專利名稱：氣體輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于輸送裝置，特別是有關(guān)于輸送工藝氣體的裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體、面板及光電等產(chǎn)業(yè)中的工藝的日趨復(fù)雜，相關(guān)工廠所使用的工藝氣體種類亦越來越多。例如，半導(dǎo)體工藝包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響。此外，氣體供應(yīng)的安全性則攸關(guān)操作人員的健康與工廠運作的安全。氣體一般可簡單的區(qū)分為大宗氣體(Bulk Gases)，如氮氣(N2)、氫氣(H2)、 氧氣(02)...等，和特殊氣體(Specialty Gases)，如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、砷化氫 (AsH3). . ·等。參照圖1，圖1繪示了現(xiàn)有技術(shù)中的氣體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的氣體輸送裝置100包含一槽車110、一銜接管120及該銜接管120延伸出來的一接頭 130，接頭130用以連接槽車110與銜接管130，需說明的是這里的接頭130僅為簡單示意性的，并沒有繪示出其具體結(jié)構(gòu)，其一端用于槽車110的管件(未標示)的接入，另一端用于銜接管120的管件(未標示)的插入。但是，現(xiàn)有的接頭130有可能存在漏氣情形，而如果所使用的工藝氣體為特殊氣體，如硅烷(易自燃)、磷烷(有劇毒)、砷化氫(有劇毒)等危險性氣體，那么將產(chǎn)生安全性問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出了一種氣體輸送裝置，用于配送一工藝氣體至一使用點，包含一槽車及一銜接管，所述銜接管延伸出一接頭，所述接頭與所述槽車相連接，還包含—連接件，用于連接所述槽車與所述銜接管，連接件包含一第一固定件，連接于所述槽車；一第二固定件，連接于所述銜接管；以及兩個活動件，各可拆卸地固定于所述第一固定件與所述第二固定件之間；一氣體測漏儀，與所述第一固定件相連接于一接點；其中，當(dāng)所述兩個活動件固定于所述第一固定件與所述第二固定件之間且所述接頭與所述槽車相連接時，所述兩個活動件與所述第一固定件及所述第二固定件形成一密封體，所述氣體測漏儀根據(jù)所述密封體中是否有氣體來判斷所述槽車與所述銜接管之間是否
漏氣ο優(yōu)選地，所述氣體測漏儀對所述銜接管所通入一檢驗氣體進行檢測。優(yōu)選地，所述檢驗氣體為氦氣，所述氣體測漏儀為氦測漏儀。優(yōu)選地，所述第一固定件與所述槽車通過焊接方式連接，并形成一第一焊接點；以及所述第二固定件與所述銜接管通過焊接方式連接，并形成一第二焊接點。優(yōu)選地，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件的固定處，具有一滾球，所述活動件在所述滾球上滑動。優(yōu)選地，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件通過一卡合件進行卡合連接。優(yōu)選地，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件通過螺栓螺母連接。優(yōu)選地，所述活動件為金屬波紋管。優(yōu)選地，所述工藝氣體為硅烷、磷烷及砷化氫中的其中之一。優(yōu)選地，所述第一固定件、所述第二固定件及所述兩個活動件的材料為金屬。由上可知，本發(fā)明所提出的氣體輸送裝置，是在現(xiàn)有的接頭的外圍形成一密封體， 并且將此密封體外接一氣體測漏儀，從而可以檢測槽車與銜接管之間是否有漏氣情形，進而可以避免安全隱患。


圖1繪示了現(xiàn)有技術(shù)中的氣體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2繪示了本發(fā)明一實施方式的氣體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3繪示了圖2中的連接件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4繪示了圖2中的連接件的另一結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下文是舉實施例配合所附圖式作詳細說明，但所提供的實施例并非用以限制本發(fā)明所涵蓋的范圍，而結(jié)構(gòu)運作的描述非用以限制其執(zhí)行的順序，任何由組件重新組合的結(jié)構(gòu)，所產(chǎn)生具有均等功效的裝置，皆為本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，圖式僅以說明為目的，并未依照原尺寸作圖。參照圖2，圖2繪示了本發(fā)明一實施方式的氣體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述氣體裝置200，包含一槽車210、一銜接管220、一連接件230、一氣體測漏儀240及一接頭130。在本實施方式中，槽車210接入一特殊氣體，如硅烷、磷烷及砷化氫等，較佳地，為硅烷，但不以此為限。接頭130用于連接槽車210與銜接管220，其結(jié)構(gòu)可以是現(xiàn)有技術(shù)中的接頭130的結(jié)構(gòu)。銜接管220，用于將特殊氣體輸送至使用此特殊氣體的使用點，如生產(chǎn)線中的機器設(shè)備。連接件230，位于槽車210與銜接管220之間。氣體測漏儀M0，用于根據(jù)銜接管220所傳送的檢驗氣體(未繪示)，檢測槽車210與銜接管220之間是否漏氣。 具體地說，可以在銜接管220中通入檢驗氣體，如氦氣或氮氣，通過銜接管220中的開關(guān)閥 (未繪示)的控制，使得檢驗氣體流向接頭130，如果有漏氣，那么此漏氣將流入連接件230 中，之后，連接件230會將此漏氣傳輸給氣體測漏儀M0，繼而從氣體測漏儀240可得知槽車 210與銜接管220間有漏氣，從而可以對相關(guān)設(shè)備進行檢修或更新。在本實施方式中，槽車210將供應(yīng)設(shè)備(未繪示)所提供的工藝氣體通過接頭130 輸送給銜接管220，之后，銜接管220將此工藝氣體輸送至一使用點(未繪示)。
參照圖3，圖3繪示了圖2中的連接件的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，連接件230包含一第一固定件231、一第二固定件232及兩個活動件233。第一固定件231，連接于槽車210 ；第二固定件232，連接于銜接管220 ；兩個活動件 233，各可拆卸地固定于第一固定件231與第二固定件232之間。在本實施方式中，活動件233與第一固定件231及第二固定件232的固定處各具有一滾球234，活動件233可以沿此滾球234進行滑動。此外，活動件233與第一固定件 231及第二固定件232的固定可以采用卡合件進行固定，也可以采用螺栓螺母方式進行固定，但不以此為限，也可以是其他固定方式，只需符合活動件233是可拆卸地固定在第一固定件231及第二固定件232上。在本，當(dāng)所述兩個活動件233固定于第一固定件231與第二固定件232之間且接頭130與槽車210相連接時，那么兩個活動件233與第一固定件231及第二固定件232形成一密封體，接頭130位于密封體中。在本實施方式中，第一固定件231、第二固定件232及兩個活動件233的材料優(yōu)選為金屬，因此前述密封體極為金屬密封體。但需說明的是，第一固定件231、第二固定件232及兩個活動件233的材料也可以是其他材料，不以此為限。在本實施方式中，第一固定件231與槽車210通過焊接方式連接，并形成一第一焊接點235 ；第二固定件232與銜接管220通過焊接方式連接，并形成一第二焊接點236。在本實施方式中，還具有一接點237，此接點237用于連接氣體測漏儀M0。參照圖4，圖4繪示了圖2中的連接件的另一結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合圖2、圖4所示，連接件430包含一第一固定件431，連接于槽車210 ；—第二固定件432，連接于銜接管220 ；兩個活動件433，各可拆卸地固定于第一固定件431與第二固定件432之間。同理，在本實施方式中，連接件430具有第一焊接點435、第二焊接點436 及接點437。在本實施方式中，連接件430，與圖3所示連接件230的差別在于活動件結(jié)構(gòu)，本實施方式中，活動件433為金屬波紋管，但不以此為限。并且活動件433可以沿第一固定件 431及第二固定件432上下滑動，并可以從第一固定件431及第二固定件432上取下，即活動件433是可拆卸地與第一固定件431與第二固定件432相固定，當(dāng)其固定時，活動件433 將與第一固定件431與第二固定件432形成一密封體，而接頭130位于此密封體中。在本實施方式中，連接件430通過接點437與氣體測漏儀MO (如圖2~)相連接，此氣體測漏儀240可以用來對檢測槽車210與銜接管220之間是否有漏氣。由上可知，本發(fā)明所提出的氣體輸送裝置，是在現(xiàn)有的接頭的外圍形成一密封體， 并且將此密封體外接一氣體測漏儀，從而可以檢測槽車與銜接管之間是否有漏氣情形，進而可以避免安全隱患。上文中，參照附圖描述了本發(fā)明的具體實施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以對本發(fā)明的具體實施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發(fā)明權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種氣體輸送裝置，用于配送一工藝氣體至一使用點，包含一槽車及一銜接管，所述銜接管延伸出一接頭，所述接頭與所述槽車相連接，其特征在于，還包含一連接件，用于連接所述槽車與所述銜接管，包含一第一固定件，連接于所述槽車；一第二固定件，連接于所述銜接管；以及兩個活動件，各可拆卸地固定于所述第一固定件與所述第二固定件之間；以及一氣體測漏儀，與所述第一固定件相連接于一接點；其中，當(dāng)所述兩個活動件固定于所述第一固定件與所述第二固定件之間且所述接頭與所述槽車相連接時，所述兩個活動件與所述第一固定件及所述第二固定件形成一密封體， 所述接頭位于所述密封體內(nèi)，并且所述氣體測漏儀根據(jù)所述密封體中是否有氣體來判斷所述槽車與所述銜接管之間是否漏氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述氣體測漏儀對所述銜接管所通入一檢驗氣體進行檢測。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，所述檢驗氣體為氦氣，所述氣體測漏儀為氦測漏儀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述第一固定件與所述槽車通過焊接方式連接，并形成一第一焊接點；以及所述第二固定件與所述銜接管通過焊接方式連接，并形成一第二焊接點。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件的固定處，具有一滾球，所述活動件在所述滾球上滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件通過一卡合件進行卡合連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述活動件分別與所述第一固定件及所述第二固定件通過螺栓螺母連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述活動件為金屬波紋管。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述工藝氣體為硅烷、磷烷及砷化氫中的其中之一。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述第一固定件、所述第二固定件及所述兩個活動件的材料為金屬。
全文摘要
本發(fā)明提出了一種氣體輸送裝置，用于配送一工藝氣體至一使用點，包含一槽車及一銜接管，銜接管延伸出一接頭，接頭與槽車相連接，還包含一連接件及一氣體測漏儀。連接件，用于連接槽車與銜接管，連接件包含一第一固定件，連接于槽車；一第二固定件，連接于銜接管；以及兩個活動件，各可拆卸地固定于第一固定件與第二固定件之間。氣體測漏儀，與第一固定件相連接于一接點，當(dāng)兩個活動件固定于第一固定件與第二固定件之間且接頭與槽車相連接時，兩個活動件與第一固定件及第二固定件形成一密封體，氣體測漏儀根據(jù)密封體中是否有氣體來判斷槽車與銜接管之間是否漏氣。本發(fā)明提出的氣體輸送裝置，可基于氣體測漏儀判斷漏氣情形，進而可避免安全隱患。
文檔編號H01L21/67GK102354672SQ20111028034
公開日2012年2月15日 申請日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月7日
發(fā)明者林嘉德, 林家弘, 江岱叡, 石明弘, 簡文宏 申請人:友達光電股份有限公司