專利名稱：可高速、高精度地進(jìn)行指定的氣體激光振蕩器中的指令裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體激光振蕩器中的指令裝置。特別本發(fā)明涉及可高速、高精度地進(jìn)行指定的氣體激光振蕩器中的指令裝置。
背景技術(shù)：
歷來，在氣體激光振蕩器中根據(jù)需要的激光輸出具有多個(gè)激光電源。圖3是表示在現(xiàn)有技術(shù)中的氣體激光振蕩器中具有兩個(gè)激光電源的例子的圖。圖3表示的氣體激光振蕩器200具有兩個(gè)激光電源110、120。如圖3所示，在CNC中制作的指令發(fā)送至輸出 指令裝置100的通信IC350，分離為偏置指令410和輸出指令420。這些指令分別在D/A變換部440a、440b中被D/A變換后，通過加算電路460進(jìn)行加算。接著，把進(jìn)行加算后的模擬指令電壓向各個(gè)激光電源110、120共同發(fā)送。激光電源通過匹配單元150、160向氣體激光振蕩器200的放電管210、220的電極230、240供給與模擬指令電壓成比例的電力。由此，控制來自氣體激光振蕩器200的激光輸出。通常，在激光器運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)亦即能夠輸出激光射束的狀態(tài)下，始終發(fā)送一定的偏置指令。另外，通過使要加在偏置指令上的輸出指令變化，控制來自氣體激光振蕩器200的激光輸出。這些偏置指令以及輸出指令對(duì)于雙方的激光電源110、120分別是共用的值。但是，氣體激光振蕩器200的激光氣體循環(huán)路徑250中的放電管210、220的電極230、240、放電管210、220內(nèi)的激光氣體的壓力、與這些電極230、240分別相鄰地配置的輔助電極310、320、以及匹配單元150、160的特性互相離散。下面有時(shí)把這些匯總簡單稱為激光電源的負(fù)荷。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中在激光電源110、120中分別設(shè)置指令電壓調(diào)整電路130、140。這些指令電壓調(diào)整電路130、140，在各激光電源110、120中執(zhí)行偏置指令時(shí)的基極放電的調(diào)整、和在最大輸出指令時(shí)的激光電源的最大注入電力的調(diào)整，吸收上述離散。在調(diào)整基極放電時(shí)，使輸出指令420為零，同時(shí)僅發(fā)送偏置指令410，然后用目視來確認(rèn)放電管230、240的放電熄滅,激光振蕩器200在振蕩閾值以下(激光輸出0W),而且維持通過輔助電極310、320進(jìn)行的輔助放電，同時(shí)操作者調(diào)節(jié)在指令電壓調(diào)整電路130、140上分別設(shè)置的偏置調(diào)整用的可變電阻(未圖示)。另外，在調(diào)整激光電源的最大注入電力時(shí)，發(fā)送偏置指令410和最大輸出指令420。亦即向激光電源發(fā)送相加偏置指令和最大輸出指令后的模擬指令電壓。然后，操作者一邊使能夠最大限度地利用激光電源的能力地測(cè)定激光電源的注入電力，一邊調(diào)節(jié)在指令電壓調(diào)整電路130、140上分別設(shè)置的增益調(diào)整用的可變電阻(未圖示)。隨氣體激光振蕩器200的輸出增大，在每一個(gè)振蕩器上裝備的激光電源的數(shù)目增多。因此，當(dāng)激光電源的數(shù)目增多時(shí)，操作者調(diào)整指令電壓調(diào)整電路的可變電阻來調(diào)整基極放電以及最大注入電力變得更加煩雜。
這里，在日本特許第4141562號(hào)中公開的指令方式中，為吸收各激光電源的負(fù)荷的離散，檢測(cè)DC電流來調(diào)整指令電壓。在日本特許第4141562號(hào)中，需要同樣的模擬電壓的調(diào)整電路130、140。進(jìn)而在日本特許第2633288號(hào)中，公開了具有從CNC向激光電源發(fā)送偏置指令以及輸出指令兩種指令的裝置的激光振蕩器。在該方式中，從CNC獨(dú)立地向各電源發(fā)送偏置指令以及輸出指令，進(jìn)行基極放電和最大注入電力的調(diào)整。但是，在日本特許第4141562號(hào)中，有由于指令電壓調(diào)整電路130、140以及上述的負(fù)荷的離散或者溫度等的環(huán)境的變化調(diào)整精度降低或者檢測(cè)時(shí)的應(yīng)答時(shí)間延遲這樣的問題。進(jìn)而有指令電壓調(diào)整電路130、140的電路結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜的問題。進(jìn)而在模擬電壓的調(diào)整電路中，對(duì)于多個(gè)電源中相同值的偏置指令以及輸出指令不能管理各激光電源的偏移調(diào)整和增益調(diào)整的可變電阻中的調(diào)整量,每次激光電源故障而更換時(shí)都需要調(diào)整基極放電和最大注入電力。另外，在日本特許第4141562號(hào)中，有通過基極放電的調(diào)整失誤發(fā)生加工不良的
可能性。亦即即使在使輸出指令為零僅發(fā)送偏置指令的狀態(tài)下，有時(shí)也會(huì)超過激光振蕩器的振蕩閾值而發(fā)生激光輸出。在這樣的情況下，有在工件上形成劃線的問題。進(jìn)而在日本特許第4141562號(hào)中，當(dāng)在輔助放電熄滅的狀態(tài)下使輸出指令急劇上升時(shí)，激光電源和負(fù)荷的阻抗匹配失調(diào)，也有激光電源破損的可能性。進(jìn)而，在調(diào)整最大注入電力時(shí)，有注入電力不足而發(fā)生加工不良(激光輸出不足)，或者注入電力過剩，激光電源、匹配單元、放電管等破損這樣的問題。進(jìn)而在日本特許第2633288號(hào)中，當(dāng)在每一個(gè)激光振蕩器上裝載的激光電源的數(shù)目增多時(shí)，有發(fā)送的數(shù)據(jù)量增加(12bitX2種X裝載的激光電源的數(shù)目)這樣的課題。通常，可使用的數(shù)據(jù)量根據(jù)硬件(通信IC)或者CNC的軟件受限，因此激光電源的數(shù)目也根據(jù)這些規(guī)定。另外，在該方式中，如日本特許第2633288號(hào)的圖3 (b)的流程圖中所示，對(duì)于每一個(gè)激光電源依次調(diào)整基極放電和最大注入電力。因此在激光電源的數(shù)目多的情況下，有激光電源的調(diào)整時(shí)間大幅度變長的可能性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的事情做出，其目的是提供氣體激光振蕩器中的一種指令裝置，其即使在激光電源的數(shù)目多的情況下，也能夠不延長激光電源的調(diào)整時(shí)間，容易地調(diào)整基極放電和最大注入電力。為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)第一實(shí)施方式，提供一種激光振蕩器中的指令裝置，其是具有多個(gè)放電管和與這些多個(gè)放電管對(duì)應(yīng)的多個(gè)電極的氣體激光振蕩器中的多個(gè)激光電源的指令裝置，該激光振蕩器中的指令裝置的特征在于，具有指令制作部，其制作針對(duì)上述多個(gè)激光電源的指令；和分離部，其把通過該指令制作部制作的指令分離為偏置指令、輸出指令、偏移指令以及增益指令，上述偏置指令以及輸出指令是對(duì)于上述多個(gè)激光電源共用的指令，上述偏移指令以及增益指令至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的上述放電管決定，上述激光振蕩器中的指令裝置還具有發(fā)送部，其用于向上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源發(fā)送對(duì)于上述多個(gè)激光電源共用的上述偏置指令以及上述輸出指令，同時(shí)與上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源對(duì)應(yīng)地串行發(fā)送至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的上述放電管決定的上述偏移指令以及上述增益指令。根據(jù)第二實(shí)施方式，在第一實(shí)施方式中，上述發(fā)送部包含加算調(diào)整部，其在對(duì)于上述多個(gè)激光電源共用的上述偏置指令上加算根據(jù)上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的上述放電管以及上述電極中的至少一方?jīng)Q定的上述偏移指令，來調(diào)整上述激光振蕩器中的基極放電；和相乘調(diào)整部，其在對(duì)于上述多個(gè)激光電源共用的上述輸出指令上乘以至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的上述放電管決定的上述增益指令，來調(diào)整上述激光振湯器中的最大注入電力。根據(jù)第三實(shí)施方式，在第一實(shí)施方式中，上述激光振蕩器包含在上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源和上述激光振蕩器之間配置的多個(gè)匹配單元；和與上述多個(gè)電極中的各個(gè)電極相鄰地配置的輔助電極，根據(jù)上述多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的 上述放電管、上述放電管的壓力、上述匹配單元以及上述輔助電極中的至少一個(gè)，決定上述偏移指令以及上述增益指令。


從對(duì)在附圖中表示的本發(fā)明的典型的實(shí)施方式的詳細(xì)說明，能夠更加明了本發(fā)明的這些目的、特征和優(yōu)點(diǎn)以及其他的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。圖I是基于本發(fā)明的氣體激光振蕩器的概略圖。圖2是圖I中表示的輸出指令裝置的功能框圖。圖3是表示現(xiàn)有技術(shù)中的氣體激光振蕩器的圖。
具體實(shí)施例方式下面參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。在以下的附圖中，對(duì)于同樣的構(gòu)件附以同樣的參照符號(hào)。為使容易理解，適宜變更這些附圖的比例。圖I是基于本發(fā)明的氣體激光振蕩器的概略圖。本發(fā)明中的激光振蕩器20是放電激勵(lì)型的較高輸出的氣體激光振蕩器。從激光振蕩器20輸出的激光用于未圖不的激光加工裝置的工件(未圖示)的加工。如圖所示，激光振蕩器20的激光氣體循環(huán)路徑25包含放電管21、22。該激光氣體循環(huán)路徑25與激光氣體壓力控制系統(tǒng)33連接，在激光氣體壓力控制系統(tǒng)33中，通過供給、排出激光氣體，控制激光氣體循環(huán)路徑25的壓力。另外，在激光氣體循環(huán)路徑25中配置渦輪鼓風(fēng)機(jī)26，在渦輪鼓風(fēng)機(jī)26的上游以及下游分別配置熱交換器27、28。進(jìn)而激光振蕩器20與冷卻水循環(huán)系統(tǒng)34連接，由此激光氣體循環(huán)路徑25內(nèi)的激光氣體特別由放電管21、22內(nèi)的激光氣體等適宜冷卻。如圖I所示，在一方的放電管21的一端設(shè)置部分反射鏡的后鏡29(共振器內(nèi)部反射鏡)，在另一方的放電管22的另一端設(shè)置部分反射鏡的輸出鏡30。輸出鏡30由ZnSe形成，輸出鏡30的內(nèi)表面被涂部分反射涂層，同時(shí)輸出鏡30的外表面被涂反射防止涂層。上述的兩個(gè)放電管21、22位于后鏡29以及輸出鏡30之間的光共振空間內(nèi)。各放電管21、22分別通過一對(duì)電極23、24被夾持。這些電極23、24為同一尺寸，用金屬噴鍍或者安裝金屬構(gòu)件。進(jìn)而，輔助電極31、32分別從電極23、24在各放電管21、22的激光氣體的上游側(cè)配置。
在輔助電極31、32和放電管21、22的電極23、24上通過匹配單元施加相同電壓。通過輔助電極進(jìn)行的輔助放電，因?yàn)橥ǔＲ员仍陔姌O23、24上施加的電壓低的電壓放電，所以即使有時(shí)電極23、24之間的放電熄滅，也能維持輔助放電。這樣，在維持輔助放電的情況下，即使急劇升高對(duì)于激光電源的指令，也能夠避免放電管電壓過量上升，防止激光電源的破損。如圖1所示，電極23、24以及輔助電極31、32分別通過匹配單元15、16連接激光電源11、12。兩個(gè)激光電源11、12連接在共用的輸出指令裝置10上。進(jìn)而，輸出指令裝置10與CNC5連接。圖2是圖I表示的輸出指令裝置的功能框圖。如圖2所示，輸出指令裝置10包含用于與CNC5通信的通信IC35。通信IC35與分離部36連接，分離部36用于把來自CNC5的指令分尚為偏直指令Cb、輸出指令Co、偏移指令Cs以及增M指令Cg。這里，偏置指令Cb是在激光器運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)(能夠輸出激光射束的狀態(tài))下由CNC5始
終指指定的規(guī)定的指令值。另外，輸出指令Co是控制激光輸出的指令，決定激光振蕩器20要輸出多少W的激光射束。在基極放電中，因?yàn)槭辜す廨敵龀蔀榱鉝那樣設(shè)定偏置指令Cb，所以通過使在偏置指令Cb上加算的輸出指令Co變化，能夠以希望的W數(shù)控制激光輸出。偏置指令Cb以及輸出指令Co因?yàn)樵诩す饧庸ぶ幸蟾咚倏刂疲詫?duì)于多個(gè)激光電源11、12使用共用的值。另外，偏置指令Cb以及輸出指令Co的指令數(shù)據(jù)更新周期也維持規(guī)定的短時(shí)間。對(duì)此，偏移指令Cs以及增益指令Cg是根據(jù)各個(gè)激光電源11、12的負(fù)荷決定的值。從圖I可知，匹配單元15、放電管21以及輔助電極31與激光電源11相關(guān)聯(lián)。同樣，匹配單元16、放電管22以及輔助電極32與激光電源12相關(guān)聯(lián)。這些匹配單元、放電管、放電管內(nèi)的壓力、以及輔助電極在下面適當(dāng)稱為激光電源的負(fù)荷。偏移指令Cs是各激光電源11、12的負(fù)荷(匹配單元、放電管、管內(nèi)壓力、輔助電極)的特性對(duì)于偏置指令Cb的離散量。另外，增益指令Cg是各激光電源11、12的負(fù)荷的特性對(duì)于輸出指令C的離散量。激光電源11、12的負(fù)荷與匹配單元15、16內(nèi)的電容性或者電感性的特性的離散、放電管21、22的粗細(xì)等的離散、輔助電極31、32的尺寸的離散、以及放電管21、22內(nèi)的激光氣體的壓力(激光氣體的流速)對(duì)應(yīng)變化。因此，這些負(fù)荷在激光電源11以及激光電源12之間離散，根據(jù)裝載的激光電源的數(shù)目，存在負(fù)荷的離散。因此，在本發(fā)明中，在輸出指令裝置10內(nèi)設(shè)置存儲(chǔ)部40，在制造激光振蕩器時(shí)或者更換激光電源的負(fù)荷時(shí)自動(dòng)求各激光電源的偏移指令Cs以及各激光電源的增益指令Cg的數(shù)字值，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部40內(nèi)。此外，也可以在CNC5內(nèi)設(shè)置存儲(chǔ)部40。此外，從CNC軟件通過分離部36制作用于偏移指令Cs以及增益指令Cg的指定信號(hào)。指定信號(hào)000是激光電源11的偏移指令Cs，指定信號(hào)001是激光電源12的偏移指令Cs，指定信號(hào)010是激光電源11的增益指令Cg，指定信號(hào)011是激光電源12的增益指令Cgo對(duì)于偏移指令Cs以及增益指令Cg，僅在調(diào)整激光電源11、12時(shí)以及激光振蕩器20起動(dòng)時(shí)更新即可。因此，偏移指令Cs以及增益指令Cg和指定信號(hào)一起串行發(fā)送，根據(jù)指定信號(hào)依次切換。一般指令數(shù)據(jù)的更新周期隨激光電源的數(shù)目增加而成為低速。但是，因?yàn)榧す庹袷幤?0的控制主要通過偏置指令Cb以及輸出指令Co進(jìn)行，所以激光加工控制自身不產(chǎn)生延遲。如圖2所示，分離部36與發(fā)送部37連接。發(fā)送部37包含多個(gè)D/A變換部44a 44f、數(shù)據(jù)選擇器45、和多個(gè)加算電路46a 46d。發(fā)送部37不變更或者如后述變更各種指令，分別向激光振蕩器20的激光電源11、12發(fā)送。此外，在本發(fā)明中，偏移指令Cs、增益指令Cg以及指定信號(hào)的發(fā)送，采用串行方式。下面參照?qǐng)D2說明本發(fā)明的氣體激光振蕩器的動(dòng)作。CNC5制作用于激光振蕩器20的指令數(shù)據(jù)，向輸出指令裝置10的通信IC 35發(fā)送。接著，分離部36把那些指令分離為偏置指令Cb、輸出指令Co、偏移指令Cs以及增益指令Cg0如上所述偏置指令Cb以及輸出指令Co對(duì)于激光電源11、12是共用的值。如從圖
2所知，偏置指令Cb通過發(fā)送部37的D/A變換部44a被D/A變換，向加算電路46a、46b輸入。輸出指令Co通過D/A變換部44b被D/A變換，輸入至另外的D/A變換部44e、44f。另一方面，決定在輸出指令裝置10內(nèi)、或者CNC5內(nèi)設(shè)置的在存儲(chǔ)部40內(nèi)存儲(chǔ)的、每一激光電源11、12的偏移指令Cs以及增益指令Cg，進(jìn)而如上述給各指令設(shè)定指定號(hào)碼。這些偏移指令Cs以及增益指令Cg和指定號(hào)碼輸入至數(shù)據(jù)選擇器45。數(shù)據(jù)選擇器45根據(jù)指定號(hào)碼把偏移指令Cs以及增益指令Cg與各激光電源11、12對(duì)應(yīng)地，分別輸入至D/A變換部44c 44f。然后，分別輸入至D/A變換部44c、44d的激光電源11、12的偏移指令Cs被D/A變換后原樣輸入至加算電路46a、46b。與此相對(duì)，在D/A變換部44e中激光電源11的增益指令Cg與激光電源11的輸出指令Co相乘后被D/A變換。同樣，在D/A變換部44f中激光電源12的增益指令Cg與激光電源12的輸出指令Co相乘后被D/A變換。因此，D/A變換部44e、44f作為在輸出指令Co上乘以增益指令Cg將其調(diào)整的乘法調(diào)整部39工作。然后把調(diào)整后的輸出指令Co分別輸入加算電路46c、46d。如圖2所示,在加算電路46a中，相加偏置指令Cb和激光電源11的偏移指令Cs。進(jìn)而，在加算電路46b中，相加偏置指令Cb和激光電源12的偏移指令Cs。這些加算電路46c、46d作為在偏置指令Cb上加上偏移指令Cs進(jìn)行調(diào)整的加法調(diào)整部38工作。其后，把在加算電路46a、46b中進(jìn)行加算處理后的偏置指令Cb分別輸入至少其他的加算電路46c、46d 中。如圖2所示，加算電路46c，把在相加處理后亦即在加進(jìn)了激光電源11的偏移指令的偏置指令Cb、和相乘處理后亦即加進(jìn)了激光電源的增益指令的輸出指令Co相加，輸入至激光電源11。進(jìn)而，和上述同樣，加算電路46d，把在進(jìn)行加算處理后亦即在加進(jìn)了激光電源12的偏移指令的偏置指令Cb、和相乘處理后亦即加進(jìn)了激光電源12的增益指令的輸出指令Co相加，輸入至激光電源12。這樣,在本發(fā)明中，設(shè)定偏移指令Cs以及增益指令Cg后在每一規(guī)定的控制周期向各激光電源11、12串行發(fā)送，同時(shí)向各激光電源發(fā)送共用的偏置指令Cb以及輸出指令Co。因此，即使在激光電源11、12的數(shù)目多的情況下指令的更新周期也不降低。然后，在本發(fā)明中，在調(diào)整基極放電時(shí)，僅發(fā)送偏置指令Cb，使輸出指令Co成為零的狀態(tài)。另外，使根據(jù)指定信號(hào)分配的各激光電源11、12的偏移指令Cs從零的狀態(tài)變化，自動(dòng)求維持電極23、24之間的放電熄滅，輔助電極31、32的輔助放電不熄滅的數(shù)字值，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部40中。進(jìn)而，在加算電路46a、46b中在共用的偏置指令Cb上進(jìn)行加算。由此能夠?qū)τ诿恳粋€(gè)激光電源11、12調(diào)整基極放電。進(jìn)而,在調(diào)整最大注入電力時(shí),在最大輸出指令時(shí)(偏置指令Cb和輸出指令Co的合計(jì))，使根據(jù)指定信號(hào)分配的各激光電源11、12的增益指令Cg從零的狀態(tài)變化，自動(dòng)求各激光電源的注入電力成為規(guī)定的值的數(shù)字值，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部40中。進(jìn)而在D/A變換部44e、44f中在共用的輸出指令Co上相乘。由此能夠?qū)τ诿恳粋€(gè)激光電源11、12調(diào)整最大注入電力，因此能夠得到激光振蕩器20需要的最大激光輸出。這樣，在本發(fā)明中，能夠通過偏移指令Cs以及增益指令Cg吸收各激光電源11、12的負(fù)荷的離散。

在現(xiàn)有技術(shù)中，如圖3所示，通過在激光電源110、120上分別設(shè)置的模擬的指令電壓調(diào)整電路130、140的偏移以及增益的可變電阻來調(diào)整基極放電以及最大注入電力。因此不能管理調(diào)整量。另外，偏移以及增益的調(diào)整作業(yè)容易受指令電壓調(diào)整電路130、140的離散的影響，每次更換激光電源110、120，都需要調(diào)整基極放電以及最大注入電力。但是，在本發(fā)明中把偏移指令Cs以及增益指令Cg作為數(shù)字值管理。因此，通過操作者的熟練度在調(diào)整作業(yè)中不產(chǎn)生差別，能夠高精度地進(jìn)行調(diào)整作業(yè)。另外，即使在由于故障等更換激光電源11、12的情況下，作為激光電源11、12的負(fù)荷的匹配單元15、16、放電管21、22、輔助電極31、32也不變。因此，如果使用在存儲(chǔ)部40中預(yù)先存儲(chǔ)的偏移指令Cs以及增益指令Cg，則不需要進(jìn)行激光電源的調(diào)整作業(yè)自身。因此，在本發(fā)明中，能夠安全而且迅速地起動(dòng)激光振蕩器20。因此，在本發(fā)明中，能夠避免基于調(diào)整失誤的工件的加工不良、激光電源、匹配單元以及放電管的破損。進(jìn)而，在本發(fā)明中，即使在具有多個(gè)例如三個(gè)以上的激光電源的情況下，因?yàn)閮H(I)偏置指令Cb (12bit)、(2)輸出指令Co (12bit)、(3)偏移指令Cs 增益指令Cg (12bit)以及指定信號(hào)的數(shù)據(jù)數(shù)就已足夠，所以能夠不受數(shù)據(jù)數(shù)的上限值的制約容易地指令多個(gè)激光電源。此時(shí)，一邊像000 — 001 — 010 — OIL···那樣依次切換指定號(hào)碼一邊在每一規(guī)定的
控制周期發(fā)送偏移指令Cs以及增益指令Cg。亦即在某控制周期中，僅發(fā)送與一個(gè)指定信號(hào)對(duì)應(yīng)的偏移指令Cs或者增益指令Cg。因此在僅調(diào)整單一的激光電源的情況和在調(diào)整多個(gè)激光電源的情況下，調(diào)整時(shí)間不變，能夠用相同的調(diào)整時(shí)間完成調(diào)整作業(yè)。進(jìn)而，在負(fù)荷變化的情況下，例如即使在變更放電管21、22內(nèi)的激光氣體的壓力的設(shè)定的情況下，通過預(yù)先存儲(chǔ)好與負(fù)荷對(duì)應(yīng)的偏移指令以及增益指令，也能夠自動(dòng)地應(yīng)對(duì)激光電源的負(fù)荷的變化。在第一實(shí)施方式中，設(shè)定偏移指令以及增益指令向各激光電源串行發(fā)送，同時(shí)對(duì)于各激光電源發(fā)送相同的值的偏置指令以及輸出指令。因此，即使在激光電源的數(shù)目多的情況下，更新偏置指令以及輸出指令的周期也不降低。另外，因?yàn)榇邪l(fā)送偏移指令以及增益指令，所以不管是具有多個(gè)激光電源的激光振蕩器還是具有一個(gè)激光電源的激光振蕩器要發(fā)送的數(shù)據(jù)數(shù)都不變。亦即，與具有的激光電源的數(shù)目無關(guān)用相同的調(diào)整時(shí)間足夠。在第二實(shí)施方式中，因?yàn)槭褂闷浦噶钜约霸鲆嬷噶钤谳敵鲋噶钛b置中調(diào)整激光電源固有的負(fù)荷的離散，所以不用指令電壓調(diào)整電路130、140。此外，激光電源固有的負(fù)荷是匹配單元、放電管、放電管內(nèi)的壓力、輔助電極等。另外，因?yàn)楦鶕?jù)各激光電源的負(fù)荷決定偏移指令以及增益指令，所以即使在由于激光電源故障更換激光電源的情況下，也能夠用在激光振蕩器制造時(shí)存儲(chǔ)的原來的偏移指令以及增益指令的值安全地起動(dòng)激光振蕩器。另夕卜，能夠預(yù)先防止由于調(diào)整失誤引起的加工不良或者激光電源的破損。進(jìn)而，在負(fù)荷變化的情況下，例如在變更放電管內(nèi)的激光氣體的壓力的設(shè)定的情況或者匹配單元、放電管、輔助電極劣化而更換的情況下，通過根據(jù)負(fù)荷變更偏移指令以及增益指令的設(shè)定，也能夠容易地應(yīng)對(duì)負(fù)荷的變化。在第三實(shí)施方式中，通過用數(shù)字值管理根據(jù)負(fù)荷決定的偏移指令以及增益指令，能夠更精密地進(jìn)行控制。雖然使用典型的實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但是專業(yè)人員能夠理解，能夠不脫離本
發(fā)明的范圍進(jìn)行上述的變更以及各種其他的變更、省略、追加。
權(quán)利要求
1.一種激光振蕩器中的指令裝置，其是具有多個(gè)放電管(21、22)和與這些多個(gè)放電管(21、22)對(duì)應(yīng)的多個(gè)電極(23、24)的氣體激光振蕩器(20)中的多個(gè)激光電源(11、12)的指令裝置，該激光振蕩器中的指令裝置的特征在于， 具有 指令制作部(5)，其制作針對(duì)上述多個(gè)激光電源(11、12)的指令；和 分離部(36),其把通過該指令制作部(5)制作的指令分離為偏置指令、輸出指令、偏移指令以及增益指令， 上述偏置指令以及輸出指令是對(duì)于上述多個(gè)激光電源(11、12)共用的指令，上述偏移指令以及增益指令至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源(11、12)中的各個(gè)激光電源的上述放電管(21,22)決定， 上述激光振蕩器中的指令裝置還具有發(fā)送部(37)，其用于向上述多個(gè)激光電源(11、12 )中的各個(gè)激光電源發(fā)送對(duì)于上述多個(gè)激光電源(11、12 )共用的上述偏置指令以及上述輸出指令，同時(shí)與上述多個(gè)激光電源(11、12 )中的各個(gè)激光電源對(duì)應(yīng)地串行發(fā)送至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源(11、12 )中的各個(gè)激光電源的上述放電管(21、22 )決定的上述偏移指令以及上述增益指令。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光振蕩器中的指令裝置，其中， 上述發(fā)送部(37)包含 加算調(diào)整部(38 )，其在對(duì)于上述多個(gè)激光電源(11、12 )共用的上述偏置指令上加算根據(jù)上述多個(gè)激光電源(11、12)中的各個(gè)激光電源的上述放電管(21、22)以及上述電極(23、24)中的至少一方?jīng)Q定的上述偏移指令，來調(diào)整上述激光振蕩器中的基極放電；和 相乘調(diào)整部(39)，其在對(duì)于上述多個(gè)激光電源(11、12)共用的上述輸出指令上乘以至少根據(jù)上述多個(gè)激光電源(11、12 )中的各個(gè)激光電源的上述放電管(21、22 )決定的上述增益指令，來調(diào)整上述激光振蕩器(20)中的最大注入電力。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光振蕩器中的指令裝置，其中， 上述激光振蕩器(20)包含在上述多個(gè)激光電源(11、12)中的各個(gè)激光電源和上述激光振蕩器(20)之間配置的多個(gè)匹配單元(15、16);和與上述多個(gè)電極(23、24)中的各個(gè)電極相鄰地配置的輔助電極(31、32)， 根據(jù)上述多個(gè)激光電源(11、12)中的各個(gè)激光電源的上述放電管(21、22)、上述放電管(21、22)的壓力、上述匹配單元(15、16)以及上述輔助電極(31、32)中的至少一個(gè)，決定上述偏移指令以及上述增益指令。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可高速、高精度地進(jìn)行指定的氣體激光振蕩器中的指令裝置。該氣體激光振蕩器中的指令裝置具有多個(gè)放電管和對(duì)應(yīng)的多個(gè)電極，并具有制作多個(gè)激光電源的指令的指令制作部、和把制作的指令分離為偏置指令、輸出指令、偏移指令以及增益指令的分離部，偏置指令和輸出指令對(duì)于多個(gè)激光電源是共用的，偏移指令以及增益指令至少根據(jù)多個(gè)激光電源中的各個(gè)激光電源的放電管決定，還包含發(fā)送部，用于向多個(gè)激光電源發(fā)送對(duì)于多個(gè)激光電源共用的偏置指令以及輸出指令，同時(shí)與多個(gè)激光電源對(duì)應(yīng)地串行發(fā)送至少根據(jù)多個(gè)激光電源的放電管決定的偏移指令以及增益指令。由此，即使在有多個(gè)電源的情況下也能夠用短的時(shí)間調(diào)整基極放電以及最大注入電力。
文檔編號(hào)H01S3/10GK102882114SQ20121019374
公開日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月15日
發(fā)明者本田昌洋, 池本肇 申請(qǐng)人:發(fā)那科株式會(huì)社