專利名稱：自動監(jiān)控制程的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種自動監(jiān)控制程的方法，且特別是涉及一種利用時間進行自動監(jiān)控制程的方法。
背景技術：
自動化設備主要包括進行制程的腔體以及用于傳送未成品的傳送裝置。藉由傳送裝置將未成品傳送進入進行制程的腔體內，待加工完成后傳送出上述腔體。在加工制程期間，破片以及迭片的產生往往會直接影響產量，進而提高生產成本。在基板的傳送過程中，由于基板是一個接著一個連續(xù)地傳送，發(fā)生破片的基板往往會被接踵而來的另一個基板追撞，進而造成大量迭片。此外，傳送裝置的構件的老化以及生銹也會造成傳送速度不均，進而導致迭片的產生。因此藉由監(jiān)控產品或未成品的自動傳送狀況可在問題發(fā)生后的第一時間進行緊急處理，以避免產生大量的成本損失。 一般監(jiān)控產品或未成品的傳送方法是于設備中預定間距內設置有偵測器，利用偵測器來監(jiān)控產品或未成品的傳送狀況。然而，對于蝕刻設備而言，由于進行制程的腔體使用大量具有腐蝕性的化學溶液，造成于進行制程的腔體內無法設置一般的偵測器來監(jiān)控未成品的傳送狀況。一旦，在腔體內部發(fā)生大量迭片，機臺不會發(fā)出警報，只能依靠人為發(fā)現(xiàn)，如在人手較為吃緊的休息時間，發(fā)現(xiàn)時往往已造成大量破片。另外，即使利用高成本的高抗蝕性的材質的偵測器也無法滿足要求。

發(fā)明內容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種自動監(jiān)控制程的方法，可以監(jiān)控基板運作的狀況，且可即時地得知基板搬送上的異常，進而避免基板大量迭片而造成成本上的損失。本發(fā)明提供一種自動監(jiān)控制程的方法包括下列步驟。依序提供多個基板，使上述基板依序經過第一位置及第二位置。于第一位置及第二位置偵測上述基板。當經過第一位置的各上述基板于一預定時間仍未通過第二位置時，等待一預定延遲時間。在等待預定延遲時間后，經過第一位置的各上述基板仍未通過第二位置時，產生一警報。在本發(fā)明的一實施例中，于第一位置及第二位置偵測上述基板還包括以下步驟。于第一位置偵測上述基板，以在上述基板各自到達第一位置時產生對應的第一信號。對應于每一上述第一信號分別進行計時步驟。在每一計時步驟的預定時間之后，偵測第二位置，以在對應每一計時步驟的上述基板到達第二位置時產生第二信號。在本發(fā)明的一實施例中，對應每一第一信號分別進行計時步驟的方法包括將每一上述第一信號傳送至控制部以及控制部對對應每一所述第一信號分別進行計時。在本發(fā)明的一實施例中，上述控制部包括可編程邏輯控制器。在本發(fā)明的一實施例中，上述第一位置及第二位置分別包括設備的進料部及出料部。在本發(fā)明的一實施例中，上述基板包括硅晶片或玻璃基板。
在本發(fā)明的一實施例中，上述于第一位置偵測上述基板的方法包括使用至少一個偵測器來進行偵測。在本發(fā)明的一實施例中，上述于第二位置偵測上述基板的方法包括使用至少一個偵測器來進行偵測。在本發(fā)明的一實施例中，在對應每一上述計時步驟的基板到達第二位置時產生第二信號之后，還包括將第二信號傳送至控制部。在本發(fā)明的一實施例中，在產生警報之后，還包括停止提供上述基板至第一位置。在本發(fā)明的一實施例中，產生該警報的方法包括驅動一警報裝置。在本發(fā)明的一實施例中，上述警報裝置包括蜂鳴器或顯示面板。在本發(fā)明的一實施例中，上述預定延遲時間為上述基板自第一位置至第二位置所需要的時間與預定片數(shù)通過第二位置的時間相加。 基于上述，本發(fā)明的自動監(jiān)控制程的方法可以監(jiān)控基板運作的狀況，且可即時地得知基板搬送上的異常，進而避免基板大量迭片而造成成本上的損失。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細說明如下。


圖I是依照本發(fā)明的一實施例所示的一種自動監(jiān)控制程方法的裝置示意圖。圖2是依照本發(fā)明的一實施例所示的一種自動監(jiān)控制程方法流程圖。附圖標記10 :基板100 :設備110:第一位置120 :第二位置130 :控制部140 :警報裝置141 :顯示面板142 :蜂鳴器150 :偵測器160 :基板供應部D :距離SI S9 :步驟
具體實施例方式本發(fā)明是一種自動監(jiān)控制程的方法，適用于各種自動化設備。在一實施例中，本發(fā)明的自動監(jiān)控制程的方法應用于蝕刻設備中，且本發(fā)明不以此為限，亦可應用于例如清洗設備。本發(fā)明的一種自動監(jiān)控制程的方法包括依序提供多個基板，使上述基板依序經過第一位置及第二位置；于第一位置及第二位置偵測上述基板；當經過第一位置的各基板于預定時間后仍未通過第二位置時，等待預定延遲時間；以及在等待預定延遲時間后，經過該第一位置的各上述基板仍未通過第二位置時，產生一警報。本發(fā)明主要是利用時間的觀念達到監(jiān)控基板運作的狀況，且可即時地得知基板搬送上的異常，進而避免基板大量迭片而造成成本上的損失。以下具體說明本發(fā)明的實施例，但本發(fā)明不限于此。圖I是依照本發(fā)明的一實施例所繪示的一種自動監(jiān)控制程方法的裝置示意圖。圖2是依照本發(fā)明的一實施例所繪示的一種自動監(jiān)控制程方法流程圖。請參照圖1，本發(fā)明的一實施例的裝置包括設備100、控制部130、警報裝置140、顯示面板141、蜂鳴器142、偵測器150以及基板供應部160?？刂撇?30與警報裝置140、偵測器150以及基板供應部160電性連接。藉此控制部130可以接受來自偵測器150的信號，并進行邏輯運算后，進而對警報裝置140以及基板供應部160下達指令?？刂撇?30例如是可編程邏輯控制器。 偵測器150分別配置于設備100中的第一位置110以及第二位置120。偵測器150可以是一個也可以是多個。第一位置110例如是進料部。第二位置120例如是出料部。第一位置110位于基板供應部160以及第二位置120之間。警報裝置140包括顯示面板141或蜂鳴器142。請參照圖I及圖2，本發(fā)明的自動監(jiān)控制程的方法包括下列步驟。首先進行步驟SI，自基板供應部160依序提供多個基板10至設備100中，且使多個基板10依序經過設備100中的第一位置110及第二位置120。如圖I中的箭頭所示，此箭頭所指的方向表示基板流動的方向。多個基板10例如是硅晶片或玻璃基板等。多個基板10是在設備100的傳送裝置上(未圖示)自第一位置110被搬送至第二位置120。傳送裝置例如是用滾輪搬送的方法來搬送多個基板10。一般來說，傳送裝置是以預定速度將基板等速度搬送，而使每個基板10之間存在一間距。上述速度可視需求而調整。在一實施例中，依據基板10大小以及傳送裝置的大小，可將多個基板10分成多列(圖I中為四列)。各列的每一基板10亦依序從第一位置110被搬送至第二位置120。各列的基板可同時亦可不同時經過第一位置110以及第二位置120。接著進行步驟S2，于第一位置110偵測上述基板10，而多個基板10各自到達第一位置110時產生對應的第一信號。于第一位置110偵測上述基板10的方法例如是使用至少一偵測器150來偵測。在一實施例中，根據基板10的列數(shù)，而在設備100的第一位置110上方設置多個偵測器150，亦在第二位置120上方設置多個偵測器150。然后進行步驟S3，對應于每一第一信號分別進行計時步驟。計時的方式沒有限制，一般公知的計時方式皆可使用。此外，在一實施例中，例如將每一所述第一信號傳送至控制部130，并由控制部130對應每一所述第一信號分別執(zhí)行計時步驟。然后進行步驟S4，在每一計時步驟的預定時間之后，偵測第二位置120，以在對應每一計時步驟的基板10到達第二位置120時產生第二信號。預定時間取決于第一位置110與第二位置120之間的距離D以及基板10被搬送的速度。偵測第二位置120的方法與上述偵測第一位置110的方法相同。此外，在一實施例中，將上述第二信號回傳至控制部130。藉由控制部130是否接收到上述第二信號來判斷對應計時步驟的基板10是否到達第二位置 120。
當在每一計時步驟的預定時間之后，于第二位置120未產生第二信號時，進行步驟S5，即等待預定延遲時間。詳細而言，若于預定時間后在第二位置120沒有偵測到對應每一計時步驟后的基板10時，將等待預定延遲時間。此預定延遲時間可依裝置狀況以及產量需求而設定，例如當每一片基板10自第一位置110到第二位置120的時間為X秒時，加上基板10預定片數(shù)連續(xù)經過第二位置120的時間為Y秒，該預定延遲時間設定為X+Y秒。在一實施例中，每一片基板10自第一位置110到第二位置120的時間為100秒，而每一片基板10經過第二位置120的時間假為7秒，例如預定片數(shù)為連續(xù)5片基板10連續(xù)通過第二位置120的總時間為5x7 = 35秒，即預定延遲時間設定成100+5x7 = 135秒。預定延遲時間的設定在于可以避免因為偵測器150計數(shù)的誤差以及異?；?如迭片或破片)計數(shù)累積導致產生警報。之后進行步驟S7，在等待預定延遲時間之后，在第二位置120依然沒有偵測到對應每一計時步驟后的基板10時，進行步驟S8，即產生警報。反之，在等待預定延遲時間之后，在第二位置120有偵測到對應每一計時步驟后的基板10時，進行步驟S6，即繼續(xù)維持設 備運作。詳細而言，在一實施例中，若在等待預定延遲時間之后，在第二位置120依然沒有偵測到對應每一計時步驟后的基板10時，控制部130因為沒有接收到此基板10的第二信號而判定成有異常，進而產生警報。產生警報的方法例如是驅動警報裝置140。此時，警報裝置140中的顯示面板141會顯示警報訊息，而蜂鳴器142會產生聲音來通知現(xiàn)場人員。此夕卜，在產生警報之后，進行步驟S9，藉由例如控制部130停止提供基板10至第一位置110。也就是說，當警報產生后，控制部130會控制基板供應部160，使基板供應部160停止提供基板10至第一位置110。詳細而言，警報產生后，針對發(fā)出警報的該列基板，控制部130會控制基板供應部160，使基板供應部160停止提供基板10至該列。而沒有發(fā)出警報的其他列的基板維持正常運作。如此一來可避免停止整個裝置所帶來的大量產量降低以及稼動率的下降。當在每一計時步驟的預定時間之后，于第二位置120產生第二信號時，則進行步驟S6，即維持設備100繼續(xù)運作。在一實施例中，若于預定時間后在第二位置120偵測得到對應每一計時步驟后的基板10時，便各別產生第二信號傳送至控制部130，而控制部130依據第二信號判定成無異常，而使設備100維持運作。綜上所述，本發(fā)明的自動監(jiān)控制程的方法包括使基板依序通過第一位置與第二位置；當基板到達第一位置后，偵測第一位置產生第一信號；對應每一第一信號分別進行計時步驟；經過預定時間后對第二位置進行偵測；在每一計時步驟的預定時間之后，于第二位置未產生第二信號時，則等待預定延遲時間；當在等待預定延遲時間后，在第二位置依然沒有偵測到對應每一計時步驟后的基板時，發(fā)出警報，并且驅動警報裝置以及停止提供基板至第一位置。藉此，可以監(jiān)控基板運作的狀況，且可即時地得知基板搬送上的異常，進而避免基板大量迭片而造成成本上的損失。雖然本發(fā)明已以實施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術領域的普通技術人員，當可作些許的更動與潤飾，而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。
權利要求
1.一種自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于，包括 依序提供多個基板，使所述基板依序經過第一位置及第二位置； 于所述第一位置及所述第二位置偵測所述基板； 當經過所述第一位置的各所述基板于預定時間仍未通過所述第二位置時，等待預定延遲時間；以及 在等待所述預定延遲時間后，經過所述第一位置的各所述基板仍未通過所述第二位置時，產生警報。
2.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于在所述第一位置及所述第二位置偵測所述基板還包括 于所述第一位置偵測所述基板，在所述基板各自到達所述第一位置時產生對應的第一信號; 對應于每一所述第一信號分別進行計時步驟；以及 在每一所述計時步驟的預定時間之后，偵測所述第二位置，以在對應每一所述計時步驟的所述基板到達所述第二位置時產生第二信號。
3.根據權利要求2所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于對應每一所述第一信號分別進行所述計時步驟包括將每一所述第一信號傳送至控制部以及所述控制部對應每一所述第一信號分別進行計時。
4.根據權利要求3所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于所述控制部包括可編程邏輯控制器。
5.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于所述第一位置包括進料部，所述第二位置包括出料部。
6.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于所述基板包括硅晶片或玻璃基板。
7.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于在所述第一位置偵測所述基板的方法包括使用至少一個偵測器來進行偵測。
8.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于在所述第二位置偵測所述基板包括使用至少一個偵測器來進行偵測。
9.根據權利要求3所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于在對應每一所述計時步驟的所述基板到達所述第二位置時產生所述第二信號之后，還包括將所述第二信號傳送至所述控制部。
10.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于在產生所述警報之后，還包括停止提供所述基板至所述第一位置。
11.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于產生所述警報的方法包括驅動警報裝置。
12.根據權利要求11所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于所述警報裝置包括蜂鳴器或顯示面板。
13.根據權利要求I所述的自動監(jiān)控制程的方法，其特征在于所述預定延遲時間為所述基板自所述第一位置至所述第二位置所需要的時間與預定片數(shù)通過所述第二位置的時間相加。
全文摘要
本發(fā)明提供一種自動監(jiān)控制程的方法，其包括下列步驟。依序提供多個基板，使上述基板依序經過第一位置及第二位置。于第一位置及第二位置偵測上述基板。當經過第一位置的各上述基板于一預定時間仍未通過第二位置時，等待預定延遲時間。在等待預定延遲時間后，經過第一位置的各上述基板仍未通過第二位置時，產生一警報?；谏鲜觯景l(fā)明的自動監(jiān)控制程的方法可以監(jiān)控基板運作的狀況，且可即時地得知基板搬送上的異常，進而避免基板大量迭片而造成成本上的損失。
文檔編號H01L21/66GK102800560SQ20111013813
公開日2012年11月28日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權日2011年5月26日
發(fā)明者賴建宇, 范姜正 申請人:聯(lián)景光電股份有限公司