專利名稱：維修作業(yè)平臺的制作方法
技術領域：
本實用新型是有關于一種作業(yè)平臺，且特別是有關于工廠維修作業(yè)平臺。
背景技術：
目前制造液晶顯示面板(Liquid Crystal Display Panel, LCD Panel)的廠房 (fabrication,簡稱Fab)已發(fā)展到4. 5代(generation)以上，而4. 5代以上的廠房內(nèi)設 置很多體積相當龐大的制程設備，其中有些制程設備的內(nèi)部存有能容納玻璃基板的容納空 間，其例如是真空室(vacuum chamber)，而且此容納空間的大小可足以容納一位成年人。容納空間內(nèi)通常設有一活動式承載臺(movable stage)與一個以上的機械手臂 (robot arm)。活動式承載臺能承載玻璃基板，并能移動或轉(zhuǎn)動玻璃基板，以改變玻璃基板 的位置，而機械手臂能傳送玻璃基板，以使玻璃基板可以移動至活動式承載臺上，并且從活 動式承載臺移出容納空間。當上述制程設備發(fā)生異?；蝽氁ｐB(yǎng)時，維修人員有時候必須要進入容納空間 內(nèi)，以進行預防維護(Preventive Maintenance, PM)或維修。然而，在進行預防維護或維 修的過程中，活動式承載臺或機械手臂有可能會因為機械失靈或是人為的錯誤操作而誤動 作，導致容納空間內(nèi)的維修人員發(fā)生意外。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種維修作業(yè)平臺，以降低維修人員在進行預防維護或維修時， 發(fā)生意外的情形。本實用新型提出一種維修作業(yè)平臺，其適于與一制程設備結合。維修作業(yè)平臺包 括一爬梯、一固定架、一承載板以及至少一接合桿。爬梯包括一對梯柱與多個腳踏件。這些 腳踏件連接于這些梯柱之間。各個梯柱具有一連接端與一底端，其中這些底端相對于這些 連接端。這些連接端彼此相鄰，而這些底端彼此相鄰。固定架適于固定于制程設備上，并位 于制程設備與爬梯之間。承載板樞接這些連接端。承載板與爬梯之間存有一夾角，夾角小 于180度，并大于或等于90度，其中承載板從這些連接端朝向制程設備延伸。接合桿具有 二端部，并連接于爬梯與固定架之間，其中這些端部分別連接梯柱與固定架。在本實用新型一實施例中，各個梯柱包括一第一桿件、一第二桿件以及一樞轉(zhuǎn)關 節(jié)。第一桿件具有連接端，而第二桿件具有底端。樞轉(zhuǎn)關節(jié)連接于第一桿件與第二桿件之 間。透過這些樞轉(zhuǎn)關節(jié)，這些第一桿件適于相對于這些第二桿件而樞轉(zhuǎn)，以折迭爬梯。在本實用新型一實施例中，上述固定架包括一對支柱以及多個結合條。其中一支 柱連接接合桿。這些結合條彼此并列，并連接于這些支柱之間。在本實用新型一實施例中，各個支柱包括一第一棍體、一第二棍體以及一樞轉(zhuǎn)關 節(jié)。第二棍體連接接合桿，而樞轉(zhuǎn)關節(jié)連接于第一棍體與第二棍體之間。透過這些樞轉(zhuǎn)關 節(jié)，這些第一棍體適于相對于這些第二棍體而樞轉(zhuǎn)，以折迭固定架。在本實用新型一實施例中，上述承載板包括一第一板體、一第二板體以及一板體轉(zhuǎn)軸。第一板體樞接這些連接端，而板體轉(zhuǎn)軸連接于第一板體與第二板體之間。透過板體 轉(zhuǎn)軸，第一板體適于相對于第二板體而樞轉(zhuǎn)，以折迭承載板。在本實用新型一實施例中，上述承載板更包括一延伸板。延伸板與第二板體結合， 而第二板體位于延伸板與第一板體之間。在本實用新型一實施例中，上述維修作業(yè)平臺還包括至少一條輔助鏈。輔助鏈連 接于承載板與固定架之間，并位于承載板之上。在本實用新型一實施例中，上述輔助鏈的數(shù)量為多個。各個輔助鏈具有一固定端， 而這些固定端彼此連接，并連接固定架。在本實用新型一實施例中，上述維修作業(yè)平臺還包括至少一支撐柱。支撐柱配置 于承載板的下方，以支撐承載板。在本實用新型一實施例中，上述制程設備具有一真空室?；谏鲜觯帽緦嵱眯滦偷木S修作業(yè)平臺，維修人員可以在容納空間的上方進 行預防維護或維修。當活動式承載臺或機械手臂發(fā)生誤動作時，本實用新型能降低維修人 員在進行預防維護或維修時，發(fā)生意外的情形。為讓本實用新型的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合 所附圖式，作詳細說明如下。

圖1是本實用新型一實施例的維修作業(yè)平臺在與制程設備結合之后的立體示意 圖。圖2是圖1中沿方向Y觀看的側(cè)視示意圖。
具體實施方式
圖1是本實用新型一實施例的維修作業(yè)平臺在與制程設備結合之后的立體示意 圖，而圖2是圖1中沿方向Y觀看的側(cè)視示意圖。請參閱圖1與圖2，本實施例的維修作業(yè) 平臺100能與一制程設備10結合，而制程設備10可以是液晶顯示面板廠房或半導體晶圓 廠房所使用的制程設備，其中此液晶顯示面板廠房可以是4. 5代以上的廠房，而制程設備 10例如是薄膜沉積設備、蝕刻設備或微影設備。制程設備10還可以是一種能產(chǎn)生真空環(huán)境(vacuum environment)的制程設備， 其例如是物理氣相沉積設備(Physical Vapor Deposition Equipment, PVD Equipment)、 化學氣相沉禾只設備(Chemical Vapor Deposition Equipment, CVD Equipment)或干 式蝕刻設備，其中物理氣相沉積設備例如是濺鍍機(sputtering equipment)或蒸鍍機 (evaporator)ο承上述，在圖1與圖2所示的實施例中，制程設備10具有一能產(chǎn)生真空環(huán)境的真 空室(vacuum chamber)Cl以及一與真空室Cl連通的開口 Hl。真空室Cl不僅能容納玻璃 基板，而且還能容納一位成年人，所以真空室Cl具有相當龐大的容納空間。制程設備10還 具有一活動式承載臺12與至少一機械手臂(未繪示)，其中活動式承載臺12能承載玻璃基 板(未繪示)，并且能上下轉(zhuǎn)動(如圖2所示)，以改變玻璃基板的位置。維修作業(yè)平臺100包括一爬梯110、一承載板120、一固定架130與多個接合桿140。承載板120連接爬梯110，并可從開口 Hl伸入至真空室Cl內(nèi)。固定架130能與制程 設備10結合，并能固定于制程設備10上，其中固定架130可以是利用螺絲鎖固的方式而 固定于制程設備10上。這些接合桿140連接于爬梯110與固定架130之間，并能固定爬梯 110在固定架130上。在圖1與圖2所示的實施例中，雖然接合桿140的數(shù)量為多個，但在 其它實施例中，接合桿140的數(shù)量可以僅為一個。承載板120樞接爬梯110，所以承載板120能相對于爬梯110而樞轉(zhuǎn)。具體而言， 爬梯Iio包括一對梯柱112與多個腳踏件114，而這些腳踏件114連接于這些梯柱112之 間。各個梯柱112具有一連接端11 以及一底端112b，而底端11 相對于連接端112a。 從圖1及圖2來看，連接端11 與底端112b分別位于爬梯110的上下二端，所以這些連接 端11 彼此相鄰，而這些底端112b彼此相鄰。這些連接端11 皆可為樞轉(zhuǎn)關節(jié)，而承載板120能樞接這些連接端11加。如此， 承載板120可以相對于爬梯110而樞轉(zhuǎn)，而承載板120與爬梯110之間所存有的夾角Al可 以被調(diào)整。此外，在維修作業(yè)平臺100與制程設備10結合之后，夾角Al可以小于180度， 并且大于或等于90度。另外，在本實施例中，爬梯110可以被折迭。詳細而言，各個梯柱112可以包括一 第一桿件Si、一第二桿件S2以及一樞轉(zhuǎn)關節(jié)P1。樞轉(zhuǎn)關節(jié)Pl連接于第一桿件Sl與第二 桿件S2之間，而透過這些樞轉(zhuǎn)關節(jié)Pl，這些第一桿件Sl能相對于這些第二桿件S2而樞轉(zhuǎn)， 進而能折迭爬梯110。此外，第一桿件Sl具有連接端112a，而第二桿件S2具有底端112b， 因此這些第一桿件Sl位于承載板120與這些第二桿件S2之間，并樞接承載板120。承載板120也可被折迭。詳細而言，承載板120可包括一第一板體122、一第二板 體124與一板體轉(zhuǎn)軸126，而板體轉(zhuǎn)軸1 連接于第一板體122與第二板體IM之間，透過 板體轉(zhuǎn)軸126，第一板體122能相對于第二板體IM而樞轉(zhuǎn)，以折迭承載板120。此外，第一 板體122樞接連接端112a，所以第一板體122能相對于爬梯110而樞轉(zhuǎn)。另外，在圖2中，承載板120可以還包括一延伸板128。延伸板128可以與第二板 體124結合。在延伸板128與第二板體IM結合之后，第二板體IM會位于延伸板1 與 第一板體122之間。藉由延伸板1 與第二板體IM 二者的結合，可以增加承載板120的 長度，以使承載板120可以更伸進真空室Cl內(nèi)。此外，延伸板1 可以是利用插設或螺絲 鎖固等方式來與第二板體124結合，并且可從第二板體IM拆卸下來。在維修作業(yè)平臺100與制程設備10結合之后，固定架130會位于制程設備10與 爬梯Iio之間，而承載板120則會從連接端11 朝向制程設備10延伸。固定架130可以 包括一對支柱132與多個結合條134，其中這些結合條134彼此并列，并且連接于這些支柱 132之間，而這些支柱132連接這些接合桿140。固定架130可以被折迭。詳細而言，各個支柱132可包括一第一棍體S3、一第二棍 體S4以及一樞轉(zhuǎn)關節(jié)P2，其中這些第二棍體S4連接這些接合桿140。在同一個支柱132 中，樞轉(zhuǎn)關節(jié)P2連接于第一棍體S3與第二棍體S4之間，而透過這些樞轉(zhuǎn)關節(jié)P2，這些第一 棍體S3能相對于這些第二棍體S4而樞轉(zhuǎn)。如此，固定架130可以被折迭。各個接合桿140具有二端部142，其中這些端部142彼此相對，并分別連接爬梯 110的梯柱112與固定架130。詳細而言，在同一個接合桿140中，其中一個端部142連接 梯柱112，而另一個端部142則連接固定架130的支柱132。如此，接合桿140得以連接于爬梯110與固定架130之間，以將爬梯110固定在固定架130上。此外，這些端部142可透 過螺絲鎖固或插銷插設來連接梯柱112與支柱132，且這些接合桿140可從梯柱112與支柱 132拆卸下來。在維修作業(yè)平臺100與制程設備10結合之后，維修人員可以從爬梯110攀爬到承 載板120上，以進入制程設備10的內(nèi)部。如此，維修人員可以在承載板120上對制程設備10 進行預防維護或維修，例如維修活動式承載臺12或更換活動式承載臺12的零件(part)。 承載板120位于活動式承載臺12的上方，因此維修人員可以利用維修作業(yè)平臺100在活動 式承載臺12的上方進行預防維護或維修。在過去維修作業(yè)平臺100尚未問世的時候，維修人員都是在真空室Cl內(nèi)，活動式 承載臺12的下方來進行預防維護或維修。倘若發(fā)生活動式承載臺12失靈或是人為錯誤操 作的話，活動式承載臺12會誤動作而危害到維修人員。例如誤動作的活動式承載臺12會 往下轉(zhuǎn)動，導致維修人員被活動式承載臺12壓傷，或是被活動式承載臺12的末端1 與真 空室Cl的壁面Wl夾傷。相較上述過去預防維護或維修制程設備10的方式，維修作業(yè)平臺100能改變維修 人員的工作位置，使工作人員可以處在活動式承載臺12的上方來對制程設備10進行預防 維護或維修，例如維修活動式承載臺12或更換活動式承載臺12的零件。如此，可以避免維 修人員被誤動作的活動式承載臺12壓傷或夾傷，以減少意外的發(fā)生。維修作業(yè)平臺100可以還包括至少一輔助鏈150與至少一支撐柱160，以強化承載 板120的結構，并增加承載板120的負重能力。在本實施例中，維修作業(yè)平臺100包括多個 輔助鏈150與多個支撐柱160，但在其它實施例中，輔助鏈150與支撐柱160 二者的數(shù)量可 以僅為一個。這些輔助鏈150連接于承載板120與固定架130之間，并且位于承載板120之上。 從圖2來看，各個輔助鏈150具有一固定端152，而這些固定端152彼此連接，并連接固定架 130的支柱132。這些支撐柱160配置于承載板120的下方，以支撐承載板120。由此可知，藉由輔助鏈150與支撐柱160，可以強化承載板120的結構，并且增加承 載板120對維修人員的負重能力，以減少承載板120發(fā)生損壞的情形。此外，當維修人員在 承載板120上進行預防維護或維修時，輔助鏈150與支撐柱160可以降低承載板120的晃 動幅度，以降低維修人員發(fā)生墜落的機率。綜上所述，本實用新型的維修作業(yè)平臺可以供維修人員在進行預防維護或維修時 使用，以幫助維修人員進入制程設備內(nèi)部。當制程設備具有真空室時，利用本實用新型的維 修作業(yè)平臺，維修人員可以在真空室的上方對制程設備進行預防維護或維修。如此，當真空 室內(nèi)的活動式承載臺或機械手臂發(fā)生誤動作時，本實用新型可以減少活動式承載臺與機械 手臂傷害維修人員的機率，以減少意外的發(fā)生。雖然本實用新型以較佳實施例公開如上，然其并非用以限定本實用新型，任何熟 習相像技藝者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，所作更動與潤飾的等效替換，仍為本 實用新型的專利保護范圍內(nèi)。
權利要求1.一種維修作業(yè)平臺，適于與一制程設備結合，其特征在于，并包括一爬梯，包括一對梯柱與多個腳踏件，該些腳踏件連接于該些梯柱之間，各該梯柱具有 一連接端與一底端，其中該些底端相對于該些連接端，該些連接端彼此相鄰，而該些底端彼 此相鄰；一固定架，適于固定于該制程設備上，并位于該制程設備與該爬梯之間；一承載板，樞接該些連接端，該承載板與該爬梯之間存有一夾角，該夾角小于180度， 并大于或等于90度，其中該承載板從該些連接端朝向該制程設備延伸；以及至少一接合桿，具有二端部，并連接于該爬梯與該固定架之間，其中該些端部分別連接 該梯柱與該固定架。
2.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，各該梯柱包括一第一桿件，具有該連接端；一第二桿件，具有該底端；以及一樞轉(zhuǎn)關節(jié)，連接于該第一桿件與該第二桿件之間，透過該樞轉(zhuǎn)關節(jié)，該第一桿件適于 相對于該第二桿件而樞轉(zhuǎn)，以折迭該爬梯。
3.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，該固定架包括一對支柱，其中一該支柱連接該接合桿；以及多個結合條，彼此并列，并連接于該些支柱之間。
4.如權利要求3所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，各該支柱包括一第一棍體；一第二棍體，連接該接合桿；以及一樞轉(zhuǎn)關節(jié)，連接于該第一棍體與該第二棍體之間，透過該樞轉(zhuǎn)關節(jié)，該第一棍體適于 相對于該第二棍體而樞轉(zhuǎn)，以折迭該固定架。
5.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，該承載板包括一第一板體，樞接該些連接端；一第二板體；以及一板體轉(zhuǎn)軸，連接于該第一板體與該第二板體之間，透過該板體轉(zhuǎn)軸，該第一板體適于 相對于該第二板體而樞轉(zhuǎn)，以折迭該承載板。
6.如權利要求5所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，該承載板還包括一延伸板，該延伸 板與該第二板體結合，而該第二板體位于該延伸板與該第一板體之間。
7.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，還包括至少一條輔助鏈，該輔助鏈 連接于該承載板與該固定架之間，并位于該承載板之上。
8.如權利要求7所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，該輔助鏈的數(shù)量為多個，各該輔助 鏈具有一固定端，而該些固定端彼此連接，并連接該固定架。
9.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，還包括至少一支撐柱，該支撐柱配 置于該承載板的下方，以支撐該承載板。
10.如權利要求1所述的維修作業(yè)平臺，其特征在于，該制程設備具有一真空室。
專利摘要一種維修作業(yè)平臺，適于與一制程設備結合。維修作業(yè)平臺包括一爬梯、一固定架、一承載板與至少一接合桿。爬梯包括一對梯柱與多個腳踏件。這些腳踏件連接于這些梯柱之間。各個梯柱具有一連接端與一底端。這些底端相對于這些連接端。這些連接端彼此相鄰。這些底端彼此相鄰。固定架能固定于制程設備上，并位于制程設備與爬梯之間。承載板樞接這些連接端，且與爬梯之間存有一夾角，夾角小于180度，并大于或等于90度。承載板從這些連接端朝向制程設備延伸。接合桿具有二端部，并連接于爬梯與固定架之間。這些端部分別連接梯柱與固定架。
文檔編號H01L21/00GK201927583SQ20112001327
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月17日 優(yōu)先權日2011年1月17日
發(fā)明者李宜親, 黃清松, 黃炳勛 申請人:中華映管股份有限公司, 華映視訊(吳江)有限公司