專利名稱：一種剝離硅片的鏟刀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種鏟刀，具體涉及一種剝離硅片的鏟刀，用于半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)。
背景技術(shù)：
隨著電子信息技術(shù)的日新月異，對襯底的要求越來越高，比如平坦度水平，而提高平坦度水平必然促使有蠟拋光技術(shù)的廣泛應(yīng)用。在有蠟拋光過程中，剝離是必不可少的環(huán)節(jié)，剝離過程中鏟刀的好壞直接影響到產(chǎn)品的良率水平。目前，被廣泛應(yīng)用到有蠟拋光過程中的剝離鏟刀，如圖1-2所示，剝離鏟刀，包括刀柄120和刀身110，所述刀柄120與刀身110連接。刀身上設(shè)置安裝孔130。刀身110的下面為腹面114，刀身110的上面為背面113。腹面114為一水平設(shè)置的平面，背面113為一斜平面。刀身110的前端可以加工成厚度0. 5mm。由于刀身110的腹面113 —般采用平面設(shè)計(jì)，在使用過程中受人為施力方向的影響，刀身110往往朝下彎曲，使得尖端精度較高的設(shè)計(jì)不能發(fā)揮作用。剝離鏟刀多采用特氟龍材料所制，盡管其彈性較好，但耐磨性較差，鏟刀前端磨損速率較快，需重復(fù)加工，才能保證正常使用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于，提供一種剝離硅片的鏟刀，以克服現(xiàn)有剝離鏟刀所存在的刀身的腹面為平面設(shè)計(jì)、尖端精度差、刀身采用特氟龍材料所制、耐磨性較差等缺點(diǎn)和不足。本實(shí)用新型增加了剝離鏟刀的使用便捷度。一種剝離硅片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，其特征在于所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設(shè)置為弧面結(jié)構(gòu)；背面設(shè)置為斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮樹脂制成一體式結(jié)構(gòu)。其中，所述刀身腹面的弧面的曲率半徑R4為1300 1800mm。其中，所述刀身的前端厚度小于刀身的后端厚度。進(jìn)一步，所述前端厚度為0.2mm。其中，所述刀柄上設(shè)置安裝孔。進(jìn)一步，所述安裝孔的半徑R3為2 5mm。所述剝離鏟刀的刀柄依然采用PVC材料制成條狀結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果1、本鏟刀的腹面為弧面結(jié)構(gòu)，在使用過程中刀身本來就朝下彎曲，有效增加了操作便捷度。2、由于本鏟刀的刀身采用聚醚醚酮樹脂材料制作，較特氟龍剝離鏟刀的耐磨性有很大提高，一次加工成型后可長期使用，無需再次加工，大大增加了鏟刀的使用壽命。3、本實(shí)用新型的尖端精度好，刀身的前端的厚度為0. 2mm。[0019]4、傳統(tǒng)的鏟刀如果采用倒角方法制造，則誰銳角或者直角的邊緣。本實(shí)用新型的刀身的左前方和右前方設(shè)置為圓弧形結(jié)構(gòu)，在使用的過程中不容易挫傷產(chǎn)品，減少產(chǎn)品的破損、缺口甚至碎片的產(chǎn)生，從而產(chǎn)品的提高合格率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的主視圖。圖2為現(xiàn)有技術(shù)的仰視圖。圖3為本實(shí)用新型的主視圖。圖4為本實(shí)用新型的仰視圖。附圖標(biāo)記刀身110、背面113、腹面114、刀柄120、安裝孔130 ；刀身210、背面213、腹面214、刀柄220、安裝孔230。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。應(yīng)理解，以下實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而非用于限定本實(shí)用新型的范圍。實(shí)施例一種剝離硅片的鏟刀，如圖3-4所示，包括刀身210和刀柄220、刀柄220與刀身 210連接，刀柄220上設(shè)置安裝孔230。刀身210包括前端、后端、背面213、腹面214。刀身210的前端的厚度小于后端的厚度。刀身的前端的厚度加工為0.2mm。刀身210的下面為腹面214，腹面214設(shè)置為弧面結(jié)構(gòu)；刀身210的上面為背面 213，背面213設(shè)置為斜平面。腹面214的弧面的曲率半徑R4為1300 1800mm，優(yōu)選為1500mm。將刀身210接上PVC的刀柄220，用螺釘通過安裝孔230固定于機(jī)器上即可使用。 安裝孔230的半徑R3為2 5mm，優(yōu)選為2. 2mm。再次參看圖3，以刀身210為前方，刀身210為后方，則刀身210的左前方和右前方設(shè)置為圓弧形結(jié)構(gòu)，且左圓弧2136的半徑Rl為10 20mm，優(yōu)選為IOmm ；左圓弧2136的半徑R2為10 20mm，優(yōu)選為10mm。傳統(tǒng)的鏟刀如果采用倒角方法制造，則誰銳角或者直角的邊緣。本鏟刀的背面弧度設(shè)計(jì)，在使用的過程中不容易挫傷產(chǎn)品，減少產(chǎn)品的破損、缺口甚至碎片的產(chǎn)生，從而產(chǎn)品的提高合格率另外，本剝離鏟刀的腹面214設(shè)置為弧面結(jié)構(gòu)，當(dāng)使用鏟刀進(jìn)行剝離作業(yè)時(shí)，前端由于受硅片阻擋，腹面將發(fā)生彎曲，使腹面弧度增大，進(jìn)而產(chǎn)生自然向前的彈性恢復(fù)力，在彈性恢復(fù)力作用下，前端高精度部分將輕易滑入硅片下方貼近陶瓷板的倒角縫隙內(nèi)，使硅片剝離。這相比無弧度設(shè)計(jì)的鏟刀，大大增加了操作便捷度并且充分發(fā)揮了尖端高精度設(shè)計(jì)。刀身210采用聚醚醚酮樹脂(Polyetheretherketone，簡稱PEEK)通過壓鑄成型工藝制作成，再用高精度數(shù)控銑，將尖端加工到所需精度，如前端的厚度為0. 2mm。聚醚醚酮樹脂，是一種高端的特種工程塑料。其具有高彈性模量，高耐磨性能等特點(diǎn)。與特氟龍材料相比。它的層間斷裂韌性高IJ數(shù)量級，強(qiáng)度高25%，疲勞壽命高1倍。這種復(fù)合材料對沖擊損傷不敏感，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中損傷容限較大，一次加工成型后可長期使用， 無須再次加工，可以使鏟刀的使用壽命增加2年以上。刀柄220可采用聚氯乙烯(Polyvinylchloride，PVC)材料制作。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
權(quán)利要求1.一種剝離硅片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，其特征在于所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設(shè)置為弧面結(jié)構(gòu)；背面設(shè)置為斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮樹脂制成一體式結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏟刀，其特征在于，所述刀身腹面的弧面曲率半徑R4為 1300 1800mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏟刀，其特征在于，所述刀身的前端的厚度小于刀身的后端的厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鏟刀，其特征在于，所述前端的厚度為0.2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏟刀，其特征在于，所述刀柄上設(shè)置安裝孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏟刀，其特征在于，所述安裝孔的半徑R3為2 5mm。
專利摘要一種剝離硅片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設(shè)置為弧面結(jié)構(gòu)；背面設(shè)置為斜平面，所述刀身采用聚醚醚酮樹脂制成一體式結(jié)構(gòu)。刀柄依然采用PVC材料制成，刀柄上設(shè)置安裝孔。刀身采用聚醚醚酮樹脂材料制作，耐磨性有很大提高，增加了鏟刀的使用壽命。腹面采用弧面，有效增加了操作便捷度并且充分發(fā)揮了尖端高精度設(shè)計(jì)。
文檔編號H01L21/67GK202058708SQ201120150048
公開日2011年11月30日 申請日期2011年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月12日
發(fā)明者李彬, 洪漪, 邱昕, 龔祥 申請人:上海申和熱磁電子有限公司