專利名稱：貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種頂針座，更具體地說，尤其涉及一種貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座。
背景技術(shù)：
在貼片設(shè)備中，多采用頂針頂起方式實(shí)現(xiàn)晶片和薄膜的分離；當(dāng)邦頭上的吸嘴移至晶片的正上方時(shí)，頂針環(huán)內(nèi)通真空使藍(lán)膜貼緊頂針環(huán)，頂針上升把晶片頂起，吸嘴通過真空把頂起的晶片吸住，然后頂針下降，就使晶片從藍(lán)膜上分離出來，之后吸嘴帶走晶片到固晶位置上?，F(xiàn)有的頂針座結(jié)構(gòu)大致分為兩類。一類主要由電機(jī)、固定頂針座和固定在機(jī)架上的彈簧組成。電機(jī)帶動(dòng)偏心桿驅(qū)動(dòng)頂針座沿著滑軌向上運(yùn)動(dòng)，頂針座到最高位后與偏心桿脫離。頂針座靠彈簧彈力回復(fù)到初始位置。另一類驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)采用兩個(gè)電機(jī)結(jié)合偏心軸輸出， 頂針座及頂針運(yùn)動(dòng)皆由電機(jī)結(jié)合偏心桿控制。上述兩種結(jié)構(gòu)的頂針座，都存在不足之處第一種驅(qū)動(dòng)方式，由于頂針座的復(fù)位主要靠彈簧彈力，因此穩(wěn)定性不好，頂針運(yùn)動(dòng)的垂直度較差，容易導(dǎo)致控制失靈；第二種驅(qū)動(dòng)方式，其結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，精度主要依靠機(jī)械加工及裝配， 頂針座存在調(diào)節(jié)困難，頂偏晶片的問題，而且體積過大。對(duì)于本公司應(yīng)用的RFID貼片機(jī)，頂針的定位精度通常要求為芯片大小的1/4左右，而芯片的大小約為0. 4mm至0. 8mm。采用現(xiàn)有的頂針座結(jié)構(gòu)，很難達(dá)到預(yù)定的要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、調(diào)節(jié)方便的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，包括支座，其中所述的支座上設(shè)有頂針機(jī)構(gòu)，該頂針機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在支座上的頂針筒、設(shè)置在頂針筒內(nèi)的頂針座、設(shè)置在頂針座上的頂針、設(shè)置在頂針筒上端的外螺紋環(huán)、與外螺紋環(huán)螺紋連接的第一頂針帽以及設(shè)置在頂針座底部的升降導(dǎo)桿；在第一頂針帽頂部設(shè)有與頂針相適應(yīng)的通孔，在支座下部設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述的升降導(dǎo)桿的下端穿過頂針筒以及支座與升降驅(qū)動(dòng)裝置相接觸。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的外螺紋環(huán)與頂針筒為一體成型的整體結(jié)構(gòu)。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的第一頂針帽下方的外螺紋環(huán)上螺紋連接有定位調(diào)節(jié)環(huán)。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的通孔外圍的第一頂針帽頂部分布有吸氣孔，在頂針筒側(cè)壁設(shè)有與外部抽真空設(shè)備管路連接的抽氣孔，抽氣孔與吸氣孔通過頂針筒和第一頂針帽之間形成的空腔連通。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的頂針機(jī)構(gòu)還包括套設(shè)在頂針筒內(nèi)的頂針導(dǎo)向筒，頂針導(dǎo)向筒內(nèi)設(shè)有與升降導(dǎo)桿相適應(yīng)的通孔；頂針筒和頂針導(dǎo)向筒通過螺絲固定在支座上。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的頂針機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在頂針外圍的頂針座上的頂針夾緊塊和設(shè)置在頂針夾緊塊外圍的第二頂針帽；頂針夾緊塊夾設(shè)在第二頂針帽與頂針座之間。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括水平設(shè)置在支座上的電機(jī)和固定在電機(jī)動(dòng)力輸出軸上的偏心輪，偏心輪與升降導(dǎo)桿相對(duì)應(yīng)。上述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座中，所述的支座底部設(shè)有導(dǎo)向柱和導(dǎo)向升降塊，導(dǎo)向升降塊的其中一端近端部活動(dòng)套設(shè)在導(dǎo)向柱上，導(dǎo)向升降塊的另一端近端部設(shè)有內(nèi)螺孔通孔，在內(nèi)螺紋通孔內(nèi)螺紋連接有調(diào)節(jié)螺母，調(diào)節(jié)螺母上端與升降導(dǎo)桿底部相接觸，調(diào)節(jié)螺母底部與偏心輪相接觸；在支座底部與導(dǎo)向升降塊頂部之間的升降導(dǎo)桿外圍由上至下依序套設(shè)有彈簧墊和復(fù)位彈簧。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)后，通過在支座上設(shè)置相互配合的頂針筒、頂針導(dǎo)向筒、 頂針夾緊塊、頂針帽及升降導(dǎo)桿配合對(duì)頂針進(jìn)行定位，保證其運(yùn)動(dòng)時(shí)的垂直度，同時(shí)通過彈簧、偏心輪和電機(jī)配合，實(shí)現(xiàn)頂針的垂直運(yùn)動(dòng)，精度較高；進(jìn)一步地，通過外螺紋環(huán)、定位調(diào)節(jié)環(huán)與第一頂針帽配合，達(dá)到實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)第一頂針帽與晶圓盤之間位置的作用，使第一頂針帽始終與晶圓盤底部緊貼；同時(shí)在導(dǎo)向升降塊上設(shè)置分別與升降導(dǎo)桿和偏心輪接觸的調(diào)節(jié)螺母，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺母，使升降導(dǎo)桿帶動(dòng)頂針可以做適當(dāng)?shù)奈恢谜{(diào)節(jié)，方便頂針的調(diào)節(jié)； 從而使得整個(gè)頂針座的調(diào)節(jié)變得容易，定位達(dá)到預(yù)定要求，從而使得頂針工作效率高、效果好；本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于維護(hù)、裝配簡(jiǎn)單有效的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖中的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。

圖1是本實(shí)用新型的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的右視圖；圖3是圖2中A-A處的剖視圖；圖4是圖3中B處的局部放大示意圖。圖中支座1、頂針機(jī)構(gòu)2、頂針筒2a、頂針座2b、頂針2c、第一頂針帽2d、升降導(dǎo)桿 2e、通孔2f、吸氣孔2g、抽氣孔2h、頂針導(dǎo)向筒2i、頂針夾緊塊2j、第二頂針帽2k、外螺紋環(huán) 3、升降驅(qū)動(dòng)裝置4、電機(jī)4a、偏心輪4b、定位調(diào)節(jié)環(huán)5、導(dǎo)向柱6、導(dǎo)向升降塊7、調(diào)節(jié)螺母8、 彈簧墊9、復(fù)位彈簧10。
具體實(shí)施方式
參閱圖1至圖4所示，本實(shí)用新型一種貼片機(jī)用頂針座，包括支座1，在支板1上設(shè)有頂針機(jī)構(gòu)2，頂針機(jī)構(gòu)2包括設(shè)置在支座1上的頂針筒2a、設(shè)置在頂針筒2a上端的外螺紋環(huán)3，設(shè)置在頂針筒2a內(nèi)的頂針座2b、設(shè)置在頂針座2b上的頂針2c、設(shè)置在頂針2c外圍的頂針座2b上的頂針夾緊塊2j、設(shè)置在頂針夾緊塊2j外圍的第二頂針帽2k、設(shè)置在第二頂針帽2k外圍且與外螺紋環(huán)3螺紋連接第一頂針帽2d、套設(shè)在頂針筒2a內(nèi)的頂針導(dǎo)向筒2i以及設(shè)置在頂針座2b底部的升降導(dǎo)桿2e ；在第一頂針帽2d下方的外螺紋環(huán)3上螺紋連接有定位調(diào)節(jié)環(huán)5，調(diào)節(jié)環(huán)5用于限定第一頂針帽2d的位置，防止第一頂針帽2d出現(xiàn)位移，頂針導(dǎo)向筒2i用來限制頂針2c只做Z軸方向的上下運(yùn)動(dòng)，頂針筒2a和頂針導(dǎo)向筒 2i通過螺絲固定在支座1上；其中，在頂針夾緊塊2j夾設(shè)在第二頂針帽2k與頂針座2b之間；在第一頂針帽2d頂部設(shè)有與頂針2c相適應(yīng)的通孔2f，在通孔2f外圍的第一頂針帽2d 頂部分布有吸氣孔2g，在頂針導(dǎo)向筒2i側(cè)壁設(shè)有與外部抽真空設(shè)備管路連接的抽氣孔2h， 抽氣孔2h與吸氣孔2g通過頂針筒2a和第一頂針帽2d之間形成的空腔連通；在支座1下部設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)裝置4，在頂針筒2a與頂針導(dǎo)向筒2i內(nèi)均設(shè)有與升降導(dǎo)桿2e相適應(yīng)的通孔，升降導(dǎo)桿2e下端穿過頂針筒2a、頂針導(dǎo)向筒2i以及支座1與驅(qū)動(dòng)裝置4相接觸；本實(shí)施例中的升降驅(qū)動(dòng)裝置4包括水平設(shè)置在支座1上的電機(jī)4a和固定在電機(jī)4a動(dòng)力輸出軸上的偏心輪4b，偏心輪4b與升降導(dǎo)桿2e相對(duì)應(yīng)；進(jìn)一步地，在支座1底部設(shè)有導(dǎo)向柱6和導(dǎo)向升降塊7，導(dǎo)向升降塊7的其中一端近端部活動(dòng)套設(shè)在導(dǎo)向柱6上，導(dǎo)向升降塊7的另一端近端部設(shè)有內(nèi)螺孔通孔，在內(nèi)螺紋通孔內(nèi)螺紋連接有調(diào)節(jié)螺母8，調(diào)節(jié)螺母8上端與升降導(dǎo)桿2e底部相接觸，調(diào)節(jié)螺母8底部與偏心輪4b相接觸；在支座1底部與導(dǎo)向升降塊7 頂部之間的升降導(dǎo)桿2e外圍由上至下依序套設(shè)有彈簧墊9和復(fù)位彈簧10。 具體使用時(shí)，將本實(shí)用新型安裝在水平二維微調(diào)底座上，通過水平二維微調(diào)底座調(diào)整頂針機(jī)構(gòu)2的位置，使頂針2c與待頂起晶圓相對(duì)應(yīng)，然后啟動(dòng)電機(jī)4a，通過電機(jī)4a驅(qū)動(dòng)偏心輪4b轉(zhuǎn)動(dòng)，偏心輪4b帶動(dòng)導(dǎo)向升降塊7上下運(yùn)動(dòng)，再通過導(dǎo)向升降塊7帶動(dòng)升降導(dǎo)桿2e上下移動(dòng)，首先通過導(dǎo)向升降塊7對(duì)升降導(dǎo)桿2e進(jìn)行限位，保證其只沿Z軸作上下運(yùn)動(dòng)，接著升降導(dǎo)桿2e帶動(dòng)頂針座2b上下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)頂針2c的上下運(yùn)動(dòng)，此時(shí)通過頂針筒2a和頂針導(dǎo)向筒2i配合，進(jìn)一步確保頂針2c只作Z軸方向的上下運(yùn)動(dòng)，不會(huì)出現(xiàn)偏移， 保證頂針2c工作的準(zhǔn)確性；在電機(jī)4a啟動(dòng)的同時(shí)，與抽氣孔2h相連的外部抽真空設(shè)備也啟動(dòng)，目的是在頂針2c頂晶圓時(shí)通過吸氣孔2g將與頂針2c相對(duì)的晶圓周圍的晶圓吸住固定，不讓這些晶圓產(chǎn)生松動(dòng)，從而使頂針2c工作的更穩(wěn)定，更準(zhǔn)確；當(dāng)需要調(diào)節(jié)頂針2c位置時(shí)，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺母8，使升降導(dǎo)桿2e帶動(dòng)頂針2c升或降，以達(dá)到合理位置；當(dāng)需要調(diào)節(jié)第一頂針帽2d與晶圓盤位置時(shí)，上升時(shí)，首先旋轉(zhuǎn)第一頂針帽2d使第一頂針帽2d與晶圓盤緊貼，然后再調(diào)節(jié)定位調(diào)節(jié)環(huán)5使其緊貼第一頂針帽2d的下端以防第一頂針帽2d移位； 下降時(shí)，先將定位調(diào)節(jié)環(huán)5位下調(diào)節(jié)，然后再調(diào)節(jié)第一頂針帽2d到適當(dāng)位置，再將定位調(diào)節(jié)環(huán)5調(diào)節(jié)至與第一頂針帽2d下端緊貼即可，調(diào)節(jié)靈活方便。
權(quán)利要求1.一種貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，包括支座(1)，其特征在于，所述的支座(1)上設(shè)有頂針機(jī)構(gòu)(2)，該頂針機(jī)構(gòu)(2)包括設(shè)置在支座(1)上的頂針筒(2a)、設(shè)置在頂針筒(2a)內(nèi)的頂針座(2b)、設(shè)置在頂針座(2b)上的頂針(2c)、設(shè)置在頂針筒(2a)上端的外螺紋環(huán) (3)、與外螺紋環(huán)(3)螺紋連接的第一頂針帽(2d)以及設(shè)置在頂針座(2b)底部的升降導(dǎo)桿 (2e)；在第一頂針帽(2d)頂部設(shè)有與頂針(2c)相適應(yīng)的通孔(2f)，在支座(1)下部設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)裝置(4)，所述的升降導(dǎo)桿(2e)的下端穿過頂針筒(2a)以及支座(1)與升降驅(qū)動(dòng)裝置⑷相接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的外螺紋環(huán)(3)與頂針筒(2a)為一體成型的整體結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的第一頂針帽 (2d)下方的外螺紋環(huán)(3)上螺紋連接有定位調(diào)節(jié)環(huán)(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的頂針機(jī)構(gòu)(2)還包括套設(shè)在頂針筒(2a)內(nèi)的頂針導(dǎo)向筒(2i)，頂針導(dǎo)向筒(2i)內(nèi)設(shè)有與升降導(dǎo)桿(2e)相適應(yīng)的通孔；頂針筒(2a)和頂針導(dǎo)向筒(2i)通過螺絲固定在支座(1)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的通孔(2f)外圍的第一頂針帽(2d)頂部分布有吸氣孔(2g)，在頂針導(dǎo)向筒(2i)側(cè)壁設(shè)有與外部抽真空設(shè)備管路連接的抽氣孔(2h)，抽氣孔(2h)與吸氣孔(2g)通過頂針筒(2a)和第一頂針帽(2d) 之間形成的空腔連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的頂針機(jī)構(gòu)(2)還包括設(shè)置在頂針(2c)外圍的頂針座(2b)上的頂針夾緊塊(2j)和設(shè)置在頂針夾緊塊(2j) 外圍的第二頂針帽(2k)；頂針夾緊塊(2j)夾設(shè)在第二頂針帽(2k)與頂針座(2b)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置(4)包括水平設(shè)置在支座(1)上的電機(jī)(4a)和固定在電機(jī)(4a)動(dòng)力輸出軸上的偏心輪(4b)，偏心輪(4b)與升降導(dǎo)桿(2e)相對(duì)應(yīng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，其特征在于，所述的支座(1)底部設(shè)有導(dǎo)向柱(6)和導(dǎo)向升降塊(7)，導(dǎo)向升降塊(7)的其中一端近端部活動(dòng)套設(shè)在導(dǎo)向柱(6) 上，導(dǎo)向升降塊(7)的另一端近端部設(shè)有內(nèi)螺孔通孔，在內(nèi)螺紋通孔內(nèi)螺紋連接有調(diào)節(jié)螺母(8)，調(diào)節(jié)螺母(8)上端與升降導(dǎo)桿(2e)底部相接觸，調(diào)節(jié)螺母(8)底部與偏心輪(4b) 相接觸；在支座(1)底部與導(dǎo)向升降塊(7)頂部之間的升降導(dǎo)桿(2e)外圍由上至下依序套設(shè)有彈簧墊(9)和復(fù)位彈簧(10)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座，屬于貼片機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，其技術(shù)要點(diǎn)包括支座，其中所述的支座上設(shè)有頂針機(jī)構(gòu)，該頂針機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在支座上的頂針筒、設(shè)置在頂針筒內(nèi)的頂針座、設(shè)置在頂針座上的頂針、設(shè)置在頂針筒上端的外螺紋環(huán)、與外螺紋環(huán)螺紋連接的第一頂針帽以及設(shè)置在頂針座底部的升降導(dǎo)桿；在第一頂針帽頂部設(shè)有與頂針相適應(yīng)的通孔，在支座下部設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述的升降導(dǎo)桿的下端穿過頂針筒以及支座與升降驅(qū)動(dòng)裝置相接觸；本實(shí)用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、調(diào)節(jié)方便的貼片機(jī)用可調(diào)節(jié)頂針座；用于貼片機(jī)工作時(shí)的芯片頂出。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202221753SQ20112035175
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月19日
發(fā)明者葉孟榮, 吳端, 張利利, 梁游, 羅澤剛 申請(qǐng)人:廣東寶麗華服裝有限公司