專利名稱：用于光刻設(shè)備的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路制造裝備領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻設(shè)備中所使用的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。
背景技術(shù)：
光刻設(shè)備是一種應(yīng)用于集成電路制造的裝備，該裝備可以包括但不限于集成電路制造光刻裝置、液晶面板光刻裝置、光掩?？逃⊙b置、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))/MOMS(微 光機(jī)系統(tǒng))光刻裝置、先進(jìn)封裝光刻裝置、印刷電路板光刻裝置及印刷電路板加工裝置等。在高端光刻設(shè)備中，硅片需要從片盒傳遞至工件臺(tái)預(yù)定位置。在傳輸過(guò)程中，硅片必須以高精度、均勻的溫度，并以精確的偏心、偏向傳送到工件臺(tái)。現(xiàn)有技術(shù)中所設(shè)計(jì)的硅片傳輸系統(tǒng)，硅片溫度通過(guò)氣浴的方式來(lái)穩(wěn)定，硅片偏心、偏向誤差僅通過(guò)預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置來(lái)糾正。隨著硅片尺寸不斷增大、光刻精度不斷提高、產(chǎn)率要求越來(lái)越高，通過(guò)氣浴的方式來(lái)穩(wěn)定硅片溫度已不能滿足高精度光刻設(shè)備需求，并且僅通過(guò)預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置對(duì)比較薄的硅片進(jìn)行定心、定向時(shí)，由于預(yù)對(duì)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)吸盤直徑遠(yuǎn)小于硅片直徑，硅片邊緣會(huì)因自重而發(fā)生變形，從而影響硅片的定心、定向精度。專利US6370793B1公開了一種對(duì)預(yù)對(duì)準(zhǔn)上硅片進(jìn)行氣浴以實(shí)現(xiàn)硅片溫度穩(wěn)定的裝置。該技術(shù)方案的主要缺點(diǎn)是難以實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片溫度的高精度穩(wěn)定，并且該技術(shù)方案未涉及到對(duì)硅片穩(wěn)定溫度的精密測(cè)量，在使用過(guò)程，無(wú)法確切知道硅片溫度是否達(dá)標(biāo)?；诂F(xiàn)有技術(shù)中存在的諸多缺點(diǎn)，亟需要一種新的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明提供一種用于光刻設(shè)備的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，該預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置可以實(shí)現(xiàn)在硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程中對(duì)硅片溫度進(jìn)行高精度穩(wěn)定與檢測(cè)，并且有助于提高預(yù)對(duì)準(zhǔn)的定心、定向精度。為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明公開一種用于光刻設(shè)備的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，用于實(shí)現(xiàn)硅片傳輸中的預(yù)對(duì)準(zhǔn)，包括溫度穩(wěn)定單元及用于支撐所述溫度穩(wěn)定單元的差分調(diào)平單元，定向吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定向吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，定心吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定心吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述溫度穩(wěn)定單元的中心貫通設(shè)有一內(nèi)孔供定向吸盤單元和定心吸盤單元穿過(guò)，所述定向吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元內(nèi)孔中心位置處，所述定心吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元與定向吸盤單元之間。更進(jìn)一步地，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置還包括一硅片邊緣數(shù)據(jù)采集處理裝置。更進(jìn)一步地，所述定心吸盤為半圓形狀且包圍所述定向吸盤。更進(jìn)一步地，所述溫度穩(wěn)定單元包括位于下層的水冷盤及位于上層的氣浮盤。更進(jìn)一步地，所述溫度穩(wěn)定單元還包括多個(gè)溫度傳感器，所述溫度傳感器均勻分布于所述溫度穩(wěn)定單元上；所述溫度穩(wěn)定單元還包括至少一個(gè)硅片存在傳感器。
更進(jìn)一步地，所述差分調(diào)平單元包括依次連接的底座、差分螺母、導(dǎo)向桿、球頭銷和球窩，所述差分螺母的兩端分別通過(guò)螺距不同的螺紋與導(dǎo)向桿、底座相配合實(shí)現(xiàn)上下差分運(yùn)動(dòng)，所述球窩固定安裝于硅片溫度穩(wěn)定裝置底部。所述差分螺母與導(dǎo)向桿、底座之間分別通過(guò)一鎖緊螺母固定，所述球窩與球頭銷之間通過(guò)一鎖緊環(huán)鎖緊。更進(jìn)一步地,所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一 Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及一 Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái),所述Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于提供沿Z向運(yùn)動(dòng)，所述Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于提供沿Θ向運(yùn)動(dòng)。所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及一 V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)，所述X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)均為由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)。所述V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)還包括一重力補(bǔ)償元件用以抵消V向運(yùn)動(dòng)負(fù)載重力。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明具有如下技術(shù)效果本發(fā)明所公開的技術(shù)方案在預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置中集成了硅片溫度穩(wěn)定裝置。該硅片溫度穩(wěn)定裝置通過(guò)使用高精度鏡頭冷卻水對(duì)硅片進(jìn)行溫度輻射、氣浴穩(wěn)定相結(jié)合的方法對(duì)硅片進(jìn)行溫度穩(wěn)定。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置設(shè)置有溫度傳感器，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)預(yù)對(duì)準(zhǔn)上硅片溫度的范圍與均勻度。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置還設(shè)置有硅片存在傳感器，可以對(duì)裝置上是否有硅片存在進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置可以實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片邊緣自重形變進(jìn)行補(bǔ)償，有助于提高硅片的定心、定向精度。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置通過(guò)特別設(shè)計(jì)的差分調(diào)平結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)硅片溫度穩(wěn)定裝置的水平度調(diào)節(jié)。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置具有X、Θ、z、v四個(gè)運(yùn)動(dòng)軸，可以實(shí)現(xiàn)硅片的定心、定向、氣膜調(diào)節(jié)、娃片交接功能，其中Θ、z軸運(yùn)動(dòng)通過(guò) 一種旋轉(zhuǎn)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn),x、v軸運(yùn)動(dòng)通過(guò)兩組組合在一起的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)，并在垂向使用重力補(bǔ)償元件來(lái)提升V向運(yùn)動(dòng)性能。該硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的定心、定向吸盤通過(guò)特別設(shè)計(jì)與布置，可以實(shí)現(xiàn)在真空斷開的情況下，硅片不會(huì)掉落。


關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神可以通過(guò)以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。圖I是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的硅片溫度穩(wěn)定與邊緣自重補(bǔ)償原理示意圖；圖3是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的傳感器布置結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的差分調(diào)平機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本發(fā)明所涉及的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的定心、定向吸盤與硅片溫度穩(wěn)定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。主要圖示說(shuō)明101-硅片溫度穩(wěn)定裝置102-定向吸盤
103-定心吸盤104-差分調(diào)平機(jī)構(gòu)
105-X向與V向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)106-Z向與Θ向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)
107-視覺(jué)系統(tǒng)202-高精度鏡頭冷卻水接頭
203-未進(jìn)行邊緣自重形變補(bǔ)償?shù)墓杵?04-硅片溫度穩(wěn)定裝置與硅片間氣隙
205-進(jìn)行邊緣自重形變補(bǔ)償后的硅片207-氣浮盤
208-水冷盤301-溫度傳感器
302-硅片存在傳感器303-硅片存在傳感器支架1
304-溫度傳感器支架402-底座
403-下鎖緊螺母404-差分螺母
405-上鎖緊螺母406-導(dǎo)向桿
407-球頭銷408-鎖緊環(huán)
409-球窩501-Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)
502- Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái)505-V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)
506-重力補(bǔ)償元件507-X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的一種具體實(shí)施例的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。然而，應(yīng)當(dāng)將本發(fā)明理解成并不局限于以下描述的這種實(shí)施方式，并且本發(fā)明的技術(shù)理念可以與其他公知技術(shù)或功能與那些公知技術(shù)相同的其他技術(shù)組合實(shí)施。在以下描述中，為了清楚展示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及工作方式，將借助諸多方向性詞語(yǔ)進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)將“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“內(nèi)”、“向外”、“向內(nèi)”、“上”、“下”等詞
語(yǔ)理解為方便用語(yǔ)，而不應(yīng)當(dāng)理解為限定性詞語(yǔ)。此外，在以下描述中所使用的“X向”一詞主要指于水平向平行的方向向”一詞主要指與水平向垂直的方向；“Z向”一詞主要指與水平向垂直，并與V向平行的方向；“ Θ向” 一詞主要指繞Z向旋轉(zhuǎn)的方向。本發(fā)明所公開的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置總體結(jié)構(gòu)見圖I。該預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置用于將硅片放置于預(yù)定的位置，保持硅片定心定向并保持硅片的溫度均勻不變。如圖I中所示，該預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置包括一硅片溫度穩(wěn)定裝置101，硅片溫度穩(wěn)定裝置101用以實(shí)現(xiàn)對(duì)預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置上硅片進(jìn)行高精度、快速、均勻的溫度穩(wěn)定。硅片(圖中未示出)被放置于該硅片溫度穩(wěn)定裝置101上時(shí)，該硅片溫度穩(wěn)定裝置101可以與硅片進(jìn)行熱交換以保證硅片處于一個(gè)恒溫環(huán)境內(nèi)。硅片溫度穩(wěn)定裝置101放置于一差分調(diào)平機(jī)構(gòu)104之上，通過(guò)該差分調(diào)平機(jī)構(gòu)104實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片溫度穩(wěn)定裝置的支撐與水平度調(diào)節(jié)。該預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置除硅片溫度穩(wěn)定裝置101外，還包括一定向吸盤102和定心吸盤103用以實(shí)現(xiàn)硅片的定心與定向調(diào)節(jié)。其中該定向吸盤102通過(guò)X向與V向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)105帶動(dòng)，實(shí)現(xiàn)娃片的定心與交接運(yùn)動(dòng)。該定心吸盤103通過(guò)Z向與Θ向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)106帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)娃片的定心與氣膜調(diào)節(jié)。除此之外,該預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置還包括一視覺(jué)系統(tǒng)107，用以實(shí)現(xiàn)硅片邊緣數(shù)據(jù)采集，計(jì)算硅片偏向、偏心數(shù)值。本發(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置對(duì)硅片進(jìn)行溫度穩(wěn)定的工作原理見圖2，高精度鏡頭冷卻水經(jīng)由高精度鏡頭冷卻水接頭202進(jìn)入硅片溫度穩(wěn)定裝置201下層的水冷盤208，并在硅片溫度穩(wěn)定裝置101內(nèi)循環(huán)，其熱輻射與硅片進(jìn)行熱交換，達(dá)到硅片溫度穩(wěn)定目的；同時(shí)，從硅片溫度穩(wěn)定裝置101上層氣浮盤207流出的空氣也可以與硅片進(jìn)行熱交換，帶走硅片多余熱量。本發(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置還具有補(bǔ)償硅片邊緣自重形變功能。8英寸、12英寸乃至16英寸的硅片，在只有定向吸盤支撐的情況下，其邊緣會(huì)因自重產(chǎn)生數(shù)百微米的變形，見圖2中未進(jìn)行邊緣自重形變補(bǔ)償?shù)墓杵?03，影響預(yù)對(duì)準(zhǔn)定心、定向精度。本裝置所集成的硅片溫度穩(wěn)定裝置101上層氣浮盤207可以在氣浮盤207表面與硅片底面間形成10-20 μ m厚度的氣膜204，對(duì)該變形進(jìn)行補(bǔ)償，使硅片面水平，見圖2中進(jìn)行邊緣自重形變補(bǔ)償后的硅片205，有助于提高大尺寸硅片定心、定向精度。本發(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置均勻配置有4個(gè)溫度傳感器301和I個(gè)硅片存在傳感器302，見圖3，可以對(duì)硅片溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，并對(duì)是否有硅片在預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置上進(jìn)行判斷。該4個(gè)溫度傳感器與I個(gè)硅片存在傳感器分別使用溫度傳感器支架304與硅片存在傳感器支架303從下往上安裝相應(yīng)傳感器，方便維修維護(hù)，且不會(huì)影響預(yù)對(duì)準(zhǔn)已裝調(diào)好的精度?！け景l(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置通過(guò)一種差分調(diào)平機(jī)構(gòu)104對(duì)所集成的硅片溫度穩(wěn)定裝置101進(jìn)行安裝與調(diào)節(jié)。該差分調(diào)平機(jī)構(gòu)104由底座402、下鎖緊螺母403、差分螺母404、上鎖緊螺母405、導(dǎo)向桿406、球頭銷407、鎖緊環(huán)408、球窩409組成。如圖4中所示，導(dǎo)向桿406插入底座402中，起上下運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向作用。同時(shí)，導(dǎo)向桿406與底座402靠近差分螺母404的一端分別具有螺距不同的同向外螺紋。差分螺母404內(nèi)孔兩側(cè)分別具有與導(dǎo)向桿406、底座402外螺紋螺距、旋向相同的內(nèi)螺紋。差分螺母404與導(dǎo)向桿406、底座402相配合實(shí)現(xiàn)上下差分運(yùn)動(dòng)。上下位置調(diào)節(jié)完畢后，使用上鎖緊螺母405、下鎖緊螺母403固定差分螺母404與導(dǎo)向桿406、底座402的相對(duì)位置。球窩409安裝在娃片溫度穩(wěn)定裝置101上,與固定在導(dǎo)向桿406上部的球頭銷407相配,支撐娃片溫度穩(wěn)定裝置101。當(dāng)通過(guò)擰動(dòng)三組差分螺母404調(diào)節(jié)硅片溫度穩(wěn)定裝置表面水平度時(shí)，球窩409與球頭銷407的配合可以對(duì)硅片溫度穩(wěn)定裝置101的三個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度解耦。調(diào)節(jié)完畢后，通過(guò)鎖緊環(huán)408鎖緊球窩409與球頭銷407。本發(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置具有X、V、Ζ、Θ四個(gè)運(yùn)動(dòng)軸，分別由四個(gè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)，如圖5中所示。X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)507、V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)505組合在一起,帶動(dòng)定心吸盤103實(shí)現(xiàn)娃片的定心與交接功能。X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)507與V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)505的結(jié)構(gòu)相同，均為由直線電機(jī)(驅(qū)動(dòng)元件)、交叉滾柱導(dǎo)軌(導(dǎo)向元件)、光柵尺和霍爾傳感器(測(cè)量元件)組成的結(jié)構(gòu)緊湊的直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)。其中，V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)505使用了重力補(bǔ)償元件506抵消V向運(yùn)動(dòng)負(fù)載重力，使V向運(yùn)動(dòng)工況與X向運(yùn)動(dòng)工況相似，易于V向運(yùn)動(dòng)控制，利于提高V向運(yùn)動(dòng)性能。Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)501與Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái)502組合在一起,帶動(dòng)定向吸盤102實(shí)現(xiàn)娃片的定向與氣膜調(diào)節(jié)功能。本發(fā)明所述的具有硅片溫度穩(wěn)定功能的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置通過(guò)如圖6所示布置硅片溫度穩(wěn)定裝置101、定向吸盤102、定心吸盤103實(shí)現(xiàn)即使在吸盤真空斷開情況下，硅片仍不會(huì)掉落的功能。定心吸盤如圖6所示，形為半圓，包圍定向吸盤102 ;定心、定向吸盤103、102同時(shí)從硅片溫度穩(wěn)定裝置101內(nèi)孔中穿過(guò)。硅片重心落入定心、定向支撐范圍內(nèi)，在無(wú)真空情況下，硅片亦不會(huì)掉落。本說(shuō)明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對(duì)本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過(guò)邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。·
權(quán)利要求
1.一種用于光刻設(shè)備的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，用于實(shí)現(xiàn)硅片傳輸中的預(yù)對(duì)準(zhǔn)，包括溫度穩(wěn)定單元及用于支撐所述溫度穩(wěn)定單元的差分調(diào)平單元，定向吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定向吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，定心吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定心吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；其特征在于，所述溫度穩(wěn)定單元的中心貫通設(shè)有一內(nèi)孔供定向吸盤單元和定心吸盤單元穿過(guò)，所述定向吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元內(nèi)孔中心位置處，所述定心吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元與定向吸盤單元之間。
2.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置還包括一硅片邊緣數(shù)據(jù)采集處理裝置。
3.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述定心吸盤為半圓形狀且包圍所述定向吸盤。
4.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述溫度穩(wěn)定單元包括位于下層的水冷盤及位于上層的氣浮盤。
5.如權(quán)利要求4所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述溫度穩(wěn)定單元還包括多個(gè)溫度傳感器，所述溫度傳感器均勻分布于所述溫度穩(wěn)定單元上；所述溫度穩(wěn)定單元還包括至少一個(gè)娃片存在傳感器。
6.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述差分調(diào)平單元包括依次連接的底座、差分螺母、導(dǎo)向桿、球頭銷和球窩，所述差分螺母的兩端分別通過(guò)螺距不同的螺紋與導(dǎo)向桿、底座相配合實(shí)現(xiàn)上下差分運(yùn)動(dòng)，所述球窩固定安裝于硅片溫度穩(wěn)定裝置底部。
7.如權(quán)利要求6所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述差分螺母與導(dǎo)向桿、底座之間分別通過(guò)一鎖緊螺母固定，所述球窩與球頭銷之間通過(guò)一鎖緊環(huán)鎖緊。
8.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及一 Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái)，所述Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于提供沿Z向運(yùn)動(dòng),所述Θ向運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于提供沿Θ向運(yùn)動(dòng)。
9.如權(quán)利要求I所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及一 V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)，所述X向運(yùn)動(dòng)臺(tái)及V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)均為由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)。
10.如權(quán)利要求9所述的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述V向運(yùn)動(dòng)臺(tái)還包括一重力補(bǔ)償元件用以抵消V向運(yùn)動(dòng)負(fù)載重力。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于光刻設(shè)備的預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，用于實(shí)現(xiàn)硅片傳輸中的預(yù)對(duì)準(zhǔn)，包括溫度穩(wěn)定單元及用于支撐所述溫度穩(wěn)定單元的差分調(diào)平單元，定向吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定向吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，定心吸盤單元及用于驅(qū)動(dòng)所述定心吸盤單元運(yùn)動(dòng)的第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述溫度穩(wěn)定單元的中心貫通設(shè)有一內(nèi)孔供定向吸盤單元和定心吸盤單元穿過(guò)，所述定向吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元內(nèi)孔中心位置處，所述定心吸盤單元位于所述溫度穩(wěn)定單元與定向吸盤單元之間。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102914951SQ201110222168
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2011年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月4日
發(fā)明者胡松立, 姜杰 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司