專(zhuān)利名稱：一種壓電駐極體薄膜集成電路器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓電駐極體薄膜傳感器件，特別涉及一種使用壓電駐極體薄膜感應(yīng)力學(xué)信號(hào)，通過(guò)集成電路達(dá)到減弱干擾以及降低輸出阻抗的器件。
背景技術(shù)：
目前的壓電駐極體薄膜器件主要是作為單一器件獨(dú)立存在的簡(jiǎn)單信號(hào)器件，只通過(guò)該器件的引腳直接輸出信號(hào)。由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作不精等原因，單一型壓電駐極薄膜器件存在著如下不足(I)、抗干擾性差 單一型壓電駐極體薄膜器件沒(méi)有任何濾波電路，容易受到外界噪聲影響。傳統(tǒng)的單一型壓電駐極體薄膜器件將壓電駐極體薄膜器件封裝在特定的保護(hù)殼之中，并連以引線引出信號(hào)，外界的電磁波、工頻信號(hào)以及其他的噪音很容易被該器件吸收，并從引腳傳出；使用此種單一型器件，必須連接專(zhuān)用的濾波電路才能取得施加在該器件上的真實(shí)信號(hào)，給用戶帶來(lái)很大的不便。(2)、輸出阻抗高壓電類(lèi)型的傳感器，如壓電駐極體薄膜傳感器，壓電陶瓷片等，都有著很高的輸出電阻，這些壓電型的傳感器直接接入后續(xù)的系統(tǒng)之后因?yàn)樾盘?hào)被大電阻分流，導(dǎo)致輸入信號(hào)不真實(shí)。如不經(jīng)過(guò)處理以及放大，難以分析得到的信號(hào)，甚至得不到有效強(qiáng)度的信號(hào)。(3)、應(yīng)用不夠敏捷由于單一型壓電駐極體薄膜器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不能有效處理阻抗匹配以及干擾的問(wèn)題，給使用者帶來(lái)了極大的不便。在具體的應(yīng)用中，使用者需要針對(duì)所使用的器件設(shè)計(jì)特定的放大、濾波等電路來(lái)處理單一型壓電駐極體薄膜器件的信號(hào)；這樣帶來(lái)的不便包括設(shè)計(jì)周期長(zhǎng)，設(shè)計(jì)經(jīng)費(fèi)高，設(shè)計(jì)的處理電路和單一型壓電駐極體薄膜器件不匹配等，給壓電類(lèi)器件的實(shí)際應(yīng)用帶來(lái)了很大的不便。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述單一型壓電駐極體薄膜器件的不足，本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種簡(jiǎn)潔、可靠、且集壓電駐極體薄膜器件與信號(hào)處理器件于一體的復(fù)合式壓電駐極體薄膜器件。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下一種壓電駐極體薄膜集成電路器件，包括壓電駐極體薄膜器件和電路兩大模塊，兩者緊密結(jié)合在一起，壓電駐極體薄膜器件的輸出端接入電路的輸入端，且壓電駐極體薄膜器件的輸出端和電路封裝在封裝屏蔽殼體內(nèi)，并用導(dǎo)線引出。所述電路分為濾波電路和阻抗變換電路，包括壓電駐極體薄膜器件匹配電阻、濾波電路匹配電阻、場(chǎng)效應(yīng)管和濾波電路匹配電容。所述壓電駐極體薄膜器件匹配電阻和壓電駐極體薄膜器件的輸出端并聯(lián)在電路里。[0016]所述濾波匹配電阻，一端接入壓電駐極體薄膜器件的輸入端，另一端接入場(chǎng)效應(yīng)管的輸入端。所述濾波電路匹配電容，一端接入場(chǎng)效應(yīng)管的輸入端，另一端接入電路的輸出端。本實(shí)用新型的有益效果是I、由于本實(shí)用新型采用了最新型的壓電駐極體薄膜，可任意折疊，彎曲性能好，靈敏度高，輸出受溫度的影響小，制作成本低。2、由于本器件將壓電駐極體薄膜和濾波電路以及阻抗變換電路高度集成在一起，因而抗干擾性強(qiáng)，輸出阻抗低，解決了單一型壓電駐極體薄膜器件在應(yīng)用中的很多困境。3.本實(shí)用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，尺寸小(體積小)，接入系統(tǒng)容易特點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的電路圖。其中，圖中標(biāo)號(hào)表示1、壓電駐極體薄膜器件；2、封裝屏蔽殼體；3、導(dǎo)線；4、壓電駐極體薄膜器件匹配電阻；5、濾波電路匹配電阻；6、場(chǎng)效應(yīng)管；7、濾波電路匹配電容。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。如圖I所示封裝屏蔽殼體2將壓電駐極體薄膜器件I的輸出端和電路封裝起來(lái)，并引出導(dǎo)線3。電路結(jié)構(gòu)如圖2所示壓電駐極體薄膜器件I的輸出端接入電路的輸入端，壓電駐極體薄膜器件匹配電阻4和壓電駐極體薄膜器件I的輸出端并聯(lián)在電路里，濾波電路匹配電阻5接壓電駐極體薄膜器件I的輸入端再接入場(chǎng)效應(yīng)管6的輸入端，濾波電路匹配電容7接入場(chǎng)效應(yīng)管6的輸入端再接入電路的輸出端。本實(shí)施例中，壓電駐極體薄膜器件I采用貝辛電子科技(上海)有限公司生產(chǎn)的eTouch壓電駐極體薄膜傳感器,封裝屏蔽殼體2使用招合金制作,導(dǎo)線3采用直徑為0. 3mm的雙頭鍍錫導(dǎo)線，壓電駐極體薄膜器件匹配電阻4的大小為100兆歐姆，濾波電路匹配電阻5的大小為10兆歐姆，場(chǎng)效應(yīng)管6采用N溝道場(chǎng)效應(yīng)管，濾波電路匹配電容7的大小是
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權(quán)利要求1.一種壓電駐極體薄膜集成電路器件，其特征在于，包括壓電駐極體薄膜器件和電路兩大模塊，兩者緊密結(jié)合在一起，壓電駐極體薄膜器件的輸出端接入電路的輸入端，且壓電駐極體薄膜器件的輸出端和電路封裝在封裝屏蔽殼體內(nèi)，并用導(dǎo)線引出。
2.如權(quán)利要求1所述的ー種壓電駐極體薄膜集成電路器件，其特征在于，所述電路分為濾波電路和阻抗變換電路，包括壓電駐極體薄膜器件匹配電阻、濾波電路匹配電阻、場(chǎng)效應(yīng)管和濾波電路匹配電容。
3.如權(quán)利要求2所述的ー種壓電駐極體薄膜集成電路器件，其特征在于，所述壓電駐極體薄膜器件匹配電阻和壓電駐極體薄膜器件的輸出端并聯(lián)在電路里。
4.如權(quán)利要求2所述的ー種壓電駐極體薄膜集成電路器件，其特征在于，所述濾波匹配電阻，一端接入壓電駐極體薄膜器件的輸入端，另一端接入場(chǎng)效應(yīng)管的輸入端。
5.如權(quán)利要求2所述的ー種壓電駐極體薄膜集成電路器件，其特征在于，所述濾波電路匹配電容，一端接入場(chǎng)效應(yīng)管的輸入端，另一端接入電路的輸出端。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種壓電駐極體薄膜集成電路器件，包括壓電駐極體薄膜器件和電路兩大模塊，兩者緊密結(jié)合在一起，壓電駐極體薄膜器件的輸出端接入電路的輸入端，且壓電駐極體薄膜器件的輸出端和電路封裝在封裝屏蔽殼體內(nèi)，并用導(dǎo)線引出。本實(shí)用新型具備可任意折疊、彎曲性能好、靈敏度高、輸出受溫度的影響小、制作成本低、抗干擾性強(qiáng)，輸出阻抗低等優(yōu)勢(shì)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，還具備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔、體積小、接入系統(tǒng)容易的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L41/113GK202423396SQ201120542109
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者婁可行, 孟召龍, 張曉青, 李彥坤, 游瓊 申請(qǐng)人:貝辛電子科技(上海)有限公司