專利名稱：減震激光誘致熱成像裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種減震激光誘致熱成像(Laser Induced Thermal Imaging, LITI) 裝置，更具體而言，涉及一種可以減輕在膜結合過程中由于上機殼和下機殼接觸產(chǎn)生的震動的減震激光誘致熱成像裝置。
背景技術：
在平板顯示器中，因為有機電致發(fā)光顯示器的快速響應時間為Ims或更短、功耗低及因其為自發(fā)光而具有出色的視角，有機電致發(fā)光顯示器具有無論運動圖像尺寸如何均可作為其顯示介質的優(yōu)勢。此外，因為有機電致發(fā)光顯示器能夠基于現(xiàn)有的半導體加工技術，在低溫下經(jīng)由簡單的工藝制造出來，因此作為下一代平板顯示器的有機電致發(fā)光顯示器已經(jīng)引起了關注。根據(jù)有機電致發(fā)光裝置中使用的材料和工藝，有機電致發(fā)光顯示器通?？梢苑譃椴捎脻穹ǖ木酆衔镄脱b置和采用沉積法的低分子量型裝置。然而，在聚合物或低分子量發(fā)光層的成圖法(patterning method)中，噴墨打印法具有以下缺點對于有機層的材料(除發(fā)光層外)有限制，以及用于噴墨打印的結構必須形成于基板上。此外，利用沉積法對發(fā)光層成圖時，由于采用了金屬掩膜，使得大型顯示裝置難以制造。作為上述成圖法的替代技術，最近開發(fā)出了一種激光誘致熱成像(LITI)方法。LITI方法將來自光源的激光轉換為熱能，進而依次將成圖材料傳移到靶基板上， 形成圖形。在LITI方法中，供體薄膜覆蓋作為受體的整個基板，供體薄膜和基板固定在平臺上。此外，通過層壓處理，供體薄膜和基板進一步結合在一起，繼而通過激光成像形成圖形。應該注意的是，提供上述說明是為了理解背景技術，而不是對本領域眾所周知的技術的說明。常規(guī)地，在裝配上機殼和下機殼以確定真空腔(供體薄膜和基板在其中結合在一起)的過程中，產(chǎn)生震動，造成供體薄膜和基板的機械損傷。因此，有必要解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個方面是提供一種減震激光誘致熱成像裝置，該裝置能夠減輕上機殼和下機殼裝配時產(chǎn)生的震動以防止在其裝配時的損壞。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，一種減震激光誘致熱成像(LITI)裝置包括下機殼；上機殼，置于該下機殼上形成真空腔；及減震單元，位于該上機殼和該下機殼的接觸部分，并利用氣動壓減輕震動。所述減震單元包括供氣管，穿過所述下機殼；供氣泵，連接該供氣管并通過該供氣管供應氣動壓；及阻尼組件(damping member)，支撐所述上機殼并且連接該供氣管以接收通過該供氣管供應的氣動壓。
所述阻尼組件包括連接所述供氣管的連接部分；以及從該連接部分延伸出來并且在其中儲存氣動壓的阻尼部分。所述連接部分在其外周緣設置有嚙合鉤，該嚙合鉤與設置于所述下機殼上的嚙合板相嚙合。所述阻尼部分有多個與所述上機殼優(yōu)先接觸的接觸突起。所述阻尼組件包含彈性材料。


下面結合附圖對實施例進行說明，使得本發(fā)明的上述及其他方面、特征和優(yōu)點顯而易見，其中圖1為根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的減震激光誘致熱成像(LITI)裝置的示意圖；圖2為根據(jù)示例性實施例的減震LITI裝置的剖視示意圖；以及圖3為根據(jù)示例性實施例的減震LITI裝置的阻尼組件的示意圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參照附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細說明。應該注意的是，附圖并不是按照精確的比例繪制，僅為了說明的方便和清楚可能在線條的粗細或組件的尺寸上進行了夸大。此外，在此應用的術語是通過考慮本發(fā)明的功能而定義的，可以根據(jù)使用者或操作人員的習慣或意圖而改變。因此，應該根據(jù)在此闡述的整個公開內(nèi)容，來確定這些術語的含義。圖1為根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的減震激光誘致熱成像(LITI)裝置的示意圖， 圖2為根據(jù)示例性實施例的減震LITI裝置的剖視示意圖，圖3為根據(jù)示例性實施例的減震 LITI裝置的阻尼組件的示意圖。參照圖1至3，根據(jù)示例性實施例的減震LITI裝置1包括下機殼10、上機殼20 及減震單元30?；?1安裝在下機殼10上，供體薄膜12安裝在基板11上。當激光束照射在供體薄膜12上時，供體薄膜12的光熱轉換層將激光束轉換為熱量以便其在散熱過程中膨脹。這樣，有機層(即轉移層)同樣膨脹并且從供體薄膜12上分離，從而在基板11上形成有機層。這里，成圖材料按照激光照射的方向附著于基板11。上機殼20位于下機殼10的上面，并且通過上機殼20的自動運動置于下機殼10 上。所述上機殼的邊緣向下延伸，這樣經(jīng)過裝配，在上機殼20和下機殼10之間形成真空腔25，并在其中容納基板11和供體薄膜12。減震單元30位于上機殼10和下機殼20的接觸部分。減震單元30中包含能夠減輕震動并提高真空腔25氣密性的空氣。減震單元30包括供氣管31、供氣泵32和阻尼組件33。供氣管31穿過下機殼10。具體地，供氣管31是彎曲的，這樣供氣管31的一端穿過下機殼10的上側并從那里向上伸出，其另一端穿過下機殼10的外周緣并從那里伸出。
在一個實施例中，供氣管31的一端穿過并從下機殼10的一個部位伸出，上機殼20 的邊緣位于該部位。
供氣泵32與供氣管31的另一端連接并且向供氣管31供應氣動壓。阻尼組件33與供氣管31連接，以便儲存通過供氣管31供應的氣動壓。阻尼組件 33支撐上機殼20以防止由上機殼20和下機殼10接觸造成的損壞和噪聲。阻尼組件33包括連接部分331和阻尼部分332。連接部分331圍繞供氣管31。連接部分331具有圓筒狀的形狀，插在供氣管31 周圍并且固定地連接到供氣管31上。這里，當供氣管31的一端彎曲如法蘭盤時，連接部分 331就固定地抓住供氣管31的該彎曲端。阻尼部分332從連接部分331延伸出來。阻尼部分332的寬度大于供氣管31，并且配置為可以儲存氣動壓。連接部分331上裝備有嚙合鉤333，嚙合鉤333與連接部分331的外周緣一體成型。嚙合鉤與下機殼10的嚙合板15相嚙合。嚙合板15作為獨立的組件進行制造，并且固定地安裝在下機殼10上。嚙合板15 由一對板組成，嚙合鉤333向連接部分331的相對方向伸出以便與一對板15相嚙合。阻尼部分332在其上側有多個接觸突起334。上機殼20在特定點與接觸突起334 優(yōu)先接觸。通過接觸突起334與上機殼20的優(yōu)先接觸，分散了施加在上機殼20上的負荷且防止了阻尼部分332的磨損。在一個實施例中，阻尼組件33可由彈性材料形成。阻尼組件33靠氣動壓膨脹并且靠上機殼20的重力收縮。接下來，將對具有上述結構的減震LITI裝置的操作進行說明。將基板11和供體薄膜12放置在下機殼10上，上機殼20置于下機殼10上。這里，所提供的阻尼組件33位于上機殼20和下機殼10的接觸部分，在氣動壓作用下處于膨脹狀態(tài)，這樣能夠減輕上機殼20的震動。S卩，在供氣泵32的驅動下，空氣經(jīng)穿過下機殼10的供氣管31供應且儲存在阻尼組件33中，這樣阻尼組件33可以支撐上機殼20。這里，由供氣泵32供應的空氣的氣動壓的范圍是1至3巴(bar)。同時，將阻尼組件33的連接部分331插在并且嚙合到從下機殼10向上伸出的供氣管31的一端。這里，由于設置于連接部分331外周的嚙合鉤333與裝配在下機殼10上的嚙合板 15相嚙合，所以阻尼組件33安裝在下機殼10上。阻尼組件33的阻尼部分332充滿空氣，且在其上側設有與上機殼20優(yōu)先接觸的接觸突起，這樣阻尼部分332能分散上機殼20的重量，從而支撐上機殼20很長一段時間。此外，因為接觸突起334與上機殼20直接接觸，所以接觸突起334限制了阻尼部分332的磨損并且防止了由于阻尼部分332的損壞引起的漏氣。這樣，根據(jù)所述實施例，所述減震LITI裝置利用減震單元防止了在裝配上機殼到下機殼時上機殼和下機殼之間的直接接觸，因此防止了在裝配上機殼和下機殼時的噪聲和損壞，同時提高了真空腔的氣密性。此外，根據(jù)所述實施例，所述減震LITI裝置利用供氣泵持續(xù)控制氣動壓，從而能夠為所述減震單元供應恒定的氣動壓。此外，根據(jù)所述實施例，所述減震LITI裝置提供了阻尼組件的嚙合鉤與下機殼的嚙合板間的牢固嚙合，這樣所述阻尼組件穩(wěn)定地安裝在所述下機殼上。此外，根據(jù)所述實施例，所述減震LITI裝置提供了具有接觸突起的阻尼組件，該接觸突起與上機殼優(yōu)先接觸，這樣可以分散上機殼的負荷并且防止阻尼組件的磨損。雖然本發(fā)明中描述了一些實施例，但是可以理解的是所給出的實施例僅為了說明，而并非限制本發(fā)明的保護范圍，并且具有本領域一般知識的人在沒有違背本發(fā)明精神和保護范圍的情況下可以進行各種不同的修改，變動和變更，這些僅受限于本發(fā)明所附的權利要求及其等同的內(nèi)容。
權利要求
1.一種減震激光誘致熱成像裝置包括 下機殼；上機殼，置于該下機殼上形成真空腔；以及減震單元，位于該上機殼和該下機殼的接觸部分，并且利用氣動壓減輕震動。
2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述減震單元包括 供氣管，穿過所述下機殼；供氣泵，連接該供氣管并通過該供氣管供應氣動壓；以及阻尼組件，支撐所述上機殼并且連接該供氣管以接收通過該供氣管供應的氣動壓。
3.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述阻尼組件包括連接部分，連接所述供氣管；以及阻尼部分，從該連接部分延伸出來并且在其中儲存氣動壓。
4.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述連接部分在其外周緣設置有嚙合鉤， 該嚙合鉤與設置于所述下機殼上的嚙合板相嚙合。
5.根據(jù)權利要求3或4所述的裝置，其特征在于，所述阻尼部分有多個與所述上機殼優(yōu)先接觸的接觸突起。
6.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述阻尼組件包含彈性材料。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種減震激光誘致熱成像裝置，該裝置包括下機殼；上機殼，置于該下機殼上形成真空腔；及減震單元，位于該上機殼和該下機殼的接觸部分，并且利用氣動壓減輕震動。所述減震單元有氣動壓供應，以減輕在支撐所述上機殼時由于與所述下機殼的接觸而引起的震動。
文檔編號H01L51/56GK102339956SQ20111017683
公開日2012年2月1日 申請日期2011年6月28日 優(yōu)先權日2010年6月30日
發(fā)明者尹小輝, 崔東奎, 金煥, 金相午 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司