專利名稱：晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)以及晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及ー種晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)以及晶圓質(zhì)量方法。
背景技術(shù)：
在晶圓的加工處理過程中，需要實(shí)時(shí)地對(duì)加工中的晶圓進(jìn)行檢測(cè)，以確保晶圓質(zhì)量。通過實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測(cè)，可以盡早地發(fā)現(xiàn)存在缺陷的晶圓，以此信息及時(shí)的查找并排除產(chǎn)生所述缺陷的原因，保證后續(xù)晶圓的正常生產(chǎn)和質(zhì)量，由此提高了晶圓處理效率，并且避免了不必要的耗費(fèi)。
但是，對(duì)所有處理中的晶圓都進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的效率低下，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。因此，在現(xiàn)有的實(shí)時(shí)晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法中，往往通過對(duì)晶圓進(jìn)行抽檢來判斷各個(gè)批次的晶圓的質(zhì)量情況。在現(xiàn)有的實(shí)時(shí)晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法中，會(huì)按照一定的概率和規(guī)則隨機(jī)抽取晶圓進(jìn)行檢測(cè)，從而判斷生產(chǎn)過程中的晶圓質(zhì)量和抽檢晶圓在抽檢之前的エ藝設(shè)備的運(yùn)行情況。具體地說，當(dāng)抽檢出來的晶圓的質(zhì)量是合格的時(shí)候，則判斷上次抽檢的晶圓之后的晶圓至本次抽檢的晶圓之間的晶圓都是合格晶圓，同時(shí)可以判斷抽檢晶圓在抽檢之前的エ藝步驟的運(yùn)行情況是正常的。當(dāng)抽檢晶圓有缺陷的時(shí)候，則判斷上次抽檢的晶圓之后的晶圓至本次抽檢的晶圓之間的晶圓都是風(fēng)險(xiǎn)晶圓，同時(shí)可以判斷抽檢晶圓在抽檢之前的エ藝設(shè)備，需要對(duì)風(fēng)險(xiǎn)晶圓進(jìn)行重新確認(rèn)后進(jìn)行相應(yīng)處理，同時(shí)要對(duì)判斷抽檢晶圓在抽檢之前的 エ藝步驟有異常，需要及時(shí)停止異常エ藝步驟的生產(chǎn)，并對(duì)異常エ藝步驟進(jìn)行排查，查找產(chǎn)生缺陷的原因并排除，直到能夠恢復(fù)正常生產(chǎn)。
然而，上述實(shí)時(shí)晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法存在ー些問題。具體地說，不同生產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)的晶圓數(shù)量并不均勻，而且動(dòng)態(tài)抽檢出來進(jìn)行質(zhì)量檢查的批次(若干個(gè)晶圓被組成ー個(gè)批次， 例如25個(gè)晶圓作為ー個(gè)批次)在生產(chǎn)線上并不是均勻分布的；從而有可能出現(xiàn)這樣的情況，即存在風(fēng)險(xiǎn)的生產(chǎn)設(shè)備在短時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)了很多批次的產(chǎn)品，然而這些批次卻沒有被抽取出來以進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)。
由于上述原因，有可能大量缺陷產(chǎn)品沒有被抽檢到，而抽檢到的都是合格產(chǎn)品。這樣，即使檢測(cè)結(jié)果表示產(chǎn)品是合格的，然而實(shí)際上卻存在大量缺陷晶圓產(chǎn)品。因此，現(xiàn)有實(shí)時(shí)的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法無法保證對(duì)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢頻率，無法有效的控制缺陷晶圓的產(chǎn)生從而保證產(chǎn)品良率。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的ー個(gè)目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述技術(shù)問題，提出一種晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)以及晶圓質(zhì)量方法。
一種晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，包括風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊、生產(chǎn)報(bào)告模塊和質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；其中，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊用于對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓，井根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排；所述生產(chǎn)報(bào)告模塊用于將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊用于實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。
可選的，所述抽檢模式包括常規(guī)抽檢模式、異常抽檢模式以及保養(yǎng)后抽檢模式。
可選的，所述常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備。
可選的，對(duì)所述常規(guī)抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第一數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出ー個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
可選的，所述異常抽檢模式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備。
可選的，對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第二數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出ー個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
可選的，所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。
可選的，所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的生產(chǎn)設(shè)備。
可選的，對(duì)所述保養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的第一個(gè)批次晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。
可選的，所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)是從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目。
一種采用如權(quán)利要求I所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，包括所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓；所述生產(chǎn)報(bào)告模塊將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排，所述生產(chǎn)報(bào)告模塊將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊; 所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中標(biāo)記批次晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格吋， 所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。
可選的，所述抽檢模式包括常規(guī)抽檢模式、異常抽檢模式以及保養(yǎng)后抽檢模式。
可選的，所述常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備。
可選的，對(duì)所述常規(guī)抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第一數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出ー個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
可選的，所述異常抽檢模式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備。
可選的，對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第二數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出ー個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
可選的，所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。
可選的，所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的生產(chǎn)設(shè)備。
可選的，對(duì)所述保養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的第一個(gè)批次晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。
可選的，所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)是從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目。
與現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法不同的是，本發(fā)明并不是完全隨機(jī)地抽取待檢測(cè)的晶圓或晶圓批次，而是事先對(duì)依次進(jìn)入生產(chǎn)流程的晶圓的將被抽檢的晶圓批次進(jìn)行標(biāo)記，通過本發(fā)明的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)和晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，可以實(shí)時(shí)觀察到每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備所生產(chǎn)晶圓的抽檢情況和標(biāo)記批次晶圓在每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的投入情況，可以實(shí)時(shí)監(jiān)控每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，并通過風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊按照設(shè)定的抽檢模式對(duì)生產(chǎn)設(shè)備完成派貨。以此保證每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量抽檢頻度，從而保證產(chǎn)品的良率。


圖I示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法的標(biāo)記步驟的示意圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法在不同抽檢模式下派貨步驟的示意圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法的風(fēng)險(xiǎn)警示步驟的示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。
本發(fā)明的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)包括風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊、生產(chǎn)報(bào)告模塊和質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；其中，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊用于對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓，井根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排；所述生產(chǎn)報(bào)告模塊用于將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊用于實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中標(biāo)記批次晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。
下面分別詳細(xì)說明每個(gè)模塊的功能。
風(fēng)險(xiǎn)控制派貨樽塊
風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊按照標(biāo)記規(guī)則對(duì)投入生產(chǎn)的晶圓批次進(jìn)行標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓，標(biāo)記批次晶圓就是需要進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的晶圓。所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊把進(jìn)入生產(chǎn)的標(biāo)記批次晶圓和未標(biāo)記批次晶圓的批次信息傳送給質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊。所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排或者發(fā)出警示派貨要求。
所述的抽檢模式分為三類常規(guī)抽檢模式，異常抽檢模式和保養(yǎng)后抽檢模式。所述 常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備。對(duì)所述常規(guī)抽檢模式 下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第一數(shù)量 的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。所述異常抽檢模 式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備。對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依 照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第二數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶 圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的 生產(chǎn)設(shè)備。對(duì)所述保養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn) 設(shè)備的第一個(gè)批次晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。生產(chǎn)報(bào)告模塊生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式信息，并把設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給 風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊。生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生 產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊。質(zhì)暈檢測(cè)監(jiān)控模塊質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊收到風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊的進(jìn)入生產(chǎn)的標(biāo)記批次晶圓和未標(biāo)記 批次晶圓的批次信息和生產(chǎn)報(bào)告系統(tǒng)的所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息，可以實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn) 設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的信息。質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊監(jiān)控所有 生產(chǎn)設(shè)備所生產(chǎn)的晶圓的抽檢情況，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批 次晶圓之間的批次數(shù)，同時(shí)計(jì)算出從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié) 束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目。從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束 生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目被稱之為該設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)。質(zhì)量檢測(cè)控制模塊將計(jì)算出的每 臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批次晶圓之間的批次數(shù)和每臺(tái)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù) 傳送給風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊。所述質(zhì)量檢測(cè)控制系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次 數(shù)。當(dāng)一生產(chǎn)設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批次晶圓之間的批次數(shù)超過該設(shè)備抽查模式 所要求的數(shù)量時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。當(dāng)一生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次 數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。優(yōu)選的，風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)的上 線規(guī)格為15。本發(fā)明的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法包括以下步驟所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)預(yù)定批次的 晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓；所 述生產(chǎn)報(bào)告模塊將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模 塊根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排，所述生產(chǎn)報(bào)告模塊將所有生 產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊實(shí)時(shí)顯示每 臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè) 備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示 派貨要求。。下面詳細(xì)說明本發(fā)明的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法的各步驟。標(biāo)記步驟圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法的標(biāo)記步驟的示意 圖。如圖1所示，在各批次晶圓進(jìn)入生產(chǎn)的同時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓，做過標(biāo) 記的批次晶圓批次即為需要抽檢的批次晶圓。圖1中標(biāo)記為M的晶圓批次即表示需要抽檢 的晶圓批次。優(yōu)選的，所述預(yù)定批次的晶圓為晶圓批次尾號(hào)為0、3、5或8的批次。風(fēng)險(xiǎn)控 制派貨模塊把進(jìn)入生產(chǎn)的標(biāo)記批次晶圓和未標(biāo)記批次晶圓的批次信息傳送給質(zhì)量檢測(cè)監(jiān) 控模塊。派貨步驟生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式信息，并把設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給 風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊。生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生 產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊。所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的 抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排。更具體地說，圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施 例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法在不同抽檢模式下派貨步驟的示意圖。如圖2所示，在所示的具體 示例中，所述抽檢模式包括常規(guī)抽檢模式、異常抽檢模式以及保養(yǎng)后抽檢模式。所述常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備T1。對(duì)所 述常規(guī)抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備T1，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備T1 的順序，每隔第一數(shù)量C1的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備 T1進(jìn)行生產(chǎn)。所述第二數(shù)量C1可以是10、15、18等等，優(yōu)選的，C1為15。所述異常抽檢模式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備T2。對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備 T2，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備T2的順序，每隔第二數(shù)量C2的未標(biāo) 記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備T2進(jìn)行生產(chǎn)。所述第二數(shù)量C2可 以是3、5、8等等，優(yōu)選的，C2為5。所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的生產(chǎn)設(shè)備T3。對(duì)所述保 養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備T3，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的第一個(gè)批次 晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。顯示步驟生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式信息，并把設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給 風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊。生產(chǎn)報(bào)告模塊收集所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生 產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊。質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊收到風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊的進(jìn) 入生產(chǎn)的標(biāo)記批次晶圓和未標(biāo)記批次晶圓的批次信息和生產(chǎn)報(bào)告系統(tǒng)的所有生產(chǎn)設(shè)備的 生產(chǎn)信息，可以實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的 信息。質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊監(jiān)控所有生產(chǎn)設(shè)備所生產(chǎn)的晶圓的抽檢情況，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn) 設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批次晶圓之間的批次數(shù)，同時(shí)計(jì)算出該設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)。 質(zhì)量檢測(cè)控制模塊將計(jì)算出的每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批次晶圓之間的 批次數(shù)和每臺(tái)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)傳送給風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊。所述質(zhì)量檢測(cè)控制系統(tǒng)可以實(shí) 時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)。當(dāng)一生產(chǎn)設(shè)備依照生產(chǎn)順序相鄰兩個(gè)標(biāo)記批次晶圓之 間的批次數(shù)超過該設(shè)備抽查模式所要求的數(shù)量時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨 要求。當(dāng)一生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派 貨要求。優(yōu)選的，風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)的上線規(guī)格為15。風(fēng)險(xiǎn)警示步驟圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法的風(fēng)險(xiǎn)警示步驟的示意圖。具體地說，對(duì)D標(biāo)記批次晶圓進(jìn)行了質(zhì)量檢測(cè)后，晶圓質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊會(huì)計(jì)算出從經(jīng)過生產(chǎn)設(shè)備T后被檢查的D標(biāo)記批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目，即該生產(chǎn)設(shè)備T的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)R，如圖3中所示，R=a+b+c+d。所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)R里的晶圓可看作是潛在風(fēng)險(xiǎn)的晶圓。
具體地說，為了避免潛在風(fēng)險(xiǎn)的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)過大而引起質(zhì)量抽檢頻度降低，從而造成可能的質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)，在R超過某個(gè)閾值(例如30、40、45等)仍未對(duì)下ー個(gè)標(biāo)記晶圓批次進(jìn)行質(zhì)量抽檢時(shí)，風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。優(yōu)選地，對(duì)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)R可以進(jìn)行上線規(guī)格管控(00S管控out of specification)。
與現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法不同的是，本發(fā)明并不是完全隨機(jī)地抽取待檢測(cè)的晶圓或晶圓批次，而是事先對(duì)依次進(jìn)入生產(chǎn)流程的晶圓的將被抽檢的晶圓批次進(jìn)行標(biāo)記。通過本發(fā)明的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)和晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，可以實(shí)時(shí)觀察到每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備所生產(chǎn)晶圓的抽檢情況和標(biāo)記批次晶圓在每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的投入情況，可以實(shí)時(shí)監(jiān)控每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，并通過風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊按照設(shè)定的抽檢模式對(duì)生產(chǎn)設(shè)備完成派貨。以此保證每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量抽檢頻度，從而保證產(chǎn)品的良率。
可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下， 都可利用上述掲示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，包括風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊、生產(chǎn)報(bào)告模塊和質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；其中，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊用于對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓，并根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排；所述生產(chǎn)報(bào)告模塊用于將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊用于實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。
2.如權(quán)利要求I所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述抽檢模式包括常規(guī)抽檢模式、異常抽檢模式以及保養(yǎng)后抽檢模式。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，對(duì)所述常規(guī)抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第一數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
5.如權(quán)利要求2所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述異常抽檢模式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第二數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。
8.如權(quán)利要求2所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的生產(chǎn)設(shè)備。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，對(duì)所述保養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的第一個(gè)批次晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。
10.如權(quán)利要求I至9中任意一項(xiàng)所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)是從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目。
11.一種采用如權(quán)利要求I所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，包括 所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，其中，作標(biāo)記的晶圓為標(biāo)記批次晶圓，未作標(biāo)記的晶圓為未標(biāo)記批次晶圓； 所述生產(chǎn)報(bào)告模塊將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排，所述生產(chǎn)報(bào)告模塊將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊； 所述質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中標(biāo)記批次晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)，當(dāng)所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)超過上線規(guī)格時(shí)，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊會(huì)發(fā)出警示派貨要求。
12.如權(quán)利要求11所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述抽檢模式包括常規(guī)抽檢模式、異常抽檢模式以及保養(yǎng)后抽檢模式。
13.如權(quán)利要求12所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述常規(guī)抽檢模式適用于未出現(xiàn)異常情況和正常生產(chǎn)未進(jìn)行保養(yǎng)的設(shè)備。
14.如權(quán)利要求13所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，對(duì)所述常規(guī)抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第一數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
15.如權(quán)利要求12所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述異常抽檢模式適用于運(yùn)轉(zhuǎn)異常的設(shè)備。
16.如權(quán)利要求15所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，對(duì)所述異常抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊依照晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的順序，每隔第二數(shù)量的未標(biāo)記批次晶圓后派出一個(gè)標(biāo)記批次晶圓進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)。
17.如權(quán)利要求16所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述第二數(shù)量小于第一數(shù)量。
18.如權(quán)利要求12所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述保養(yǎng)后抽檢模式適用于進(jìn)行了保養(yǎng)但還未投入生產(chǎn)的生產(chǎn)設(shè)備。
19.如權(quán)利要求18所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，對(duì)所述保養(yǎng)后抽檢模式下的生產(chǎn)設(shè)備，所述風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊對(duì)進(jìn)入所述生產(chǎn)設(shè)備的第一個(gè)批次晶圓派出標(biāo)記批次晶圓。
20.如權(quán)利要求11至19中任意一項(xiàng)所述的晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，其特征在于，所述風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)是從經(jīng)過一生產(chǎn)設(shè)備后被檢查的批次至該生產(chǎn)設(shè)備最近結(jié)束生產(chǎn)的批次之間的批次數(shù)目。
全文摘要
一種晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)及晶圓質(zhì)量檢測(cè)方法，包括風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊、生產(chǎn)報(bào)告模塊和質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；其中，風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊用于對(duì)預(yù)定批次的晶圓作標(biāo)記，并根據(jù)每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的抽檢模式對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行派貨安排或發(fā)出警示派貨要求；生產(chǎn)報(bào)告模塊用于將設(shè)備抽檢模式信息發(fā)送給風(fēng)險(xiǎn)控制派貨模塊，并將所有生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)信息實(shí)時(shí)傳送給質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊；質(zhì)量檢測(cè)監(jiān)控模塊用于實(shí)時(shí)顯示每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備上的晶圓投入情況以及每臺(tái)設(shè)備中作標(biāo)記的晶圓的信息，并計(jì)算出每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)批次數(shù)。以此保證每臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量抽檢頻度，從而保證產(chǎn)品的良率。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102637617SQ20121014295
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者周俊杰, 江瑞星, 沈鴻強(qiáng), 翁慶忠, 袁力 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司