專利名稱：螢光顯示管及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在具備內(nèi)設(shè)的控制電極的螢光顯示管的燒結(jié)中，可容許控制電極的熱膨脹，抑制燒結(jié)后的控制電極的變形，并將張力賦予至控制電極的螢光顯示管及其制造方法。
背景技術(shù)：
螢光顯示管為自發(fā)光的顯示裝置，由于辨視性高且耐環(huán)境性佳，所以廣泛使用在微波爐等家電產(chǎn)品、音響等AV產(chǎn)品、汽車音響等車用顯示裝置等領(lǐng)域。如圖3所示，亦是真空管的一種的一般的螢光顯示管1具有由玻璃襯底等所構(gòu)成的陽極襯底2、以及由前面板 3a與側(cè)面板北所構(gòu)成的蓋構(gòu)件3，于陽極襯底2的內(nèi)面，積層有配線導體4 (陽極配線4a)、 絕緣層5、陽極導體層6、螢光體層7，于螢光體層7的上方，配設(shè)有具有網(wǎng)目狀開口 8a的控制電極8、以及端部被支撐于陰極支撐體10的絲狀陰極9，通過在該狀態(tài)下以低熔點玻璃11 將陽極襯底2與蓋構(gòu)件3接著而密封，以構(gòu)成氣密容器。此外，為了于氣密容器內(nèi)維持真空， 配設(shè)有未圖示的吸附材。螢光顯示管1通過控制電極8來控制從陰極9所射出的電子，并選擇性地撞擊于陽極導體層6上的螢光體層7而得到期望顯示。圖3所示的例子，為通過后述的內(nèi)設(shè)方式組裝控制電極8。此外，陽極導體層6經(jīng)由形成于絕緣層5上的通孔fe與陽極配線如連接。螢光顯示管，在將控制電極組裝于氣密容器時，可采用兩種方式。第一方式，為將陰極、陰極支撐體、控制電極、引線集中在單一的框狀框架構(gòu)件，以陽極襯底與蓋構(gòu)件夾持， 并于密封時固定，然后去除框架構(gòu)件的不必要部分的方式(線架支撐方式)。第二方式，為以單一的框架構(gòu)件來連結(jié)陰極9、陰極支撐體10、外部引出引線12，僅另外形成控制電極8， 并分別固定在陽極襯底2上的方式(內(nèi)設(shè)方式)。內(nèi)設(shè)方式中，配線導體4，除了陽極配線如之外，亦具備形成于陽極襯底2上且連接控制電極8與外部引出引線12間的柵(grid) 配線4b (參照圖3)。上述兩種方式中，由于內(nèi)設(shè)方式以控制電極8為個別零件來形成并個別裝設(shè)，因此不須設(shè)置用以保持控制電極8的構(gòu)件，且具有可自由地設(shè)計外部引出引線12的位置等優(yōu)點。因此，亦適用在圖形顯示的螢光顯示管，而有排列多個細長形狀的控制電極來配設(shè)的構(gòu)成等。此外，螢光顯示管1中，對控制電極8通電時，由于該控制電極8加熱，因此需以使控制電極8不會因熱膨脹而松弛的方式充分地賦予張力來配設(shè)。將張力賦予至控制電極8的方法，一般是應用控制電極8與陽極襯底2的熱膨脹系數(shù)差。通常，陽極襯底2使用鈉鈣玻璃，如圖4所示，其熱膨脹系數(shù)為90X 10_7°C，相對于此，控制電極8所使用的 SUS430(Crl7%、Mnl%、其余為Fe)為110X10_7,C。亦即，控制電極8的熱膨脹系數(shù)較陽極襯底2的熱膨脹系數(shù)大，故當以較高溫度將控制電極8固著于陽極襯底2時，在將溫度降低至常溫的過程中，控制電極8相對于陽極襯底2將會大幅收縮，而能夠?qū)埩x予至控制電極8。
接著參照圖5及圖6，說明在螢光顯示管1 (IB)中，將控制電極8固定在陽極襯底 2(圖5及圖6所示的例子中為陽極襯底2上的絕緣層5)的例子。如圖5及圖6所示，將多個控制電極8固定在絕緣層5時，首先以與陽極襯底2的配線導體4 (柵配線4b)形成導通者為主要目的來設(shè)置第一固著材21，接著將用以固定控制電極8的第二固著材22，以覆蓋第一固著材21的方式來設(shè)置。第一固著材21，是以銀粉與熔融溫度約360°C的低熔點玻璃為主成分，并與有機溶劑混合而形成膏狀，于絕緣層5上形成預定圖案后，將控制電極8載置于其上方后加熱(燒結(jié))至約500°C，去除有機溶劑并使低熔點玻璃熔融后冷卻，藉此暫時固定控制電極8。然后將由在400至450°C形成結(jié)晶化的結(jié)晶化玻璃與有機溶劑所構(gòu)成的第二固著材22，以覆蓋第一固著材21的方式來涂布，再次加熱(燒結(jié))至約500°C，使第二固著材22的玻璃成分結(jié)晶化，藉此將控制電極8固定在絕緣層5上。低熔點玻璃，乃具有當達到熔融溫度以上的溫度時開始熔融，降低至熔融溫度以下的溫度時固化的特征。相對于此，結(jié)晶化玻璃，具有當達到預定溫度以上時固化，一旦固化后，不論是提高溫度或降低溫度，均不會再熔融的特征。本發(fā)明的發(fā)明者們，起初考量到第一固著材21，在低熔點玻璃從約360°C開始熔融至第二固著材(結(jié)晶化玻璃)22形成結(jié)晶化的400至450°C為止，控制電極8相對于絕緣層5處于可移動的狀態(tài)。亦即，控制電極8固著于絕緣層5的溫度，為第二固著材22的結(jié)晶化溫度，在400°C以上的高溫下將控制電極8固著于絕緣層5，然后將溫度降低至常溫，使控制電極8相對于陽極襯底2更進一步收縮，而將張力充分地賦予至控制電極8。惟實際上如圖7(a)所示，在第二固著材22，亦即結(jié)晶化玻璃的燒結(jié)工序中，于結(jié)晶化玻璃的固化溫度下，控制電極8相較于陽極襯底2大幅地變形，因而在控制電極8產(chǎn)生變形的狀態(tài)下通過結(jié)晶化玻璃22來固定控制電極8的高度構(gòu)造，結(jié)果如圖7 (b)所示，乃成為與最初配置控制電極8時為不同高度的立體構(gòu)造而被固定。因此，例如在排列配設(shè)控制電極8時(參照圖5)，相鄰接的控制電極8的高度構(gòu)造會產(chǎn)生差異，結(jié)果使產(chǎn)品的顯示亮度產(chǎn)生差異而形成顯示不均。又隨著螢光顯示管的顯示細微化，控制電極8亦有直徑變細且長度變長的傾向。其中，亦有縱寬2mm、長度40mm，并且具有網(wǎng)目狀開口 8a者。因此，在此之前雖認為不成問題，但如上所述，在控制電極8產(chǎn)生變形的狀態(tài)下被固定的不良情形仍頻繁地產(chǎn)生，不良率甚至到達90%而無法達到商品化。圖7 (a)顯示，第二固著材22的燒結(jié)(加熱至400 至500°C )中的狀態(tài)，圖7(b)顯示將溫度降低至常溫的狀態(tài)。此外，圖5至圖7中，省略積層在絕緣層5上的陽極導體層6和螢光體層7等。此外，下述專利文獻1中，揭示一種抑制如圖7所示的控制電極的變形的控制電極的固定構(gòu)造及方法。根據(jù)其中所揭示的固定構(gòu)造及方法，固定控制電極的兩端的固著材，一端側(cè)使用導電膏，另一端側(cè)使用低熔點玻璃膏，藉此于燒結(jié)中使低熔點玻璃熔融，使控制電極的另一端側(cè)相對于陽極襯底移動，如此可得到容許控制電極的伸長而抑制變形的效果。(先前技術(shù)文獻)(專利文獻)(專利文獻1)日本特開2003-31167號公報側(cè)向雙擴散晶體管(Lateral Double-Diffused (LD) transistor)已于高電壓應用中獲得廣泛采用。對于高效能的側(cè)向雙擴散晶體管而言，當晶體管導通時，期望具有低漏極至源極(drain-to-source)導通電阻on-resistance (RdsJ以最小化其功率散逸，并且期望具有高崩潰電壓(breakdown voltage)以最大化其電壓耐受力(voltage capability)。 為了達到低漏極至源極導通電阻，該高側(cè)向雙擴散晶體管的溝道應盡可能越短越好。當制程技術(shù)演進至深次微米(例如超過0. 35 μ m)非常大型集成電路(VLSI)時， 期望將高壓(HV)側(cè)向雙擴散晶體管與低壓(LV)晶體管制造于相同襯底上。一般而言，用于形成如互補式金屬氧化物半導體(CMOS)的低壓器件的制程是用于形成高壓器件。然而， 習知的CMOS制程并不相容于形成高壓晶體管。舉例而言，制程覆蓋問題使得用以定義該溝道長度的高壓溝道井難以對準(alignment)。制程覆蓋中的制程變異需要很大的制程窗口 (process window)。如此一來，使得形成短溝道長度以達到低漏極至源極導通電阻(RdsJ 變得困難。再者，所用的薄柵極電極妨礙本身作為硬式掩膜(hard mask)，使得形成該溝道井的制程控制進一步惡化。由先前的討論可知，本發(fā)明期望提供形成有短溝道長度的可靠高壓器件，以具有低漏極至源極導通電阻(Rds。n)。
發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所欲解決的問題)然而，上述專利文獻1所揭示的控制電極的固定構(gòu)造及方法中，由于如一端側(cè)使用導電膏且另一端側(cè)使用低熔點玻璃膏的以不同材質(zhì)的固著材來固定控制電極的兩端，所以須通過不同工序來形成此等固著材。因此，固著材的形成工序變得繁瑣，制程上較為不利。此外，上述專利文獻1中，與上述(圖5至圖7所示)例不同，僅以第一固著材來固定控制電極而未使用第二固著材，因此并未考量到第二固著材(例如與第二固著材的固化溫度的配合)等。因此，本發(fā)明是鑒于上述情形而研創(chuàng)出的發(fā)明，其目的在于提供一種尤其在第二固著材的燒結(jié)中，可容許控制電極的兩端中的未與配線導體形成電性連接的一側(cè)的控制電極產(chǎn)生熱膨脹而移動，藉此抑制冷卻至常溫后的控制電極的變形而將張力賦予至控制電極，于商品化時可防止顯示不均等而提升良率，并且可容易制造出的螢光顯示管及其制造方法。(用以解決問題的手段)接著參照對應于實施形態(tài)的圖式來說明用以解決上述問題的手段。本發(fā)明的權(quán)利要求1所述的螢光顯示管，為具備使用具有預定的熔融及固化溫度的第一固著材21、與具有較該第一固著材21的前述熔融溫度更高溫的固化溫度的第二固著材22，而固定在陽極襯底2上所形成的絕緣層5上的內(nèi)設(shè)的控制電極8 ；通過前述第一固著材21將前述控制電極8的一端部31a與配線導體4(柵配線 4b)電性連接，并通過前述第一固著材21與前述第二固著材22將前述控制電極8的一端部 31a固著于前述絕緣層5，通過前述第一固著材21與前述第二固著材22將前述控制電極8 的另一端部31b固著于前述絕緣層5而成的螢光顯示管1 (IA)，于前述控制電極8的前述另一端部31b側(cè)的前述第一固著材21與前述絕緣層5 間，形成有在前述第二固著材22的固化溫度以下的溫度時具有流動性的滑動層23。于絕緣層5的控制電極8的一端部31a側(cè)設(shè)置有通孔fe，第一固著材21經(jīng)由通孔 5a將控制電極8與配線導體4電性連接。
權(quán)利要求2所述的螢光顯示管的特征，在于將前述滑動層23形成為至少使前述第一固著材21不會突出的形狀。例如在排列配設(shè)多個控制電極8時，可將滑動層23形成為沿著控制電極8的排列方向呈斑塊狀、線狀、梯狀等形狀的圖案。此外，滑動層23較佳形成為在控制電極8的熱膨脹方向上具有寬?？臻g，而能夠容許控制電極8的另一端部31b的移動的形狀。權(quán)利要求3所述的螢光顯示管的特征，在于前述第一固著材21使用含有銀粉的低熔點玻璃。例如在排列配設(shè)多個控制電極8時，可將第一固著材21形成為沿著控制電極8的排列方向呈斑塊狀、線狀、梯狀等形狀的圖案。此外，同樣的，可將第二固著材22形成為沿著控制電極8的排列方向呈斑塊狀、線狀、梯狀等形狀的圖案。權(quán)利要求4所述的螢光顯示管的制造方法，為上述權(quán)利要求1或2或3所述的螢光顯示管I(IA)的制造方法，其特征在于，將前述滑動層23形成于前述絕緣層5上的預定位置后，將前述第一固著材21涂布于前述絕緣層5上的其他位置及前述滑動層23上，將前述控制電極8的前述一端部31a 附著于前述絕緣層5上的前述第一固著材21，并將前述控制電極8的前述另一端部31b附著于前述滑動層23上的前述第一固著材21后，進行干燥或燒結(jié)，然后以覆蓋前述第一固著材21的方式涂布前述第二固著材22后再進行燒結(jié)。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明的螢光顯示管，在控制電極的兩端部中的未與配線導體形成電性連接的另一端部側(cè)上，于第一固著材與絕緣層間形成滑動層，且滑動層在第二固著材的固化溫度以下的溫度時具有流動性，藉此，在第二固著材的燒結(jié)中，控制電極的另一端部可在熱膨脹方向上移動，使燒結(jié)中的控制電極不會產(chǎn)生松弛。通過在燒結(jié)中使控制電極不會松弛，而在將溫度降低至常溫后，能夠?qū)⒊浞值膹埩x予至控制電極。藉此可抑制控制電極的變形， 于商品化時可防止顯示不均。因此可減少不良品而提升良率。此外，由于將滑動層形成為至少使第一固著材不會突出的形狀，所以可將第一固著材完全載置于滑動層，于第二固著材的燒結(jié)中，第一固著材固化時可讓控制電極的另一端部移動。此外，當使用含有銀粉的低熔點玻作為第一固著材時，乃具有可得到電連接性的優(yōu)點。此外，于制造方法中，除了將滑動層形成于配置有控制電極的另一端部的一側(cè)上之外，其他可與以往的制造工序相同，所以可容易制造出。本發(fā)明提供一種形成器件的方法。該方法包含設(shè)置制備有主動器件區(qū)域(active device region)的襯底。該主動器件區(qū)域包含柵極堆疊(gate stack)的柵極堆疊層，該柵極堆疊層于柵極介電層上至少包括有柵極電極層。對應于該柵極的第一掩膜設(shè)置于該襯底上。該襯底經(jīng)圖案化，以至少去除部分的未經(jīng)該第一掩膜保護的頂部柵極堆疊層。第二掩膜亦設(shè)置于該襯底上，該第二掩膜具有開口，該開口曝露出一部分該第一掩膜與該頂部柵極堆疊層。溝道井通過注入離子穿透該開口與柵極堆疊層進入該襯底而形成。于另一實施例中，揭露了另一個形成器件的方法。該方法包含設(shè)置制備有主動器件區(qū)域的襯底。該主動器件區(qū)域于該主動器件區(qū)域與柵極堆疊的柵極堆疊層的第一部分中包含有經(jīng)摻雜的漂移井(dopeddrift well)。該柵極堆疊層于該襯底的表面上的柵極介電層上至少包含有柵極電極層。對應于該柵極的第一掩膜設(shè)置于該襯底上。該襯底經(jīng)圖案化， 以至少去除部分的未經(jīng)該第一掩膜保護的頂部柵極堆疊層。第二掩膜亦設(shè)置于該襯底上， 該第二掩膜具有開口，該開口曝露出一部分該第一掩膜與該頂部柵極堆疊層。溝道井通過注入離子穿透該開口與柵極堆疊層進入該襯底而形成。于再一實施例中，提供了一種器件。該器件包含制備有主動器件區(qū)域的襯底。該主動器件區(qū)域包含柵極堆疊，該柵極堆疊于柵極介電層上具有柵極電極層。至少該柵極電極層利用硬式掩膜進行圖案化。該器件亦包含經(jīng)摻雜的溝道井，置于該襯底中，鄰近該柵極的第一邊緣。該柵極的第一邊緣與在該柵極下的溝道井的溝道邊緣部分重迭。該柵極的第一邊緣與該溝道邊緣定義該器件的有效溝道長度。該器件亦包含鄰近該柵極的第二邊緣的經(jīng)摻雜的漂移井。配合參照以下說明書與附加圖式，本發(fā)明上述這些或其他目的與本發(fā)明說明書中所揭露的優(yōu)點與特征將變得清楚明了。再者，可了解到本說明書中所描述的各種實施例的特征并非獨立的，而能夠以各種組合或排列而存在。
圖1顯示本發(fā)明的螢光顯示管中，將控制電極固定在絕緣層上的狀態(tài)的示意側(cè)視圖；圖2(a)至(C)顯示本發(fā)明的螢光顯示管中，滑動層(第一固著材、第二固著材) 的形狀的種種例子的示意俯視圖；圖3顯示一般的螢光顯示管(內(nèi)設(shè)方式)的概略構(gòu)成圖；圖4顯示控制電極與陽極襯底的熱膨脹系數(shù)的關(guān)系的圖表；圖5顯示以往的螢光顯示管中，將控制電極固定在絕緣層上的狀態(tài)的示意俯視圖；圖6顯示以往的螢光顯示管中，將控制電極固定在絕緣層上的狀態(tài)的示意側(cè)視圖；以及圖7(a)顯示以往的螢光顯示管中，燒結(jié)中的控制電極產(chǎn)生變形的狀態(tài)的示意側(cè)視圖，圖7(b)顯示以往的螢光顯示管中，降低至常溫時的控制電極產(chǎn)生變形的狀態(tài)的示意
側(cè)視圖。
主要元件符號說明
UlA螢光顯示管
2陽極襯底
4成為配線導體的柵配線
4a陽極配線
4b柵配線
5絕緣層
5a通孔
8成為控制電極的網(wǎng)目柵
9陰極
10陰極支撐體12外部引出引線21第一固著材22第二固著材23滑動層31a(控制電極的)一端部31b(控制電極的)另一端部。
具體實施例方式以下參照圖式來具體地說明本發(fā)明的實施形態(tài)。首先，說明本實施形態(tài)的螢光顯示管的構(gòu)成。圖1中，圖號I(IA)為螢光顯示管， 2為陽極襯底，4Gb)為配線導體(柵配線)，5為絕緣層，8為控制電極(網(wǎng)目柵)，21為第 一固著材，22為第二固著材，23為滑動層。絕緣層5上，本來載置有陽極導體層6和螢光體 層7等(參照圖3)，但于圖1中省略。如圖1所示，螢光顯示管lA，具備內(nèi)設(shè)的控制電極8，該控制電極8被固定在形成 于由玻璃等絕緣性襯底所構(gòu)成的陽極襯底2上的絕緣層5上。成為控制電極的網(wǎng)目柵8，是 由具有導電性的金屬等所構(gòu)成，兩端部31a、31b被彎曲為大致呈n字狀而形成。此外，兩端 部31a、31b的前端32a、32b分別朝外側(cè)更進一歩彎曲。網(wǎng)目柵8，一般是形成為長度20mm 以上、寬度IOmm以下，但當中亦有長度40mm以上、寬度2mm以下的細長形狀者，且如圖5所 示，排列配設(shè)在絕緣層5上。于絕緣層5的預定位置上設(shè)置有通孔5a，并且使成為配設(shè)在陽 極襯底2上的配線導體4的由具有導電性的金屬等所構(gòu)成的柵配線4b，從絕緣層5露出。固定在絕緣層5上的網(wǎng)目柵8，該兩端部3la、3Ib中的一端部31a被配置在通孔 如上。于網(wǎng)目柵8的一端部31a的前端3 周圍，設(shè)置具有導電性的第一固著材21，通過 第一固著材21，經(jīng)由通孔fe與柵配線4b電性連接并固著于絕緣層5上。此外，在絕緣層5 上的配置有網(wǎng)目柵8的另一端部31b的位置上，形成有具有絕緣性的滑動層23。于網(wǎng)目柵 8的另一端部31b的前端32b周圍，設(shè)置有第一固著材21，并通過第一固著材21，隔著滑動 層23固著于絕緣層5上。于網(wǎng)目柵8的一端部31a周圍，以覆蓋第一固著材21的方式設(shè)置具有絕緣性的第 ニ固著材22，一端部31a通過第二固著材22固著于絕緣層5上。于網(wǎng)目柵8的另一端部 31b周圍，以覆蓋第一固著材21與滑動層23之方式設(shè)置第二固著材22，另一端部31b通過 第二固著材22固著于絕緣層5上?；瑒訉?3，形成為至少使載置于其上方的第一固著材21不會突出的形狀?；瑒?層23使用低熔點玻璃膏，因此在第二固著材22的燒結(jié)中，在第二固著材22的固化溫度以 下的溫度時具有流動性，此點將于之后說明。此外，第一固著材21使用含有銀粉的低熔點 玻璃膏。再者，第二固著材22使用結(jié)晶化玻璃膏。本發(fā)明的發(fā)明者們，至本發(fā)明為止前，調(diào)查控制電極產(chǎn)生變形而被固定的原因。在 此說明該調(diào)查結(jié)果。本發(fā)明的發(fā)明者們，起初考量到于第二固著材的燒結(jié)中，至第二固著 材到達固化溫度前使第一固著材的低熔點玻璃成分熔融，并以第二固著材作用為用以將控 制電極固定在陽極襯底者。惟重復進行實驗后發(fā)現(xiàn)，第一固著材中所含的銀粉，在約200で時，粒子相互附著，亦即使第一固著材開始固化，而產(chǎn)生阻礙控制電極相對于陽極襯底的動作的作用。因此，在燒結(jié)中提升溫度的過程中，變得無法吸收起因于陽極襯底與控制電極的熱膨脹系數(shù)差(參照圖4)所造成的控制電極的伸長，而導致控制電極的變形。當?shù)诙讨脑谠摖顟B(tài)下固化時，控制電極亦在變形的狀態(tài)下固化，于商品化時此情形乃成為顯示不均的原因。因此，如上述構(gòu)成，于控制電極8的另一端部31b側(cè)的第一固著材21與陽極襯底 2(絕緣層幻間，設(shè)置由低熔點玻璃所構(gòu)成的滑動層23。如上所述，滑動層23形成較第一固著材21為大。此外，第二固著材22以覆蓋第一固著材21與滑動層23的方式形成。滑動層23所采用的低熔點玻璃，約在360°C時熔融，然后提高溫度至第二固著材22的結(jié)晶化玻璃固化的400至450°C為止，滑動層23持續(xù)熔融。接著說明本實施形態(tài)的螢光顯示管IA的制造方法。首先在陽極襯底2上形成含有配線導體4(柵配線4b)的配線圖案。接著在陽極襯底2上積層絕緣層5、陽極導體層6 及螢光體層7(參照圖幻而形成。然后通過印刷，將滑動層23形成于絕緣層5上的預定位置。此時，如圖2所示，滑動層23沿著網(wǎng)目柵8的排列方向形成呈斑塊狀、線狀、梯狀等形狀的圖案。圖2中，顯示(a)斑塊狀、(b)線狀、(c)梯狀的圖案形狀。形成滑動層23后，通過印刷，將第一固著材21涂布于絕緣層5的通孔fe上及滑動層23上。此時，第一固著材21，與滑動層23相同，沿著網(wǎng)目柵8的排列方向，涂布為如上述斑塊狀等的使相鄰的網(wǎng)目柵8彼此可呈電性分離的形狀。然后，使網(wǎng)目柵8的一端部 31a附著(插入)于通孔fe上所涂布的第一固著材21，并使網(wǎng)目柵8的另一端部31b附著 (插入)于涂布在滑動層23上的第一固著材21，在該狀態(tài)下加熱(燒結(jié))或干燥，而將網(wǎng)目柵8的兩端部31a、31b暫時固定在絕緣層5上。以第一固著材21暫時固定網(wǎng)目柵8后，通過印刷，以覆蓋一端部31a的第一固著材21的方式涂布第二固著材22，并以覆蓋另一端部31b的第一固著材21與滑動層23的方式涂布第二固著材22。此時，第二固著材22，與滑動層23或第一固著材21相同，沿著網(wǎng)目柵8的排列方向涂布為斑塊狀、線狀、梯狀等形狀(以可將張力賦予至網(wǎng)目柵8的方式，具有與網(wǎng)目柵8的兩外側(cè)周邊的陽極襯底2上的絕緣層5接觸的形狀)。第二固著材22，形成為在滑動層23的周邊部分(至少在與延伸設(shè)置有網(wǎng)目柵8的方向為相反方向的外側(cè)部分)的絕緣層5上具有突出部分的形狀。例如，為圖2(a)時，第二固著材22構(gòu)成為在滑動層23的周邊部分的全體或外側(cè)部分的絕緣層5上具有突出部分的形狀。此外，為圖2(b) 時，第二固著材22構(gòu)成為在滑動層23的外側(cè)部分的絕緣層5上具有突出部分的形狀。再者，為圖2 (c)時，第二固著材22構(gòu)成為在滑動層23的外側(cè)部分及/或滑動層23的絕緣層 5所暴露出的開口 33部分的絕緣層5上具有突出部分的形狀。涂布第二固著材22后，加熱 (燒結(jié))至約500°C，燒結(jié)后將溫度降低至常溫為止，而完成網(wǎng)目柵8的固定。在第二固著材22的燒結(jié)中，從常溫提高溫度時，在400至450°C時，屬于第二固著材22的主成分的結(jié)晶化玻璃固化，但在加熱中途，溫度上升至約200°C時，第一固著材21所含有的銀粉附著，使第一固著材21開始固化。當溫度上升至約360°C時，滑動層23的低熔點玻璃熔融，然后上升至約375°C時，第二固著材22熔融(軟化)，因此網(wǎng)目柵8的另一端部31b變得可移動。然后使溫度上升，至第二固著材22的固化溫度為止，滑動層23的低熔點玻璃持續(xù)熔融。藉此，網(wǎng)目柵8至第二固著材22的固化溫度為止不會變形，并通過熱膨脹而伸長。當溫度上升至400至450°C時，網(wǎng)目柵8的另一端部31b通過與陽極襯底2的熱膨脹系數(shù)差而移動達網(wǎng)目柵8所伸長的量，在網(wǎng)目柵8未產(chǎn)生松弛的狀態(tài)下，亦即在高度方向上未變形且保持常溫時的狀態(tài)的狀態(tài)下，第二固著材22固化。然后，當降低溫度時，至滑動層23的低熔點玻璃的熔融溫度(約360°C )為止，滑動層23的該低熔點玻璃雖持續(xù)熔融， 但通過固化的第二固著材22，使網(wǎng)目柵8的另一端部31b無法移動，而維持隔著絕緣層5被固定在陽極襯底2的狀態(tài)(第二固著材22固化時的固定狀態(tài))。當溫度降低至常溫時，通過第二固著材22及對應于與常溫時的溫度差的陽極襯底2的熱膨脹系數(shù)差，而將張力賦予至網(wǎng)目柵8。惟僅通過第一固著材21時，固著強度不足，可能使網(wǎng)目柵8的一端部31a浮起而脫落。為了防止該情形，不僅在另一端部31b，較佳亦在一端部31a側(cè)設(shè)置第二固著材 22。根據(jù)上述實施形態(tài)，在網(wǎng)目柵8的兩端部31a、31b中的未與柵配線4b形成電性連接的另一端部31b側(cè)上，于第一固著材21與絕緣層5間形成滑動層23，且滑動層23在第二固著材22成為結(jié)晶化玻璃的固化溫度GOO至450°C )以下的溫度時具有流動性，藉此，在第二固著材22的燒結(jié)中，網(wǎng)目柵8的另一端部31b可在熱膨脹方向上移動，使燒結(jié)中的網(wǎng)目柵8不會產(chǎn)生松弛。此外，由于燒結(jié)中網(wǎng)目柵8不會產(chǎn)生松弛，在將溫度降低至常溫后， 能夠?qū)⒊浞值膹埩x予至網(wǎng)目柵8。藉此可抑制網(wǎng)目柵8的變形，于商品化時可防止顯示不均。此外，由于將滑動層23形成為至少使第一固著材23不會突出的形狀，所以可將第一固著材21完全載置于滑動層23，在第二固著材22的燒結(jié)中，第一固著材21固化時可讓網(wǎng)目柵8的另一端部31b移動。再者，當使用含有銀粉的低熔點玻璃作為第一固著材21時，乃具有可得到電連接性的優(yōu)點。此外，在排列配設(shè)多個網(wǎng)目柵8時，可將滑動層23、第一固著材21及第二固著材 22形成為沿著網(wǎng)目柵8的排列方向呈斑塊狀、線狀、梯狀等形狀的圖案，藉此，可一次將滑動層23、第一固著材21及第二固著材22印刷，就制程上亦為有利，而容易制造出。再者，于制造方法中，除了將滑動層23形成于配置有網(wǎng)目柵8的另一端部31b的位置上之外，其他可與以往的制造工序相同，所以可容易制造出。上述實施形態(tài)中，如圖1所示，是以第一固著材21來覆蓋網(wǎng)目柵8的一端部 31a(包含前端32a)的一部分，來確實將網(wǎng)目柵8暫時固定在陽極襯底2上，但若可將網(wǎng)目柵8與柵配線4b電性連接，且隔著絕緣層5暫時固定在陽極襯底2上，則亦可不需以第一固著材21完全覆蓋前端3 而使一部分暴露出。再者，亦不一定須以第一固著材21覆蓋一端部32a。此情形對于網(wǎng)目柵8的另一端部31b (及該前端32b)亦相同。此外，上述實施形態(tài)中，第二固著材22，從絕緣層5經(jīng)由第一固著材21所覆蓋的一端部31a(包含前端32a)，連續(xù)地延伸存在(完全被覆)至包含具有網(wǎng)目柵8的網(wǎng)目狀開口 8a(參照圖幻的部分的面。同樣的，第二固著材22，從絕緣層5經(jīng)由滑動層23、第一固著材21所覆蓋的另一端部31b (包含前端32b)，連續(xù)地延伸存在(完全被覆)至包含具有網(wǎng)目柵8的網(wǎng)目狀開口 8a的部分的面。惟若隔著絕緣層5可將網(wǎng)目柵8固定在陽極襯底2上，且在第二固著材22固化后(從固化溫度降低溫度時)可通過第二固著材22將張力賦予至網(wǎng)目柵8，則不需以第二固著材22完全地被覆。亦即，只需覆蓋包含網(wǎng)目柵8的各前端32a、32b的一端部31a及另一端部31b的大部分即可。再者，不一定須以第二固著材 22來覆蓋包含具有網(wǎng)目柵8的網(wǎng)目狀開口 8a的部分的面。
權(quán)利要求
1.一種螢光顯示管，其特征在于具備使用具有預定的熔融及固化溫度的第一固著材、與具有較該第一固著材的前述熔融溫度為高溫的固化溫度的第二固著材，而被固定在陽極襯底上所形成的絕緣層上的內(nèi)設(shè)的控制電極；通過前述第一固著材將前述控制電極的一端部與配線導體電性連接，并通過前述第一固著材與前述第二固著材將前述控制電極的一端部固著于前述絕緣層，通過前述第一固著材與前述第二固著材將前述控制電極的另一端部固著于前述絕緣層而成，于前述控制電極的前述另一端部側(cè)的前述第一固著材與前述絕緣層間，形成有在前述第二固著材的固化溫度以下的溫度時具有流動性的滑動層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的螢光顯示管，其特征在于，將前述滑動層形成為至少使前述第一固著材不會突出的形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的螢光顯示管，其特征在于，前述第一固著材使用含有銀粉的低熔點玻璃。
4.一種螢光顯示管的制造方法，其用于制造權(quán)利要求1或2或3所述的螢光顯示管，其特征在于，將前述滑動層形成于前述絕緣層上的預定位置后，將前述第一固著材涂布于前述絕緣層上的其他位置及前述滑動層上；將前述控制電極的前述一端部附著于前述絕緣層上的前述第一固著材，并將前述控制電極的前述另一端部附著于前述滑動層上的前述第一固著材后進行干燥或燒結(jié)；然后，以覆蓋前述第一固著材的方式涂布前述第二固著材后再進行燒結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明提供可抑制燒結(jié)后的控制電極的變形，并將張力賦予至控制電極，防止顯示不均的產(chǎn)生而提升良率，并可容易制造的螢光顯示管及其制造方法。螢光顯示管(1A)具備使用具有預定的熔融及固化溫度的第一固著材(21)、與具有高于第一固著材的熔融溫度的固化溫度的第二固著材(22)，而被固定在陽極襯底(2)的絕緣層(5)上的內(nèi)設(shè)的控制電極(8)；將控制電極的一端部(31a)通過第一固著材與柵配線(4b)電性連接，并通過第一固著材與第二固著材固著于絕緣層，通過第一固著材與第二固著材將控制電極的另一端部(31b)固著于絕緣層而成，于控制電極的另一端部側(cè)的第一固著材與絕緣層間，形成在第二固著材的固化溫度以下的溫度時具流動性的滑動層(23)。
文檔編號H01L21/77GK102446950SQ201110304959
公開日2012年5月9日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者御園生敏行, 森元榮二, 武藤茂雄, 猿田忠男 申請人:雙葉電子工業(yè)株式會社