xì)管高度(S520)時(shí)，在實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度中，可獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的周期(結(jié)合執(zhí)行周期)內(nèi)的毛細(xì)管高度、在結(jié)合執(zhí)行周期中的具體時(shí)間段內(nèi)或者采樣時(shí)間內(nèi)的毛細(xì)管高度，其中，結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)。可通過在結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度和加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度之間的平均變化率、在結(jié)合執(zhí)行周期中的具體時(shí)間段內(nèi)毛細(xì)管高度的平均變化率以及在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中的采樣時(shí)間內(nèi)的毛細(xì)管高度或者毛細(xì)管高度的變化率的平均值，來執(zhí)行獲取的毛細(xì)管高度的變化率的計(jì)算(S530)。接下來，當(dāng)通過將計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率與參考變化率比較得到計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率超過參考變化率時(shí)，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可檢測(cè)到發(fā)生結(jié)合表面反彈(S540)。參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間毛細(xì)管高度的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的毛細(xì)管高度的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的毛細(xì)管高度的變化率。參考變化率可被設(shè)置為多個(gè)并可在線結(jié)合開始之前被預(yù)先選擇，當(dāng)線結(jié)合重新開始時(shí)，可在線結(jié)合開始之前重新設(shè)定參考變化率。當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，可向外界顯示反彈檢測(cè)，并且可使線結(jié)合停止。圖6是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的流程圖。根據(jù)示例性實(shí)施例，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可實(shí)時(shí)地測(cè)量力的反饋值 (S610)，獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值(S620)，在獲取周期內(nèi)計(jì)算力的反饋值的變化率(S630)，通過將計(jì)算的變化率與參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈(S640)?？赏ㄟ^設(shè)置在結(jié)合頭的連接到轉(zhuǎn)換器的區(qū)域中的壓電式傳感器、結(jié)合力或者結(jié)合力的變化來執(zhí)行在線結(jié)合期間的力的反饋值的測(cè)量(S610)。由于當(dāng)降低的毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓時(shí)產(chǎn)生結(jié)合力，并且結(jié)合力可從當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓時(shí)的時(shí)間點(diǎn)到當(dāng)加壓結(jié)束時(shí)的時(shí)間點(diǎn)發(fā)生變化，所以用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可通過使用力的反饋值的變化率來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
在獲取力的反饋值(S620)時(shí)，可在實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值中獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的周期(結(jié)合執(zhí)行周期)內(nèi)的力的反饋值、在結(jié)合執(zhí)行周期中的具體時(shí)間段內(nèi)的力的反饋值、或者在結(jié)合執(zhí)行周期中的采樣時(shí)間內(nèi)的力的反饋值?？赏ㄟ^在結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值和加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值之間的平均變化率、在結(jié)合執(zhí)行周期中的具體時(shí)間段內(nèi)的力的反饋值的平均變化率以及在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中的采樣時(shí)間內(nèi)的力的反饋值或者力的反饋值的變化率的平均值，來執(zhí)行在獲取周期內(nèi)的力的反饋值的變化率的計(jì)算(S630)。接下來，當(dāng)通過將計(jì)算的力的反饋值的變化率與參考變化率比較得到計(jì)算的力的反饋值的變化率超過參考變化率時(shí)，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可檢測(cè)到存在結(jié)合表面反彈(S640)。參考變化率表示當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)在結(jié)合執(zhí)行周期中的部分或者全部期間力的反饋值的平均變化率、在每個(gè)時(shí)間段(通過將結(jié)合執(zhí)行周期分成多個(gè)時(shí)間段而得到)中測(cè)量的力的反饋值的變化率的平均值或者能夠被確定為不存在結(jié)合表面反彈情況的采樣的力的反饋值之間的差異。參考變化率可被設(shè)置為多個(gè)并可在線結(jié)合開始之前被預(yù)先選擇，當(dāng)線結(jié)合重新開始時(shí)，可在線結(jié)合開始之前重新設(shè)定參考變化率。當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可通過燈或者警報(bào)裝置 (例如，蜂鳴器等)顯示，并且可執(zhí)行控制以使線結(jié)合工藝停止。圖7是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的流程圖，圖8A和圖8B是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例的波形圖。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可在線結(jié)合開始之前重新設(shè)定第一參考變化率和第二參考變化率(S710)，實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度和力的反饋值 (S720)，獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度和力的反饋值(S730)，計(jì)算在獲取周期內(nèi)的毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率(S740)，通過將計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率與第一參考變化率比較以及將計(jì)算的力的反饋值的變化率與第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈(S750)。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度和力的反饋值(S720)，獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度和力的反饋值(S730)，計(jì)算在獲取周期內(nèi)毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率(S740)，這些步驟與之前的描述(見圖5和圖6)相同，因此現(xiàn)在將僅描述圖7與圖5、圖6之間的差異。在線結(jié)合之前重新設(shè)定第一參考變化率和第二參考變化率(S710)是為了根據(jù)工作環(huán)境或者工作設(shè)備的類型而不同地應(yīng)用反彈產(chǎn)生參照，并且第一參考變化率和第二參考變化率中的每個(gè)可被設(shè)定為多個(gè)值?？赏ㄟ^將計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率、力的反饋值的變化率分別與第一參考變化率、第二參考變化率比較來確定是否存在結(jié)合表面反彈的檢測(cè)(S760)。例如，當(dāng)計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率超過第一參考變化率或者計(jì)算的力的反饋值的變化率超過第二參考變化率時(shí)，可檢測(cè)到結(jié)合表面反彈的產(chǎn)生。另外，用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可僅在計(jì)算的毛細(xì)管高度的變化率超過第一參考變化率以及計(jì)算的力的反饋值的變化率超過第二參考變化率時(shí)檢測(cè)到發(fā)生結(jié)合表面反彈。為了解釋根據(jù)本發(fā)明的另一方面的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的另一示例性實(shí)施例，圖8A示出了當(dāng)未發(fā)生結(jié)合表面反彈時(shí)通過實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)毛細(xì)管高度A1、施加的超聲波大小B1以及力的反饋值C1而獲得的波形，圖8B示出了當(dāng)發(fā)生結(jié)合表面反彈時(shí)通過實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)毛細(xì)管高度A2、施加的超聲波大小化以及力的反饋值C2而獲得的波形，其中，毛細(xì)管高度、超聲波大小以及力的反饋值通過被標(biāo)準(zhǔn)化而被表示。當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)，可確定在從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)S到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)E的周期內(nèi)毛細(xì)管高度的變化率非常小，如圖8A的A1所示。另一方面，當(dāng)存在結(jié)合表面反彈時(shí)，可確定在從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)S到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)E的周期內(nèi)毛細(xì)管高度的變化率非常大，如圖8B的A2所示。當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)，可通過波形確定在從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)S到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)E的周期內(nèi)力的反饋值的變化率穩(wěn)定，如圖8A的C1所示。另一方面，當(dāng)發(fā)生結(jié)合表面反彈時(shí)，可確定在從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)S到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)E的周期內(nèi)力的反饋值的變化率連續(xù)地變化，如圖8B的C2所示。當(dāng)不存在結(jié)合表面反彈時(shí)，第一參考變化率和第二參考變化率可被設(shè)定為根據(jù)試驗(yàn)計(jì)算毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率而得到的值。根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例，記錄介質(zhì)可記錄有實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的程序，并且可使用電子裝置讀取該記錄介質(zhì)。用于實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法可配備在計(jì)算機(jī)程序中，構(gòu)成程序的代碼和代碼段可被本發(fā)明所屬領(lǐng)域的計(jì)算機(jī)程序員容易地推斷出。與用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法有關(guān)的程序存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中，并且被計(jì)算機(jī)讀取和執(zhí)行，從而可在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈。如上所述，本發(fā)明可實(shí)時(shí)地檢測(cè)結(jié)合表面反彈的狀態(tài)，自動(dòng)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的狀態(tài)，僅通過向現(xiàn)有設(shè)備添加軟件功能而增加結(jié)合表面反彈狀態(tài)的監(jiān)測(cè)功能，通過重新設(shè)定參考變化率而將該監(jiān)測(cè)功能應(yīng)用到各種設(shè)備。雖然已經(jīng)結(jié)合示例性實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，在不脫離由權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可進(jìn)行修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；反彈檢測(cè)器，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，所述參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，還包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示存在結(jié)合表面反彈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，顯示單元包括燈或者警報(bào)裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，傳感器是測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的編碼器。
6.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，包括傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；反彈檢測(cè)器，獲取在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，所述參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，還包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈的產(chǎn)生時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，傳感器是壓電式傳感ο
10.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，所述設(shè)備包括第一傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；第二傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；反彈檢測(cè)器，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，或者從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值獲取力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，第一參考變化率和第二參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，還包括顯示單元，當(dāng)在反彈檢測(cè)器中檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，其中，第一傳感器是測(cè)量毛細(xì)管的ζ軸高度的編碼器，第二傳感器是壓電式傳感器。
14.一種線結(jié)合設(shè)備，包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，該設(shè)備包括傳感器和反彈檢測(cè)器，傳感器設(shè)置在結(jié)合頭的上部上并且在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度，反彈檢測(cè)器從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的線結(jié)合設(shè)備，其中，所述參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的線結(jié)合設(shè)備，還包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合停止。
17.—種線結(jié)合設(shè)備，包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，該設(shè)備包括傳感器和反彈檢測(cè)器，傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值，反彈檢測(cè)器獲取在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的線結(jié)合設(shè)備，其中，所述參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的線結(jié)合設(shè)備，還包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合停止。
20.—種線結(jié)合設(shè)備，包括用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備，該設(shè)備包括第一傳感器、第二傳感器以及反彈檢測(cè)器， 第一傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度，第二傳感器在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值，反彈檢測(cè)器從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，或者從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的力的反饋值獲取力的反饋值的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈；顯示單元，當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，顯示單元向外界顯示檢測(cè)到結(jié)合表面反彈。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的線結(jié)合設(shè)備，其中，第一參考變化率和第二參考變化率在所述結(jié)合之前被重新設(shè)定。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的線結(jié)合設(shè)備，還包括控制器，控制器執(zhí)行控制，以當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)使線結(jié)合停止。
23.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；在測(cè)量的毛細(xì)管高度中獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度的變化率；通過將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，其中，參考變化率被設(shè)置成多個(gè)，在所述結(jié)合開始之前預(yù)先選擇所述多個(gè)參考變化率中的一個(gè)參考變化率。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合面反彈時(shí)，向外界顯示反彈檢測(cè)結(jié)果。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，其中，在所述結(jié)合開始之前重新設(shè)定參考變化率。
27.根據(jù)權(quán)利要求23所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，使所述線結(jié)合停止。
28.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；在測(cè)量的力的反饋值中獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的力的反饋值的變化率；通過將力的反饋值的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
29.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，其中，參考變化率被設(shè)置成多個(gè)，在所述結(jié)合開始之前預(yù)先選擇所述多個(gè)參考變化率中的一個(gè)參考變化率。
30.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，向外界顯示反彈檢測(cè)結(jié)果。
31.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，其中，在所述結(jié)合開始之前重新設(shè)定參考變化率。
32.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，使所述線結(jié)合停止。
33.一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，所述方法包括以下步驟在線結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度以及從毛細(xì)管傳遞到結(jié)合表面的力的反饋值；分別獲取從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度和力的反饋值，所述結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)通過使毛細(xì)管降低至結(jié)合表面而使線結(jié)合到結(jié)合表面之時(shí)，所述加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)是當(dāng)毛細(xì)管對(duì)結(jié)合表面加壓結(jié)束之時(shí)；分別計(jì)算從結(jié)合開始時(shí)間點(diǎn)到加壓結(jié)束時(shí)間點(diǎn)的毛細(xì)管高度的變化率和力的反饋值的變化率；通過將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較并將力的反饋值的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括在所述線結(jié)合開始之前重新設(shè)定第一參考變化率和第二參考變化率。
35.根據(jù)權(quán)利要求33所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，其中，通過將毛細(xì)管高度的變化率與設(shè)定的第一參考變化率比較并將力的反饋值的變化率與設(shè)定的第二參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈，如果獲取的毛細(xì)管高度的變化率超過設(shè)定的第一參考變化率或者力的反饋值的變化率超過設(shè)定的第二參考變化率，則確定發(fā)生結(jié)合表面反彈。
36.根據(jù)權(quán)利要求33所述的用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到結(jié)合表面反彈時(shí)，通過燈或者警報(bào)來顯示反彈檢測(cè)。
37.一種記錄介質(zhì)，所述記錄介質(zhì)記錄有權(quán)利要求23的實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的程序，并且使用電子裝置可讀取所述記錄介質(zhì)。
38.一種記錄介質(zhì)，所述記錄介質(zhì)記錄有權(quán)利要求觀的實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的程序，并且使用電子裝置可讀取所述記錄介質(zhì)。
39.一種記錄介質(zhì)，所述記錄介質(zhì)記錄有權(quán)利要求33的實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的方法的程序，并且使用電子裝置可讀取所述記錄介質(zhì)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備和方法、一種線結(jié)合設(shè)備以及一種記錄介質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述用于監(jiān)測(cè)結(jié)合表面反彈的設(shè)備包括傳感器，在結(jié)合期間實(shí)時(shí)地測(cè)量毛細(xì)管高度；反彈檢測(cè)器，從在結(jié)合執(zhí)行周期期間實(shí)時(shí)地測(cè)量的毛細(xì)管高度獲取毛細(xì)管高度的變化率，并且通過將獲取的變化率與設(shè)定的參考變化率比較來檢測(cè)是否存在結(jié)合表面反彈。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102237263SQ20111011645
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月27日
發(fā)明者金壽成 申請(qǐng)人:三星Led株式會(huì)社