專(zhuān)利名稱：離子風(fēng)發(fā)生體及離子風(fēng)發(fā)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及離子風(fēng)發(fā)生體及離子風(fēng)發(fā)生裝置。
背景技術(shù)：
已知有通過(guò)電子或者離子的移動(dòng)來(lái)誘發(fā)離子風(fēng)的裝置。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，對(duì)設(shè)于基板狀的電介體的兩個(gè)電極施加交流電壓而產(chǎn)生電介體勢(shì)魚(yú)放電，從而在電介體的一方主面上產(chǎn)生離子風(fēng)。在先技術(shù)文獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2007-317656號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問(wèn)題專(zhuān)利文獻(xiàn)I僅僅著眼于在基板狀的電介體的一方主面上發(fā)生離子風(fēng)，并沒(méi)有著眼于兩個(gè)電極對(duì)另一方主面等的電介體的其它面涉及到的影響。其結(jié)果是，例如，在另一方主面上，誘發(fā)出沒(méi)有意圖發(fā)生的、與一方主面相反方向的離子風(fēng)，減少了一方主面中的離子風(fēng)的風(fēng)量，有可能無(wú)法發(fā)揮所需要的功能。因而，期望的是，提供能夠適當(dāng)?shù)匕l(fā)生沿著電介體的表面的離子風(fēng)的離子風(fēng)發(fā)生體及離子風(fēng)發(fā)生裝置。用于解決課題的機(jī)構(gòu)本發(fā)明的一方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生體包括具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的電介體；配置在所述電介體內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極；相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第一面?zhèn)鹊牡谝浑姌O；相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第二面?zhèn)鹊牡诙姌O。所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第一電極位于沿著所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第一面的離子風(fēng)，并且，所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第二電極位于沿著所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第二面的離子風(fēng)。本發(fā)明的一方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置包括具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的電介體；配置在所述電介體內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極；相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第一面?zhèn)鹊牡谝浑姌O；相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第二面?zhèn)鹊牡诙姌O；對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓，并且對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓的電源。所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第一電極位于沿著所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第一面的離子風(fēng)，并且，所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第二電極位于沿著所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第二面的離子風(fēng)。
發(fā)明效果根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠適當(dāng)?shù)匕l(fā)生沿著電介體的表面的離子風(fēng)。


圖1(a)是示意性表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置的立體圖，圖1(b)是沿圖1(a)的Ib-Ib線的剖視圖。圖2是說(shuō)明圖I的離子風(fēng)發(fā)生體的制造方法的剖視圖。圖3是示意性表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置的主要部分的剖視圖。
圖4是說(shuō)明圖3的離子風(fēng)發(fā)生體的制造方法的剖視圖。圖5是示意性表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置的主要部分的立體圖及主視圖。圖6是示意性表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置的主要部分的剖視圖。圖7是示意性表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置的主要部分的剖視圖。圖8是示意性表示圖I的離子風(fēng)發(fā)生裝置的利用例的主要部分的剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生體及離子風(fēng)發(fā)生裝置進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在以下的說(shuō)明中所采用的附圖為示意性表示，附圖中的尺寸比例等與現(xiàn)實(shí)的情況未必一致。另外，在第二實(shí)施方式以后，對(duì)與已經(jīng)說(shuō)明的實(shí)施方式通用或者類(lèi)似的結(jié)構(gòu)，采用與已經(jīng)說(shuō)明的實(shí)施方式同樣的符號(hào)，另外，省略圖示或說(shuō)明。<第一實(shí)施方式>圖I (a)是示意性表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置I的立體圖，圖1(b)是沿圖1(a)的Ib-Ib線的剖視圖。離子風(fēng)發(fā)生裝置I作為發(fā)生沿著箭頭yl及y2(圖1(b))所示的方向流動(dòng)的離子風(fēng)的裝置而構(gòu)成。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式中，將離子風(fēng)所流動(dòng)的方向作為X方向，離子風(fēng)的寬度方向作為y方向，離子風(fēng)的高度方向作為Z方向進(jìn)行參考。離子風(fēng)發(fā)生裝置I具有使離子風(fēng)發(fā)生的離子風(fēng)發(fā)生體3 ;進(jìn)行離子風(fēng)發(fā)生體3的驅(qū)動(dòng)及控制的驅(qū)動(dòng)部5 (圖I (a))。離子風(fēng)發(fā)生體3具有電介體7 ;設(shè)于電介體7的第一電極9A、第二電極9B ;內(nèi)側(cè)電極11。需要說(shuō)明的是，以下，將第一電極9A及第二電極9B稱為“外側(cè)電極9”，而對(duì)二者不加以區(qū)分。離子風(fēng)發(fā)生體3通過(guò)對(duì)被電介體7隔開(kāi)的外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11之間施加電壓，而產(chǎn)生電介體勢(shì)壘放電,從而產(chǎn)生離子風(fēng)。電介體7例如形成為厚度固定的平板狀(基板狀)，且具有第一主面7a和其背面的第二主面7b。需要說(shuō)明的是，離子風(fēng)如箭頭yl所示那樣在第一主面7a上沿著第一主面7a流動(dòng)，并且如箭頭y2所示那樣在第二主面7b上沿著第二主面7b流動(dòng)。另外，在第一主面7a上流動(dòng)的離子風(fēng)和在第二主面7b上流動(dòng)的離子風(fēng)彼此向相同方向(X方向)流動(dòng)。電介體7的俯視形狀可以設(shè)為適當(dāng)?shù)男螤睿趫DI中，例示出設(shè)為具有與X方向及y方向平行的邊的矩形的情況。電介體7例如由第一絕緣層13A及第二絕緣層13B(以下，簡(jiǎn)稱為“絕緣層13”，而對(duì)二者不加以區(qū)分。)層疊而構(gòu)成。需要說(shuō)明的是，在圖I中，為了便于說(shuō)明，明示出第一絕緣層13A和第二絕緣層13B的邊界線，但在實(shí)際的產(chǎn)品中，也可以為第一絕緣層13A及第二絕緣層13B被一體化，無(wú)法觀察到其邊界線。需要說(shuō)明的是，邊界線即便無(wú)法觀察到，但由后述的說(shuō)明可理解，能夠根據(jù)內(nèi)側(cè)電極11的位置來(lái)確定其位置。絕緣層13例如形成為厚度固定的平板狀。第一絕緣層13A具有第一主面7a及其背面的第三主面13c (圖I (b))。第二絕緣層13B具有第二主面7b及其背面的第四主面13d(圖1(b))。兩個(gè)絕緣層13的厚度在本實(shí)施方式中彼此相同。另外，兩個(gè)絕緣層13的俯視形狀例如彼此相同。需要說(shuō)明的是，絕緣層13也可以分別由多個(gè)絕緣層來(lái)形成。 電介體7(絕緣層13)既可以由無(wú)機(jī)絕緣物來(lái)形成，也可以由有機(jī)絕緣物來(lái)形成。作為無(wú)機(jī)絕緣物，例如可舉出陶瓷、玻璃。作為陶瓷，例如可舉出氧化鋁質(zhì)燒結(jié)體(氧化鋁陶瓷)、玻璃陶瓷燒結(jié)體(玻璃陶瓷)、莫來(lái)石質(zhì)燒結(jié)體、氮化鋁質(zhì)燒結(jié)體、堇青石燒結(jié)體、碳化硅質(zhì)燒結(jié)體。作為有機(jī)絕緣物，例如可舉出聚酰亞胺、環(huán)氧樹(shù)脂、橡膠。第一電極9A層疊在第一主面7a上，第二電極9B層疊在第二主面7b上，內(nèi)側(cè)電極11配置在兩個(gè)絕緣層13之間。換而言之，內(nèi)側(cè)電極11配置在電介體7內(nèi)，第一電極9A相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11配置在第一主面7a側(cè)，第二電極9B相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11配置在第二主面7b側(cè)。由此，這些電極通過(guò)電介體7而分隔開(kāi)。兩個(gè)外側(cè)電極9中，例如除厚度方向(z方向)的位置以外，形狀及位置均設(shè)定為相同。即，兩個(gè)外側(cè)電極9彼此形成為相同的形狀，且流動(dòng)方向(X方向)及寬度方向(y方向)的位置彼此相同。這是為了使在第一主面7a側(cè)與第二主面7b側(cè)的風(fēng)量等相同。內(nèi)側(cè)電極11包括相對(duì)于第一電極9A而位于流動(dòng)方向的下游側(cè)(X方向的正側(cè)、沿著第一主面7a的第一方向)的第一下游域部(本實(shí)施方式中為內(nèi)側(cè)電極11的整體)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)將第一電極9A側(cè)作為上游側(cè)的離子風(fēng)的誘發(fā)。同樣地，內(nèi)側(cè)電極11包括相對(duì)于第二電極9B而位于流動(dòng)方向的下游側(cè)(X方向的正側(cè)、沿著第二主面7b的第二方向)的第二下游域部(本實(shí)施方式中為內(nèi)側(cè)電極11的整體)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)將第二電極9B側(cè)作為上游側(cè)的離子風(fēng)的誘發(fā)。換而言之，內(nèi)側(cè)電極11相對(duì)于外側(cè)電極9而沿著流動(dòng)方向(X方向的正側(cè))偏離位置地配置。由于該偏離，能夠?qū)崿F(xiàn)將外側(cè)電極9側(cè)作為上游側(cè)且將內(nèi)側(cè)電極11側(cè)作為下游側(cè)的離子風(fēng)的誘發(fā)。在本實(shí)施方式中，在俯視觀察第一主面7a或者第二主面7b時(shí)，在x方向上，內(nèi)側(cè)電極11與外側(cè)電極9沒(méi)有間隙地鄰接。其中，在俯視觀察第一主面7a或者第二主面7b時(shí)，內(nèi)側(cè)電極11在X方向上，既可以使上游側(cè)的一部分與外側(cè)電極9的全部或者下游側(cè)的一部分重復(fù)(下游域部可以為內(nèi)側(cè)電極11的一部分)，也可以與外側(cè)電極9以規(guī)定的間隙分離。換而言之，在俯視觀察第一主面7a或者第二主面7b時(shí)，外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11在X方向上，既可以以在外側(cè)電極9的一部分上重復(fù)內(nèi)側(cè)電極11的方式偏離，也可以以在外側(cè)電極9的全部上重復(fù)內(nèi)側(cè)電極11的方式偏離。另外，在俯視觀察第一主面7a或者第二主面7b時(shí)，外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11在X方向上，既可以以沒(méi)有間隙地相互鄰接的方式偏離，也可以完全地偏離(以規(guī)定的間隙分離)。如上所述，兩個(gè)絕緣層13的厚度彼此相同，因此厚度方向(z方向)上的、第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11的距離和第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離相同。另外，兩個(gè)外側(cè)電極9的流動(dòng)方向(X方向)上的位置彼此相同，因此流動(dòng)方向(X方向)上的、第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11的距離和第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離相同。另外，由于這些情況，因此Xz平面中的、第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11 (第一下游域部)的距離和第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11 (第二下游域部)的距離相同。外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11例如形成為厚度固定的層狀(包括平板狀)。這些電極的俯視形狀可以設(shè)為適當(dāng)?shù)男螤睿趫DI中，例示出設(shè)為具有與X方向及y方向平行的邊的矩形的情況。需要說(shuō)明的是，外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的y方向的長(zhǎng)度例如彼此設(shè)定為相同。 夕卜側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11由金屬等的導(dǎo)電性材料來(lái)形成。作為金屬，可舉出鎢、鑰、錳、銅、銀、金、鈀、鉬、鎳、鈷或者以這些金屬為主要成分的合金。驅(qū)動(dòng)部5(圖I (a))具有對(duì)外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11之間施加交流電壓的電源裝置15 ;控制電源裝置15的控制裝置19。兩個(gè)外側(cè)電極9通過(guò)設(shè)于電介體7的配線或者其他的配線而并聯(lián)連接。因而，電源裝置15對(duì)第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11之間、以及第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11之間施加電壓值、頻率及相位彼此相同的電壓。由電源裝置15施加的交流電壓既可以為由正弦波等表示的電位連續(xù)變化的電壓，也可以為脈沖狀的電位的變化不連續(xù)的電壓。另外，交流電壓既可以為在外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的雙方中相對(duì)于基準(zhǔn)電位而電位變動(dòng)的電壓，也可以為外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的一方與基準(zhǔn)電位連接，而僅在另一方中電位相對(duì)于基準(zhǔn)電位變動(dòng)的電壓。電位的變動(dòng)既可以為相對(duì)于基準(zhǔn)電位而向正及負(fù)的雙方變動(dòng)，也可以為相對(duì)于基準(zhǔn)電位而僅向正及負(fù)的一方變動(dòng)。在圖I (a)中，例示出對(duì)外側(cè)電極9賦予基準(zhǔn)電位,而以內(nèi)側(cè)電極11的電位變動(dòng)的方式施加交流電壓的情況。需要說(shuō)明的是，在圖1(a)所示的例子中，優(yōu)選的是，基準(zhǔn)電位與大地的電位相同(狹義的基準(zhǔn)電位)。控制裝置19例如按照規(guī)定的程序或者用戶的操作，來(lái)控制基于電源裝置15的電壓的施加的接通·斷開(kāi)或者所施加的電壓的大小等。需要說(shuō)明的是，電介體7、外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的尺寸、以及交流電壓的大小及頻率可以根據(jù)離子風(fēng)發(fā)生裝置I所應(yīng)用的技術(shù)、或者所要求的離子風(fēng)的性質(zhì)等各種的狀況來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。圖2是說(shuō)明離子風(fēng)發(fā)生體3的制造方法的示意性的剖視圖。如圖2所不，電介體7通過(guò)設(shè)有第一電極9A的第一絕緣層13A與設(shè)有第二電極9B及內(nèi)側(cè)電極11的第二絕緣層13B層疊而制造出。具體而言，以電介體7通過(guò)陶瓷燒結(jié)體構(gòu)成的情況為例，如下所述。首先，準(zhǔn)備作為絕緣層13的陶瓷坯片。陶瓷坯片通過(guò)將向原料粉末添加混合適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑及溶媒而制成的漿料借助刮刀法或壓輥法等的成形方法而呈片狀成形來(lái)形成。原料粉末在以氧化鋁陶瓷為例時(shí)，為氧化鋁(Ai2O3)、二氧化硅(SiO2)、氧化鈣(CaO)及氧化鎂(MgO)等。接著，在作為陶瓷坯片(第一絕緣層13A)的第一主面7a的面上設(shè)有作為第一電極9A的導(dǎo)電膏。另外，在作為陶瓷坯片(第二絕緣層13B)的第二主面7b的面上設(shè)有作為第二電極9B的導(dǎo)電膏，在作為第四主面13d的面上設(shè)有作為內(nèi)側(cè)電極11的導(dǎo)電膏。導(dǎo)電膏例如通過(guò)向鎢、鑰、銅或者銀等的金屬粉末中添加混合有機(jī)溶劑及有機(jī)粘合劑而制成。導(dǎo)電膏根據(jù)需要也可以添加分散劑或可塑劑等。混合例如通過(guò)球磨機(jī)、三輥式研磨機(jī)、或者行星式攪拌機(jī)等的混煉機(jī)構(gòu)來(lái)進(jìn)行。另外，導(dǎo)電膏例如采用絲網(wǎng)印刷法等的印刷方式而印刷涂敷在陶瓷坯片上。然后，將作為第一絕緣層13A的陶瓷坯片和作為第二絕緣層13B的陶瓷坯片層疊， 并同時(shí)燒結(jié)導(dǎo)電膏及陶瓷坯片。由此，形成配置有外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的電介體7、即離子風(fēng)發(fā)生體3。需要說(shuō)明的是，在導(dǎo)電膏與陶瓷坯片同時(shí)燒成的情況下，為了與陶瓷坯片的燒結(jié)動(dòng)作相匹配或通過(guò)殘留應(yīng)力的緩和而提高與燒結(jié)后的電介體接合的接合強(qiáng)度，也可以添加玻璃或陶瓷的粉末。接著，對(duì)離子風(fēng)發(fā)生裝置I的作用進(jìn)行說(shuō)明。離子風(fēng)發(fā)生體3放置在大氣中，且在離子風(fēng)發(fā)生體3的周?chē)嬖诳諝?。需要說(shuō)明的是，離子風(fēng)發(fā)生體3也可以放置在特定種類(lèi)的氣體氣氛下(例如氮?dú)鈿夥障?來(lái)使用。通過(guò)電源裝置15對(duì)外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11之間施加電壓，且當(dāng)這些電極間的電位差超過(guò)一定的閾值時(shí)，產(chǎn)生電介體勢(shì)壘放電。然后，伴隨著放電而生成等離子體。等離子體中的電子或者離子通過(guò)由外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11所形成的電場(chǎng)而移動(dòng)。另外，中性分子也伴隨著電子或者離子而移動(dòng)。如此誘發(fā)出離子風(fēng)。更具體而言，離子風(fēng)如箭頭yl及y2所示那樣，通過(guò)從外側(cè)電極9側(cè)向內(nèi)側(cè)電極11側(cè)移動(dòng)的電子或者離子，以與第一主面7a及第二主面7b上的內(nèi)側(cè)電極11重疊的區(qū)域?yàn)橹行亩T發(fā)，并從外側(cè)電極9側(cè)向內(nèi)側(cè)電極11側(cè)流動(dòng)。施加給設(shè)于各主面的外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11的電壓越大，另外設(shè)于各主面的外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11的距離越小的話，各主面中的離子風(fēng)的風(fēng)速(風(fēng)量)越大。在本實(shí)施方式中，第一電極9A及第二電極9B除了 z方向的位置以外，以彼此相同的條件設(shè)置，另外被施加彼此相同的電壓，因此，在第一主面7a側(cè)和第二主面7b側(cè)，發(fā)生彼此相同的風(fēng)向、風(fēng)速及風(fēng)量的離子風(fēng)。如上所述，在本實(shí)施方式中，離子風(fēng)發(fā)生體3具有具有第一主面7a及其背面的第二主面7b的電介體7 ;配置在電介體7內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極11 ;相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而配置在第一主面7a側(cè)的第一電極9A ;相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而配置在第二主面7b側(cè)的第二電極9B。內(nèi)側(cè)電極11具有相對(duì)于第一電極9A而位于沿著第一主面7a的第一方向(X方向的正側(cè))上的第一下游域部，并且具有相對(duì)于第二電極9B而位于沿著第二主面7b的第二方向(X方向的正側(cè))上的第二下游域部。因而，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極11與第一電極9A之間施加電壓，由此能夠發(fā)生沿著第一主面7a的離子風(fēng)，并且，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極11與第二電極9B之間施加電壓，由此能夠發(fā)生沿著第二主面7b的離子風(fēng)發(fā)生。其結(jié)果是，例如，通過(guò)分別進(jìn)行內(nèi)側(cè)電極11與第一電極9A的位置關(guān)系的調(diào)整和內(nèi)側(cè)電極11與第二電極9B的位置關(guān)系的調(diào)整，從而能夠在第一主面7a及第二主面7b上分別產(chǎn)生任意的風(fēng)向及風(fēng)量的離子風(fēng)。即，能夠在電介體7的兩面上適當(dāng)?shù)匕l(fā)生離子風(fēng)。并且，內(nèi)側(cè)電極11在第一主面7a的離子風(fēng)的發(fā)生和第二主面7b的離子風(fēng)的發(fā)生中共用，從而可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化及小型化。第一電極9A及第二電極9B相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而向沿著第一主面7a及第二主面7b的相同的方向偏離(上述的第一方向及第二方向?yàn)橄嗤较颉?。因而，在第一主面7a中發(fā)生的離子風(fēng)和在第二主面7b中發(fā)生的離子風(fēng)如圖I中箭頭yl及12所示那樣，向相同方向流動(dòng)。假如與現(xiàn)有技術(shù)同樣地，僅僅著眼于在第一主面7a中發(fā)生箭頭yl的離子風(fēng)，而未設(shè)有第二電極9B時(shí)，在第二主面7b上，通過(guò)施加給第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11的電壓，發(fā)生與箭頭y2相反方向的離子風(fēng)。其結(jié)果是，箭頭yl所示的離子風(fēng)的風(fēng)速及風(fēng)量減少。不過(guò)，在本實(shí)施方式中，消除了那樣的不良狀況。 電介體7為由平板狀的多個(gè)(本實(shí)施方式中為兩個(gè))絕緣層13層疊構(gòu)成的基板。第一主面7a及第二主面7b為面向多個(gè)絕緣層13的層疊方向的基板的兩表面。第一電極9A為層疊在第一主面7a上的層狀電極。第二電極9B為層疊在第二主面7b上的層狀電極。內(nèi)側(cè)電極11為配置在多個(gè)絕緣層13間的任一者上的層狀電極。因而，離子風(fēng)發(fā)生體3為與多層配線基板同樣的結(jié)構(gòu)，從而能夠利用多層配線基板所涉及的各種技術(shù)。其結(jié)果是，例如，實(shí)現(xiàn)力學(xué)強(qiáng)度、熱強(qiáng)度及電氣特性優(yōu)越的離子風(fēng)發(fā)生體3容易，并且制造方法的最佳化及成本削減也容易。電介體7由陶瓷構(gòu)成。因而，能夠?qū)崿F(xiàn)力學(xué)強(qiáng)度、熱強(qiáng)度及電氣特性優(yōu)越的離子風(fēng)發(fā)生體3。另外，如參照?qǐng)D2說(shuō)明那樣，通過(guò)導(dǎo)電膏與陶瓷坯片的同時(shí)燒成，能夠形成埋設(shè)在電介體7中的內(nèi)側(cè)電極11，離子風(fēng)發(fā)生體3的制造容易。第一電極9A及第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離彼此相同(第一電極9A與第一下游域部的距離(最短距離)和第二電極9B與第二下游域部的距離(最短距離)彼此相同。)。因而，在第一主面7a和第二主面7b容易發(fā)生同等的風(fēng)速的離子風(fēng)。其結(jié)果是，例如，在第一主面7a中的離子風(fēng)與第二主面7b中的離子風(fēng)的合流點(diǎn)，可抑制產(chǎn)生沒(méi)有意圖的離子風(fēng)的偏向的情況等。在離子風(fēng)發(fā)生裝置I中，第一電極9A及第二電極9B向電介體7的外部露出，電源裝置15對(duì)第一電極9A及第二電極9B賦予基準(zhǔn)電位，并且對(duì)內(nèi)側(cè)電極11賦予相對(duì)于基準(zhǔn)電位變動(dòng)的電位。因而，在離子風(fēng)發(fā)生體3的露出部分中，電位的變動(dòng)被抑制，安全性得到提高。換而言之，離子風(fēng)發(fā)生裝置I的處理性得到提高。需要說(shuō)明的是，在以上的第一實(shí)施方式中，第一主面7a及第二主面7b為本發(fā)明的第一面及第二面的一例，X方向的正側(cè)為第一方向及第二方向的一例，內(nèi)側(cè)電極11的整體為內(nèi)側(cè)電極的第一下游域部及第二下游域部的一例，電源裝置15為本發(fā)明的電源的一例。<第二實(shí)施方式>圖3是示意性表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置101的主要部分的剖視圖。離子風(fēng)發(fā)生裝置101中，離子風(fēng)發(fā)生體103中的、電介體107的結(jié)構(gòu)及內(nèi)側(cè)電極111的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)不同。具體而言，如下所述。
電介體107由第一絕緣層13A、第二絕緣層13B及介入它們之間的第三絕緣層13C層疊而構(gòu)成。第一絕緣層13A及第二絕緣層13B與第一實(shí)施方式的第一絕緣層13A及第二絕緣層13B為同樣的結(jié)構(gòu)即可。第三絕緣層13C也為與第一絕緣層13A及第二絕緣層13B大致同樣的結(jié)構(gòu)。其中，第三絕緣層13C的厚度可以適當(dāng)設(shè)定，在圖3中，例示出第三絕緣層13C比第一絕緣層13A及第二絕緣層13B形成得薄的情況。內(nèi)側(cè)電極111具有第三電極IOC ;第四電極IOD ;通孔導(dǎo)體12。第三電極10C、第四電極IOD及通孔導(dǎo)體12彼此連接，通過(guò)這些整體作為內(nèi)側(cè)電極111來(lái)發(fā)揮功能。第三電極IOC及第四電極IOD分別為與第一實(shí)施方式的內(nèi)側(cè)電極11同樣的結(jié)構(gòu)即可。其中，第三電極IOC配置在第一絕緣層13A與第三絕緣層13C之間，第四電極IOD配置在第二絕緣層13B與第三絕緣層13C之間。通孔導(dǎo)體12貫通第三絕緣層13C，而將第三電極IOC與第四電極IOD連接。通孔 導(dǎo)體12的個(gè)數(shù)、配置位置、俯視形狀、剖面形狀及尺寸可適當(dāng)設(shè)定。通孔導(dǎo)體12的材料例如與層狀電極(9A、9B、10C及10D)的材料同樣。圖4是說(shuō)明離子風(fēng)發(fā)生體103的制造方法的示意性剖視圖。離子風(fēng)發(fā)生體103與第一實(shí)施方式的離子風(fēng)發(fā)生體3同樣地，通過(guò)配置有各種電極的絕緣層13層疊而制造。作為其具體的方法，與第一實(shí)施方式同樣，可以適用將涂敷導(dǎo)電膏的陶瓷坯片層疊來(lái)進(jìn)行燒成的方法。其中，作為第三電極IOC的導(dǎo)電膏涂敷在作為第一絕緣層13A的陶瓷坯片的第三主面13c上。即，作為第三電極IOC的導(dǎo)電膏涂敷在作為第一電極9A的涂敷有導(dǎo)電膏的陶瓷坯片上。另外，作為第四電極IOD的導(dǎo)電膏涂敷在作為第二絕緣層13B的陶瓷坯片的第四主面13d上。即，作為第四電極IOD的導(dǎo)電膏涂敷在作為第二電極9B的涂敷導(dǎo)電膏的陶瓷還片上。另外，作為通孔導(dǎo)體12的導(dǎo)電膏填充在形成于作為第三絕緣層13C的陶瓷坯片的通孔13v中。需要說(shuō)明的是，通孔13v的形成方法及導(dǎo)電膏的填充方法采用的是公知的技術(shù)即可。然后，通過(guò)將三個(gè)陶瓷坯片層疊來(lái)燒成，從而形成由第三電極10C、第四電極IOD及通孔導(dǎo)體12構(gòu)成的內(nèi)側(cè)電極11。根據(jù)以上的第二實(shí)施方式，可獲得與第一實(shí)施方式同樣的作用及效果。S卩，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極11與第一電極9A之間施加電壓，如圖3中箭頭yl所示那樣，能夠發(fā)生沿著第一主面7a的離子風(fēng)，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極11與第二電極9B之間施加電壓，如圖3中箭頭y2所示那樣，能夠發(fā)生沿著第二主面7b的離子風(fēng)。其結(jié)果是，在電介體7的兩面中能夠適當(dāng)?shù)匕l(fā)生離子風(fēng)，且可實(shí)現(xiàn)基于內(nèi)側(cè)電極11的共用的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化及小型化。另外，電介體107具有構(gòu)成第一主面7a的第一絕緣層13A ;構(gòu)成第二主面7b的第二絕緣層13B。第一電極9A設(shè)置在第一絕緣層13A上，第二電極9B設(shè)置在第二絕緣層13B上。內(nèi)側(cè)電極11具有設(shè)置在第一絕緣層13A的、比第一電極9A靠第二絕緣層13B側(cè)的第三電極IOC ;設(shè)置在第二絕緣層13B的、比第二電極9B靠第一絕緣層13A側(cè)的第四電極IOD ;將第三電極IOC與第四電極IOD連接的通孔導(dǎo)體12。從而，第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11 (第一下游域部)的距離通過(guò)第一電極9A與第三電極IOC的距離來(lái)限定。同樣地，第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11(第二下游域部)的距離通過(guò)第二電極9B與第四電極IOD的距離來(lái)限定。換而言之，兩個(gè)外側(cè)電極9的作為與內(nèi)側(cè)電極11的距離的基準(zhǔn)的內(nèi)側(cè)電極11的部位不同。其結(jié)果是，例如容易在第一主面7a側(cè)和第二主面7b側(cè)分別調(diào)整離子風(fēng)的風(fēng)速。另外，在第一實(shí)施方式的離子風(fēng)發(fā)生體3中，當(dāng)為了增大離子風(fēng)的風(fēng)速而減小各外側(cè)電極9與內(nèi)側(cè)電極11的距離時(shí)，即，當(dāng)使兩個(gè)絕緣層13減薄時(shí)，作為電介體7整體的厚度也小，離子風(fēng)發(fā)生體3的力學(xué)強(qiáng)度降低。但是，在本實(shí)施方式的離子風(fēng)發(fā)生體103中，即便減薄第一絕緣層13A及第二絕緣層13B，也能夠確保作為電介體107整體的厚度等。另外，在第一實(shí)施方式中，如圖2所示，存在使第一絕緣層13A與第二絕緣層13B重合時(shí)，產(chǎn)生位置偏離，進(jìn)而，在第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11之間產(chǎn)生位置誤差的可能性。其結(jié)果是，例如，有可能在第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11的距離和第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離之間產(chǎn)生差。然而，在本實(shí)施方式中，將三個(gè)絕緣層13重合時(shí)的位置偏離對(duì)第一電 極9A與內(nèi)側(cè)電極11的距離及第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離不產(chǎn)生影響。即，能夠抑制層疊工序中的誤差對(duì)離子風(fēng)的風(fēng)速涉及到的影響。電介體107為由平板狀的多個(gè)(本實(shí)施方式中為三個(gè))絕緣層13層疊構(gòu)成的基板，第一主面7a及第二主面7b為面向多個(gè)絕緣層13的層疊方向的基板的兩表面。多個(gè)絕緣層13具有具有第一主面7a及其背面的第三主面13c的第一絕緣層13A ;具有第二主面7b及其背面的第四主面13d的第二絕緣層13B ;夾在第三主面13c及第四主面13d之間的第三絕緣層13C。第一電極9A為層疊在第一主面7a上的層狀電極,第二電極9B為層疊在第二主面7b上的層狀電極，第三電極IOC為層疊在第三主面13c上的層狀電極，第四電極IOD為層疊在第四主面13d上的層狀電極。另外，將第三電極IOC與第四電極IOD連接的通孔導(dǎo)體12為貫通第三絕緣層13C的導(dǎo)體。從而，與第一實(shí)施方式同樣地，離子風(fēng)發(fā)生體103為與多層配線基板同樣的結(jié)構(gòu)，從而能夠利用多層配線基板所涉及的各種技術(shù)。尤其是，通過(guò)電介體7通過(guò)陶瓷來(lái)構(gòu)成，從而能夠利用陶瓷多層基板的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)力學(xué)強(qiáng)度、熱強(qiáng)度及電氣特性優(yōu)越的離子風(fēng)發(fā)生體103。第一電極9A及第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離彼此相同(第一電極9A與第一下游域部的距離和第二電極9B與第二下游域部的距離彼此相同。)。在這種情況下，上述的因?qū)盈B時(shí)的位置偏離導(dǎo)致的誤差進(jìn)行抑制的效果有效地發(fā)生作用。其原因可認(rèn)為是，在第一主面7a和第二主面7b設(shè)為彼此相同的風(fēng)速時(shí)與設(shè)為彼此不同的風(fēng)速時(shí)相比較，為了抑制沒(méi)有意圖的流體現(xiàn)象的發(fā)生，大多要求比較高的精度。需要說(shuō)明的是，在以上的第二實(shí)施方式中，第一絕緣層13A及第二絕緣層13B為本發(fā)明的第一部分電介體及第二部分電介體的一例，通孔導(dǎo)體12為本發(fā)明的連接導(dǎo)體的一例。<第三實(shí)施方式>圖5(a)是示意性表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置201的主要部分的立體圖。圖5(b)是從X軸方向觀察離子風(fēng)發(fā)生裝置201的離子風(fēng)發(fā)生體203時(shí)的主視圖。離子風(fēng)發(fā)生裝置201中，離子風(fēng)發(fā)生體203的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式不同。具體而言，如下所述。電介體207形成為大致圓柱狀。另外，內(nèi)側(cè)電極211形成為沿著電介體207的中心線延伸的軸狀。外側(cè)電極209形成為圍繞電介體207的外周面的筒狀。內(nèi)側(cè)電極211包括相對(duì)于外側(cè)電極209而位于電介體207的軸向的一側(cè)的下游域部(本實(shí)施方式中為內(nèi)側(cè)電極211的整體)。將離子風(fēng)發(fā)生體203沿著Xz平面平行切斷的剖視圖中，除了電介體207未由兩個(gè)絕緣層13構(gòu)成這一方面以外，與圖1(b)同樣。由此可理解，當(dāng)對(duì)外側(cè)電極209及內(nèi)側(cè)電極211施加電壓時(shí)，產(chǎn)生電介體勢(shì)壘放電，在電介體207的外周面上發(fā)生沿著軸向流動(dòng)的離子風(fēng)。需要說(shuō)明的是，如圖4(b)所示，電介體207能夠捕捉到具有面向彼此不同的方向 的多個(gè)曲面207a 207d。即，電介體207具有曲面207a及其背面的曲面207b，并且具有面向這些曲面的側(cè)方的曲面207c及曲面207d。另外，外側(cè)電極209能夠捕捉到具有分別設(shè)于曲面207a 曲面207d的部分電極209a 209do需要說(shuō)明的是，電介體207也能夠捕捉到面向彼此相反的方向的兩個(gè)曲面(半圓筒面)。外側(cè)電極209也能夠捕捉到具有分別設(shè)于該兩個(gè)曲面的兩個(gè)部分電極。根據(jù)以上的第三實(shí)施方式，可獲得與第一實(shí)施方式同樣的作用及效果。S卩，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極211與外側(cè)電極209之間施加電壓，如圖5(a)中箭頭yl及y2所示那樣，在面向彼此不同的方向的曲面207a 207d上能夠適當(dāng)?shù)匕l(fā)生離子風(fēng)，且可實(shí)現(xiàn)基于內(nèi)側(cè)電極11的共用的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化及小型化。另外，離子風(fēng)發(fā)生體203具有包括部分電極209a 209d，且以圍繞電介體207的外周的方式形成的環(huán)狀的外側(cè)電極209。因而，離子風(fēng)發(fā)生體203能夠在電介體207的規(guī)定的繞軸的整個(gè)圓周上發(fā)生離子風(fēng)。其結(jié)果是，例如，可期待以小型的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)大風(fēng)量的離子風(fēng)。需要說(shuō)明的是，在第三實(shí)施方式中，曲面207a 207d中的任兩個(gè)為本發(fā)明的第一面及第二面的一例，部分電極209a 209d中的任兩個(gè)為本發(fā)明的第一電極及第二電極的一例。〈第四實(shí)施方式〉圖6是示意性表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置301的主要部分的剖視圖。在第一實(shí)施方式中，以使第一電極9A與內(nèi)側(cè)電極11的距離和第二電極9B與內(nèi)側(cè)電極11的距離相等的方式來(lái)構(gòu)成離子風(fēng)發(fā)生體3。與其相對(duì)，在第四實(shí)施方式中，以使第一電極309A與內(nèi)側(cè)電極11 (第一下游域部)的距離和第二電極309B與內(nèi)側(cè)電極11 (第二下游域部)的距離彼此不同的方式來(lái)構(gòu)成離子風(fēng)發(fā)生體303。例如，該距離的差異通過(guò)厚度方向(Z)的距離的差異來(lái)實(shí)現(xiàn)。更具體而言，例如，通過(guò)使夾在第一電極309A與內(nèi)側(cè)電極11之間的絕緣層13的個(gè)數(shù)和夾在第二電極309B與內(nèi)側(cè)電極11之間的絕緣層13的個(gè)數(shù)彼此不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。需要說(shuō)明的是，多個(gè)絕緣層13的厚度例如彼此相同。當(dāng)然，厚度方向的距離的差異在如第一實(shí)施方式那樣由兩個(gè)絕緣層13構(gòu)成電介體的情況下，也能夠通過(guò)使絕緣層13的厚度不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。
另外，例如，該距離的差異通過(guò)流動(dòng)方向(X方向)上的距離的差異來(lái)實(shí)現(xiàn)。更具體而言，例如，通過(guò)使兩個(gè)外側(cè)電極309的位置以規(guī)定的距離d彼此不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。需要說(shuō)明的是，在圖6中，兩個(gè)外側(cè)電極309的在X方向上的大小彼此不同，但該大小也可以彼此相同。這樣，通過(guò)使第一電極309A與內(nèi)側(cè)電極11的距離和第二電極309B與內(nèi)側(cè)電極11的距離彼此不同，從而容易使第一主面7a及第二主面7b上各自產(chǎn)生的離子風(fēng)不同。例如，即便將兩個(gè)外側(cè)電極并聯(lián)連接，也能夠?qū)⒌谝恢髅?a及第二主面7b上各自的風(fēng)速設(shè)為任意的風(fēng)速?！吹谖鍖?shí)施方式〉圖7是示意性表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置401的主要部分的剖視圖。
在第一實(shí)施方式中，第一電極9A及第二電極9B相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而向沿著第一主面7a及第二主面7b的相同的方向偏離(相對(duì)于第一電極9A而內(nèi)側(cè)電極的第一下游域部所在的方向(第一方向)和相對(duì)于第二電極9B而內(nèi)側(cè)電極的第二下游域部所在的方向(第二方向)為相同方向。)。與其相對(duì)，在本實(shí)施方式中，第一電極9A及第二電極9B相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而向沿著第一主面7a及第二主面7b的彼此不同的方向偏離(第一方向與第二方向?yàn)楸舜瞬煌姆较颉?。例如，第一電極9A及第二電極9B相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11而向X方向的彼此相反方向偏離(第一方向與第二方向?yàn)橄喾捶较颉?。因而，在離子風(fēng)發(fā)生體403中，如箭頭yI及y3所示那樣，在第一主面7a和第二主面7b上向彼此不同的方向(本實(shí)施方式中為相反方向)流動(dòng)離子風(fēng)。這樣，通過(guò)多個(gè)外側(cè)電極9的相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極11的偏離方向的調(diào)整，能夠根據(jù)離子風(fēng)發(fā)生裝置的用途，來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定沿著彼此不同的面的離子風(fēng)的流動(dòng)方向?！蠢美祱D8是示意性表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的離子風(fēng)發(fā)生裝置I的利用例的主要部分的剖視圖。在圖8中，例示出離子風(fēng)發(fā)生裝置I利用于進(jìn)行廢氣等的流體的改性的反應(yīng)裝置中的情況。在改性對(duì)象的流體的流路內(nèi)沿著流路的寬度方向以規(guī)定的間隔分離排列有多個(gè)離子風(fēng)發(fā)生體3。各離子風(fēng)發(fā)生體3以離子風(fēng)的流動(dòng)方向沿著流路的方式配置。并且，當(dāng)對(duì)外側(cè)電極9及內(nèi)側(cè)電極11施加電壓時(shí)，多個(gè)離子風(fēng)發(fā)生體3在第一主面7a及第二主面7b的雙方上進(jìn)行流體的改性，并且發(fā)生離子風(fēng)，從而將改性后的流體送出。本發(fā)明不局限于以上的實(shí)施方式，可以以各種方式實(shí)施。本發(fā)明的離子風(fēng)發(fā)生裝置及離子風(fēng)發(fā)生體能夠利用在各種領(lǐng)域中。例如，本發(fā)明既可以利用于葉片中的邊界層的剝離抑制，也可以利用于微小空間中的流動(dòng)的形成(例如小型電子設(shè)備的冷卻風(fēng)的形成)。從第三實(shí)施方式(圖5)可理解，電介體的、面向彼此不同的方向的第一面及第二面并不局限于面向彼此相反的方向的平面。第一面及第二面既可以為面向彼此正交的方向的面，也可以為面向彼此傾斜的方向的面。電介體的形狀也不局限于薄型長(zhǎng)方體或者圓柱狀，可以設(shè)為適當(dāng)?shù)男螤?。電介體并不局限于通過(guò)絕緣層的層疊來(lái)形成。例如，電介體也可以在配置有作為電極的金屬的模具內(nèi)填充作為電介體的材料來(lái)成形。另外，在電介體通過(guò)絕緣層的層疊來(lái)形成的情況下，電介體并不局限于將陶瓷坯片層疊來(lái)進(jìn)行燒成。例如，電介體既可以通過(guò)陶瓷的噴鍍而將絕緣層層疊，也可以將未硬化的熱硬化性樹(shù)脂層疊而進(jìn)行加熱、加壓。第一電極及第二電極(外側(cè)電極)以及內(nèi)側(cè)電極的形狀及個(gè)數(shù)可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。例如，在第一實(shí)施方式中，外側(cè)電極及內(nèi)側(cè)電極的一方設(shè)為三角形形狀或者波狀形狀，也可以根據(jù)離子風(fēng)的寬度方向的位置而使X方向上的外側(cè)電極與內(nèi)側(cè)電極的距離發(fā)生變化。另夕卜，例如，在第一實(shí)施方式中，外側(cè)電極及內(nèi)側(cè)電極的一方也可以在離子風(fēng)的寬度方向上被分割為多個(gè)，其按照所分割出的電極來(lái)控制電壓。從第二及第三實(shí)施方式(圖3及圖5)可理解，內(nèi)側(cè)電極并不局限于層狀電極，另夕卜，第一電極及第二電極(外側(cè)電極)也不局限于層狀電極。例如，在第一實(shí)施方式中，第一電極及第二電極也可以為沿著y方向延伸的軸狀電極。第一電極及第二電極(外側(cè)電極)相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極而配置在電介體的表面?zhèn)燃?可，無(wú)需在電介體的表面上露出。另外，在外側(cè)電極露出于電介體的表面的情況下，外側(cè)電極并不局限于配置在電介體的表面上。例如，外側(cè)電極可以與在電介體上形成的凹部嵌合，而僅一部分從電介體露出。另外，第一電極及第二電極(外側(cè)電極)也可以固定在與電介體獨(dú)立的構(gòu)件上而從電介體分離。第一電極及第二電極的相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極的偏離方向(在另一觀點(diǎn)中為第一方向及第二方向)并不局限于相同方向及相反方向，也可以為彼此正交的方向或者彼此傾斜的方向。如上所述，第一下游域部或者第二下游域部不局限于內(nèi)側(cè)電極的整體，也可以是內(nèi)側(cè)電極的一部分。在這種情況下，第一下游域部及第二下游域部既可以是內(nèi)側(cè)電極之中彼此不重復(fù)的范圍，也可以是一部分重復(fù)的彼此不同的范圍。第一電極及第二電極并不局限于并聯(lián)連接。例如，第一電極及第二電極也可以串聯(lián)連接。另外，例如，通過(guò)對(duì)內(nèi)側(cè)電極賦予基準(zhǔn)電位，并對(duì)第一電極及第二電極賦予頻率及/或振幅不同的變動(dòng)電位等，由此第一電極及第二電極也可以獨(dú)立地被控制電壓。如第二實(shí)施方式(圖3)所例示出的、具有第一及第二部分電介體(實(shí)施方式中為13A及13B)的電介體并不局限于由平板狀的絕緣層構(gòu)成。另外，第一部分電介體及第二部分電介體也可以在隔著適當(dāng)?shù)拈g隔件而對(duì)置的狀態(tài)下，通過(guò)焊錫等適當(dāng)?shù)墓潭?gòu)件來(lái)彼此固定。另外，將設(shè)于這些第一及第二部分電介體的第三及第四電極連接的連接導(dǎo)體(實(shí)施方式中為通孔導(dǎo)體12)并不局限于通孔導(dǎo)體。例如，在第二實(shí)施方式中，也可以在第三絕緣層13C的側(cè)方配置導(dǎo)體來(lái)構(gòu)成連接導(dǎo)體。附圖符號(hào)說(shuō)明I…離子風(fēng)發(fā)生裝置、3…離子風(fēng)發(fā)生體、7…電介體、7a…第一主面(第一面)、7b…第二主面(第二面)、9A…第一電極、9B···第二電極、11···內(nèi)側(cè)電極(第一下游域部、第二下游域部)、15…電源裝置(電源)。
權(quán)利要求
1.一種離子風(fēng)發(fā)生體，其中，包括 具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的電介體； 配置在所述電介體內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極； 相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第一面?zhèn)鹊牡谝浑姌O； 相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第二面?zhèn)鹊牡诙姌O， 所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第一電極位于沿著所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第一面的離子風(fēng)，并且，所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第二電極位于沿著所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第二面的離子風(fēng)。
2.如權(quán)利要求I所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述第一面及所述第二面面向彼此相反的方向。
3.如權(quán)利要求2所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述第一方向及所述第二方向?yàn)橄嗤较颉?br> 4.如權(quán)利要求2或3所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述電介體為由平板狀的多個(gè)絕緣層層疊而構(gòu)成的基板， 所述第一面及所述第二面為面向所述多個(gè)絕緣層的層疊方向的所述基板的兩主面， 所述第一電極為層疊在所述第一面上的層狀電極， 所述第二電極為層疊在所述第二面上的層狀電極， 所述內(nèi)側(cè)電極為配置在所述多個(gè)絕緣層間的任一者上的層狀電極。
5.如權(quán)利要求2或3所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述電介體具有 構(gòu)成所述第一面的第一部分電介體； 構(gòu)成所述第二面的第二部分電介體， 所述第一電極設(shè)置在所述第一部分電介體上， 所述第二電極設(shè)置在所述第二部分電介體上， 所述內(nèi)側(cè)電極具有 設(shè)置在所述第一部分電介體上的、比所述第一電極更靠所述第二部分電介體側(cè)的第三電極； 設(shè)置在所述第二部分電介體上的、比所述第二電極更靠所述第一部分電介體側(cè)的第四電極； 連接所述第三電極和所述第四電極的連接導(dǎo)體。
6.如權(quán)利要求5所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述電介體為由平板狀的多個(gè)絕緣層層疊而構(gòu)成的基板， 所述第一面及所述第二面為面向所述多個(gè)絕緣層的層疊方向的所述基板的兩主面， 所述多個(gè)絕緣層包括 具有所述第一面及該第一面背面的第三面且作為所述第一部分電介體的第一絕緣層； 具有所述第二面及該第二面背面的第四面且作為所述第二部分電介體的第二絕緣層； 夾在所述第三面及所述第四面之間的第三絕緣層， 所述第一電極為層疊在所述第一面上的層狀電極， 所述第二電極為層疊在所述第二面上的層狀電極， 所述第三電極為層疊在所述第三面上的層狀電極， 所述第四電極為層疊在所述第四面上的層狀電極， 所述連接導(dǎo)體為貫通所述第三絕緣層的通孔導(dǎo)體。
7.如權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 具有環(huán)狀電極，該環(huán)狀電極包括所述第一電極及所述第二電極，且以包圍所述電介體的外周的方式形成。
8.如權(quán)利要求I 7中任一項(xiàng)所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述電介體由陶瓷構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求I 8中任一項(xiàng)所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述第一電極與所述第一下游域部的距離和所述第二電極與所述第二下游域部的距離彼此相同。
10.如權(quán)利要求I 8中任一項(xiàng)所述的離子風(fēng)發(fā)生體，其中， 所述第一電極與所述第一下游域部的距離和所述第二電極與所述第二下游域部的距離彼此不同。
11.一種離子風(fēng)發(fā)生裝置，其中，包括 具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的電介體； 配置在所述電介體內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極； 相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第一面?zhèn)鹊牡谝浑姌O； 相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)電極配置在所述第二面?zhèn)鹊牡诙姌O； 對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓，并且對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓的電源， 所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第一電極位于沿著所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第一電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第一面的離子風(fēng)，并且，所述內(nèi)側(cè)電極具有相對(duì)于所述第二電極位于沿著所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通過(guò)對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極與所述第二電極之間施加電壓能夠誘發(fā)沿著所述第二面的離子風(fēng)。
12.如權(quán)利要求11所述的離子風(fēng)發(fā)生裝置，其中， 所述第一電極及所述第二電極向所述電介體的外部露出， 所述電源對(duì)所述第一電極及所述第二電極賦予基準(zhǔn)電位，并且對(duì)所述內(nèi)側(cè)電極賦予相對(duì)于基準(zhǔn)電位變動(dòng)的電位。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠適當(dāng)?shù)匕l(fā)生沿著電介體的表面的離子風(fēng)的離子風(fēng)發(fā)生體。離子風(fēng)發(fā)生體(3)具有具有第一主面(7a)和該第一主面(7a)的背面的第二主面(7b)的電介體(7)；配置在電介體(7)內(nèi)的內(nèi)側(cè)電極(11)；相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極(11)配置在第一主面(7a)側(cè)的第一電極(9A)；相對(duì)于內(nèi)側(cè)電極(11)配置在第二主面(7b)側(cè)的第二電極(9B)。內(nèi)側(cè)電極(11)具有相對(duì)于第一電極(9A)位于沿著第一主面(7a)的第一方向(x方向的正側(cè))上的第一下游域部，并且具有相對(duì)于第二電極(9B)位于沿著第二主面(7b)的第二方向(x方向的正側(cè))上的第二下游域部。
文檔編號(hào)H01T23/00GK102959813SQ20118003053
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者東條哲也, 八木隆茂, 牧野浩 申請(qǐng)人:京瓷株式會(huì)社