專(zhuān)利名稱(chēng)：用于清洗外管的洗管機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于清洗外管的洗管機(jī)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造工藝車(chē)間，爐管區(qū)低壓管機(jī)臺(tái)的外管在每次維護(hù)(PM)后，需要清洗干凈，以備下次維護(hù)使用。請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的用于清洗外管的洗管機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有的用于清洗外管1的洗管機(jī)包括旋轉(zhuǎn)軸2和左、右擋板條3，所述旋轉(zhuǎn)軸2帶動(dòng)所述外管1轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條3設(shè)置在所述外管1的兩端以防止外管1滑落。在一個(gè)維護(hù)周期內(nèi)，密封用的橡膠0型圈和外管底部11在一定的高溫和低壓條件下長(zhǎng)時(shí)間貼合在一起，所以橡膠0型圈會(huì)有部分殘留在外管底部。外管1在清洗時(shí)會(huì)有橡膠0型圈的殘留物粘合在外管底部(即端面)。而我們清洗外管過(guò)程中，這些殘留物阻止和減緩酸液和外管1之間的反應(yīng)。所以， 在清洗以后，外管底部11變得高低不平。這樣的外管如果使用，可能造成由外管制成的低壓管測(cè)漏指標(biāo)通不過(guò)，以致報(bào)廢，從而對(duì)生產(chǎn)成本造成極大浪費(fèi)。因此，如何提供一種可以方便、有效去除外管底部上的殘留物的用于清洗外管的洗管機(jī)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于清洗外管的洗管機(jī)可以方便、有效地去除外管底部上的殘留物。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種用于清洗外管的洗管機(jī)，包括旋轉(zhuǎn)軸和左、右擋板條，所述旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述外管轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條設(shè)置在所述外管的兩端，所述左、右擋板條分別設(shè)有摩擦環(huán)，所述摩擦環(huán)分別和所述外管的對(duì)應(yīng)端面相接觸。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述摩擦環(huán)與所述外管相接觸的表面是磨砂表面。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述摩擦環(huán)與所述外管相接觸的表面是特福龍磨砂表面。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述左、右擋板條分別設(shè)有一對(duì)摩擦環(huán)。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述外管通過(guò)一對(duì)吊鉤設(shè)置在用于清洗外管的洗管機(jī)內(nèi)。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述旋轉(zhuǎn)軸有兩根。在上述用于清洗外管的洗管機(jī)中，所述旋轉(zhuǎn)軸固設(shè)一對(duì)驅(qū)動(dòng)輪。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型用于清洗外管的洗管機(jī)，通過(guò)在左、右擋板條分別增設(shè)有與外管的兩端面相接觸摩擦環(huán)，在外管轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，摩擦環(huán)可以和外管的端面相摩擦，從而可以清除外管端面上的殘留物，進(jìn)而避免在后續(xù)的酸洗過(guò)程中外管的端面上的殘留物阻止或減緩酸液和外管反應(yīng)，從而使得酸液和外管充分反應(yīng)將外管清洗干凈，確保利用該外管制成的低壓管的性能穩(wěn)定，提高產(chǎn)品良率，降低了生產(chǎn)成本。

本實(shí)用新型的用于清洗外管的洗管機(jī)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為現(xiàn)有的用于清洗外管的洗管機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的用于清洗外管的洗管機(jī)的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖圖3為清洗前的外管的端面的示意圖；圖4為清洗后的外管的端面的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的用于清洗外管的洗管機(jī)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型洗的管機(jī)的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。這種用于清洗外管10的洗管機(jī)，包括旋轉(zhuǎn)軸20和左、右擋板條30。所述旋轉(zhuǎn)軸20帶動(dòng)所述外管10 轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條30設(shè)置在所述外管10的兩端，所述左、右擋板條30分別設(shè)有摩擦環(huán)40，所述摩擦環(huán)40分別和所述外管10的對(duì)應(yīng)端面相接觸，在外管10轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，摩擦環(huán)40 可以和外管10的端面相摩擦，可清除外管10端面上的殘留物，進(jìn)而避免在后續(xù)的酸洗過(guò)程中外管10的端面上的殘留物阻止或減緩酸液和外管反應(yīng)，使酸液和外管充分反應(yīng)將外管清洗干凈。本實(shí)施例中，所述摩擦環(huán)40與所述外管10的對(duì)應(yīng)端面(本實(shí)施例中是底面)相接觸的表面(外周面)是磨砂表面，磨砂表面可以較為有效去除外管10端面110上的殘留物50。優(yōu)選的，所述摩擦環(huán)40與所述外管10相接觸的表面是特福龍磨砂表面，這種具有特氟龍磨砂表面的摩擦環(huán)具有耐酸堿、耐摩擦的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)施例中，所述左、右擋板條30分別設(shè)有一對(duì)摩擦環(huán)40，使得摩擦環(huán)40可以清洗到外管10的端面110的各個(gè)部位。較佳的，所述摩擦環(huán)40采用圓柱型滾輪。[0029]其中，所述外管10通過(guò)一對(duì)吊鉤80設(shè)置在用于清洗外管的洗管機(jī)內(nèi)，所述吊鉤80 和用于清洗外管的洗管機(jī)的機(jī)架70固定連接。本實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)軸20有兩根，所述兩根旋轉(zhuǎn)軸20分別固設(shè)一對(duì)驅(qū)動(dòng)輪60， 所述驅(qū)動(dòng)輪60用于驅(qū)動(dòng)所述外管10轉(zhuǎn)動(dòng)。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，本實(shí)施例的新型用于清洗外管的洗管機(jī)的使用方法如下所述外管10夾在左、右擋板條30之間，用于清洗外管的洗管機(jī)本身的旋轉(zhuǎn)軸20 通過(guò)驅(qū)動(dòng)輪60帶動(dòng)外管10轉(zhuǎn)動(dòng)，外管10的兩端面110和摩擦環(huán)40的磨砂面旋轉(zhuǎn)摩擦，從而將端面110上的殘留物50清除干凈。請(qǐng)參閱圖3和圖4，圖3所示為清洗前的外管1的端面110的示意圖。圖4所示為清洗后的外管10的端面110的示意圖。對(duì)比可知，本實(shí)用新型用于清洗外管的洗管機(jī)可以有效清除外管10端面110上的殘留物50。當(dāng)殘留物50清除干凈后，可以防止后續(xù)的酸洗過(guò)程中，有殘留物50阻止或減緩酸液和外管10反應(yīng)，使得酸液和外管10充分反應(yīng)從而將外管10清洗干凈，以確保后續(xù)中由外管10制成的低壓管的性能穩(wěn)定，有效提高了產(chǎn)品良率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于清洗外管的洗管機(jī)，包括旋轉(zhuǎn)軸和左、右擋板條，所述旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述外管轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條設(shè)置在所述外管的兩端，其特征在于，所述左、右擋板條分別設(shè)有摩擦環(huán)，所述摩擦環(huán)分別和所述外管的對(duì)應(yīng)端面相接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述摩擦環(huán)與所述外管相接觸的表面是磨砂表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述摩擦環(huán)與所述外管相接觸的表面是特福龍磨砂表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述左、右擋板條分別設(shè)有一對(duì)摩擦環(huán)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述外管通過(guò)一對(duì)吊鉤設(shè)置在用于清洗外管的洗管機(jī)內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)軸有兩根。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述用于清洗外管的洗管機(jī)，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)軸固設(shè)一對(duì)驅(qū)動(dòng)輪。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于清洗外管的洗管機(jī)，其包括旋轉(zhuǎn)軸和左、右擋板條，所述旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述外管轉(zhuǎn)動(dòng)，所述左、右擋板條設(shè)置在所述外管的兩端，所述左、右擋板條分別設(shè)有摩擦環(huán)，所述摩擦環(huán)分別和外管的對(duì)應(yīng)端面相接觸。本實(shí)用新型用于清洗外管的洗管機(jī)，通過(guò)在左、右擋板條分別增設(shè)有與外管的兩端面相接觸摩擦環(huán)，在外管轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，摩擦環(huán)的磨砂表面可以和外管的端面相摩擦，從而可以清除外管端面上的殘留物，進(jìn)而避免在后續(xù)的酸洗過(guò)程中外管的端面上的殘留物阻止或減緩酸液和外管反應(yīng)，從而使得酸液和外管充分反應(yīng)將外管清洗干凈，確保后續(xù)中由外管制成的低壓管的性能穩(wěn)定，提高產(chǎn)品良率，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01L21/00GK202052736SQ20112012342
公開(kāi)日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月25日
發(fā)明者于樂(lè), 凌堯, 劉剛, 楊志平 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司