專利名稱：基底支撐組件和基底傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及基底處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基底支撐組件和基底傳送裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器制造、半導體處理等工藝中，經(jīng)常需要將待處理的基底(如玻璃基板、半導體晶片等)在不同處理腔室或不同處理設備間傳送。而基底傳送裝置中包括用于支撐基底的基底支撐組件，以及驅(qū)動基底支撐組件運動的驅(qū)動單元。其中，在大氣環(huán)境下， 基底傳送裝置中通常使用真空吸附裝置來支撐基底；但當要在真空環(huán)境下傳送基底時(例如在真空沉積設備的不同腔室間傳送基底時)，由于無法利用吸附作用，故通常使用摩擦式基底支撐組件來支撐基底。摩擦式基底支撐組件如圖1所示，包括多根機械臂(即支撐臂)21，各支撐臂21 可與基底傳送裝置中的驅(qū)動單元相連并受其驅(qū)動；在每根支撐臂21上通過螺紋固定連接有多個螺釘柱(即支撐柱)22，每個支撐柱22的頂端固定連接有用于支撐基底9的支撐墊 11，支撐墊11的上表面(即遠離支撐柱22的一面)為用于與基底9接觸的支撐面19 ；其中支撐墊11通常由硬質(zhì)橡膠制成，并通過位于其中心部的連接件111與支撐柱22固定連接(使用連接件111是因為支撐柱22通常為金屬，難以直接與橡膠支撐墊11相連，當然， 不使用連接件111也并不影響其功能的實現(xiàn))，而支撐面19可為波紋面，以增大其與基底9 間的摩擦力，保證支撐臂21橫向移動時可產(chǎn)生足夠的摩擦力而帶動基底9 一同運動。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題由于基底9往往很薄且尺寸很大(例如用于大尺寸液晶顯示器中的玻璃基板)，故其會因重力而如圖1所示產(chǎn)生變形，從而導致支撐面19實際只有一部分與基底9接觸，基底9與支撐面19間的接觸面積過??；這樣，基底9與支撐面19相接觸的位置壓強就會過大，且不同支撐墊11施加給基底9的力也不均勻，因此其在傳送過程中易發(fā)生基底9損傷、滑動等問題，無法給基底9提供穩(wěn)定、可靠地支撐；而要若保證支撐的穩(wěn)定、可靠，就要增加支撐墊11的數(shù)量，但這又會導致成本的增加。

實用新型內(nèi)容本實用新型的實施例提供一種基底支撐組件，其可在保證成本較低的情況下為基底提供穩(wěn)定、可靠地支撐。為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案一種基底支撐組件，包括固定部；與所述固定部連接的支撐部，所述支撐部具有用于與基底接觸的支撐面，且所述支撐面與基底的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大。由于本實用新型的實施例的基底支撐組件中，支撐面與基底間的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大，故當基底因重力的作用產(chǎn)生變形時，支撐面與基底間的接觸面積會
3增加，從而保證基底受力均勻且與支撐面接觸的位置壓強較小。因此，本實施例的基底支撐組件可在保證成本較低(即不增加支撐部數(shù)量)的情況下為基底提供穩(wěn)定、可靠地支撐。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐面與水平面間的夾角能隨基底壓力的作用而改變。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部與所述固定部活動連接。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部通過彈簧與所述固定部活動連接。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部通過軟質(zhì)襯墊與所述固定部活動連接。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部通過滾珠與所述固定部活動連接。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部通過轉(zhuǎn)軸與所述固定部活動連接。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述支撐部由軟質(zhì)材料構(gòu)成。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述固定部包括支撐臂和固定連接在所述支撐臂上的支撐柱；所述支撐部包括連接在所述支撐柱上的支撐墊，所述支撐墊遠離所述支撐柱的一面為所述支撐面。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述固定部包括支撐臂；所述支撐部包括固定連接的支撐柱和支撐墊，所述支撐柱連接在所述支撐臂上，所述支撐墊遠離所述支撐柱的一面為所述支撐面。本實用新型的實施例還提供一種基底傳送裝置，其可在保證成本較低的情況下穩(wěn)定、可靠地傳送基底。為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案一種基底傳送裝置，包括上述的基底支撐組件；用于驅(qū)動所述基底支撐組件運動的驅(qū)動單元。由于本實用新型的實施例的基底傳送裝置中具有上述的基底支撐組件，因此其可在保證成本較低的情況下穩(wěn)定、可靠地傳送基底。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。圖1為現(xiàn)有的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例一的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例一的基底支撐組件在承載基底時的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型另一實施例的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型另一實施例的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；[0032]圖6為本實用新型另一實施例的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實用新型實施例二的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實用新型實施例三的基底支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實用新型實施例三的基底支撐組件在承載基底時的結(jié)構(gòu)示意圖；其中附圖標記為1、支撐部；11、支撐墊；111、連接件；12、支撐柱；19、支撐面；2、 固定部；21、支撐臂；22、支撐柱；81、彈簧；82、軟質(zhì)襯墊；83、滾珠；9、基底。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型實施例提供一種基底支撐組件，包括固定部；與所述固定部連接的支撐部，所述支撐部具有用于與基底接觸的支撐面，且所述支撐面與基底的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大。由于本實用新型的實施例的基底支撐組件中，支撐面與基底間的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大，故當基底因重力的作用產(chǎn)生變形時，支撐面與基底間的接觸面積會增加，從而保證基底受力均勻且與支撐面接觸的位置壓強較小。因此，本實施例的基底支撐組件可在保證成本較低(即不增加支撐部數(shù)量)的情況下為基底提供穩(wěn)定、可靠地支撐。實施例一本實用新型實施例提供一種基底支撐組件，如圖2至圖6所示，其包括固定部2以及與固定部2活動連接的支撐部1。其中，支撐部1與固定部2間活動連接，且具有用于與基底9接觸的支撐面19 ；由于支撐部1與固定部2間的連接是活動的，故支撐面19與水平面間的夾角能隨基底9壓力的作用而改變。如圖3所示，當基底9被放在基底支撐組件上并因重力產(chǎn)生變形時，支撐部1會因基底9的壓力而相對于固定部2活動，因此支撐面19與水平面間的夾角也能隨基底9壓力的作用而改變，從而支撐面19能始終全部與基底9接觸(即接觸面積增大)，以使基底9受力均勻且與支撐面19接觸的位置壓強較?。贿@樣基底支撐組件中支撐部1的數(shù)量就可較少，從而在保證成本較低的情況下為基底9提供穩(wěn)定、可靠地支撐。同時，由于支撐面19是活動的，故其對于支撐部1位置精度的要求較低；因為即使其中部分支撐部1的位置稍有偏差(例如稍微偏高或偏低)，該支撐部1的支撐面19在受到基底9壓力后也可全部與基底9接觸，并為基底9提供有效支撐，而不會像現(xiàn)有的基底支撐組件那樣，支撐部1 (如支撐墊)稍低則無法接觸基底9，稍高則會對基底9產(chǎn)生很大的力而導致其損壞。優(yōu)選地，如圖2至圖6所示，固定部2包括支撐臂(即機械臂)21和固定連接在支撐臂21上的支撐柱22，該支撐柱22可為螺釘柱，并螺紋連接在支撐臂21上的螺孔中；在一個基底支撐組件中可包括多根支撐臂21 (例如兩根分別位于基底9兩側(cè)的支撐臂)，而每根支撐臂21上可均勻設有多個支撐柱22 ；而支撐部1則為類似盤狀的支撐墊11，并活動連接在支撐柱22上端，支撐墊11的上表面(即遠離支撐柱22的一面)即為支撐面19。具體地，支撐部1和固定部2間的活動連接可采用許多不同的方式進行。例如，如圖2至圖4所示，支撐部1和固定部2間可通過彈簧81活動連接；在受到來自基底9的壓力時，彈簧81可產(chǎn)生變形，從而使支撐部1活動，并使支撐面19與水平面間的夾角變化。當然，彈簧81可為一根(如圖2、圖3)，也可為多根(如圖4)，例如為分別位于支撐墊11四角的4根彈簧81。使用彈簧81進行連接時，可通過調(diào)整彈簧的數(shù)量、位置、彈性系數(shù)等容易地控制支撐部1的活動程度。再如，如圖5所示，支撐部1和固定部2間可通過軟質(zhì)襯墊82活動連接，該軟質(zhì)襯墊82由軟質(zhì)橡膠、泡沫塑料等質(zhì)地較軟且可在壓力作用下產(chǎn)生明顯變形的材料構(gòu)成。該軟質(zhì)襯墊82可產(chǎn)生與彈簧81類似的作用。采用軟質(zhì)襯墊82的連接方式結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。又如，如圖6所示，支撐部1和固定部2間可通過滾珠83或轉(zhuǎn)軸(未在圖中示出) 活動連接，當受到來自基底9的壓力時，滾珠83或轉(zhuǎn)軸可允許支撐部1相對于固定部2轉(zhuǎn)動，從而使支撐面19與水平面間的夾角變化。具體地，滾珠83可固定連接在支撐柱22上端，而支撐墊11下側(cè)的容置部可包裹在滾珠83外側(cè)。使用滾珠83或轉(zhuǎn)軸進行連接可保證連接的可靠性，降低連接處發(fā)生損壞的可能性。顯然，支撐部1和固定部2間的活動連接還可采用許多其它的公知方式進行，只要其能保證支撐面19與水平面間的夾角能隨基底9的壓力而變化即可；由于該活動連接的具體形式眾多，故在此不再逐一詳細描述。顯然，本實施例的基底支撐組件還可進行許多公知的變化，例如，支撐面19可為波紋面，以增大其與基底9間的摩擦力；或者，支撐墊11中也可具有連接件，支撐柱22通過連接件與支撐墊11相連。實施例二本實用新型實施例提供一種基底支撐組件，其具有與實施例一的基底支撐組件類似的結(jié)構(gòu)，區(qū)別在于如圖7所示，本實施例的基底支撐組件中固定部2即為支撐臂21，而支撐部1則包括固定連接在一起的支撐柱12和支撐墊11，支撐柱12通過上述的各種活動連接方式連在支撐臂21上，而支撐墊11的上表面(即遠離支撐柱12的一面)即為支撐面19。也就是說，本實施例的基底支撐組件中活動連接位于支撐柱12和支撐臂21 (即固定部2)之間，當受到來自基底9的壓力時，支撐柱12和支撐墊11 一同運動，并使支撐面19與水平面間的夾角隨基底9的壓力而變化。實施例三本實用新型實施例提供一種基底支撐組件，其具有與實施例一的基底支撐組件類似的結(jié)構(gòu)，區(qū)別在于第一、如圖8所示，本實施例的基底支撐組件的固定部2和支撐部1間是固定連接的(當然也可采用如實施例一所示的活動連接方式)；第二、本實施例的支撐部1是由軟質(zhì)材料構(gòu)成的；其中軟質(zhì)材料是指軟質(zhì)橡膠、泡沫塑料、海綿等質(zhì)地較軟且可在壓力作用下產(chǎn)生明顯變形的材料。因此，如圖9所示，當基底9被放在基底支撐組件上并因重力產(chǎn)生變形時，支撐部1會隨著基底9的變形產(chǎn)生相應的變形，從而使支撐面19與水平面間的夾角隨基底9的壓力而變化，并保證支撐面19始終
6能與基底9全部接觸。這種由軟質(zhì)材料構(gòu)成的支撐部1可最大限度地保證支撐面1與基底9間的良好接觸，從而在保證成本較低的情況下為基底9提供穩(wěn)定、可靠地支撐。顯然，本實用新型的基底支撐組件也可為其它的形式，例如其支撐部1可由類似 “橡皮泥”的具有任意可塑性的材料構(gòu)成，從而當基底9壓到支撐部1上時，支撐部1會被 “壓扁”，從而使支撐面19與基底9的接觸面積增大。本實用新型實施例提供一種基底傳送裝置，包括上述的基底支撐組件；用于驅(qū)動所述基底支撐組件運動的驅(qū)動單元。由于本實用新型的實施例的基底傳送裝置中具有上述的基底支撐組件，因此其可在保證成本較低的情況下穩(wěn)定、可靠地傳送基底。其中，基底支撐組件優(yōu)選為包括多根支撐臂的支撐組件，而驅(qū)動單元連接支撐臂， 并能驅(qū)動支撐臂按預定路線運動。在上述的基底傳送裝置中還可包括許多其它的公知結(jié)構(gòu)，例如用于控制驅(qū)動單元的控制單元，用于為驅(qū)動單元提供能量的能量源等。而由于驅(qū)動單元、支撐臂、控制單元、能量源等均可采用現(xiàn)有基底傳送裝置中的公知結(jié)構(gòu)，故在此不再對它們進行詳細描述。本實用新型的基底支撐組件和基底傳送裝置可用于在真空環(huán)境下傳送基底，例如在真空沉積設備的不同腔室中傳送液晶顯示器用的大尺寸玻璃基板。但顯然，本實用新型的基底支撐組件和基底傳送裝置的用途并不限于此，它們也可在大氣環(huán)境下使用，并且也可用于支撐半導體晶片等其它類型的基底。以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
權(quán)利要求1.一種基底支撐組件，其特征在于，包括 固定部；與所述固定部連接的支撐部，所述支撐部具有用于與基底接觸的支撐面，且所述支撐面與基底的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐面與水平面間的夾角能隨基底壓力的作用而改變。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部與所述固定部活動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部通過彈簧與所述固定部活動連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部通過軟質(zhì)襯墊與所述固定部活動連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部通過滾珠與所述固定部活動連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部通過轉(zhuǎn)軸與所述固定部活動連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述支撐部由軟質(zhì)材料構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述固定部包括支撐臂和固定連接在所述支撐臂上的支撐柱；所述支撐部包括連接在所述支撐柱上的支撐墊，所述支撐墊遠離所述支撐柱的一面為所述支撐面。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項所述的基底支撐組件，其特征在于， 所述固定部包括支撐臂；所述支撐部包括固定連接的支撐柱和支撐墊，所述支撐柱連接在所述支撐臂上，所述支撐墊的遠離所述支撐柱的一面為所述支撐面。
11.一種基底傳送裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至10中任意一項所述的基底支撐組件； 用于驅(qū)動所述基底支撐組件運動的驅(qū)動單元。
專利摘要本實用新型提供一種基底支撐組件和基底傳送裝置，屬于基底處理技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的基底支撐組件成本較高或不能為基底提供穩(wěn)定、可靠的支撐的問題。本實用新型的基底支撐組件包括固定部；與所述固定部連接的支撐部，所述支撐部具有用于與基底接觸的支撐面，且所述支撐面與基底的接觸面積能隨基底壓力的作用而增大。本實用新型的基底傳送裝置包括上述基底支撐組件，以及用于驅(qū)動上述基底支撐組件的驅(qū)動單元。本實用新型可用于在真空環(huán)境下傳送基底。
文檔編號H01L21/687GK202008989SQ20112007898
公開日2011年10月12日 申請日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者劉遠宏, 樊海洋, 陳萬海 申請人:北京京東方光電科技有限公司