專利名稱：Oled玻璃基片清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)清洗工藝設(shè)備，更具體地涉及一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用及半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的批量生產(chǎn)規(guī)模越來(lái)越大。同時(shí)半導(dǎo)體產(chǎn)品的尺寸也越來(lái)越大，導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜。而產(chǎn)品的生產(chǎn)不僅要求高精度，也要求高效率及高自動(dòng)化，因此，對(duì)生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)工藝也提出了更高的要求。對(duì)于半導(dǎo)體制品，例如有機(jī)發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅太陽(yáng)能電池板等，其生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基片，在基片上進(jìn)行多種工序進(jìn)而形成多層薄膜，工藝步驟中涉及的鍍膜、光刻、蝕刻等工藝會(huì)產(chǎn)生粉塵附著在基片上，進(jìn)而影響基片的清潔度，基片的清潔度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著重大影響。因此，在于鍍膜、光刻及蝕刻等步驟中必須貫穿有清洗步驟，以維持基片在生產(chǎn)過(guò)程中的表面清潔度。以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，即有機(jī)發(fā)光二極管)為例，OLED 的制造一般都在玻璃基片上進(jìn)行多次工藝步驟，進(jìn)而在基片上相繼沉積多層薄膜，其膜層主要包括在玻璃基片上形成的透明陽(yáng)極，在陽(yáng)極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層；在上述各個(gè)工藝步驟中若基片上沉積有粉塵， 在下一膜層的形成過(guò)程中會(huì)將其覆蓋，從而影響膜層的厚度和均勻性，進(jìn)而影響后續(xù)的工藝質(zhì)量，最終使OLED的質(zhì)量降低?？梢?jiàn)所述基片的清潔起著舉足輕重的作用，因此需要一種基片清洗裝置，對(duì)所述基片進(jìn)行高效清洗的同時(shí)也能保證所述基片的高清潔度。現(xiàn)有用于清潔基片的裝置具有長(zhǎng)方形的流體噴射區(qū)，在該區(qū)域內(nèi)相隔預(yù)定位置設(shè)置有多個(gè)噴射口，當(dāng)運(yùn)動(dòng)的基片經(jīng)過(guò)時(shí)，噴射口內(nèi)噴射出清洗液進(jìn)而對(duì)基片進(jìn)行清洗。但是，這種清潔基片的裝置只是對(duì)所述基片進(jìn)行簡(jiǎn)單的流水線沖洗，清洗不夠徹底。為解決上述問(wèn)題，通常會(huì)另外增設(shè)清洗裝置來(lái)進(jìn)一步清洗所述基片，但這樣便導(dǎo)致整個(gè)清潔裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且增加了生產(chǎn)成本。因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高、清洗徹底的OLED 玻璃基片清洗設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高、清洗徹底。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，包括清洗機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)以及控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)控制所述清洗機(jī)構(gòu)清洗OLED玻璃基片及控制所述傳輸機(jī)構(gòu)傳輸OLED玻璃基片，所述傳輸機(jī)構(gòu)形成一呈水平狀的承載面，所述OLED玻璃基片承載于所述承載面上并被傳輸。其中，所述清洗機(jī)構(gòu)包括依次排列的沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置，所述沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置依次對(duì)所述OLED玻璃基片進(jìn)行洗刷、風(fēng)干以及烘干，所述沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組，所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置。具體地，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝置、滾輪及固定架，所述滾輪均勻樞接于所述固定架的兩側(cè)并形成所述承載面，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)所述OLED玻璃基片移動(dòng)。 在本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例中，所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備還包括升降裝置及放置于所述升降裝置上的框架，所述控制機(jī)構(gòu)與所述升降裝置電連接并控制所述升降裝置升降，所述升降裝置對(duì)接于所述傳輸機(jī)構(gòu)的輸入端處，所述框架內(nèi)呈層狀的設(shè)置若干相互平行的供OLED玻璃基片放置的卡槽。較佳地，所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備還包括用于儲(chǔ)存清洗液的水箱及與所述水箱連通的總水管，所述總水管分別與所述噴淋管連通。較佳地，所述烘干裝置為紫外發(fā)光裝置。具體地，所述風(fēng)干裝置包括至少兩組吹風(fēng)管組，所述吹風(fēng)管組包括成對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的吹風(fēng)管，所述吹風(fēng)管呈水平傾斜設(shè)置且均勻開(kāi)設(shè)有氣流孔，所述氣流孔朝向所述承載面并與所述OLED玻璃基片呈銳角，所述吹風(fēng)管與外界壓縮空氣裝置連通。較佳地，所述吹風(fēng)管的橫截面呈矩形，所述氣流孔沿所述吹風(fēng)管的軸向形成排狀。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型清洗機(jī)構(gòu)的沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組， 所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置；清洗時(shí)，外界清洗液輸入噴淋管內(nèi)，再通過(guò)噴嘴噴灑到OLED玻璃基片上進(jìn)而對(duì)基片進(jìn)行清洗，在此過(guò)程中，滾刷會(huì)進(jìn)一步的刷擦所述基片，使得對(duì)所述基片的清洗更加徹底，提高了清潔度和清潔效率。另外，可通過(guò)所述控制機(jī)構(gòu)對(duì)整個(gè)清洗過(guò)程進(jìn)行完全的自動(dòng)化控制，即所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備自動(dòng)化程度高，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。通過(guò)以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實(shí)用新型的實(shí)施例。

圖1為本實(shí)用新型OLED玻璃基片清洗設(shè)備一實(shí)施例的示意圖。圖2為圖1所示框架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖1所示傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖1所示沖洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中還示出了固定架和總水管。圖4a為圖4所示沖洗裝置的噴淋管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為圖1所示風(fēng)干裝置的吹風(fēng)管組的結(jié)構(gòu)示意圖，其中還示出了承載面。圖5a為圖5所示吹風(fēng)管組的吹風(fēng)管結(jié)構(gòu)示意圖。圖6a為本實(shí)用新型OLED玻璃基片清洗設(shè)備清洗基片的示意圖，其中OLED玻璃基片未上載于框架。[0024]圖6b為圖6a所示OLED玻璃基片被傳輸至沖洗裝置沖洗的示意 圖。圖6c為圖6a所示OLED玻璃基片被傳輸至風(fēng)干裝置風(fēng)干的示意圖。圖6d為圖6a所示OLED玻璃基片被傳輸至烘干裝置烘干的示意圖。圖6e為OLED玻璃基片清洗完后卸載于所述清洗設(shè)備的示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。如上所述，本實(shí)用新型提供了一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，由于所述清洗機(jī)構(gòu)的沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組，所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置；清洗時(shí)，外界清洗液輸入噴淋管內(nèi)，再通過(guò)噴嘴噴灑到OLED玻璃基片上進(jìn)而對(duì)基片進(jìn)行清洗，在此過(guò)程中，滾刷會(huì)進(jìn)一步的刷擦所述基片，使得對(duì)所述基片的清洗更加徹底，提高了清潔度和清潔效率。另外，可通過(guò)所述控制機(jī)構(gòu)對(duì)整個(gè)清洗過(guò)程進(jìn)行完全的自動(dòng)化控制，即所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備自動(dòng)化程度高，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。請(qǐng)參考圖1，本實(shí)用新型OLED玻璃基片清洗設(shè)備的一實(shí)施例包括傳輸機(jī)構(gòu)100、清洗機(jī)構(gòu)200、控制機(jī)構(gòu)300、兩個(gè)升降裝置400、兩個(gè)框架500、兩個(gè)水箱600、兩條總水管700 以及壓縮空氣裝置800，其中圖中只示出了一個(gè)升降裝置400和一個(gè)框架500，所述控制機(jī)構(gòu)300控制所述傳輸機(jī)構(gòu)100傳輸所述OLED玻璃基片及控制所述清洗機(jī)構(gòu)200清洗所述 OLED玻璃基片，所述控制機(jī)構(gòu)300還與所述升降裝置400電連接并控制所述升降裝置400 的升降，所述兩個(gè)升降裝置400分別對(duì)接于所述傳輸機(jī)構(gòu)100的輸入端和輸出端處，所述框架500放置于所述升降裝置400上，所述兩個(gè)水箱600分別用于儲(chǔ)存清洗液和純水，所述兩個(gè)水箱600分別與所述兩條總水管700連通。所述清洗機(jī)構(gòu)200包括均安裝在所述傳輸機(jī)構(gòu)100上并依次排列的沖洗裝置20、風(fēng)干裝置22以及烘干裝置24，所述兩條總水管700與所述沖洗裝置20連通，所述壓縮空氣裝置800與所述風(fēng)干裝置22連通。所述傳輸機(jī)構(gòu)100 依次穿過(guò)所述沖洗裝置20、風(fēng)干裝置22以及烘干裝置24，所述沖洗裝置20、風(fēng)干裝置22以及烘干裝置24依次對(duì)所述OLED玻璃基片進(jìn)行洗刷、風(fēng)干以及烘干。具體地，如圖2所示，所述框架500內(nèi)呈層狀的設(shè)置若干相互平行的供OLED玻璃基片放置的卡槽501。具體地，如圖3所示，所述傳輸機(jī)構(gòu)100包括驅(qū)動(dòng)裝置、滾輪12以及固定架14，所述滾輪12均勻樞接于所述固定架14的兩側(cè)并形成一呈水平狀的承載面，所述OLED玻璃基片承載于所述承載面上并被傳輸，所述驅(qū)動(dòng)裝置10驅(qū)動(dòng)所述滾輪12轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)所述OLED 玻璃基片移動(dòng)。具體地，所述滾輪12包沖洗滾輪和導(dǎo)向滾輪，沖洗滾輪位于導(dǎo)向滾輪之間， 導(dǎo)向滾輪在所述傳輸機(jī)構(gòu)100傳輸所述基片的過(guò)程中起到一定的導(dǎo)向作用，從而保證所述基片的行進(jìn)方向。較佳地，所述控制機(jī)構(gòu)300包括傳感器，所述傳感器設(shè)置于所述清洗機(jī)構(gòu)200的沖洗裝置20、風(fēng)干裝置22以及烘干裝置24的兩端。這樣，通過(guò)所述控制機(jī)構(gòu)300設(shè)定預(yù)定的程序，并結(jié)合所述傳感器的感知與計(jì)數(shù)功能，便可自動(dòng)地將所述玻璃基片傳輸?shù)剿銮逑礄C(jī)構(gòu)200的各個(gè)裝置進(jìn)行清洗，并對(duì)整個(gè)清洗過(guò)程進(jìn)行全程控制。[0033]具體地，結(jié)合圖4和圖4a，所述沖洗裝置20包括至少兩組噴淋管組201，所述噴淋管組201包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管201a、滾刷201b以及噴嘴201c， 所述滾刷201b設(shè)于位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管201a之間，且位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷201b呈對(duì)稱設(shè)置，所述噴嘴201c設(shè)于所述噴淋管201a上且朝向所述承載面。所述噴淋管201a與所述總水管700連通。具體地，所述沖洗裝置20對(duì)所述OLED玻璃基片進(jìn)行沖洗和刷擦兩個(gè)步驟。所述傳輸機(jī)構(gòu)100傳輸所述OLED玻璃基片過(guò)程中，先將清洗液通過(guò)第一條所述總水管700流入噴淋管201a內(nèi)，再通過(guò)所述噴淋管201a上的噴嘴 201c噴灑到所述OLED玻璃基片上進(jìn)而對(duì)所述OLED玻璃基板進(jìn)行沖洗，在此過(guò)程中，所述滾刷201b會(huì)進(jìn)一步的刷擦所述OLED玻璃基片，使得對(duì)所述OLED玻璃基片的清洗更加徹底， 提高了清潔度和清潔效率。之后，再將純水通過(guò)第二條所述總水管700、噴淋管201a及其噴嘴201c噴灑到所述OLED玻璃基片上，以清洗所述OLED玻璃基片上殘留的清洗液、粉塵等。需要注意的是，所述水箱600與高壓水泵及氣動(dòng)閥門連接，這樣當(dāng)所述清洗液或純水進(jìn)入所述總水管700和噴淋管201a后會(huì)產(chǎn)生一定的水流壓力，而形成柱狀水流，再?gòu)乃鰢娮?01 c噴射到所述OLED玻璃基片時(shí)會(huì)形成一定的沖擊力，更好地增強(qiáng)了清洗效果。具體地，結(jié)合圖5及圖fe，所述風(fēng)干裝置22包括至少兩組吹風(fēng)管組221，所述吹風(fēng)管組221包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面16的上、下側(cè)的吹風(fēng)管221a，所述吹風(fēng)管221a呈水平傾斜地設(shè)置且均勻開(kāi)設(shè)有氣流孔221al，所述氣流孔221al朝向所述承載面16并與所述 OLED玻璃基片的傳輸方向呈銳角，所述吹風(fēng)管221a與外界壓縮空氣裝置800連通。較佳地，所述吹風(fēng)管221a與水平方向呈60度夾角。需要注意的是，所述吹風(fēng)管221a內(nèi)可通入干燥潔凈且壓力可調(diào)的壓縮空氣，當(dāng)所述OLED玻璃基片被傳輸至所述風(fēng)干裝置22時(shí)，所述 OLED玻璃基片上的水珠將被與所述OLED玻璃基片行進(jìn)方向相反、按一定切向角度并具有一定壓力的壓縮空氣吹掃干凈，為進(jìn)入下一步的烘干工序做好準(zhǔn)備。較佳地，如圖1所示，所述烘干裝置M為紫外發(fā)光裝置。當(dāng)所述OLED玻璃基片完成風(fēng)干工序后，所述傳輸機(jī)構(gòu)100將所述OLED玻璃基片傳輸至烘干工序。所述烘干裝置M 包括多排紫外發(fā)光裝置，其安裝在所述固定架14上。所述紫外發(fā)光裝置散發(fā)出高溫?zé)彷椖芰?，將所述OLED玻璃基片上殘留的細(xì)微水珠蒸發(fā)掉，從而實(shí)現(xiàn)烘干的目的。待完成烘干工序后，再通過(guò)所述傳輸機(jī)構(gòu)100將所述OLED玻璃基片卸載，從而完成整個(gè)清洗過(guò)程。再請(qǐng)參考圖6a_6e，描述了本實(shí)用新型OLED玻璃清洗設(shè)備清洗OLED玻璃基片的清洗流程(1)準(zhǔn)備將待清洗的OLED玻璃基片900放置于所述框架500的卡槽501內(nèi)(如圖 6a所示)；( 所述傳輸機(jī)構(gòu)100將所述OLED玻璃基片900傳輸至沖洗裝置20洗刷(如圖 6b所示)；( 所述傳輸機(jī)構(gòu)100將所述OLED玻璃基片900傳輸至風(fēng)干裝置22風(fēng)干(如圖6c所示)；(4)所述傳輸機(jī)構(gòu)100將所述OLED玻璃基片900傳輸至烘干裝置M進(jìn)行烘干(如圖6d所示)；( 所述傳輸機(jī)構(gòu)100繼續(xù)將已清洗的所述OLED玻璃基片900傳輸至另一框架500，完成整個(gè)清洗過(guò)程，并卸載于所述清洗設(shè)備(如圖6e所示)。綜上，從以上描述可以看出，本實(shí)用新型的OLED玻璃基片清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，各模塊功能層次分明，清洗效率及清潔度高，清洗徹底。另外，通過(guò)所述控制機(jī)構(gòu)300易于實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)清洗過(guò)程的全自動(dòng)化控制，即自動(dòng)化程度高。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)用新型的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求1.一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，包括清洗機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)以及控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)控制所述清洗機(jī)構(gòu)清洗OLED玻璃基片及控制所述傳輸機(jī)構(gòu)傳輸OLED玻璃基片，所述傳輸機(jī)構(gòu)形成一呈水平狀的承載面，所述OLED玻璃基片承載于所述承載面上并被傳輸，其特征在于，所述清洗機(jī)構(gòu)包括依次排列的沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置，所述傳輸機(jī)構(gòu)依次穿過(guò)所述沖洗裝置、風(fēng)干裝置、烘干裝置，所述沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置依次對(duì)所述OLED玻璃基片進(jìn)行洗刷、風(fēng)干以及烘干，所述沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組，所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置。
2.如權(quán)利要求1所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝置、滾輪及固定架，所述滾輪均勻樞接于所述固定架的兩側(cè)并形成所述承載面，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)所述OLED玻璃基片移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，還包括升降裝置及放置于所述升降裝置上的框架，所述控制機(jī)構(gòu)與所述升降裝置電連接并控制所述升降裝置的升降，所述升降裝置對(duì)接于所述傳輸機(jī)構(gòu)的輸入端處，所述框架內(nèi)呈層狀的設(shè)置若干相互平行的供OLED玻璃基片放置的卡槽。
4.如權(quán)利要求1所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備還包括用于儲(chǔ)存清洗液的水箱及與所述水箱連通的總水管，所述總水管分別與所述噴淋管連通。
5.如權(quán)利要求4所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，所述烘干裝置為紫外發(fā)光裝置。
6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，所述風(fēng)干裝置包括至少兩組吹風(fēng)管組，所述吹風(fēng)管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的吹風(fēng)管，所述吹風(fēng)管呈水平傾斜設(shè)置且均勻開(kāi)設(shè)有氣流孔，所述氣流孔朝向所述承載面并與所述OLED 玻璃基片的傳輸方向呈銳角，所述吹風(fēng)管與外界壓縮空氣裝置連通。
7.如權(quán)利要求6所述的OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其特征在于，所述吹風(fēng)管的橫截面呈矩形，所述氣流孔沿所述吹風(fēng)管的軸向形成排狀。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，包括清洗機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)以及控制機(jī)構(gòu)，其中，所述清洗機(jī)構(gòu)包括安裝在所述傳輸機(jī)構(gòu)上的沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置，所述沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組，所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置。所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高、清洗徹底。
文檔編號(hào)H01L51/56GK202067842SQ201120096600
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月2日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司