專利名稱：板材表面處理裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型有關于一種板材處理裝置，尤指一種板材表面處理裝置，不僅可透過 各泄流孔的作用而穩(wěn)定控制槽體內藥液的液面高度，且可由各組對稱紋路的作用而令輸送 機構沿對稱軸直線傳輸至少一板材通過槽體。
背景技術：
在半導體生產制造過程中，因應不同制程而需將晶圓放到不同的爐管中，以在晶 圓表面上長出不同成份的薄膜，如果晶圓背面有未經去除的薄膜，而徑行將晶圓直接置入 另一不同的爐管中，且未經去除的薄膜如果對該爐管會有反應，如此該未經去除的薄膜便 會對該爐管造成污染，甚至對下次進入爐管的晶圓也會造成污染，而對生產線造成莫大的 損失，因此，對晶圓施予蝕刻制程以去除薄膜，為半導體制程中所必需選擇實施的技術。另者，晶柱或硅晶錠經切割后所產生的晶圓，其表面通常會產生切割損傷(saw damage)，亦即，在切片過程中會造成應力層及微粒附著，此時通常需要經由蝕刻制程將該 切割損傷予以去除，并再施予表面絨制蝕刻(texturing etch)，以利后續(xù)制程的實施。換言之，由于蝕刻制程已廣泛運用于半導體制程或太陽能電池制程中，使得國內 外眾多設備商紛紛投入蝕刻設備的研究開發(fā)。惟，現行的習知技藝中，單面蝕刻技術或雙面 蝕刻技術均需于二種不同的蝕刻設備中實施，而無法在同一機臺內實施，如此，不僅造成業(yè) 者的生產成本的上揚，也占用到造價寸土寸金的無塵室空間，再者使用者無法因應生產需 求而機動性調整機臺用途。基于上述問題，因此業(yè)界極需提出一種晶片表面處理裝置，能有效整合單面蝕刻 技術與雙面蝕刻技術，以有效降低生產成本、增進無塵室空間的利用率，同時能符合使用者 機動性變更機臺用途的需求。
發(fā)明內容本實用新型的主要目的，在于提供一種板材表面處理裝置，由設于各滾柱的柱面 上的各組對稱紋路，其對稱軸位于該滾柱寬度中間且垂直于該滾柱的轉軸，而可令輸送機 構的滾柱能沿其柱面的對稱軸，直線傳送板材通過槽體。本實用新型的次要目的，在于提供一種板材表面處理裝置，由設于槽體的泄流孔， 并配合閘門的作用，而可穩(wěn)定控制槽體內藥液的液面高度，進而使用者可依使用需求而機 動性調整液面高度。本實用新型的又一目的，在于提供一種板材表面處理裝置，由設于各滾柱的柱面 上的各組對稱紋路，其對稱軸位于該滾柱寬度中間且垂直于該滾柱的轉軸，而可導正板材 傳送的前進方向。本實用新型的又一目的，在于提供一種板材表面處理裝置，由設于槽體的泄流孔， 并配合調流閥的作用，而可穩(wěn)定控制槽體內藥液的液面高度，進而使用者可依使用需求而 機動性調整液面高度。[0010]為達成上述目的，本實用新型提供一種板材表面處理裝置，其包含一槽體，其設 有一盛液空間及至少一泄流孔；一輸送機構，其包括有多個滾柱，各個滾柱的二端架設于該 槽體，各滾柱可轉動而傳送至少一板材通過該槽體；及至少一注液管，各注液管設有至少一 個注液孔，而可令一藥液經由各注液孔而注入該盛液空間。又，為達成上述目的，本實用新型尚提供一種板材表面處理裝置，其包含一槽體， 其設有一盛液空間；一輸送機構，其包括有多個滾柱，各個滾柱的二端架設于該槽體，且各 滾柱的柱面設有至少一組對稱紋路，而各組對稱紋路的對稱軸位于該滾柱寬度中間且垂直 于該滾柱的轉軸，各滾柱可轉動而傳送至少一板材通過該槽體；及至少一注液管，各注液管 設有至少一個注液孔，而可令一藥液經由各注液孔而注入該盛液空間。本實用新型不僅可透過各泄流孔的作用而穩(wěn)定控制槽體內藥液的液面高度，且可 由各組對稱紋路的作用而令輸送機構沿對稱軸直線傳輸至少一板材通過槽體。

圖IA為本實用新型第一實施例的板材表面處理裝置的示意圖；圖IB為本實用新型第二實施例的板材表面處理裝置的局部放大示意圖；圖2A及圖2B為本實用新型板材表面處理裝置的閘門作用的示意圖；圖3A至圖3C分別為本實用新型板材表面處理裝置的滾柱的柱面展開示意圖及對 稱紋路對板材施力的示意圖；圖3D為本實用新型板材表面處理裝置的滾柱與藥液接觸的示意圖；圖3E為本實用新型板材表面處理裝置的柱面的對稱紋路的示意圖；圖4A至圖4B分別為本實用新型板材表面處理裝置的柱面的對稱紋路的示意圖；圖5A至圖5B分別為本實用新型板材表面處理裝置的柱面的對稱紋路的示意圖；圖6為本實用新型另一實施例的板材表面處理裝置的示意圖。附圖標記說明10-板材表面處理裝置；11 -槽體；111 -盛液空間；113-泄流孔；115-頂部； 117-導流板；13-輸送機構；131-滾柱；133-柱面；135-對稱紋路；15-注液管；17-閘門； 18-上壓輪機構；181-下壓輪；19-盛漏槽；21-加壓泵；23-過濾器；24-流量計；31-泄流 管；33-泄流泵；9-板材；91-下表面；93-上表面；95-垂直表面。
具體實施方式
首先，請參閱圖1A，其為本實用新型板材表面處理裝置的示意圖，如圖所示；該板 材表面處理裝置10其包括有一槽體11，其設有一盛液空間111 ；一輸送機構13，其包括有 多個滾柱131，各個滾柱131的二端架設于該槽體11，各滾柱131可轉動而傳送至少一板材 9通過該槽體11 ；及至少一注液管15，各注液管15設有至少一個注液孔(未顯示)，而可令 一藥液(未顯示)經由各注液孔而注入該盛液空間111。又，由于該輸送機構13所傳輸的板材9的下表面91相對槽體11的頂部115兩者 的間隙H很小，通常大約在Imm左右，因此輸送機構13便得傳送板材9通過槽體11，亦即， 板材91與槽體11 二者不產生干涉。接續(xù)，請同時參閱圖1A、圖2A及圖2B，其中，圖2A及圖2B分別為本實用新型板材
4表面處理裝置的閘門作動的示意圖，如圖所示；該板材表面處理裝置10的該槽體11尚設有 至少一泄流孔113及至少一閘門17，各閘門17滑設于該槽體11，而可調整各閘門17相對 槽體11的位置，進而可選擇遮蔽各泄流孔113的出口大小，亦即，可由各閘門17的作用而 控制由各泄流孔113所流出藥液的流量。當然，該板材表面處理裝置10的下方尚設有至少一盛漏槽19，各盛漏槽19可盛接 由槽體11所溢流出的藥液，或者由各個泄流孔113所流出的藥液，亦即，該盛漏槽19可以 盛接由該槽體11所排出的藥液。再者，該板材表面處理裝置10可由至少一加壓泵21，而汲 取各盛漏槽19內的藥液，再將藥液經由各注液管15回送至該槽體11的盛液空間111。又， 該板材表面處理裝置10尚包括有至少一過濾器23，各過濾器23可分別設置于該盛漏槽19 與各加壓泵21的間，或分別設置于各加壓泵21與該槽體11的間，而可將已過濾的藥液，由 各加壓泵21的作用而注入該槽體11內。而各加壓泵21與該槽體11的間尚設有一流量計 24，而可監(jiān)測注入槽體11的液液流量。換言的，當經由加壓泵21注入槽體11的藥液的注入量固定時，使用者可調整閘門 17相對槽體11的位置，而改變各泄流孔113的泄流量；若藥液泄流量小于注入量時，槽體 11內的藥液不僅由泄流孔113流出，也會經由槽體11的頂部115溢流而出，如此，藥液便會 淹過板材9的上表面93，而使得板材9整體表面均與藥液接觸，進而可達到板材9雙表面 處理的目的。又，該輸送機構13的上方設有一上壓輪機構18(如圖IB所示)，該上壓輪機 構18設有多個上壓滾輪181，各上壓滾輪181可架設于該槽體11，且上壓滾輪181與各滾 柱131形成一容許板材9通過的間隙G，如此，便可由上壓滾輪181的作用而確保該板材9 可浸泡在藥液液面下進行傳送。另外，當槽體11內的藥液與該輸送機構13的滾柱131接觸，而藥液液面未達槽體 11的頂部115時；此時可調整閘門17位置而令藥液注入量等于泄流量，則槽體11內的藥 液液面高度便得保持固定；又，輸送機構13的滾柱131 —直轉動，因而使得滾柱131的柱面 (133，如第3A所示)吸附了藥液而于柱面133上形成一藥液薄膜(未顯示)。如此，傳送于 滾柱131上的板材9的下表面91及板材9邊緣的垂直表面95便可與藥液薄膜接觸，進而 可達到板材9單表面處理的目的。同理，由前述泄流量與注入量兩者的大小關系，使用者也可以選擇固定泄流量，由 變更加壓泵21的出力而改變注入量，如此便可達到控制藥液液面高度的目的，進而使用者 可依使用需求而選擇板材9單表面處理或板材9雙表面處理的目的。當然，變更加壓泵21的出力，便直接影響該槽體11內的藥液置換率，而藥液置換 率直接與板材9表面處理的速率有正相關，再者板材表面處理速率便直接攸關機臺的產能 輸出量。然而，若為提高機臺產能輸出量而只單純增加加壓泵21的出力，不僅會該槽體11 內的藥液液面高度改變，而且藥液液面的波動振幅將會變大，導致在執(zhí)行板材9單表面處 理的過程中，板材9的上表面93也會接觸到藥液，因而生產良率造成不良影響；為此，可搭 配調整間門17的位置，讓注入量與泄流量二者達到平衡，以改善藥液液面的波動問題。又， 于槽體11的彎折端分別設有至少一導流板117，而有助于槽體11內藥液的流動，且可降低 藥液液面的波動。又，請同時參閱圖3A、圖3B及圖3C，其分別為本實用新型板材表面處理裝置的滾 柱的柱面展開示意圖及對稱紋路對板材施力的示意圖；如圖所示該柱面133設有至少一組對稱紋路135，而各組對稱紋路135為一螺紋，其中，各組對稱紋路135的對稱軸M位于 該滾柱133寬度中間，且垂直于該滾柱131的轉軸L，如此，該輸送機構13在傳送板材9的 過程中，由于對稱紋路135施予板材9在轉軸L方向的分力(P1L、P2L)，因為方向相反而相 抵消，而僅保留與滾柱131轉軸L垂直方向的分力(P1F、P2F)，因此，該輸送機構13的滾柱 131能沿其柱面133的對稱軸M而直線傳送板材9通過該槽體11。同理，若板材9在傳送給該板材表面處理裝置10的初，該板材9并非被放置在對 稱紋路135的對稱軸M上，此時由于對稱紋路135施予板材9在轉軸L方向的分力無法相 抵消，而如圖3B所示，進而對板材9在滾柱131轉軸L方向且朝向該對稱軸M產生的牽引 作用，而令板材9在行進的過程中逐漸向對稱軸M趨近，最終令該板材9沿對稱軸M前進， 而如圖3C所示，亦即，該對稱紋路135具有導正板材9前進方向的作用。再者，請參閱圖3D，其為本實用新型板材表面處理裝置的滾柱與藥液接觸的示意 圖；如圖所示，在滾柱131轉動過程中的每一瞬間，各對稱紋路135以點接觸的方式插入藥 液，而有助于降低藥液液面波動的問題，如此，在執(zhí)行板材9單表面處理時，藥液不會飛濺 至板材9的上表面93而對生產良率造成不當影響。而且藥液薄膜與板材9化學反應后的 產物，也因為對稱紋路135插入藥液，直接受到槽體11內藥液的沖刷作用，而不易殘留在對 稱紋路135上。又，前述的對稱紋路135可為相互交錯的螺紋而如圖3E所示的態(tài)樣，或者該對稱 紋路135可為為一曲線紋路而如圖4A所示的態(tài)樣，而該曲線紋路可為相互交錯的曲線紋路 而如圖4B所示的態(tài)樣，當然，前述的曲線紋路可為波浪曲線、三角曲線或二者的組合方式 而如圖5A及圖5B所示的態(tài)樣。另外，請參閱圖6，其為本實用新型的另一實施例板材表面處理裝置10的示意圖， 其中，該板材表面處理裝置10尚包括有至少一泄流管31，各泄流管31插設入該槽體11的 盛液空間111，而可汲取該槽體11內的藥液，并令藥液泄流出該槽體11外。當然，可由一連 通各泄流管31的泄流泵33，而達到控制藥液的泄流量，進而可控制藥液液面高度。最后，在本實用新型的另一實施例中，其主要與圖IA相同，惟，該板材表面處理裝 置10設有至少一個調流閥(未顯示)，各調流閥可分別旋轉而改變該泄流孔113的流量，亦 即，使用者可以旋轉方式改變槽體11藥液的泄流量，而達到控制藥液液面高度的目的。又， 上述的板材9可為一硅晶圓。以上對本實用新型的描述是說明性的，而非限制性的，本專業(yè)技術人員理解，在權 利要求限定的精神與范圍的內可對其進行許多修改、變化或等效，但是它們都將落入本實 用新型的保護范圍內。
權利要求1.一種板材表面處理裝置，其特征在于，包含 一槽體，其設有一盛液空間；一輸送機構，其設于該槽體上，且該輸送機構包括有多個滾柱，各滾柱的柱面設有至少 一組對稱紋路，而各組對稱紋路的對稱軸位于該滾柱寬度中間且垂直于該滾柱的轉軸，且 各滾柱可轉動而傳送至少一板材通過該槽體；及至少一注液管，各注液管設有至少一個注液孔，而令一藥液經由各注液孔而注入該盛 液空間。
2.如權利要求1所述的板材表面處理裝置，其特征在于，各組對稱紋路為一螺紋。
3.如權利要求2所述的板材表面處理裝置，其特征在于，各組對稱紋為相互交錯的螺紋。
4.如權利要求1所述的板材表面處理裝置，其特征在于，各組對稱條紋為一曲線紋路。
5.如權利要求1所述的板材表面處理裝置，其特征在于，該槽體設有至少一泄流孔。
6.如權利要求5所述的板材表面處理裝置，其特征在于，尚包括有至少一閘門，其分別 調整各閘門相對該槽體的位置而改變該泄流孔的出口大小。
7.如權利要求5所述的板材表面處理裝置，其特征在于，尚包括有至少一調流閥，其分 別旋轉各調流閥而改變該泄流孔的出口大小。
8.如權利要求1所述的板材表面處理裝置，其特征在于，尚包括有至少一泄流管，各泄 流管插設入該槽體的盛液空間，而汲取該槽體內的藥液，并令藥液泄流出該槽體外。
9.如權利要求8所述的板材表面處理裝置，其特征在于，尚包括有一泄流泵，其連通各 泄流管，而控制藥液的泄流量。
10.如權利要求5至第9中的任一項所述的板材表面處理裝置，其特征在于，尚包括有 至少一盛漏槽，各盛漏槽其設于該槽體的下方，盛接由該槽體所排出的藥液。
專利摘要本實用新型有關于一種板材處理裝置，尤指一種板材表面處理裝置，其包含有槽體，其設有盛液空間及至少一泄流孔；輸送機構，其包括有多個滾柱，各個滾柱的二端架設于槽體，且各滾柱的柱面設有至少一組對稱紋路，而各組對稱紋路的對稱軸位于該滾柱寬度中間且垂直于該滾柱的轉軸，各滾柱可轉動而輸送至少一板材；及至少一注液管，各注液管設有至少一個注液孔，而可將藥液注入盛液空間，為此，不僅可透過各泄流孔的作用而穩(wěn)定控制槽體內藥液的液面高度，且可由各組對稱紋路的作用而令輸送機構沿對稱軸直線傳輸至少一板材通過槽體。
文檔編號H01L21/00GK201927582SQ20112000292
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月7日 優(yōu)先權日2011年1月7日
發(fā)明者劉仕偉, 張書省, 茹振宗, 蔡嘉雄 申請人:均豪精密工業(yè)股份有限公司