專利名稱:一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及固晶封裝設(shè)備領(lǐng)域,更具體的說涉及的是一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)結(jié)構(gòu)改進(jìn)。
背景技術(shù):
在固晶機(jī)封裝設(shè)備行業(yè),現(xiàn)有的固晶機(jī)都是單頭固晶結(jié)構(gòu),單頭固晶結(jié)構(gòu)的不足在于,拾晶、固晶不能同步。同時(shí),工作時(shí)還必須配合一套獨(dú)立的單頭點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)進(jìn)行點(diǎn)膠,兩 個(gè)機(jī)構(gòu)的固晶位置交叉點(diǎn)也需要復(fù)雜的調(diào)整才能實(shí)現(xiàn)。整個(gè)固晶的工作過程是,①、由上料機(jī)構(gòu)把PCB板或支架傳送到工作位置,先由點(diǎn)膠臂將所述PCB板或支架需要固晶的位置點(diǎn)膠;②、固晶臂從原點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)到吸取晶片的位置,晶片放置在薄膜支撐的晶片盤上;③、固晶臂到位后吸嘴向下運(yùn)動(dòng),同時(shí)晶片盤下方的頂針裝置向上運(yùn)動(dòng)頂起晶片、固晶臂上的吸嘴拾取晶片后返回原點(diǎn)位置(漏拾檢測(cè));⑤、固晶臂再?gòu)脑c(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)到固晶位置;⑥、吸嘴向下固定晶片后,固晶臂再次返回原點(diǎn)位置。以上的工作過程為PCB板或支架的一個(gè)固晶位的固晶過程(以下稱一個(gè)節(jié)拍)。當(dāng)一個(gè)節(jié)拍運(yùn)行完成后,由視覺檢測(cè)得到PCB板或支架上下一個(gè)晶位的數(shù)據(jù),并把數(shù)據(jù)傳送給軟件,軟件再向晶圓平臺(tái)電機(jī)發(fā)送指令,讓電機(jī)走完相應(yīng)的距離后使下一個(gè)晶片移動(dòng)到對(duì)準(zhǔn)的拾取晶片位置,直到PCB板上所有的晶位都固好晶后片后,再由傳送機(jī)構(gòu)把PCB板或支架從工作臺(tái)移走,并裝上新的PCB板或支架開始新的工作循環(huán)。上述傳統(tǒng)的單頭固晶結(jié)構(gòu)的工作過程可以看出,一塊PCB板或支架的固晶可能需要幾十甚至幾百個(gè)節(jié)拍。每完成一個(gè)節(jié)拍,固晶臂在拾晶、固晶時(shí)都會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的固晶等待時(shí)間,即一塊PCB板或支架可能就要浪費(fèi)幾十甚至幾百段固晶等待時(shí)間,在這種情況下,即使單頭固晶結(jié)構(gòu)的運(yùn)行速度再快,也很難滿足客戶的生產(chǎn)需求。同時(shí),由于只有一個(gè)固晶臂,一旦發(fā)生故障,只能停機(jī)測(cè)試。由此可以看出,傳統(tǒng)的單頭固晶模式已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足目前固晶封裝市場(chǎng)的需求。因此,現(xiàn)有技術(shù)尚有待改進(jìn)和發(fā)展。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于,提供一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),以解決現(xiàn)有的單頭固晶機(jī)生產(chǎn)效率低的問題。本發(fā)明的技術(shù)方案如下
一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),其中,所述固晶機(jī)包括旋轉(zhuǎn)控制裝置、旋轉(zhuǎn)安裝座以及間隔設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上的至少兩套固晶執(zhí)行裝置;
所述旋轉(zhuǎn)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn);
所述固晶執(zhí)行裝置是點(diǎn)膠頭或者是固晶頭。所述的固晶機(jī),其中,所述點(diǎn)膠頭及所述固晶頭各設(shè)置為兩套以上,并交替分布在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上;
所述點(diǎn)膠頭及所述固晶頭均相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)安裝座可上下運(yùn)動(dòng)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上;
所述固晶機(jī)還包括運(yùn)動(dòng)控制裝置,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的所述點(diǎn)膠頭或固晶頭上下運(yùn)動(dòng),使點(diǎn)膠頭或固晶頭到達(dá)或撤離工作位。所述的固晶機(jī),其中,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置設(shè)置為一直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī),所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)部與所述旋轉(zhuǎn)安裝座連接固定。
所述的固晶機(jī),其中,所述點(diǎn)膠頭包括第一底座,設(shè)置在第一底座上的點(diǎn)膠針安裝座及設(shè)置在點(diǎn)膠針安裝座上的點(diǎn)膠針,所述固晶頭包括第二底座,設(shè)置在第二底座上的吸嘴安裝座及設(shè)置在吸嘴安裝座上的吸嘴;所述點(diǎn)膠頭和所述固晶頭上都設(shè)置有使所述點(diǎn)膠頭或所述固晶頭復(fù)位的彈性結(jié)構(gòu)。所述的固晶機(jī),其中,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置外上側(cè)固定設(shè)置有用來固定所述運(yùn)動(dòng)控制裝置的第一安裝板,所述第一安裝板通過第一支撐塊設(shè)置在工作臺(tái)上。所述的固晶機(jī),其中,所述第一安裝板設(shè)置有分段式軌道。所述的固晶機(jī),其中,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、凸輪、壓塊及第二彈簧,所述凸輪設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸上,與所述驅(qū)動(dòng)軸聯(lián)動(dòng);所述壓塊設(shè)置在所述凸輪的下端,所述壓塊與所述凸輪聯(lián)動(dòng),所述第二彈簧用于使所述運(yùn)動(dòng)控制裝置復(fù)位。所述的固晶機(jī),其中,所述點(diǎn)膠頭和固晶頭的頂部設(shè)置有適配所述壓塊的接頭,所述旋轉(zhuǎn)安裝座上設(shè)置有用于所述點(diǎn)膠頭和固晶頭上下運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌,所述點(diǎn)膠頭和固晶頭上還設(shè)置有適配所述導(dǎo)軌的滑塊。所述的固晶機(jī),其中,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置頂端設(shè)置有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)控制裝置的第二安裝板,所述第二安裝板通過第二支撐塊固定在所述第一安裝板上。所述的固晶機(jī),其中,所述固晶機(jī)上還設(shè)置有用于連接及固定所述固晶頭供氣氣管的旋轉(zhuǎn)接頭。本發(fā)明所提供的一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),由于采用了至少兩套固晶執(zhí)行裝置的多頭無限旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),可同時(shí)完成一個(gè)周期內(nèi)多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶的操作,提高了固晶機(jī)的生廣效率。
圖I是本發(fā)明帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)的核心模塊結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明中直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明中旋轉(zhuǎn)安裝座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明中點(diǎn)膠頭或固晶頭的主視圖。圖5是圖4中A-A向剖視圖。圖6是本發(fā)明帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是本發(fā)明中運(yùn)動(dòng)控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8是本發(fā)明中運(yùn)動(dòng)控制裝置另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9是本發(fā)明中運(yùn)動(dòng)控制裝置隱藏驅(qū)動(dòng)電機(jī)座及第二彈簧的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10是本發(fā)明中第一安裝座及分段式軌道的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖11是本發(fā)明中旋轉(zhuǎn)接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12是本發(fā)明中端蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。圖13是本發(fā)明中直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)安裝座及旋轉(zhuǎn)接頭固定連接的配合結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。圖14是本發(fā)明中實(shí)施例點(diǎn)膠頭及固晶頭分布示意圖。圖15是本發(fā)明中另一實(shí)施例點(diǎn)膠頭及固晶頭分布示意圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
和實(shí)施例加以詳細(xì)說明,所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明,并非用于限定本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。
本發(fā)明公開了一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),所述固晶機(jī)用于實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)完成多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶過程。如圖I所示,所述固晶機(jī)包括旋轉(zhuǎn)控制裝置、旋轉(zhuǎn)安裝座110以及間隔設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上的至少兩套固晶執(zhí)行裝置;所述旋轉(zhuǎn)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn);所述旋轉(zhuǎn)控制裝置具體設(shè)置為但不限于圖I所示的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100。所述固晶執(zhí)行裝置是點(diǎn)膠頭或者是固晶頭,即可以全部采用點(diǎn)膠頭,或全部采用固晶頭,或者,設(shè)置點(diǎn)膠頭與固晶頭間隔設(shè)置。所述固晶頭的吸嘴形成真空時(shí)可用做拾晶,卸掉真空部件時(shí)可用做固晶,因此,上述實(shí)現(xiàn)方式可以靈活。當(dāng)兩套以上固晶執(zhí)行裝置都是點(diǎn)膠頭時(shí),可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)取膠和點(diǎn)膠,再配合其他固晶裝置實(shí)現(xiàn)拾晶及固晶。當(dāng)兩套以上固晶執(zhí)行裝置都是固晶頭時(shí),可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)拾晶和固晶,再配合點(diǎn)膠裝置進(jìn)行取膠及點(diǎn)膠。當(dāng)兩套固晶執(zhí)行裝置為一點(diǎn)膠頭加一固晶頭時(shí),可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶等操作。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110旋轉(zhuǎn),從而帶動(dòng)所述固晶執(zhí)行裝置旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)了一個(gè)周期內(nèi)完成多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶過程,提高了固晶機(jī)的生產(chǎn)效率。具體的,為更好地提高固晶機(jī)生產(chǎn)效率,如圖I所示,所述點(diǎn)膠頭310及所述固晶頭320可各設(shè)置為兩套以上,并交替分布在所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上。所述點(diǎn)膠頭310及所述固晶頭320相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110可上下運(yùn)動(dòng)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上。即所述點(diǎn)膠頭310及固晶頭320可上下運(yùn)動(dòng),達(dá)到或撤離工作位。所述點(diǎn)膠頭310與所述固晶頭320間隔一定角度交替分布多套,可實(shí)現(xiàn)一個(gè)旋轉(zhuǎn)周期(360° )內(nèi)完成數(shù)次(視點(diǎn)膠頭310與所述固晶頭320的安裝套數(shù)而定)取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶操作。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100用于受控驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),依照工作程序?qū)崿F(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110的旋轉(zhuǎn)位置,并由所述旋轉(zhuǎn)安裝座110帶動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310及固晶頭320旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)點(diǎn)膠頭310與固晶頭320旋轉(zhuǎn)位置的不斷順次轉(zhuǎn)換到工作位,可連續(xù)進(jìn)行工作。所述固晶機(jī)還包括運(yùn)動(dòng)控制裝置200,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200用于驅(qū)動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320上下運(yùn)動(dòng),使點(diǎn)膠頭310或固晶頭320到達(dá)或撤離工作位。所述點(diǎn)膠頭310、所述固晶頭320及所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200都具體設(shè)置為但不限于圖I所示的3套。本固晶機(jī)通過設(shè)置至少兩套點(diǎn)膠頭310與至少兩套固晶頭320,通過直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),從而帶動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310與固晶頭320位置的不斷變換,再通過運(yùn)動(dòng)控制裝置200驅(qū)動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320上下運(yùn)動(dòng)到達(dá)或撤離工作位,實(shí)現(xiàn)了一個(gè)周期內(nèi)多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶,提高了生產(chǎn)效率。
如圖I、圖2結(jié)合圖3所示,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100直接驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110旋轉(zhuǎn),從而帶動(dòng)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)安裝座Iio上的至少兩套點(diǎn)膠頭310與至少兩套固晶頭320旋轉(zhuǎn)。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的轉(zhuǎn)動(dòng)部101與所述旋轉(zhuǎn)安裝座110連接固定。具體的,可以采用螺栓連接,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的轉(zhuǎn)動(dòng)部101上設(shè)置有多個(gè)螺紋孔102,對(duì)應(yīng)的,所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上設(shè)置有多個(gè)第二通孔112,再通過螺釘穿過螺紋孔102及第二通孔112將所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100與所述旋轉(zhuǎn)安裝座110連接固定。采用直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100可以直接驅(qū)動(dòng),不需要傳動(dòng)裝置,減少了由于機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的定位誤差,使得工藝精度得以保證。如圖4結(jié)合圖5所示,所述點(diǎn)膠頭310包括第一底座311,設(shè)置在第一底座311上的點(diǎn)膠針安裝座312及設(shè)置在點(diǎn)膠針安裝座312上的點(diǎn)膠針313,所述固晶頭320包括第二底座321,設(shè)置在第二底座321上的吸嘴安裝座322及吸嘴323 ;所述點(diǎn)膠頭310和所述固晶頭320上都設(shè)置有使所述點(diǎn)膠頭310或所述固晶頭320復(fù)位的彈性結(jié)構(gòu)。具體地,所述第一底座311及第二底座321上設(shè)置有納置第一彈簧303的沉孔302,所述第一彈簧303套設(shè)在彈簧銷座304上,彈簧銷座304固定在定位塊305上,定位塊305固定在所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上。當(dāng)所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200按壓所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320向下運(yùn)動(dòng)到達(dá)工 作位時(shí),所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320向下運(yùn)動(dòng)時(shí)壓縮第一彈簧303,當(dāng)按壓力消失后,被壓縮的第一彈簧303回彈使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320復(fù)位。如圖6所示,是本發(fā)明運(yùn)動(dòng)控制裝置200裝配在固晶機(jī)上的示意圖,在所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的外上側(cè)固定設(shè)置有用來固定所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200的第一安裝板400,所述第一安裝板400通過第一支撐塊410設(shè)置在工作臺(tái)500上。如圖7、圖8結(jié)合圖9所示,是同一個(gè)部件在不同角度的示意圖,并且圖9中所示是隱藏驅(qū)動(dòng)電機(jī)座及第二彈簧后的運(yùn)動(dòng)控制裝置示意圖,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)210、凸輪220、壓塊230及第二彈簧270,所述凸輪220設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)210的驅(qū)動(dòng)軸211上,并與所述驅(qū)動(dòng)軸211聯(lián)動(dòng)。所述壓塊230用于推動(dòng)在所述點(diǎn)膠頭310和固晶頭320的頂部設(shè)置的接頭301,從而使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320沿所述導(dǎo)軌111 (如圖I所示)上下運(yùn)動(dòng),使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320能夠到達(dá)工作位。所述壓塊230設(shè)置在所述凸輪220的下端,所述壓塊230與所述凸輪220聯(lián)動(dòng)。所述第二彈簧270用于所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200中的壓塊230復(fù)位。具體地,如圖7和圖8所示,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200還包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)座212,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)座212上固定有一導(dǎo)軌240 ;如圖9所示,在隱藏所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)座后的所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200中,還設(shè)置有一沿著所述導(dǎo)軌240上下滑動(dòng)的第一滑塊250,所述第一滑塊250與所述壓塊230通過一連接塊260連接固定,所述壓塊230通過所述凸輪220和所述第二彈簧270的配合推動(dòng)上下移動(dòng)。當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)210帶動(dòng)所述凸輪220轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),此時(shí),凸輪220在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中往下壓所述壓塊230,由于所述壓塊230與所述第一滑塊250通過所述連接塊260連接在一起,因此,在所述壓塊230向下運(yùn)動(dòng)過程中,會(huì)帶動(dòng)所述第一滑塊250沿著所述導(dǎo)軌240向下滑動(dòng),從而推動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320向下運(yùn)動(dòng),使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320到達(dá)
工作位。所述第二彈簧270優(yōu)選設(shè)置為拉簧,其一端固定在驅(qū)動(dòng)電機(jī)座212上,另一端固定在連接塊260上。當(dāng)壓塊230帶動(dòng)連接塊260向下運(yùn)動(dòng)時(shí),所述第二彈簧270同時(shí)被拉伸,當(dāng)凸輪220轉(zhuǎn)動(dòng)到不對(duì)壓塊230產(chǎn)生推動(dòng)力時(shí),外力消失,被拉伸的第二彈簧270倚靠其彈性恢復(fù)力,回彈帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制裝置200中上述結(jié)構(gòu)復(fù)位。如圖I和圖10所示,所述第一安裝板400還設(shè)置有分段式軌道420,用來對(duì)所述接頭310起到導(dǎo)向的作用,以及對(duì)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320起到限位的作用。所述分段式軌道設(shè)置在所述第一安裝板400的臺(tái)階槽內(nèi),優(yōu)選設(shè)置為由若干弧形段組成的圓周或圓弧,同心設(shè)置在旋轉(zhuǎn)控制裝置外圍,各組成弧形段之間設(shè)有間隙430,所述間隙430的寬度大于所述壓塊230的寬度,小于所述接頭301的寬度,以保證所述壓塊230穿過所述間隙430按壓所述接頭301,同時(shí)所述接頭301不能通過所述間隙430。優(yōu)選地,所述接頭301設(shè)置為一軸承,當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110帶動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310及固晶頭320旋轉(zhuǎn)時(shí),所述接頭310會(huì)沿著所述分段式軌道420旋轉(zhuǎn),從而所述分段式軌道420對(duì)所述接頭310起到導(dǎo)向的作用。同時(shí),當(dāng)所述第一彈簧303回彈帶動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320復(fù)位時(shí),當(dāng)所述接頭301接觸到所述間隙430時(shí),由于接頭301的直徑大于所述間隙430的寬度,因此所述述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320不可再向上運(yùn)動(dòng),即所述分段式軌道420還對(duì)所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320起到限位的作用。具體的,由于所述固晶機(jī)在工作時(shí)需要配合其他部件,例如膠盤裝置、晶圓盤裝置及載件工作臺(tái)裝置等才能進(jìn)行點(diǎn)膠、拾晶及固晶工作,而這些部件在工作臺(tái)中的高度各有不同,如果單憑固晶頭向下的高度配合各功能部件工作,不但需要設(shè)定復(fù)雜的控制程序,還降低了整個(gè)設(shè)備的工作效能。因此,每段分段式軌道420設(shè)置一定的高度差,每段分段式軌道420上的任意點(diǎn)會(huì)根據(jù)其接近的工作位(指膠盤裝置、晶圓盤裝置及載件工作臺(tái)裝置)而有不同的高度,使固晶頭到達(dá)工作位后可以更快的進(jìn)入工作區(qū)域。優(yōu)選地,如圖I所示,本發(fā)明所述帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)較佳實(shí)施例中,所述點(diǎn)膠頭310和固晶頭320的上下移動(dòng)可以由以下具體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上設(shè)置有用于所述點(diǎn)膠頭310和固晶頭320上下運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌111,所述點(diǎn)膠頭310和固晶頭320上還設(shè)置有適配所述導(dǎo)軌111的第二滑塊302,所述壓塊230按壓所述接頭301,使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320沿著所述導(dǎo)軌111向下移動(dòng),使所述點(diǎn)膠頭310或固晶頭320到達(dá)工作位。如圖6所示,本發(fā)明帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)較佳實(shí)施例中,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的安裝可以通過以下具體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)在所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100頂端設(shè)置有用于安裝直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的第二安裝板600,所述第二安裝板600通過第二支撐塊610固定在所述第一安裝板400上。具體的,可以通過螺栓將所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100與所述第二安裝板600連接固定。所述第二安裝板600通過多個(gè)第二支撐塊610固定在所述第二安裝板400上,所述第二支撐塊610可以設(shè)置為4個(gè)。如此,可以牢固的固定所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100。此外,所述固晶機(jī)上還設(shè)置有用于連接及固定所述固晶頭供氣氣管的旋轉(zhuǎn)接頭,具體地,如圖11、圖12結(jié)合圖13所示,所述旋轉(zhuǎn)安裝座110的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有一旋轉(zhuǎn)接頭700,所述旋轉(zhuǎn)接頭700用于連接及固定所述固晶頭供氣氣管。所述旋轉(zhuǎn)接頭700包括固定端710及旋轉(zhuǎn)端720,所述固定端710通過一旋轉(zhuǎn)接頭固定座730與所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100不旋轉(zhuǎn)的內(nèi)端103通過螺栓連接固定。所述固定端710設(shè)置有多個(gè)輸入接頭712,將外部的氣源通過所述輸入接頭712引入到所述旋轉(zhuǎn)接頭700內(nèi)。所述固定端710上端伸出有卡凸 711,所述旋轉(zhuǎn)接頭固定座730上設(shè)置有適配所述卡凸711的卡凹731,所述卡凸711卡入所述卡凹731中,使所述旋轉(zhuǎn)接頭700的固定端710不會(huì)隨著所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100、旋轉(zhuǎn)安裝座Iio的旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動(dòng)。所述旋轉(zhuǎn)端720上設(shè)置有多個(gè)輸出接頭721,所述輸出接頭721通過氣管與所述固晶頭連接,給所述固晶頭供氣。具體地,所述旋轉(zhuǎn)接頭700的內(nèi)腔設(shè)置為一密閉腔體,所述密閉腔體用來納置通過所述輸入接頭712引入到所述旋轉(zhuǎn)接頭700內(nèi)的外部氣源,并通過所述輸出接頭721將密閉墻體中的外部氣源輸入至所述固晶頭320中,給所述固晶頭供氣。所述旋轉(zhuǎn)接頭700中固定端710與旋轉(zhuǎn)端720之間采用密封圈密閉,以防止漏氣。由此,保證了本發(fā)明所述旋轉(zhuǎn)安裝座在工作過程中所需供氣的連續(xù)性,使供氣管之間不會(huì)纏繞,使之不受旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的影響。在所述旋轉(zhuǎn)接頭700的底端之旋轉(zhuǎn)端720外側(cè)設(shè)置有端蓋740,所述端蓋740上設(shè)置有納置與所述輸出接頭721連接的氣管的通孔741。所述端蓋740的上端還設(shè)置有臺(tái)階部742,所述臺(tái)階部742與所述旋轉(zhuǎn)安裝座110的下端部連接固定,從而將所述端蓋740與所述旋轉(zhuǎn)安裝座110連接固定。如圖6、圖11結(jié)合圖13所示,所述第二安裝座600上設(shè)置有電磁閥620及設(shè)置在電磁閥620上的進(jìn)氣接頭621,所述第二安裝座600上還設(shè)置有孔622,該孔622用于納置與所述進(jìn)氣接頭621連接的氣管。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100設(shè)置具有中空管道104,用于氣管 穿過。連接在所述進(jìn)氣接頭621上的氣管穿過孔622及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100后,與所述固定端710上的接入接頭712連接,用于將外部氣源輸送到所述接入接頭712內(nèi);再通過輸出接頭721給所述固晶頭供氣。當(dāng)所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110旋轉(zhuǎn)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上的固晶頭及端蓋740也一起旋轉(zhuǎn),端蓋740旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)端720旋轉(zhuǎn),所述旋轉(zhuǎn)接頭700的旋轉(zhuǎn)端720及所述輸出接頭721也會(huì)隨著所述固晶頭一起旋轉(zhuǎn),從而有效的避免了氣管之間的相互纏繞。以下進(jìn)一步說明本發(fā)明帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī)的各個(gè)較佳實(shí)施例
實(shí)施例I
本實(shí)施例以3套運(yùn)動(dòng)控制裝置,3套點(diǎn)膠頭及3套固晶頭,360度順時(shí)針無間斷旋轉(zhuǎn)為例說明。如圖13所示,3套點(diǎn)膠頭間隔120度設(shè)置在旋轉(zhuǎn)安裝座110,3套固晶頭間隔120度設(shè)置在旋轉(zhuǎn)安裝座110。所述點(diǎn)膠頭310與固晶頭320的間隔角度為a (O < a < 120度),圖中b、d、f為固晶頭320,所述固晶頭320的吸嘴形成真空時(shí)用做拾晶,卸掉真空時(shí)用做固晶。圖中c、e、g為點(diǎn)膠頭310。所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200處于固晶位、拾晶位及取膠位的上方,推動(dòng)旋轉(zhuǎn)至固晶位、拾晶位及取膠位的點(diǎn)膠頭310或固晶頭320向下運(yùn)動(dòng)到達(dá)工作位。所述旋轉(zhuǎn)安裝座110在120度內(nèi)分兩次旋轉(zhuǎn),一次旋轉(zhuǎn)a度進(jìn)行點(diǎn)膠,再次旋轉(zhuǎn)(120-a)度,此時(shí)取膠、固晶、拾晶同時(shí)進(jìn)行,按照此過程進(jìn)行360度順時(shí)針旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)了一個(gè)周期內(nèi)多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶,提聞了生廣效率。具體的,初始狀態(tài)如圖中所示,位置I為固晶位,位置3為拾晶位,位置2為取膠位。C、d、b正在同步進(jìn)行取I父、拾晶、固晶。該工位操作完成后,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn)a度,使c到達(dá)固晶位I后,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310到達(dá)工作位,將在前一工位取到的膠水點(diǎn)至需要固晶的位置。點(diǎn)膠完成后,所述點(diǎn)膠頭310撤離工作位。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn)120-a度,使d到達(dá)固晶位1,f到達(dá)拾晶位3,e到達(dá)取膠位2 ;所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的點(diǎn)膠頭及固晶頭到達(dá)工作位,f、d、e同時(shí)進(jìn)行拾晶、固晶及取膠。相應(yīng)的點(diǎn)膠頭及固晶頭撤離工作位。再順時(shí)針旋轉(zhuǎn)a度,使e到達(dá)固晶位I后,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310到達(dá)工作位,將在前一工位取到的膠水點(diǎn)至需要固晶的位置。再旋轉(zhuǎn)120-a度,使b到達(dá)拾晶位3, f到達(dá)固晶位I, g到達(dá)取膠位2 ;所述運(yùn)控控制裝置200推動(dòng)相應(yīng)的點(diǎn)膠頭及固晶頭到達(dá)工作位,f、b、g同時(shí)進(jìn)行固晶、拾晶及取膠。相應(yīng)的點(diǎn)膠頭及固晶頭撤離工作位。再順時(shí)針旋轉(zhuǎn)a度,使g到達(dá)固晶位I后,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述點(diǎn)膠頭310到達(dá)工作位,將在前一工位取到的膠水點(diǎn)至需要固晶的位置。再順時(shí)針旋轉(zhuǎn)120-a度,使b到達(dá)固晶位I, d到達(dá)拾晶位3,c到達(dá)取膠位2 ;所述運(yùn)控控制裝置200推動(dòng)相應(yīng)的點(diǎn)膠頭及固晶頭到達(dá)工作位,b、d、c同時(shí)進(jìn)行固晶、拾晶及取 膠。以此循環(huán),通過這樣旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)方式,不間斷同步實(shí)現(xiàn)拾晶及固晶。實(shí)施例2
如圖14所示,圖14是在所述旋轉(zhuǎn)安裝座110上設(shè)置4套固晶頭,4套固晶頭間隔90度設(shè)置在旋轉(zhuǎn)安裝座110上。所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座110旋轉(zhuǎn),從而帶動(dòng)所述固晶頭旋轉(zhuǎn)。所述固晶頭的吸嘴形成真空時(shí)用做拾晶,卸掉真空時(shí)用做固晶。I'為固晶位,2'為拾晶位,共有B、C、D、E四套固晶頭。點(diǎn)膠裝置800設(shè)置在鄰近固晶位的位置,可通過點(diǎn)膠裝置800上的點(diǎn)膠臂擺動(dòng)取膠和在固晶位點(diǎn)膠。具體的,初始狀態(tài)如圖中所示,B、C固晶頭及點(diǎn)膠裝置正在同步進(jìn)行固晶、拾晶、取膠。該工位操作完成后,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn),使B前往拾晶位2',C到達(dá)3'號(hào)位,D到達(dá)4'號(hào)位,E到達(dá)固晶位I',在B、C、D、E離開旋轉(zhuǎn)起始位置但尚未到達(dá)目標(biāo)位前,點(diǎn)膠裝置800將在初始狀態(tài)點(diǎn)取的膠水迅速點(diǎn)到固晶位的晶片上,在B、C、D、E到達(dá)旋轉(zhuǎn)目標(biāo)位前迅速朝漿盤方向移開,以達(dá)到避空的目的,B、C、D、E到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位I'。同時(shí),點(diǎn)膠裝置800的點(diǎn)膠臂同時(shí)也擺回漿盤上方,然后所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述固晶頭E、B到達(dá)工作位,同時(shí),點(diǎn)膠裝置800也驅(qū)動(dòng)點(diǎn)膠臂進(jìn)行取膠。點(diǎn)膠、拾晶、固晶同步完成并復(fù)位后,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn),使E前往拾晶位2',B到達(dá)3'號(hào)位,C到達(dá)4'號(hào)位,D到達(dá)固晶位I',在E、B、C、D離開旋轉(zhuǎn)起始位置但未到達(dá)目標(biāo)位前,點(diǎn)膠裝置800將在前一工位點(diǎn)取的膠水迅速點(diǎn)到固晶位的晶片上,在E、B、C、D到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位I'前迅速朝漿盤方向移開,以達(dá)到避空的目的,E、B、C、D到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位Ii同時(shí),點(diǎn)膠裝置800的點(diǎn)膠臂同時(shí)擺回漿盤上方,然后所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述固晶頭E、D到達(dá)工作位,同時(shí),點(diǎn)膠裝置800也驅(qū)動(dòng)點(diǎn)膠臂進(jìn)行取膠。點(diǎn)膠、拾晶、固晶同步完成并復(fù)位后,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn),使D前往拾晶位2',E到達(dá)3'號(hào)位,B到達(dá)4'號(hào)位,C到達(dá)固晶位I',在D、E、B、C離開旋轉(zhuǎn)起始位置但未到達(dá)目標(biāo)位前,點(diǎn)膠裝置800將在前一工位點(diǎn)取的膠水迅速點(diǎn)到固晶位的晶片上,在D、E、B、C到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位I'前迅速朝漿盤方向移開,以達(dá)到避空的目的,D、E、B、C到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位
同時(shí),點(diǎn)膠裝置800的點(diǎn)膠臂同時(shí)擺回漿盤上方,然后所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述固晶頭D、C到達(dá)工作位,同時(shí),點(diǎn)膠裝置800也驅(qū)動(dòng)點(diǎn)膠臂進(jìn)行取膠。點(diǎn)膠、拾晶、固晶同步完成并復(fù)位后,所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100驅(qū)動(dòng)所述安裝座110順時(shí)針旋轉(zhuǎn),使C前往拾晶位2',D到達(dá)3'號(hào)位,E到達(dá)4'號(hào)位,B到達(dá)固晶位I'(回到初始位置),在C、D、E、B離開旋轉(zhuǎn)起始位置但未到達(dá)目標(biāo)位前,點(diǎn)膠裝置800將在前一工位點(diǎn)取的膠水迅速點(diǎn)到固晶位的晶片上,在C、D、E、B到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位I,前迅速朝漿盤方向移開,以達(dá)到避空的目的,C、D、E、B到達(dá)拾晶位2'、3'號(hào)位、4'號(hào)位、固晶位I'同時(shí),點(diǎn)膠裝置800的點(diǎn)膠臂同時(shí)擺回漿盤上方,然后所述運(yùn)動(dòng)控制裝置200推動(dòng)所述固晶頭A、B到達(dá)工作位,同時(shí),點(diǎn)膠裝置800也驅(qū)動(dòng)點(diǎn)膠臂進(jìn)行取膠,點(diǎn)膠、拾晶、固晶同步完成。以此循環(huán)重復(fù)工作。本實(shí)施例中,取膠、拾晶、固晶工作是連續(xù)同時(shí)進(jìn)行的,對(duì)晶片的點(diǎn)膠是利用兩固晶頭在旋轉(zhuǎn)過渡期間完成的,如固晶頭的個(gè)數(shù)設(shè)置太多,過渡時(shí)間不足執(zhí)行點(diǎn)膠的情況,可根據(jù)實(shí)際情況在一個(gè)旋位間設(shè)置一個(gè)停頓時(shí)間,這些控制方法都是時(shí) 本行業(yè)技術(shù)人員都是通過對(duì)運(yùn)動(dòng)控制設(shè)置很容易得以實(shí)現(xiàn)的,在此不加以闡述。另外,多個(gè)固晶頭的多頭旋轉(zhuǎn)復(fù)合式結(jié)構(gòu)與點(diǎn)膠裝置間的動(dòng)態(tài)協(xié)作也是本行業(yè)技術(shù)人員通過常用的技術(shù)方法很容易得以實(shí)現(xiàn)的。與現(xiàn)有技術(shù)中的相比,本發(fā)明所提供的一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),由于采用至少兩套固晶執(zhí)行裝置多頭無限旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),完成一個(gè)周期內(nèi)多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶,提高了固晶機(jī)的生產(chǎn)效率。應(yīng)當(dāng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不足以限制本發(fā)明的技術(shù)方案,對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),可以根據(jù)上述說明加以增減、替換、變換或改進(jìn),而所有這些增減、替換、變換或改進(jìn)后的技術(shù)方案,都應(yīng)屬于本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),其特征在于,所述固晶機(jī)包括旋轉(zhuǎn)控制裝置、旋轉(zhuǎn)安裝座以及間隔設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上的至少兩套固晶執(zhí)行裝置; 所述旋轉(zhuǎn)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn); 所述固晶執(zhí)行裝置是點(diǎn)膠頭或者是固晶頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的固晶機(jī),其特征在于,所述點(diǎn)膠頭及所述固晶頭各設(shè)置為兩套以上,并交替分布在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上; 所述點(diǎn)膠頭及所述固晶頭均相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)安裝座可上下運(yùn)動(dòng)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上; 所述固晶機(jī)還包括運(yùn)動(dòng)控制裝置,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的所述點(diǎn)膠頭或固晶頭上下運(yùn)動(dòng),使點(diǎn)膠頭或固晶頭到達(dá)或撤離工作位。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的固晶機(jī),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置設(shè)置為一直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī),所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)部與所述旋轉(zhuǎn)安裝座連接固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機(jī),其特征在于,所述點(diǎn)膠頭包括第一底座,設(shè)置在第一底座上的點(diǎn)膠針安裝座及設(shè)置在點(diǎn)膠針安裝座上的點(diǎn)膠針;所述固晶頭包括第二底座,設(shè)置在第二底座上的吸嘴安裝座及設(shè)置在吸嘴安裝座上的吸嘴;所述點(diǎn)膠頭和所述固晶頭上都設(shè)置有使所述點(diǎn)膠頭或所述固晶頭復(fù)位的彈性結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機(jī),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置外上側(cè)固定設(shè)置有用來固定所述運(yùn)動(dòng)控制裝置的第一安裝板,所述第一安裝板通過第一支撐塊設(shè)置在工作臺(tái)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī),其特征在于,所述第一安裝板設(shè)置有分段式軌道。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機(jī),其特征在于,所述運(yùn)動(dòng)控制裝置包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、凸輪、壓塊及第二彈簧,所述凸輪設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸上,與所述驅(qū)動(dòng)軸聯(lián)動(dòng);所述壓塊設(shè)置在所述凸輪的下端,所述壓塊與所述凸輪聯(lián)動(dòng),所述第二彈簧用于使所述運(yùn)動(dòng)控制裝置復(fù)位。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的固晶機(jī),其特征在于,所述點(diǎn)膠頭和固晶頭的頂部設(shè)置有適配所述壓塊的接頭,所述旋轉(zhuǎn)安裝座上設(shè)置有用于所述點(diǎn)膠頭和固晶頭上下運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌,所述點(diǎn)膠頭和固晶頭上還設(shè)置有適配所述導(dǎo)軌的滑塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)控制裝置頂端設(shè)置有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)控制裝置的第二安裝板,所述第二安裝板通過第二支撐塊固定在所述第一安裝板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機(jī),其特征在于,所述固晶機(jī)上還設(shè)置有用于連接及固定所述固晶頭供氣氣管的旋轉(zhuǎn)接頭。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種帶多頭旋轉(zhuǎn)的固晶機(jī),其中,所述固晶機(jī)包括旋轉(zhuǎn)控制裝置、旋轉(zhuǎn)安裝座以及間隔設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)安裝座上的至少兩套固晶執(zhí)行裝置;所述旋轉(zhuǎn)控制裝置用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)安裝座實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn);所述固晶執(zhí)行裝置是點(diǎn)膠頭或者是固晶頭。由于采用至少兩套固晶執(zhí)行裝置的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),完成一個(gè)旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)多次取膠、點(diǎn)膠、拾晶及固晶,提高了固晶機(jī)的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102709214SQ20121013782
公開日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月7日
發(fā)明者李蔚然 申請(qǐng)人:深圳翠濤自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司