專利名稱：晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置。
背景技術(shù)：
晶圓生產(chǎn)生產(chǎn)過程中，需要使用各種不同的保護膜，如在晶圓減薄時使用的減薄膜、在晶圓切割時使用的切割膜。生產(chǎn)完成后，需要將這些保護膜撕除。撕除保護膜的方法有幾種，一是利用膠帶粘住保護膜，隨膠帶撕除保護膜；一種是利用機械裝置撕除保護膜。申請?zhí)枮?01010517198. 2的中國專利申請，公開了一種撕膜裝置。無論是利用膠帶、還是利用機械裝置撕膜，均需要收集撕下的保護膜。由于保護膜均具有一定的粘性，現(xiàn)有的方法中，撕除的保護膜容易粘接在撕膜裝置上，需要借助操作工人將保護膜從撕膜裝置上撕下。利用操作工人手工收集保護膜，不僅勞動強度大，效率低，而且在自動化生產(chǎn)線上還比較危險。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可將保護膜從其它裝置上撕下的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置。為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，包括可開合的夾子；驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動夾子打開與閉合。優(yōu)選地是，所述夾子包括第一夾板和第二夾板；第一夾板和第二夾板均可轉(zhuǎn)動地設(shè)置；驅(qū)動裝置驅(qū)動第一夾板和第二夾板之一或全部轉(zhuǎn)動。優(yōu)選地是，所述第一夾板與第二夾板聯(lián)動設(shè)置；驅(qū)動裝置與第一夾板或第二夾板連接，通過驅(qū)動第一夾板或第二夾板轉(zhuǎn)動而驅(qū)動兩者同步轉(zhuǎn)動。優(yōu)選地是，所述的第一夾板安裝在第一軸上；第二夾板安裝在第二軸上；第一軸與第二軸通過傳動裝置連接。優(yōu)選地是，所述的傳動裝置包括第一齒輪和第二齒輪；第一齒輪設(shè)置在第一軸上； 第二齒輪設(shè)置在第二軸上；第一齒輪與第二齒輪嚙合。 優(yōu)選地是，所述第一齒輪與第二齒輪均安裝在齒輪箱內(nèi)。優(yōu)選地是，所述驅(qū)動裝置數(shù)目為兩個，每個驅(qū)動裝置驅(qū)動一個夾板轉(zhuǎn)動。優(yōu)選地是，還包括氣管，氣管與供氣裝置聯(lián)通，氣管的開口朝向夾子。優(yōu)選地是，所述氣管包括第一氣管和第二氣管，第一氣管與第二氣管均與供氣裝置聯(lián)通；第一氣管的開口朝向第一夾板；第二氣管的開口朝向第二夾板。優(yōu)選地是，所述驅(qū)動裝置為往復(fù)驅(qū)動裝置。優(yōu)選地是，所述往復(fù)驅(qū)動裝置為氣缸。優(yōu)選地是，還包括支架，所述的可開合的夾子安裝在支架上。優(yōu)選地是，所述的驅(qū)動裝置安裝在支架上。[0019]本實用新型中的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，可自動夾住晶圓生產(chǎn)用的保護膜，自動將保護膜從撕膜裝置或其它裝置上撕除。便于實現(xiàn)自動化操作，降低操作工人勞動強度， 效率高。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。

圖1為正面觀察的本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為從背面觀察的本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實用新型拆分結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細的描述如圖1、圖2和圖3所示，晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，包括支架1，支架1上安裝有齒輪箱5。支架1上安裝有夾子2，夾子2包括第一夾板21和第二夾板22。第一夾板21安裝在第一軸31—端。第一軸31另一端伸入齒輪箱5內(nèi)，齒輪箱5內(nèi)安裝有第一軸承61。第一軸31通過第一軸承61可轉(zhuǎn)動地安裝在齒輪箱5上。第一軸31另一端安裝有第一齒輪
81。第一齒輪81位于齒輪箱5內(nèi)。第一齒輪81可在齒輪箱5內(nèi)轉(zhuǎn)動。第二夾板22安裝在第二軸32—端。第二軸32另一端伸入齒輪箱5內(nèi)，齒輪箱5內(nèi)安裝有第二軸承62。第二軸32通過第二軸承62可轉(zhuǎn)動地安裝在齒輪箱5上。第二軸32另一端安裝有第二齒輪
82。第二齒輪82位于齒輪箱5內(nèi)。第二齒輪82可在齒輪箱5內(nèi)轉(zhuǎn)動。第一齒輪81與第二齒輪82嚙合。本實用新型中，第一夾板21與第二夾板22均可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在支架1上。 且第一夾板21與第二夾板22聯(lián)動設(shè)置?？赊D(zhuǎn)動的第一夾板21與第二夾板22組成可開合的夾子2。夾子2閉合，可夾住保護膜；夾子2打開，可解除對保護膜的夾持力。氣缸9安裝在支架1上。氣缸9的活塞桿91與第一夾板21連接?；钊麠U91端部設(shè)置夾臂911。夾臂911上設(shè)置有第一通孔(圖中未示出)。第一夾板21上設(shè)置有固定座211。固定座211上設(shè)置有第二通孔(圖中未示出)。銷子912穿過第一通孔和第二通孔，將活塞桿91與第一夾板21活動連接。第一夾板21上方設(shè)置有第一氣管11 ；第一氣管11與供氣裝置聯(lián)通。第一氣管11 的開口朝向第一夾板21。第二夾板22上方設(shè)置有第二氣管12。第二氣管12與供氣裝置聯(lián)通。第二氣管12的開口朝向第二夾板22。供氣裝置提供氣體，通過第一氣管11和第二氣管12，分別吹向第一夾板21和第二夾板22，可將粘在第一夾板21和第二夾板22上的保護膜吹掉。使用時，撕膜裝置(圖中未示出)將保護膜從晶圓表面撕下。保護膜粘附在撕膜裝置上，或者撕膜裝置夾持住保護膜。撕膜裝置移動將從保護膜送至第一夾板21與第二夾板22之間。氣缸9開始工作，活塞桿91向外伸出以推動第一夾板21與第二夾板22轉(zhuǎn)動。 第一夾板21與第二夾板22轉(zhuǎn)動后夾住保護膜。撕膜裝置移動，夾子2將保護膜從撕膜裝置上撕下。氣缸9工作，活塞桿91向內(nèi)收縮以拉動第一夾板21和第二夾板22轉(zhuǎn)動，使夾子2打開。失去夾持力后，保護膜可自動落入下方的容器內(nèi)。如保護膜無法自動脫落，則可使用供氣裝置通過第一氣管11和第二氣管12向第一夾板21和第二夾板22吹氣，將保護膜吹下。[0028]在自動化生產(chǎn)過程中，可利用計算機控制氣缸9工作，使夾子2的打開和閉合與撕膜裝置的運動相適應(yīng)。自動控制的技術(shù)可通過現(xiàn)有技術(shù)實現(xiàn)，在此不再贅述。在實施例1的基礎(chǔ)上，可省略齒輪箱5、第一氣管11、第二氣管12中的一個或幾個，雖不能達到最佳效果，但仍能解決部分技術(shù)問題。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本實用新型保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，包括可開合的夾子；驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動夾子打開與閉合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述夾子包括第一夾板和第二夾板；第一夾板和第二夾板均可轉(zhuǎn)動地設(shè)置；驅(qū)動裝置驅(qū)動第一夾板和第二夾板之一或全部轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述第一夾板與第二夾板聯(lián)動設(shè)置；驅(qū)動裝置與第一夾板或第二夾板連接，通過驅(qū)動第一夾板或第二夾板轉(zhuǎn)動而驅(qū)動兩者同步轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述的第一夾板安裝在第一軸上；第二夾板安裝在第二軸上；第一軸與第二軸通過傳動裝置連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述的傳動裝置包括第一齒輪和第二齒輪；第一齒輪設(shè)置在第一軸上；第二齒輪設(shè)置在第二軸上；第一齒輪與第二齒輪嚙合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述第一齒輪與第二齒輪均安裝在齒輪箱內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置數(shù)目為兩個，每個驅(qū)動裝置驅(qū)動一個夾板轉(zhuǎn)動。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，還包括氣管，氣管與供氣裝置聯(lián)通，氣管的開口朝向夾子。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述氣管包括第一氣管和第二氣管，第一氣管與第二氣管均與供氣裝置聯(lián)通；第一氣管的開口朝向第一夾板； 第二氣管的開口朝向第二夾板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為往復(fù)驅(qū)動裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述往復(fù)驅(qū)動裝置為氣缸。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，還包括支架，所述的可開合的夾子安裝在支架上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，所述的驅(qū)動裝置安裝在支架上。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，其特征在于，包括可開合的夾子；驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動夾子打開與閉合。本實用新型中的晶圓生產(chǎn)用膜的收集裝置，可自動夾住晶圓生產(chǎn)用的保護膜，自動將保護膜從撕膜裝置或其它裝置上撕除。便于實現(xiàn)自動化操作，降低操作工人勞動強度，效率高。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
文檔編號H01L21/00GK202126998SQ201120237789
公開日2012年1月25日 申請日期2011年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月7日
發(fā)明者劉永豐, 張明星, 牛菀漓 申請人:上海技美電子科技有限公司