基板處理裝置及機器人控制器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明即使將機器人控制器設置在進行了清潔的空間內的情況下，也能夠進行排氣，而不會遮擋該空間內的清潔氣流?；逄幚硌b置包括框體、搬運機器人、以及機器人控制器?？蝮w將向下流動的空氣從底璧側排出，設置在框體內的搬運機器人具備使能夠保持搬運物的臂部升降的升降機構。另外，設置在框體內的機器人控制器設置有罩，罩僅在設有風扇的側面?zhèn)群偷酌鎮(zhèn)乳_口。
【專利說明】基板處理裝置及機器人控制器
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明的實施方式涉及基板處理裝置及機器人控制器。
【背景技術】
[0002]以往，已知一種搬運半導體晶片或液晶面板等薄片狀工件(以下記為“基板”)的機器人和控制機器人的機器人控制器。另外，還已知一種設置有用于搬運基板的機器人并具備局部被清潔化的空間的基板處理裝置。
[0003]例如，在專利文件I中，提出在設置有機器人的清潔室的地板下方收納機器人控制器、并且該機器人控制器的上端部與地板面成同一面而構成的機器人控制器。
[0004]現(xiàn)有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開平7-186075號公報
【發(fā)明內容】

[0007]但是，上述現(xiàn)有技術的機器人控制器收納在地板下方，因此，存在著作業(yè)者在維護機器人控制器時作業(yè)非常困難這樣的問題。
[0008]另外，由于機器人控制器內發(fā)熱，因此設置冷卻用風扇，并進行排氣。另一方面，在清潔室等進行了清潔的空間內，通過向下流動等，進行空氣的清潔。
[0009]因此，如果將機器人控制器設置在清潔室內，需要使清潔室內的空氣的流動不被來自機器人控制器的排氣遮擋。
[0010]本發(fā)明的實施方式的一種方式是鑒于上述情況而做出的，其目的在于提供一種基板處理裝置及機器人控制器，即使將機器人控制器設置在進行了清潔的空間內的情況下，也能夠進行排氣，而不會遮擋該空間內的清潔氣流。
[0011]用于解決問題的手段
[0012]本發(fā)明的實施方式的一種方式涉及的基板處理裝置具備:框體、搬運機器人、以及機器人控制器。所述框體將向下流動的空氣從底璧側排出，所述搬運機器人設置于所述框體內，具備使臂部在規(guī)定的升降范圍內升降的升降機構，所述臂部具有能夠保持搬運物的手。另外，所述機器人控制器設置在所述框體內，并且在側面設置有風扇。在所述機器人控制器上設置有罩，所述罩僅在設有所述風扇的所述側面?zhèn)群偷酌鎮(zhèn)乳_口。
[0013]發(fā)明效果
[0014]根據(jù)實施方式的一種方式，即使將機器人控制器設置在進行了清潔的空間內的情況下，也能夠進行排氣，而不會遮擋該空間內的清潔氣流。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是第一實施方式涉及的基板處理裝置的側視圖之一。
[0016]圖2是第一實施方式涉及的機器人控制器的示意立體圖。[0017]圖3A是第一實施方式涉及的機器人控制器的俯視圖。
[0018]圖3B是第一實施方式涉及的機器人控制器的側視圖。
[0019]圖3C是第一實施方式涉及的機器人控制器的主視圖。
[0020]圖4是第一實施方式涉及的基板處理裝置的側視圖之二。
[0021]圖5是第二實施方式涉及的機器人控制器的示意立體圖。
[0022]圖6A是第二實施方式涉及的基板處理裝置的側視圖之一。
[0023]圖6B是第二實施方式涉及的基板處理裝置的側視圖之二。
【具體實施方式】
[0024]以下，參照附圖，詳細說明本發(fā)明公開的基板處理裝置及機器人控制器的實施方式。此外，本發(fā)明不限于以下所示的實施方式。
[0025](第一實施方式)
[0026]首先，利用圖1，說明第一實施方式涉及的基板處理裝置。圖1是第一實施方式涉及的基板處理裝置I的側視圖之一。此外，以下適宜地使用該圖右上所示的坐標軸來進行說明，另外，在該圖中，為了容易說明，將一部分的形狀簡化示出。
[0027]如圖1所示，具有形成基板處理裝置I的框體5的底壁部的機器人設置框架3，在機器人設置框架3上設置有機器人控制器10和搬運機器人20。此外，附圖標記100表示設置基板處理裝置I的地板面。
[0028]基板處理裝置I在上部具備凈化氣體的過濾器2，并利用通過該過濾器2凈化而向下流動的清潔氣流，對框體5內進行清潔,基板處理裝置I是所謂的EFEM(Equipment FrontEnd Module:設備前端模塊)。
[0029]機器人設置框架3例如像沖孔金屬(punching metal)那樣開有孔，向下流動的空氣從該孔排出。另外，在基板處理裝置I的機器人設置框架3的下表面設置有支腿4，支腿4使得基板處理裝置I能夠離開地板面100規(guī)定距離地被支撐。
[0030]由此，從機器人設置框架3的孔排出的空氣向基板處理裝置I的下表面與地板面100之間的空隙逸出。另外，框體5設置成能夠移置。
[0031]搬運機器人20具備臂部22，該臂部22具有能夠保持作為被搬運物的半導體晶片或液晶面板等基板的手23。臂部22以能夠升降且能夠在水平方向旋轉的方式被支承在基臺部21上，基臺部21設置于形成框體5的底壁部的機器人設置框架3上。
[0032]搬運機器人20將基板從在高度方向上以多層收納有多個基板的箱狀的盒(未圖示)中向框體5內取出。此外，這樣的盒并排設置在框體5上。
[0033]另外，搬運機器人20將從盒中取出的基板移置到規(guī)定的處理裝置(未圖示)。此外，處理裝置是指并排設置在框體5中并對基板進行例如CVD (Chemical Vapor Deposition:化學氣相沉積)、蝕刻、曝光等這樣的規(guī)定處理的裝置。
[0034]根據(jù)這樣的結構，搬運機器人20能夠使臂部22從基臺部21向上方升降或者旋轉的同時，將載置于手23上的基板向目的位置搬運。此外，這里，如圖1所示，臂部22在從高度a到高度b的范圍內進行升降。
[0035]機器人控制器10是控制搬運機器人20起動、停止等動作的裝置，包括主體部11和罩13，并通過電纜(未圖示)與搬運機器人20連接。另外，由于機器人控制器10內部發(fā)熱，因此在主體部11的側面具備冷卻用風扇12。
[0036]此外，機器人控制器10設置于機器人設置框架3上，為了不妨礙臂部22動作，位于比臂部22的升降范圍(高度a?高度b)靠下的位置。
[0037]風扇12將從配置于主體部11的進氣孔吸入的空氣排出到主體部11之外。另外，風扇12從配設有風扇12的側面到機器人控制器10的底面?zhèn)缺徽?3所覆蓋。此外，罩13僅在配設風扇12的側面和底面開口。
[0038]因此，如圖1的箭頭所示，風扇12所排出的空氣將從開口的罩13的底面?zhèn)冉?jīng)由配設于機器人設置框架3上的孔，向基板處理裝置I的下表面逸出。
[0039]此外，這里，以使風扇12在鉛垂方向上并排設置的方式設置主體部11 (以下記為“縱向放置”)，但也可以，以使風扇12在水平方向上并排設置的方式設置主體部11 (以下記為“橫向設置”)。
[0040]在基板處理裝置I中，根據(jù)主體部11的設置面，能夠更換成底面開口的罩13。因此，即使在橫向設置主體部11的情況下，通過附設與橫向設置相對應的罩13，風扇12所排出的空氣也能夠向基板處理裝置I的下表面逸出。此外，關于橫向設置的詳細情況，使用圖
5、圖6A和圖6B在下面敘述。
[0041]然而，現(xiàn)有技術的機器人控制器除了設置在基板處理裝置以外，也收納在例如地板下方，因此存在著作業(yè)者維護機器人控制器時作業(yè)非常困難這樣的問題。
[0042]另外，假設將機器人控制器設置在基板處理裝置內的情況下，空氣從風扇排出時，空氣中包含的細微的灰塵或塵埃飛散，有時會附著在由搬運機器人移置的基板上。
[0043]因此，假設將機器人控制器設置在基板處理裝置內的情況下，需要使清潔室內的空氣流動不被來自機器人控制器的排氣遮擋。
[0044]因此，在第一實施方式涉及的基板處理裝置I中，設為通過僅在配設有風扇12的側面和底面開口的罩13來覆蓋風扇12。由此，即使機器人控制器10被設置在進行了清潔的基板處理裝置I內的情況下，也能夠在該基板處理裝置I內不遮擋向下流動的清潔氣流地進行排氣。
[0045]另外，第一實施方式涉及的基板處理裝置I通過附設上述的罩13，能夠抑制從風扇12排出的空氣中所包含的細微的灰塵或塵埃附著到基板上。
[0046]接著，使用圖2說明第一實施方式涉及的機器人控制器10的詳細情況。圖2是第一實施方式涉及的機器人控制器10的示意立體圖。
[0047]如圖2所示，機器人控制器10的主體部11具備:風扇12、把手14、以及設有多個帶狀狹縫的通氣孔15、16。另外，風扇12從配設風扇12的側面到機器人控制器10的底面?zhèn)缺徽?3覆蓋,罩13可拆裝。
[0048]此外，第一實施方式涉及的機器人控制器10設置為縱向設置、S卩、以使配置有風扇12的主體部11側面的長邊方向為高度方向(Z軸方向)的方式縱向地設置。另外，機器人控制器10以配設有風扇12的側面為背面，以設置有把手14的面(X軸的負方向側)為正面。
[0049]在機器人控制器10的內部具備包含對被控制對象的搬運機器人20進行控制的多個電路元件的控制電路。具體而言，在機器人控制器10的內部具備CPU (CentralProcessing Unit:中央處理器)、控制板、放大器、變換器、繼電器、電容器等電路元件(未圖示)。
[0050]由于從這樣的電路元件發(fā)出的熱，造成機器人控制器10的內部的溫度上升。因此，為了冷卻機器人控制器10內部充滿的熱量，從進氣孔吸入空氣，風扇12將所吸入的空氣排出到主體部11之外。
[0051]罩13僅在配置風扇12的側面和作為設置面的底面開口，從風扇12排出的空氣如圖2箭頭所示，從罩13的底面?zhèn)扰懦觥?br> [0052]另外，在機器人設置框架3上設置機器人控制器10。因此，風扇12所排出的空氣從開口的罩13的底面?zhèn)冉?jīng)由配設在機器人設置框架3上的孔，向基板處理裝置I的下表面逸出。
[0053]由此，機器人控制器10能夠抑制從風扇12排出的空氣中包含的細微的灰塵和塵埃的發(fā)散，而不會遮擋基板處理裝置I內的空氣的流動。
[0054]此外，在基板處理裝置I的機器人設置框架3上如沖孔金屬那樣配置有孔。但是，機器人設置框架3只要是空氣從基板處理裝置I的下表面逸出的結構，就不限于該結構，例如還可以如格柵(grating)那樣形成格子狀。另外，這里，雖然示出了背面?zhèn)扰湓O3個風扇12的機器人控制器10，但是所配設的風扇12的數(shù)量可以具備多個，只要為一個以上即可。
[0055]接著，使用圖3A?圖3C說明從上表面、側面以及正面觀察機器人控制器10的情況。圖3A是第一實施方式涉及的機器人控制器10的俯視圖，圖3B是第一實施方式涉及的機器人控制器10的側視圖。另外，圖3C是第一實施方式涉及的機器人控制器10的主視圖。
[0056]首先，如圖3A所示，在機器人控制器10的上表面配置有設有多個帶狀狹縫的通氣孔15。另外，如圖3B所示，在機器人控制器10的側面，與上表面同樣地，配置有設有多個狹縫的通氣孔16。
[0057]接著，如圖3C所示，在機器人控制器10的正面具有:設有多個帶狀狹縫的通氣孔17 ;控制面板18 ;以及上下設置的把手14。
[0058]控制面板18具有進行控制搬運機器人20的起動、停止等動作的操作的操作部、電池座、輸入輸出模塊或串行通信模塊這樣的各種連接器等(未圖示)。
[0059]此外，通氣孔15、16、17為設有多個帶狀狹縫的結構，但不限于此。例如，通氣孔15、16、17可以設為圓孔、方孔，也可以設計為網(wǎng)狀孔。
[0060]接著，使用圖4說明從側面觀察基板處理裝置I的情況。圖4是第一實施方式涉及的基板處理裝置I的側視圖之二。此外，在框體5的X軸的負方向側的側面配置有可開閉的門6，圖4圖示了門6為開放的狀態(tài)。
[0061]圖如4所示，在機器人設置框架3上設置機器人控制器10和搬運機器人20。如該圖所示，以使控制面板18位于門6側(X軸的負方向側)的方式設置機器人控制器10。
[0062]由此，作業(yè)者打開門6，能夠順利地進行搬運機器人20的控制操作。另外，由于機器人控制器10位于比臂部22的升降范圍更靠下的位置，因此不會妨礙臂部22的動作。
[0063]如上所述，在第一實施方式涉及的基板處理裝置和機器人控制器中，將機器人控制器設置在如沖孔金屬那樣開有孔的基板處理裝置的機器人設置框架上。另外，第一實施方式涉及的機器人控制器的風扇通過僅在配置有風扇的側面和底面開口的罩覆蓋。因此，風扇所排出的空氣從開口的罩的底面?zhèn)冉?jīng)由配置在機器人設置框架上的孔向基板處理裝置的下表面逸出。[0064]由此，即使在機器人控制器被設置在清潔化的空間內設置的情況下，第一實施方式涉及的基板處理裝置和機器人控制器也能夠進行排氣，而不會遮擋該空間內的清潔氣流。
[0065]另外，上述第一實施方式涉及的機器人控制器10設為縱向設置于基板處理裝置
I。但是，也可以將機器人控制器10橫向設置于基板處理裝置1、即、以使配置有風扇12的側面的短邊方向為高度方向的方式橫向設置機器人控制器10。因此，在以下所示的第二實施方式中，對將機器人控制器橫向設置的情況進行說明。
[0066](第二實施方式)
[0067]接著，使用圖5、圖6A和圖6B說明第二實施方式涉及的機器人控制器10A。圖5是第二實施方式涉及的機器人控制器IOA的示意立體圖。另外，圖6A和圖6B是第二實施方式涉及的基板處理裝置IA的側視圖之一及之二。
[0068]第二實施方式涉及的基板處理裝置IA以及機器人控制器IOA與第一實施方式的基板處理裝置I以及機器人控制器10不同之處在于，具有與將機器人控制器IOA橫向設置于基板處理裝置IA對應的罩。
[0069]此外，關于框體5、搬運機器人20和機器人控制器IOA的主體部11的結構，由于與第一實施方式(圖1或圖2)相同，所以在此省略與第一實施方式相同的部件等結構的說明。
[0070]如圖5所示，機器人控制器IOA被橫向設置。風扇12從配置風扇12的側面到機器人控制器IOA的底面?zhèn)缺慌c橫向設置相對應的罩13A覆蓋。
[0071]此外,該罩13A的底面形狀與第一實施方式的罩13的底面形狀不同，由于罩13可拆裝，因此在橫向設置機器人控制器的情況下，更換成該罩13A。
[0072]罩13A與第一實施方式的罩13同樣地，僅在配置有風扇12的側面和作為設置面的底面開口，因此從風扇12排出的空氣如圖5的箭頭所示，從罩13A的底面?zhèn)扰懦觥?br> [0073]接著，如圖6A所示，在形成框體5底壁部的機器人設置框架3上，設置機器人控制器10A。因此，風扇12排出的空氣如該圖的箭頭所示，從開口的罩13A的底面?zhèn)冉?jīng)由配置于機器人設置框架3上的孔向基板處理裝置IA的下表面逸出。
[0074]另外，圖6B中示出了在框體5的X軸的負方向側的側面所具有的門6開放的狀態(tài)。如該圖所示，在機器人設置框架3上設置有機器人控制器IOA和搬運機器人20。
[0075]此外，以使控制面板18位于門6側(X軸的負方向側)的方式設置機器人控制器IOA0另外，機器人控制器IOA位于比臂部22的升降范圍更靠下的位置。由此，作業(yè)者打開門6，能夠順利地進行搬運機器人20的控制操作，臂部22的動作不會被機器人控制器IOA妨礙。
[0076]如上所述，在第二實施方式中，根據(jù)機器人控制器的設置方向，更換不同形狀的罩。如此，在第二實施方式涉及的基板處理裝置和機器人控制器中，即使將機器人控制器設置在進行了清潔的空間內的情況下，也能夠進行排氣，而不會遮擋該空間內的清潔氣流。
[0077]此外，在這里，以使機器人控制器的底面和機器人設置框架相接觸的方式設置機器人控制器，但不限于此。例如，還可以以在機器人控制器的底面和機器人設置框架之間設置規(guī)定高度的空隙的方式來設置機器人控制器。但是，機器人控制器被設置為位于比臂部的升降范圍更靠下的位置。
[0078]另外，罩為僅在配置有風扇的側面和作為設置面的底面開口的箱型的形狀，但不限定于此。例如，還可以是在罩的內側并且風扇的附近具有從罩的上方到底面?zhèn)仍O有梯度的多個風扇的罩。
[0079]由此，風扇所排出的空氣容易從開口的罩的底面?zhèn)认蚺湓O在機器人設置框架上的孔的方向流動，并且經(jīng)由這樣的孔能夠容易地向基板處理裝置的下表面逸出。因此，能夠抑制對在基板處理裝置內向下流動的清潔氣流產生的影響。
[0080]另外，從設置在機器人控制器的主體部上的多個通氣孔吸入空氣，但也可以根據(jù)設置方向開閉規(guī)定的進氣孔。例如，在本實施方式涉及的基板處理裝置和機器人控制器中，關閉位于所設置的機器人控制器的上表面部上的進氣孔的狹縫。通過關閉位于上表面部上的進氣孔，能夠防止從基板處理裝置的上部向下流動的清潔氣流流入該進氣孔中。
[0081]進一步的效果和變形例對本領域技術人員來說能夠容易地導出。因此，本發(fā)明的更廣泛的實施方式不限于如上述那樣表示且記述的特定的詳細和代表性的實施方式。因此，在不脫離由所附權利要求書及其等同物所定義的總的發(fā)明概念的精神或范圍的情況下可以進行各種變形。
[0082]附圖標記說明
[0083]I 基板處理裝置
[0084]2 過濾器
[0085]3 機器人設置框架
[0086]4 支腿
[0087]5 框體
[0088]6 門
[0089]10機器人控制器
[0090]11主體部
[0091]12 風扇
[0092]13 罩
[0093]14 把手
[0094]15通氣孔
[0095]16 通氣孔
[0096]17 通氣孔
[0097]18 控制面板
[0098]20 搬運機器人
[0099]21 基臺部
[0100]22 臂部
[0101]23 手
[0102]100地板面
【權利要求】
1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括: 框體，所述框體將向下流動的空氣從底璧側排出； 搬運機器人，所述搬運機器人設置于所述框體內，并且具備使臂部在規(guī)定的升降范圍內升降的升降機構，所述臂部具有能夠保持搬運物的手；以及 機器人控制器，所述機器人控制器設置在所述框體內，并且在側面設置有風扇， 在所述機器人控制器上設置有罩，所述罩僅在設有所述風扇的所述側面?zhèn)群偷酌鎮(zhèn)乳_□。
2.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 根據(jù)所述機器人控制器的任一面是否為底面，從預先準備的多個種類的所述罩中選擇一個所述罩。
3.如權利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述機器人控制器位于比所述搬運機器人中的所述升降機構的升降范圍更靠下的位置。
4.如權利要求1、2或3所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述框體被設置為不與地板面接觸。
5.—種機器人控制器,其特征在于， 在側面具有風扇， 設置有僅在設有所述風扇的所述側面?zhèn)群偷酌鎮(zhèn)乳_口的罩。
【文檔編號】H01L21/677GK103875066SQ201180074167
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2011年11月28日 優(yōu)先權日:2011年11月28日
【發(fā)明者】小淵信一 申請人:株式會社安川電機