專利名稱：一種超聲波突上結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體(集成電路)制造后道工序——粘晶工序中拾取芯片用的一種突上機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在電子和半導(dǎo)體制造的自動生產(chǎn)過程中，其中粘晶工序中按要求拾取芯片并放置到指定位置，拾放工作的速度決定生產(chǎn)效率的高低，芯片從晶圓盤分離的速度也影響著拾取速讀，當(dāng)前電子技術(shù)的更新，生產(chǎn)的芯片越來越小，越來越薄，芯片O. 25X0. 3X0. 08mm以下，常用的突上頂針容易把芯片頂裂。常用的突上結(jié)構(gòu)是頂針帽固定，突上工作時整體上升到貼上晶圓盤時，啟動真空吸住晶圓，電機(jī)帶動凸輪使得頂針座升起，頂針伸出頂針帽，頂著晶圓盤上的芯片，通過頂針帽吸住晶圓盤，頂針頂著芯片分離芯片，但超薄芯片容易頂裂或者出現(xiàn)暗裂。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有不足問題，提供一種能夠大幅提高效率的超聲波關(guān)上機(jī)構(gòu)。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種超聲波突上結(jié)構(gòu)，包括頂針帽、頂針座、頂針，伺服電機(jī)和由電機(jī)連接的凸輪，還包括超聲波發(fā)生器和換能器，伺服電機(jī)驅(qū)動控制凸輪，凸輪驅(qū)動連接頂針帽，換能器一端固定在頂針座上，另一端通過線路與超聲波發(fā)生器連接。本實(shí)用新型頂針帽真空吸住晶圓盤時，伺服電機(jī)控制凸輪轉(zhuǎn)動，帶動頂針帽上下運(yùn)行，當(dāng)晶圓跟隨頂針帽向下運(yùn)行時，頂針接近晶圓并接觸在晶圓芯片上，超聲波發(fā)生器和換能器沿頂針方向振蕩工作，使得芯片從晶圓上分離。本實(shí)用機(jī)型有益的效果是由于采用超聲波技術(shù)，頂針接觸到芯片，通過超聲波沿頂針方向振蕩，使芯片與晶圓盤分離，芯片分離比原頂針頂芯片分離更容易，并不受芯片厚度限制，芯片無頂針頂傷，大幅減少芯片損傷，提高生產(chǎn)效率。一
圖I是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型局部放大圖。圖3是本實(shí)用新型工作狀態(tài)示意圖。圖中伺服電機(jī)1，同步帶2，凸輪3，頂針座4，頂針帽5，換能器6，頂針7，超聲波發(fā)生器8，晶圓盤9。二具體實(shí)施方式
如圖1、2、3所示的超聲波突上結(jié)構(gòu)，包括頂針帽5、頂針座4、頂針7，伺服電機(jī)I和由電機(jī)連接的凸輪3，還包括超聲波發(fā)生器8和換能器6，伺服電機(jī)驅(qū)動控制凸輪，凸輪驅(qū)動連接頂針帽，換能器一端固定在頂針座上，另一端通過線路與超聲波發(fā)生器連接。[0013]工作時如圖3所示，當(dāng)突上整體向上運(yùn)行貼上晶圓盤9時，抽真空吸住晶圓盤，伺服電機(jī)I通過同步帶2控制凸 輪3轉(zhuǎn)動，帶動頂針帽5及晶圓盤9沿著X向(上下)運(yùn)行，當(dāng)向下運(yùn)行時，頂針帽接近頂針座4，頂針7接觸在晶圓盤的芯片上，啟動超聲波發(fā)生器8使得超聲波通過換能器6沿著頂針7方向振蕩，使得芯片從晶圓盤上分離。
權(quán)利要求1.一種超聲波突上結(jié)構(gòu)，包括頂針帽、頂針座、頂針，伺服電機(jī)和由電機(jī)連接的凸輪，其特征是還包括超聲波發(fā)生器和換能器，伺服電機(jī)驅(qū)動控制凸輪，凸輪驅(qū)動連接頂針帽，換能器一端固定在頂針座上，另一端通過線路與超聲波發(fā)生器連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體(集成電路)制造后道工序——粘晶工序中拾取芯片用的一種突上機(jī)構(gòu)。一種超聲波突上結(jié)構(gòu)，包括頂針帽、頂針座、頂針，伺服電機(jī)和由電機(jī)連接的凸輪，還包括超聲波發(fā)生器和換能器，伺服電機(jī)驅(qū)動控制凸輪，凸輪驅(qū)動連接頂針帽，換能器一端固定在頂針座上，另一端通過線路與超聲波發(fā)生器連接。本實(shí)用機(jī)型有益的效果是由于采用超聲波技術(shù)，頂針接觸到芯片，通過超聲波沿頂針方向振蕩，使芯片與晶圓盤分離，芯片分離比原頂針頂芯片分離更容易，并不受芯片厚度限制，芯片無頂針頂傷，大幅減少芯片損傷，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號H01L21/67GK202363433SQ20112051402
公開日2012年8月1日 申請日期2011年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月12日
發(fā)明者王云峰 申請人:大連佳峰電子有限公司