專利名稱：基板卸載裝置和具有它的pecvd 設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種基板卸載裝置和具有該基板卸載裝置的PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)設備。
背景技術：
傳統(tǒng)的PECVD設備的基板卸載裝置中，料盒固定在絲杠上，機械手在取片位置從基板傳送帶上取一次基板(例如太陽能電池片)后運動到卸片位置將基板放到料盒中，反復取放后在基板裝滿料盒后絲杠下降到低位，然后人工將料盒取走，然而換上空料盒后絲杠升到高位繼續(xù)裝片。另一種傳統(tǒng)的PECVD設備的基板卸載裝置中，料盒托盤連同空料盒通過傳送帶傳送到升降臺處，料盒托盤上升，同時基板從基板傳送帶處傳送到機械手處，機械手移動到達升降臺處將基板放到料盒中，機械手再縮回取第二片基板，如此反復。待料盒裝滿后，料盒通過絲杠下降到低位，料盒傳出，人工將滿料盒取走，絲杠上升，空料盒再次傳到升降臺處，進而繼續(xù)取片。上述傳統(tǒng)的基板卸載裝置，機械手要完成從基板傳送帶取片至升降臺放片的過程，機械手需要往復運動并且料盒需要不斷地升降，因此工作效率比低。此外，傳統(tǒng)的基板卸載裝置利用了機械手和升降絲杠，需要多段傳送帶和相應的驅動電機，絲杠升降也需要伺服電極。檢測料盒的傳感器多，控制模塊多，因此結構復雜，控制困難，操作復雜，成本高。

發(fā)明內容
本發(fā)明旨在至少解決上述技術問題之一。為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種基板卸載裝置，該基板卸載裝置結構簡單，工作效率高，成本低。本發(fā)明的另一目 的在于提出一種具有上述基板卸載裝置的PECVD設備。根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的基板卸載裝置包括第一傳送帶，所述第一傳送帶水平設置，用于將基板從該第一傳送帶的第一端傳送到該第一傳送帶的第二端；第二傳送帶，所述第二傳送帶的第一端與所述第一傳送帶的第二端鄰近且等高以便傳送到所述第一傳送帶的第二端的基板移動到所述第二傳送帶的第一端，所述第二傳送帶的第二端在遠離所述第一傳送帶的第二端的方向上向下傾斜地延伸；和料盒，所述料盒鄰近所述第二傳送帶的第二端設置，用于接納傳送到所述第二傳送帶的第二端的基板。根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置，通過設置有水平放置的第一傳送帶和第一端與第一傳送帶等高且傾斜設置的第二傳送帶，此時基板經(jīng)過第一傳送帶和第二傳送帶，傳到第二傳送帶的第二端時靠第二傳送帶的向前推力和自身重力落到料盒中，省去了傳統(tǒng)的機械手的取基板的過程和傳統(tǒng)的伺服電機帶動絲桿高低位上下運動，從而不會有過載現(xiàn)象產生，大大提高了工作效率，且結構簡單，便于安裝及日常維護，成本低。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述料盒具有底壁、后壁、左側壁和右側壁，且所述料盒的頂面和面向所述第二傳送帶的第二端的前面敞開，所述料盒的底壁上設有凹槽，所述凹槽從所述底壁的前沿朝向所述底壁的后沿延伸且所述凹槽的前端敞開。根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置，基板從第二傳送帶的第二端落到料盒中時，料盒易于接收并防止基板掉落。通過設置凹槽，在料盒裝滿后可便于人工將基板取走。 可選地，所述凹槽為U形，更便于人工取走基板。根據(jù)本發(fā)明的進一步實施例，所述基板卸載裝置還包括第一傳感器，所述第一傳感器鄰近所述第二傳送帶的第二端設置，用于檢測從所述第二傳送帶的第二端移動到所述料盒內的基板數(shù)量。根據(jù)本發(fā)明的更進一步實施例，所述基板卸載裝置還包括第二傳感器，所述第二傳感器設在所述第一傳送帶的第二端與所述第二傳送帶的第一端之間，用于檢測從所述第一傳送帶的第二端移動到所述第二傳送帶的第一端上的基板數(shù)量。通過設置第一傳感器和第二傳感器，可進一步保證對傳送的基板的計數(shù)精確。具體地，所述第一傳感器與驅動所述第一傳送帶的第一驅動電機和驅動所述第二傳送帶的第二驅動電機相連以便在所述第一傳感器檢測到的基板數(shù)量達到裝滿所述料盒的預定值時停止所述第一和第二傳送帶以防止出現(xiàn)過載現(xiàn)象。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述基板卸載裝置還包括指示燈，所述指示燈與所述第一傳感器相連以便在所述第一傳感器檢測到的基板數(shù)量達到裝滿所述料盒的預定值時所述指示燈閃爍以提醒操作人員換上空的料盒使裝置更人性化。根據(jù)本發(fā)明第二方面實施例的一種PECVD設備，包括根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的基板卸載裝置。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置的平面示意圖；圖2是圖1中所不的基板卸載裝置的俯視不意圖；圖3是圖1中所示的基板卸載裝置的料盒的俯視圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。
在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義。下面參考圖1-圖3描述根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的基板卸載裝置100，該基板卸載裝置100用于卸載工藝完成后的基板例如電池片。根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置100，如圖1所示，包括第一傳送帶1、第二傳送帶2和料盒3，其中，第一傳送帶I水平設置且由第一驅動電機(圖未示出)驅動，用于將基板110從第一傳送帶I的第一端10 (例如圖1中所示的右端)傳送到第一傳送帶I的第二端11 (例如圖1中所示的左端)。第二傳送帶2由第二驅動電機(圖未示出)驅動。第二傳送帶2的第一端20與第一傳送帶I的第二端11鄰近且等高以便傳送到第一傳送帶I的第二端11的基板110可移動到第二傳送帶2的第一端20，第二傳送帶2的第二端21在遠離第一傳送帶I的第二端11的方向上向下傾斜地延伸，例如圖1中從右向左逐漸向下傾斜延伸，以便將基板110從第一端20通過第二傳送帶2的推力及基板110自身的重力二者的共同作用而運動到第二端21。料盒3鄰近第二傳送帶2的第二端21設置，用于接納傳送到第二傳送帶2的第二端21的基板110，在本發(fā)明的一個示例中，料盒3的第一端(如圖1中所示右端)與第二傳送帶2的第二端21鄰近且等高，料盒3的第二端(如圖1中所示的左端)向下傾斜?？蛇x地，料盒3可采用光滑摩擦力小的材質制成，例如光滑金屬板，以便于基板110下滑。工藝完成后的基板110被放置到第一傳送帶I的第一端10處，第一傳送帶I運動以將基板110傳送到第一傳送帶I的第二端11處并從第一傳送帶I的第二端11處繼續(xù)運動以移動到第二傳送帶2的第一端20，此時通過第二傳送帶的推力及基板110自身重力的共同作用，基板110運動到第二傳送帶2的第二端21并繼續(xù)向前落入到料盒3中，由此則完成了一次基板110的運送。

根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置100，通過水平放置的第一傳送帶I以及第一端20與第一傳送帶I等高且傾斜設置的第二傳送帶2來對基板110進行傳送，省去了傳統(tǒng)機械手的取基板110的過程和傳統(tǒng)的伺服電機帶動絲桿高低位上下運動，從而不會出現(xiàn)過載現(xiàn)象且可減少料盒3底部的磨損，大大提高了工作效率。另外，結構簡單，便于安裝及日常維護且成本低。如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，料盒3具有底壁30、后壁31、左側壁32和右側壁33，料盒3的頂面和面向第二傳送帶2的第二端21的前面敞開，由此基板110從第二傳送帶2的第二端21落到料盒3中時，料盒3易于接收并防止基板110掉落。料盒3的底壁30上設有凹槽34，凹槽34從底壁30的前沿朝向底壁30的后沿延伸且凹槽34的前端敞開。通過設置凹槽34，在料盒3裝滿后可便于人工將基板110取走?？蛇x地，如圖3所示，凹槽34為U形,更便于人工取走基板110。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，基板卸載裝置100進一步包括第一傳感器4,第一傳感器4鄰近第二傳送帶2的第二端21設置，用于檢測從第二傳送帶2的第二端21移動到料盒3內的基板110的數(shù)量。第一傳感器4與驅動第一傳送帶I的第一驅動電機(圖未不出)和驅動第二傳送帶2的第二驅動電機(圖未示出)相連以便在第一傳感器4檢測到的基板110的數(shù)量達到裝滿料盒3的預定值時停止第一傳送帶I和第二傳送帶2，此時操作人員把裝滿的料盒3取走換上空的料盒3以防止出現(xiàn)過載現(xiàn)象?？蛇x地，基板卸載裝置100還可包括第二傳感器5，第二傳感器5設在第一傳送帶I的第二端11與第二傳送帶2的第一端20之間，用于檢測從第一傳送帶I的第二端11移動到第二傳送帶2的第一端20上的基板110的數(shù)量。通過設置第一傳感器4和第二傳感器5,可進一步保證對傳送的基板110的計數(shù)精確。在本發(fā)明的一個實施例中，基板卸載裝置100還包括指示燈(圖未示出)，指示燈與第一傳感器4相連以便在第一傳感器4檢測到的基板110的數(shù)量達到裝滿料盒3的預定值時指示燈閃爍以提醒操作人員換上空的料盒3使裝置更人性化。下面參考圖1和圖2描述根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置100的基板卸載過程。首先，工藝完成后的基板110被放置在第一傳送帶I的第一端10處，此時第一驅動電機帶動第一傳送帶I向第二端11所在方向移動，從而基板110從第一傳送帶I的第一端10被傳送到第二端11處并繼續(xù)移動到被第二傳送帶2的第一端20接收，此時第二傳感器5對傳送到第二傳送帶2上的基板110進行計數(shù)。第二傳送帶2由第二驅動電機控制運動，帶動基板110從第二傳送帶2的第一端20傳送到第二端21處，通過第二傳送帶的推力及自身重力的共同作用，基板110運動到第二傳送帶2的第二端21并繼續(xù)向前落入到料盒3中，此時第一傳感器4完成一次計數(shù)。當?shù)谝粋鞲衅?檢測到的基板110的數(shù)量達到裝滿料盒3的預定值時，在程序中設定反饋信號給第一驅動電機和第二驅動電機，由此控制第一驅動電機和第二驅動電機停止第一傳送帶I和第二傳送帶2，同時指示燈亮，提醒操作人員把裝滿的料盒3取走換上空料盒。然后控制第一傳送帶I 和第二傳送帶2繼續(xù)傳動，由此整個過程循環(huán)完成基板110的卸載。根據(jù)本發(fā)明第二方面實施例的PECVD設備，包括根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的基板卸載裝置100。根據(jù)本發(fā)明實施例的PECVD設備的其他構成對于本領域的技術人員都是已知的，這里不再詳細描述。根據(jù)本發(fā)明實施例的PECVD設備，基板的裝卸簡單方面，從而提聞了效率。在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，本領域的普通技術人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權利要求及其等同物限定。
權利要求
1.一種基板卸載裝置，其特征在于，包括 第一傳送帶，所述第一傳送帶水平設置，用于將基板從該第一傳送帶的第一端傳送到該第一傳送帶的第二端； 第二傳送帶，所述第二傳送帶的第一端與所述第一傳送帶的第二端鄰近且等高以便傳送到所述第一傳送帶的第二端的基板移動到所述第二傳送帶的第一端，所述第二傳送帶的第二端在遠離所述第一傳送帶的第二端的方向上向下傾斜地延伸；和 料盒，所述料盒鄰近所述第二傳送帶的第二端設置，用于接納傳送到所述第二傳送帶的第二端的基板。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板卸載裝置，其特征在于，所述料盒具有底壁、后壁、左側壁和右側壁，且所述料盒的頂面和面向所述第二傳送帶的第二端的前面敞開，所述料盒的底壁上設有凹槽，所述凹槽從所述底壁的前沿朝向所述底壁的后沿延伸且所述凹槽的前端敞開。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板卸載裝置，其特征在于，所述凹槽為U形。
4.根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的基板卸載裝置，其特征在于，所述基板卸載裝置，還包括第一傳感器，所述第一傳感器鄰近所述第二傳送帶的第二端設置，用于檢測從所述第二傳送帶的第二端移動到所述料盒內的基板數(shù)量。
5.根據(jù)權利要求4所述的基板卸載裝置，其特征在于，還包括第二傳感器，所述第二傳感器設在所述第一傳送帶的第二端與所述第二傳送帶的第一端之間，用于檢測從所述第一傳送帶的第二端移動到所述第二傳送帶的第一端上的基板數(shù)量。
6.根據(jù)權利要求4所述的基板卸載裝置，其特征在于，所述第一傳感器與驅動所述第一傳送帶的第一驅動電機和驅動所述第二傳送帶的第二驅動電機相連以便在所述第一傳感器檢測到的基板數(shù)量達到裝滿所述料盒的預定值時停止所述第一和第二傳送帶。
7.根據(jù)權利要求4所述的基板卸載裝置，其特征在于，所述基板卸載裝置，還包括指示燈，所述指示燈與所述第一傳感器相連以便在所述第一傳感器檢測到的基板數(shù)量達到裝滿所述料盒的預定值時所述指示燈閃爍。
8.—種PECVD設備，其特征在于，包括根據(jù)權利要求1-7中任一項所述的基板卸載裝置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基板卸載裝置，包括第一傳送帶，所述第一傳送帶水平設置，用于將基板從該第一傳送帶的第一端傳送到該第一傳送帶的第二端；第二傳送帶，所述第二傳送帶的第一端與所述第一傳送帶的第二端鄰近且等高以便傳送到所述第一傳送帶的第二端的基板可移動到所述第二傳送帶的第一端，所述第二傳送帶的第二端在遠離所述第一傳送帶的第二端的方向上向下傾斜地延伸；和料盒，所述料盒鄰近所述第二傳送帶的第二端設置，用于接納傳送到所述第二傳送帶的第二端的基板。根據(jù)本發(fā)明實施例的基板卸載裝置，結構簡單，工作效率高，成本低。
文檔編號H01L21/67GK103065995SQ20111032725
公開日2013年4月24日 申請日期2011年10月24日 優(yōu)先權日2011年10月24日
發(fā)明者盧川 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司