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      晶圓盒的制作方法

      文檔序號(hào):7048199閱讀:298來源:國(guó)知局
      專利名稱:晶圓盒的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及晶圓盒。特別是涉及一種應(yīng)用了輕量化及具有充足強(qiáng)度的輕量支承桿,而且可以采用組裝方式來結(jié)合輕量支承桿與端板的晶圓盒。
      背景技術(shù)
      晶圓經(jīng)過例如進(jìn)料檢查(materialinbound inspection)、研磨(grinding)、粘合(glueing)、切割(sawing)、分離(seperation)、洗凈(cleaning)、測(cè)試(testing)等制造工序,這種晶圓制造工序由于是在使晶圓移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行,因此需要保障面對(duì)外部環(huán)境的物理、化學(xué)穩(wěn)定性,所以在被收納于通常稱為晶圓盒(Solar wafer cassette)的收納裝置的狀態(tài)下,經(jīng)過上述多個(gè)工序。圖I是顯示以往晶圓盒構(gòu)成的立體圖。如圖I所示,晶圓盒⑴具有由樹脂材質(zhì)構(gòu)成的一對(duì)端板(3),設(shè)置既定間隔,相向配置,并包括多根支承桿(5),配置于上述一對(duì)端板(3)之間,各末端部借助熱熔接在上述端板的內(nèi)面結(jié)合成一體。其中,上述支承桿(5)由于是實(shí)際支承晶圓盒⑴的主支承體,所以必須具有足夠的強(qiáng)度,即使在晶圓盒(I)內(nèi)層疊放置晶圓,也能夠毫無變形地支承,因此,以往的支承桿以金屬材質(zhì)作為心材,用樹脂被覆其表面進(jìn)行使用。但是,如上所述,支承桿(5)的心材以金屬材質(zhì)制造,因而在強(qiáng)度方面沒有問題,但是由于在材質(zhì)特性上比較重,結(jié)果造成晶圓盒(I)整體重量上升,不僅操作不便,還對(duì)用于承載高重量晶圓盒的承載裝置及用于移動(dòng)的移動(dòng)裝置施加過度負(fù)荷,成為這些裝置發(fā)生故障或壽命縮短的原因。為解決上述問題,可以考慮將上述支承桿整體用合成樹脂替代的方法,但合成樹脂由于強(qiáng)度較弱,變形隱患較大,因此需要提出一種解決方法。另外,以往的晶圓盒由于支承桿(5)與端板(3)熱熔接成一體,因此,哪怕是多根支承桿中的某一個(gè)受到損傷,就需要更換整個(gè)晶圓盒,而且,在對(duì)支承桿(5)與端板(3)進(jìn)行熱熔接時(shí),哪怕某一個(gè)支承桿與端板熱熔接不良,整個(gè)晶圓盒被視為不合格品,需要廢棄處理,造成經(jīng)濟(jì)上的損失。

      發(fā)明內(nèi)容
      為此,本發(fā)明正是為了解決上述以往問題而提出的,本發(fā)明的主要目的在于提供一種晶圓盒,具有輕量化及具有充足強(qiáng)度的輕量支承桿,以組裝方式結(jié)合這種輕量支承桿與端板。本發(fā)明的另一目的在于提供一種晶圓盒,把用于在浸潰、攪拌、清洗晶圓盒中搭載的晶圓時(shí)防止晶圓從晶圓盒脫離的鎖銷從螺紋連結(jié)方式改善為旋轉(zhuǎn)方式,使鎖定動(dòng)作及解除鎖止動(dòng)作更加簡(jiǎn)便、容易。
      為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的晶圓盒包括一對(duì)端板和多根輕量支承桿,一對(duì)端板設(shè)置既定間隔,相向配置,多根輕量支承桿兩端固定于上述端板,相互平行配置,用于支承晶圓的側(cè)面及底面;上述支承桿包括至少在一處以上形成了加強(qiáng)槽的非金屬材質(zhì)的心材、壓入上述加強(qiáng)槽的加強(qiáng)構(gòu)件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金屬材質(zhì)的表材;在上述心材的兩端,結(jié)合著在外周面形成有螺紋的無頭螺桿,在上述端板的與上述無頭螺桿對(duì)應(yīng)的部位,使與上述無頭螺桿連結(jié)的連結(jié)螺母埋入端板厚度內(nèi)進(jìn)行設(shè)置。而且, 本發(fā)明的加強(qiáng)槽可以配置于心材的長(zhǎng)度方向中心部。而且,本發(fā)明的加強(qiáng)槽可以沿與上述心材長(zhǎng)度方向垂直的方向配置于心材兩側(cè)。而且,本發(fā)明的心材及加強(qiáng)構(gòu)件可以是碳纖維增強(qiáng)塑料(CarbonfiberReinforced plastics)。而且,本發(fā)明可以在心材的兩端,形成外徑比其他部位小的小徑部,在上述無頭螺桿上形成供上述小徑部插入的插入槽,上述無頭螺桿的一部分埋入設(shè)置于上述表材內(nèi)。而且,本發(fā)明可以在上述表材的兩側(cè)端面上形成防止旋轉(zhuǎn)凸起,在上述端板的與防止旋轉(zhuǎn)凸起對(duì)應(yīng)的部位,形成供上述防止旋轉(zhuǎn)凸起插入的防止旋轉(zhuǎn)槽。而且,本發(fā)明可以在上述端板的上部一側(cè),旋轉(zhuǎn)地設(shè)置用于防止上述晶圓脫離的鎖銷。而且,本發(fā)明的鎖銷可以包括能旋轉(zhuǎn)地貫通設(shè)置于上述各端板上部一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸、相對(duì)于上述旋轉(zhuǎn)軸沿直角方向連接的連接桿、沿晶圓盒長(zhǎng)度方向連接于上述連接桿末端的銷桿。在上述端板的上端,形成在上述銷桿鎖定時(shí)用于固定銷桿的第I固定槽,在端板的一側(cè)端,形成在上述銷桿解除鎖定時(shí)用于固定銷桿的第2固定槽。而且,在本發(fā)明的上述第I固定槽的內(nèi)面上,可以形成至少一個(gè)以上的用于防止插入第I固定槽的銷桿脫離的固定凸起。根據(jù)上述本發(fā)明的技術(shù)方案,將支承桿的材料改進(jìn)為非金屬材質(zhì),可以實(shí)現(xiàn)輕量化。從而采用這種支承桿的晶圓盒的操作更加簡(jiǎn)便。而且,本發(fā)明的輕量支承桿雖然為非金屬材質(zhì),但借助加強(qiáng)構(gòu)件,可以確保等同于金屬材質(zhì)的強(qiáng)度,因此可以消除強(qiáng)度弱化的憂慮。而且,本發(fā)明由于晶圓盒整體重量減小,可以減小承載其的裝置及移動(dòng)裝置的負(fù)荷,因而可以預(yù)防這些裝置的故障及壽命縮短。而且,本發(fā)明以組裝方式結(jié)合輕量支承桿與端板,從而減少不良率,即使發(fā)生不良,只更換不良部分即可,因而可以節(jié)省維護(hù)費(fèi)用及制造費(fèi)用。


      圖I是顯示以往晶圓盒構(gòu)成的立體圖。圖2是本發(fā)明的晶圓盒的立體圖。圖3是本發(fā)明的晶圓盒用輕量支承桿的局部截取立體圖。圖4是圖3所不A-A線截面圖。圖5是本發(fā)明的輕量支承桿的制造過程圖。圖6是用于說明本發(fā)明的輕量支承桿與端板間結(jié)合結(jié)構(gòu)的圖2的B部分解剖面圖。圖7是圖6的結(jié)合剖面圖。圖8是從圖2的C方向觀察本發(fā)明端板的附圖。
      具體實(shí)施例方式本發(fā)明涉及一種用于使用噴灌系統(tǒng)種植稻的方法。雖然傳統(tǒng)上在水田或水稻田中種植稻,但是本發(fā)明涉及在非水田中種植稻并利用噴灌系統(tǒng)來施用水、化肥和農(nóng)藥。本發(fā)明的方法不僅降低了與生產(chǎn)稻有關(guān)的能源和成本,還可以導(dǎo)致產(chǎn)量的增加。下面說明本發(fā)明實(shí)施例的晶圓盒。所說明的實(shí)施例是為了使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠容易理解本發(fā)明的思想,本發(fā)明并不限定于此。本發(fā)明的實(shí)施例可以在本發(fā)明的技術(shù)思想及范圍內(nèi)變形為其他形態(tài)。在本說明書中,“及/或”用作至少包含前后羅列的構(gòu)成要素之一的意義。在本說明書中,位于其他構(gòu)成要素“上”的意義不僅包含其他構(gòu)成要素直接位于一個(gè)構(gòu)成要素上,還包含第3構(gòu)成要素也可以位于上述一個(gè)構(gòu)成要素上的意義。本說明書中各構(gòu)成要素或部分等使用第I、第2等表現(xiàn)形式指代,但這是為了明確說明而使用的表現(xiàn)形式,而非限定于此。為了明確地表現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施例,附圖中表現(xiàn)的構(gòu)成要素的厚度及相對(duì)厚度會(huì)有所夸張。另外,附圖中表現(xiàn)的事項(xiàng)是為容易說明本發(fā)明的實(shí)施例而繪制的圖紙,與實(shí)際體現(xiàn)形態(tài)可能有所不同。圖2是本發(fā)明的晶圓盒的立體圖。如圖2所示,本發(fā)明的晶圓盒(10)包括一對(duì)端板(100)和多根輕量支承桿(200),一對(duì)端板(100)設(shè)置既定間隔,相向配置,多根輕量支承桿(200)配置于上述一對(duì)端板
      (100)之間,其末端與端板(100)結(jié)合。圖3是本發(fā)明的晶圓盒用輕量支承桿的局部截取立體圖,圖4是圖3所示A-A線剖面圖。如圖3及圖4所示,本發(fā)明的輕量支承桿(200)起到支承晶圓(W)的作用。這種輕量支承桿(200)為實(shí)現(xiàn)輕量化,其材料可以由非金屬材質(zhì)構(gòu)成。隨著材料工程學(xué)的發(fā)展,即使是非金屬材質(zhì),其強(qiáng)度也不會(huì)顯著低于金屬,但是不可否認(rèn),強(qiáng)度仍然低于金屬。因此,需要在結(jié)構(gòu)上進(jìn)行改進(jìn),以便能夠減小強(qiáng)度的不足。為此,在本發(fā)明中,為提高輕量支承桿(200)的強(qiáng)度,采用了嵌件注塑和加強(qiáng)構(gòu)件。詳細(xì)而言,輕量支承桿(200)可以由非金屬材質(zhì)的心材(210)、壓入上述心材(210)的非金屬材質(zhì)的加強(qiáng)構(gòu)件(220)、嵌件注塑包裹住上述心材(210)表面的非金屬材質(zhì)的表材(230)構(gòu)成。上述心材(210)可以具有圓形截面,但并不限定于此。上述心材(210)為了壓入上述加強(qiáng)構(gòu)件(220),可以至少在長(zhǎng)度方向中心部形成加強(qiáng)槽(211)。上述加強(qiáng)槽(211)可以沿與上述心材(210)長(zhǎng)度方向垂直的方向配置于心材
      (210)兩側(cè)。而且,上述加強(qiáng)構(gòu)件(220)的長(zhǎng)度(L)優(yōu)選長(zhǎng)于上述加強(qiáng)槽(211)的深度(D)。此時(shí),由于加強(qiáng)構(gòu)件(220)的一部分凸出于加強(qiáng)槽(211)的外部,因此在注塑上述表材(230)時(shí),可以起到防止在心材(210)與表材(230)之間發(fā)生滑移(Slip)的錨桿作用。于是,無需在心材(210)表面形成另外的錨桿凸起,從而可以節(jié)省注塑費(fèi)用。上述心材(210)在未設(shè)置加強(qiáng)構(gòu)件(220)的情況下,注塑上述表材(230)時(shí),可能會(huì)在模具內(nèi)發(fā)生彎曲變形,但由于上述加強(qiáng)構(gòu)件(220)的壓入結(jié)構(gòu),變形強(qiáng)度增加,可以抵制或防止變形。特別是心材(210)的變形主要會(huì)發(fā)生于長(zhǎng)度方向中心,因此,如前所述,隨著將加強(qiáng)構(gòu)件(220)壓入中心部,可以防止變形。不過,上述以加強(qiáng)構(gòu)件(220)的壓入位置是心材(210)長(zhǎng)度方向中心部為主進(jìn)行說明的,但是,當(dāng)然也可以根據(jù)需要,在心材(210)的其他部位壓入設(shè)置加強(qiáng)構(gòu)件(220)。上述心材(210)及加強(qiáng)構(gòu)件(220)的材質(zhì)推薦為碳纖維增強(qiáng)塑料(CarbonfiberReinforced plastics)。碳纖維增強(qiáng)塑料是在不飽和聚酯、環(huán)氧樹脂等熱硬化樹脂構(gòu)成的基質(zhì)中,以碳纖維為增強(qiáng)材料的增強(qiáng)塑料,其彎曲強(qiáng)度是GFRP的2倍,蠕變變形為1/2,具有 極大的張力強(qiáng)度和耐沖擊性,適合作為需要強(qiáng)度的部件材質(zhì),因此將其用作心材及加強(qiáng)構(gòu)件的材料。而且,上述加強(qiáng)構(gòu)件(220)可以應(yīng)用銷(Pin)型形態(tài),不同于此,也可以采用環(huán)型或其他可以起到增強(qiáng)作用的形態(tài)。綜合而言,心材(210)及加強(qiáng)構(gòu)件(220)的材質(zhì)由既輕又具有基本強(qiáng)度的碳纖維增強(qiáng)塑料構(gòu)成,與金屬材料相比,具有強(qiáng)度不顯著降低的基本條件,在此基礎(chǔ)上,通過將加強(qiáng)構(gòu)件(220)壓入心材(210),從而補(bǔ)充了等同于金屬的強(qiáng)度,所以可以在強(qiáng)度不下降的同時(shí)實(shí)現(xiàn)輕量化。另一方面,上述表材(230)可以具有圓形截面。不同于此,也可以米用橢圓形、多邊型及其他閉曲線截面形態(tài)等多種形態(tài)中的任意一種。在上述表材(230)的一側(cè)表面,可以形成沿長(zhǎng)度方向形成的支承凸起(231)。這種支承凸起(231)用于按既定間隔層疊支承晶圓(W),其截面形態(tài)可以為菱形(鉆石形),優(yōu)選其截面積從前端向根(root)部逐漸加寬形成,以便不容易斷裂。圖5是本發(fā)明的輕量支承桿的制造過程圖。如圖5所示,本發(fā)明的輕量支承桿的制造過程如下。步驟1,心材注塑(SlO)。準(zhǔn)備心材專用模具(圖中未示出),通過模具澆口,向模具腔內(nèi)部強(qiáng)制注入熔融狀態(tài)的非金屬材料,進(jìn)行心材(210)注塑。此時(shí),上述心材(210)應(yīng)至少在長(zhǎng)度方向中心部形成加強(qiáng)槽(211)。步驟2,使心材凝固(S20)。注塑完成后,使心材(210)從模具脫模,使脫模的心材強(qiáng)制或自然凝固。步驟3,壓入加強(qiáng)構(gòu)件(S30)。將預(yù)先準(zhǔn)備的加強(qiáng)構(gòu)件(220)自動(dòng)或手動(dòng)壓入注塑完成的心材(210)的加強(qiáng)槽
      (211)。此時(shí),如前所述,由于加強(qiáng)構(gòu)件(220)的長(zhǎng)度長(zhǎng)于上述加強(qiáng)槽(211)的深度,所以,加強(qiáng)構(gòu)件(220)在后述的表材(230)嵌件注塑時(shí),起到錨桿作用,防止心材(210)與表材(230)之間的滑移現(xiàn)象。步驟4,表材嵌件注塑(S40)。把已壓入加強(qiáng)構(gòu)件(220)狀態(tài)的心材(210)放入表材專用模具后,通過模具澆口強(qiáng)制注入非金屬材料進(jìn)行注塑,使心材(210)的表面被表材(230)包裹住。步驟5,使表材凝固(S50)。表材(230)注塑完成后,獲得了心材(210)、加強(qiáng)構(gòu)件(220)及表材(230) —體化的輕量支承桿(200),使其凝固后,便可獲得最終產(chǎn)品。圖6是用于說明本發(fā)明的輕量支承桿與端板間結(jié)合結(jié)構(gòu)的圖2的B部分解剖面圖,圖7是圖6的結(jié)合剖面圖。 如圖6及圖7所示,為了實(shí)現(xiàn)上述輕量支承桿(200)與端板(100)間的組裝,在上述輕量支承桿(200)的心材(210)兩端,可以形成外徑小于其他部位的小徑部(212)。而且,在上述小徑部(212)插入結(jié)合無頭螺桿(300),上述無頭螺桿(300)在其外周面形成螺紋(310),在中央部可以形成插入槽(320),以便上述小徑部(212)插入結(jié)合。其中,上述無頭螺桿(300)在上述表材(230)注塑時(shí),其一部分處于埋入表材(230)內(nèi)的狀態(tài),心材(210)、無頭螺桿(300)及表材(230)從而實(shí)現(xiàn)一體化。而且,在上述端板(100)的與上述無頭螺桿(300)對(duì)應(yīng)的部位,可以貫通形成螺母孔(110),在該螺母孔(110)內(nèi),可以插入設(shè)置與上述無頭螺桿(300)連結(jié)的連結(jié)螺母(400)。此時(shí),在上述螺母孔(110)內(nèi)設(shè)置錯(cuò)層型限位部(111),當(dāng)把上述連結(jié)螺母(400)插入螺母孔(110)時(shí),可以防止掉落到端板(100)的內(nèi)側(cè)。而且,在上述連結(jié)螺母(400)的外側(cè)端面上,可以形成用于使連結(jié)螺母(400)旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)連結(jié)或解除的工具插入槽(410)。而且,在上述表材(230)的朝向端板(100)的兩側(cè)端面部,可以形成至少2個(gè)以上的防止旋轉(zhuǎn)凸起(232),在與之對(duì)應(yīng)的端板(100)的內(nèi)側(cè)端面,可以形成供上述防止旋轉(zhuǎn)凸起(232)插入的防止旋轉(zhuǎn)槽(120)。在對(duì)連結(jié)螺母(400)與無頭螺桿(300)進(jìn)行連結(jié)時(shí),上述防止旋轉(zhuǎn)凸起(232)及防止旋轉(zhuǎn)槽(120)防止輕量支承桿(200)空轉(zhuǎn),起到可以使連結(jié)螺母(400)與無頭螺桿(300)順利連結(jié)的作用。再次引用圖2,本發(fā)明的晶圓盒可以設(shè)置防止晶圓盒(10)內(nèi)容納的晶圓(W)在作業(yè)途中脫離的鎖銷(500)。上述鎖銷(500)具有能旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于上述各端板(100)上部一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸(510),具有一體連接于上述旋轉(zhuǎn)軸(510)的連接桿(520),在上述連接桿(520)的末端,還具有沿晶圓盒(10)長(zhǎng)度方向連接成一體的銷桿(530)。而且,如圖8所示,在上述端板(100)的上端,可以形成用于固定上述銷桿(530)的第I固定槽(130),在端板(100)的一側(cè)端,可以形成用于在上述銷桿(530)解除鎖定時(shí)固定銷桿(530)的第2固定槽(140)。此時(shí),在上述第I固定槽(130)的內(nèi)面上,可以形成至少一個(gè)以上用于防止插入第I固定槽(140)的銷桿(530)脫離的固定凸起(131)。上述固定凸起(131)優(yōu)選為流線型及與之類似的形態(tài),以便當(dāng)把銷桿(530)引入第I固定槽(130)或引出時(shí),可以順利地引入、引出。本發(fā)明的權(quán)利范圍并非限定于上述實(shí)施例,可以在權(quán)利要求范圍內(nèi),以多種形態(tài)的實(shí)施例加以體現(xiàn)。在不超越權(quán)利要求書請(qǐng)求的本發(fā)明要旨的前提下,本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員所進(jìn)行的各種變形均視為在本發(fā)明要求范圍之內(nèi)。
      權(quán)利要求
      1.一種晶圓盒,包括一對(duì)端板和多根輕量支承桿,一對(duì)端板設(shè)置既定間隔,相向配置,多根輕量支承桿兩端固定于上述端板,相互平行配置,用于支承晶圓的側(cè)面及底面,其特征在于,上述輕量支承桿包括至少在一處以上形成了加強(qiáng)槽的非金屬材質(zhì)的心材、壓入上述加強(qiáng)槽的加強(qiáng)構(gòu)件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金屬材質(zhì)的表材;在上述心材的兩端,結(jié)合著在外周面形成有螺紋的無頭螺桿,在上述端板的與上述無頭螺桿對(duì)應(yīng)的部位,使與上述無頭螺桿連結(jié)的連結(jié)螺母埋入端板厚度內(nèi)進(jìn)行設(shè)置。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓盒,其特征在于 上述加強(qiáng)槽配置于心材的長(zhǎng)度方向中心部。
      3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶圓盒,其特征在于 上述加強(qiáng)槽沿與上述心材長(zhǎng)度方向垂直的方向配置于心材兩側(cè)。
      4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓盒,其特征在于 上述心材及加強(qiáng)構(gòu)件為碳纖維增強(qiáng)塑料(Carbonfiber Reinforced plastics)。
      5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓盒,其特征在于 在上述心材的兩端,形成外徑比其他部位小的小徑部,在上述無頭螺桿上形成供上述小徑部插入的插入槽,上述無頭螺桿的一部分埋入設(shè)置于上述表材內(nèi)。
      6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓盒,其特征在于 在上述表材的兩側(cè)端面上形成防止旋轉(zhuǎn)凸起,在上述端板的與防止旋轉(zhuǎn)凸起對(duì)應(yīng)的部位,形成供上述防止旋轉(zhuǎn)凸起插入的防止旋轉(zhuǎn)槽。
      7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶圓盒,其特征在于 在上述端板的上部一側(cè),能旋轉(zhuǎn)地設(shè)置用于防止上述晶圓脫離的鎖銷。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓盒,其特征在于 上述鎖銷包括能旋轉(zhuǎn)地貫通設(shè)置于上述各端板上部一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸、連接于上述旋轉(zhuǎn)軸的連接桿、沿晶圓盒長(zhǎng)度方向連接于上述連接桿末端的銷桿,在上述端板的上端,形成在上述銷桿鎖定時(shí)用于固定銷桿的第I固定槽,在端板的一側(cè)端,形成在上述銷桿解除鎖定時(shí)用于固定銷桿的第2固定槽。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓盒,其特征在于 在上述第I固定槽的內(nèi)面上,形成至少一個(gè)以上的用于防止插入第I固定槽的銷桿脫離的固定凸起。
      全文摘要
      提出一種晶圓盒。提出的晶圓盒包括一對(duì)端板和多根輕量支承桿,一對(duì)端板設(shè)置既定間隔,相向配置,多根輕量支承桿兩端固定于上述端板,相互平行配置,用于支承晶圓的側(cè)面及底面;上述輕量支承桿包括至少在一處以上形成了加強(qiáng)槽的非金屬材質(zhì)的心材、壓入上述加強(qiáng)槽的加強(qiáng)構(gòu)件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金屬材質(zhì)的表材;在上述心材的兩端,結(jié)合著在外周面形成有螺紋的無頭螺桿,在上述端板的與上述無頭螺桿對(duì)應(yīng)的部位,使與上述無頭螺桿連結(jié)的連結(jié)螺母埋入端板厚度內(nèi)進(jìn)行設(shè)置。
      文檔編號(hào)H01L21/673GK102629564SQ20121002441
      公開日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2012年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月8日
      發(fā)明者千俊煥, 李康聲 申請(qǐng)人:象牙弗隆泰克株式會(huì)社
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