專利名稱：有機(jī)發(fā)光二極管、觸摸顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管、觸摸顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
平板顯示裝置因其體積小、便于攜帶等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛的應(yīng)用。有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode,簡(jiǎn)稱0LED)顯示技術(shù)作為未來(lái)平板顯示的主流技術(shù),與液晶顯示技術(shù)相比，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器采用各像素自主發(fā)光模式取代統(tǒng)一背光模式，因此有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的可視角明顯增加，且功耗減小，對(duì)比度提高，厚度降低。作為現(xiàn)代輸入方式的觸摸屏功能已經(jīng)成為輸入方式的主要形式應(yīng)用于各種便攜式電子產(chǎn)品中，并且已經(jīng)逐步代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機(jī)械按鍵輸入方式，最終此類電子產(chǎn)品將會(huì)實(shí)現(xiàn) 全觸摸、無(wú)按鍵的輸入模式。觸摸屏技術(shù)發(fā)展也經(jīng)歷發(fā)展的各個(gè)階段，主要有電阻式、電容式、光感應(yīng)式、電磁感應(yīng)式等。目前電阻式是現(xiàn)在主流，但電容式正呈現(xiàn)出快步趕超之勢(shì)。電容式主要有自電容式、表面自電容式、投射互感電容式等。而現(xiàn)有技術(shù)中采用有機(jī)發(fā)光二極管制作的觸摸屏主要為外掛式電容屏，此類觸摸屏主要存在生產(chǎn)成本高，觸摸靈敏性高可靠度低的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光二極管、觸摸顯示裝置及其制造方法，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性、降低生產(chǎn)成本。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案—方面，提供一種有機(jī)發(fā)光二極管，包括基板；所述基板上作為第一導(dǎo)電電極的像素電極；與所述像素電極同層設(shè)置的第一信號(hào)電極以及第二信號(hào)電極，其中所述第一信號(hào)電極用于第一感應(yīng)線，所述第二信號(hào)電極用于連接第二感應(yīng)線，所述第一感應(yīng)線和所述第二感應(yīng)線縱橫交叉但不電連接；覆蓋所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層；覆蓋所述像素電極的電致發(fā)光層，所述電致發(fā)光層和所述像素電極的疊層與所述絕緣層處于相同層；至少覆蓋所述電致發(fā)光層的第二導(dǎo)電電極；至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。所述第一導(dǎo)電電極為陽(yáng)極，所述第二導(dǎo)電電極為陰極。還包括位于陽(yáng)極與電致發(fā)光層之間的空穴傳輸層。還包括位于陰極與電致發(fā)光層之間的電子傳輸層。所述絕緣層為有機(jī)絕緣層。
所述第二導(dǎo)電電極在對(duì)應(yīng)于所述第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極上方的位置處的部分被去除。一方面，提供一種有機(jī)發(fā)光二極管的制作方法，在基板上形成第一導(dǎo)電薄膜；通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極； 制作覆蓋所述像素電極和所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層；在所述像素電極上方的所述絕緣層上形成過(guò)孔；在所述過(guò)孔中形成電致發(fā)光層；制作覆蓋所述電致發(fā)光層和所述絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極；制作至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。所述方法還包括對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除所述第二導(dǎo)電電極的位于所述第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。所述方法還包括在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層；在所述第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層。一方面，提供一種觸摸顯示裝置，包括按陣列結(jié)構(gòu)排列的顯示單元，其中每個(gè)所述顯示單元包括分別由柵線和數(shù)據(jù)線圍成的像素單元，其中至少一部分所述顯示單元中的像素單元包括如上述任一有機(jī)發(fā)光二極管，所述觸摸顯示裝置還包括縱橫交叉但不電連接的多條平行排列的第一感應(yīng)線和多條平行排列的第二感應(yīng)線，所述有機(jī)發(fā)光二級(jí)管的第一信號(hào)電極與所述第一感應(yīng)線電連接，所述有機(jī)發(fā)光二極管的第二信號(hào)線與所述第二感應(yīng)線電連接。所述第一感應(yīng)線與所述數(shù)據(jù)線同層，所述第二感應(yīng)線與所述柵線同層。所述第一感應(yīng)線與所述柵線同層，所述第二感應(yīng)線與所述數(shù)據(jù)線同層。一方面，提供一種觸摸顯示裝置的制作方法，包括在基板上制作金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成柵極、柵線及縱向的感應(yīng)線；形成覆蓋所述基板的柵絕緣層；在所述柵絕緣層上形成有源層；在所述基板上形成金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源極、漏極、數(shù)據(jù)線和橫向的感應(yīng)線；形成覆蓋所述基板的鈍化層；在所述漏極、所述感應(yīng)線上方各層形成過(guò)孔；在所述基板上形成第一導(dǎo)電薄膜，通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極，其中所述像素電極通過(guò)所述漏極上方的過(guò)孔與所述漏極電連接，所述第一信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第一感應(yīng)線電連接，所述第二信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第二感應(yīng)線電連接，所述第一感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線第二感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線，或者，所述第二感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線第一感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線；制作覆蓋所述像素電極和所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層；在所述像素電極上方的所述絕緣層上形成過(guò)孔；
在所述過(guò)孔中形成電致發(fā)光層；制作覆蓋所述電致發(fā)光層和所述絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極；制作至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。所述方法還包括，對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除所述第二導(dǎo)電電極的位于所述第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。還包括在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層；在所述第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層。
本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管和觸摸顯示裝置及其制造方法，能夠在有機(jī)發(fā)光二極管的制作過(guò)程中同步形成觸摸用的投射電容，對(duì)于每個(gè)像素單元在橫向和縱向兩個(gè)方向上形成了獨(dú)立的信號(hào)感應(yīng)單元，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性，此外由于作為投射電容的信號(hào)電極與發(fā)光二級(jí)管的像素電極同層形成也降低生產(chǎn)成本。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光二極管的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管在圖I所示的AA’截面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管在圖I所示的BB’截面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管的投射電容的等效電路圖；圖5為本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管在觸摸時(shí)的投射電容的等效電路圖；圖6為本發(fā)明的另一實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管在觸摸時(shí)的投射電容的等效電路圖；圖7為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光二極管的制造方法流程示意圖；圖8為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種觸摸顯示裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明的實(shí)施例提供的觸摸顯示裝置在圖7所示的CC’截面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種觸摸顯示裝置的制造方法流程示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
如圖1、2、3所示(圖2為圖I所示有機(jī)發(fā)光二極管在AA’截面的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖I所示的有機(jī)發(fā)光二極管在BB’截面的結(jié)構(gòu)示意圖)，為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光二極管，包括基板I ;基板I上作為第一導(dǎo)電電極的像素電極2，與像素電極2同層設(shè)置的第一信號(hào)電極3以及第二信號(hào)電極4，其中第一信號(hào)電極3用于連接縱向的第一感應(yīng)線，第二信號(hào)電極4用于連接橫向的第二感應(yīng)線，第一感應(yīng)線和第二感應(yīng)線縱橫交叉但不電連接(圖中感應(yīng)線未示出)；覆蓋第一信號(hào)電極3及第二信號(hào)電極4的絕緣層5，覆蓋像素電極2的電致發(fā)光層6，電致發(fā)光層6和像素電極2的疊層與絕緣層5處于相同層(即電致發(fā)光層6的上表面與絕緣層5的上表面等高)；至少覆蓋電致發(fā)光層6的第二導(dǎo)電電極7 ;至少覆蓋第二導(dǎo)電電極7的封裝層8。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，附圖僅為示例性的，此外這里的橫向和縱向只是第一感應(yīng)線和第二感應(yīng)線的相對(duì)位置關(guān)系，因此可以理解為，若第一感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線則第二感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線，相反，若第一感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線則第二感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線，關(guān)于在圖I所示的平面示意圖中的位置，第一信號(hào)電極可以設(shè)于第二信號(hào)電極 的上方，也可以設(shè)在其下方。可選的，第一導(dǎo)電電極即像素電極2為陽(yáng)極，第二導(dǎo)電電極7為陰極；該有機(jī)發(fā)光二極管還包括位于陽(yáng)極與電致發(fā)光層之間的空穴傳輸層及位于陰極與電致發(fā)光層之間的電子傳輸層。絕緣層5可以為有機(jī)絕緣層。具體的，這里第二導(dǎo)電電極7與第一信號(hào)電極3和第二信號(hào)電極4構(gòu)成投射電容，其等效電路圖如圖4所示，其中C_X為第二導(dǎo)電電極7與第一信號(hào)電極3之間的電容，C_Y為第二導(dǎo)電電極7與第二信號(hào)電極4之間的電容，C_XY為第一信號(hào)電極3與第二信號(hào)電極4之間的電容，在對(duì)第二導(dǎo)電電極7上方的封裝層8進(jìn)行觸摸時(shí)手指與第二導(dǎo)電電極7形成電容，其等效電路圖如圖5所示，這時(shí)增加了第二導(dǎo)電電極7與手指間的電容(^，這樣由于作為發(fā)光二級(jí)管陰極為一直流電壓信號(hào)，因此陰極的電壓維持不變，當(dāng)整體電容值發(fā)生變化時(shí)，即等效電路由圖4變?yōu)閳D5時(shí)，導(dǎo)致電容器的另一極的電壓信號(hào)發(fā)生變化，利用該原理可以判定該有機(jī)發(fā)光二極管處是否發(fā)生觸摸。進(jìn)一步的，第二導(dǎo)電電極7在對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)電極3及第二信號(hào)電極4上方的位置處的部分被去除(該結(jié)構(gòu)圖中未示出)；此時(shí)第二導(dǎo)電電極7與第一信號(hào)電極3和第二信號(hào)電極4不形成電容，當(dāng)發(fā)生觸摸時(shí)，由于觸摸物的面積一般會(huì)大于當(dāng)個(gè)像素單元的面積，相當(dāng)于觸摸物分別與第一信號(hào)電極3及第二信號(hào)電極4形成電容，其中等效電路圖如圖6所示(圖中觸摸物以手指為例)，C_M為觸摸物與第一信號(hào)電極3之間的電容，C_N為手指與第二信號(hào)電極4之間的電容，C_MN為第一信號(hào)電極3與第二信號(hào)電極4之間的電容，觸摸導(dǎo)致作為電容器的一極的第一信號(hào)電極3和第二信號(hào)電極4的信號(hào)電流發(fā)生變化，利用該原理可以判定該有機(jī)發(fā)光二極管處是否發(fā)生觸摸。本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管，在有機(jī)發(fā)光二極管的制作過(guò)程中同步形成觸摸用的投射電容，對(duì)于每個(gè)像素單元在橫向和縱向兩個(gè)方向上形成了獨(dú)立的信號(hào)感應(yīng)單元，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性，此外由于作為投射電容的信號(hào)電極與發(fā)光二級(jí)管的像素電極同層形成也降低生產(chǎn)成本。
如圖7所示，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光二極管的制作方法，總體來(lái)說(shuō)，所述制作方法包括形成第一、第二電極層以及夾在第一、第二電極層之間的電致發(fā)光層的步驟，還包括形成第一、第二信號(hào)電極及絕緣層的步驟。具體地，包括以下流程SlOl、在基板上形成一層第一導(dǎo)電薄膜；S102、通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極；不例性的,可以在整個(gè)下基板上沉積一層第一導(dǎo)電薄膜，該第一導(dǎo)電薄膜為陽(yáng)極導(dǎo)電材料，厚度在100人至丨000人之間。然后，在第一導(dǎo)電薄膜上涂覆一層光刻膠，使用掩模版，進(jìn)行曝光、顯影，刻蝕、剝離等構(gòu)圖工藝處理，形成像素電極、第一信號(hào)電極和第二信號(hào)電極。
S103、制作覆蓋像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極的絕緣層；示例性的，可以利用化學(xué)汽相沉積法在基板上連續(xù)沉積厚度為]000人個(gè):6000人的緣層薄膜；絕緣層為有機(jī)絕緣層，絕緣層的成膜方法可以采用沉積方式、旋涂方式或滾涂方式。S104、在像素電極上方的絕緣層上形成過(guò)孔；S105、在過(guò)孔中形成電致發(fā)光層；將基板置于真空腔室中在像素電極上方蒸鍍多層有機(jī)材料薄膜形成電致發(fā)光層，薄膜的均勻度為350 A±25 A?？蛇x的，在該步驟S105之前還包括在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層；其中空穴傳輸層，常用的材料是芳香雙胺，如四苯基聯(lián)苯二胺類化合物(N, N, N，，N，-TETRAPHENYL-1，I’ -BIPHENYL-4，4’ DIAMINE,簡(jiǎn)稱 TPD)、TAD(分子式為
CzsH52N4)等；在該步驟之后S105之后還包括在第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層；電子傳輸層，常用的材料是8-羥基喹啉鋁(Alq3)、8_羥基喹啉鋅(Znq2)等。S106、制作覆蓋電致發(fā)光層和絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極。如步驟S105所述當(dāng)在第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成有電子傳輸層時(shí)，步驟S106中制作的第二導(dǎo)電電極為覆蓋電子傳輸層?？蛇x的，步驟S106還包括對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除第二導(dǎo)電電極的位于第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。經(jīng)過(guò)該可選的工藝形成的有機(jī)發(fā)光二極管的等效電路圖為如圖所示。當(dāng)然可選工藝可以與制作第二導(dǎo)電電極的同一次構(gòu)圖工藝形成，不會(huì)增加額外的曝光工藝步驟。S107、制作覆蓋第二導(dǎo)電電極的上基板。本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管的制造方法，在有機(jī)發(fā)光二極管的制作過(guò)程中同步形成觸摸用的投射電容，對(duì)于每個(gè)像素單元在橫向和縱向兩個(gè)方向上形成了獨(dú)立的信號(hào)感應(yīng)單元，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性，此外由于作為投射電容的信號(hào)電極與發(fā)光二級(jí)管的像素電極同層形成也降低生產(chǎn)成本。本發(fā)明的實(shí)施例提供一種觸摸顯示裝置,參照?qǐng)D8、9所示(圖9為圖8所示的觸摸顯示裝置在CC’截面的結(jié)構(gòu)示意圖)，包括按陣列結(jié)構(gòu)排列的顯示單元，其中每個(gè)顯示單元包括分別由柵線和數(shù)據(jù)線圍成的像素單元，其中至少一部分顯示單元中的像素單元包括一個(gè)上述實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管，觸摸顯示裝置還包括多條平行排列的第一感應(yīng)線14和多條平行排列的第二感應(yīng)線15，所述第一感應(yīng)線14和第二感應(yīng)線15縱橫交叉但不電連接。有機(jī)發(fā)光二極管的第一信號(hào)電極16與第一感應(yīng)線14電連接，有機(jī)發(fā)光二極管的第二信號(hào)電極17與第二感應(yīng)線15電連接。優(yōu)選地，第一信號(hào)電極16通過(guò)過(guò)孔與第一感應(yīng)線14電連接，第二信號(hào)電極17通過(guò)過(guò)孔與第二感應(yīng)線15電連接。當(dāng)然，每個(gè)像素單元還包括位于下基板11上的薄膜晶體管，覆蓋薄膜晶體管的鈍化層13 ;通過(guò)鈍化層13上的過(guò)孔與薄膜晶體管的漏極電連接的有機(jī)發(fā)光二極管，其中有機(jī)發(fā)光二極管作為第一導(dǎo)電電極的像素電極連接漏極。可選的，第一感應(yīng)線14與數(shù)據(jù)線同層，第二感應(yīng)線15與柵線同層；即第一感應(yīng)線位于鈍化層13與覆蓋薄膜晶體管柵極的柵絕緣層12之間，第二感應(yīng)線位于基板11與柵絕緣層12之間；或者，第一感應(yīng)線與柵線同層，第二感應(yīng)線與數(shù)據(jù)線同層；即第二感應(yīng)線位于鈍化層與覆蓋薄膜晶體管柵極的柵絕緣層之間，第一感應(yīng)線位于基板與柵絕緣層之間(圖中未示出)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管關(guān)于投射電容的原理可知，由于第一感應(yīng)線和第二感應(yīng)線為縱橫交叉設(shè)置但不電連接，則可以配合第一信號(hào)電極和第二信號(hào)電極在陰極上方發(fā)生觸摸時(shí)，在互相垂直的X方向和Y方向產(chǎn)生電壓變化信號(hào)以便定位觸摸處。本發(fā)明的實(shí)施例提供的觸摸顯示裝置，在有機(jī)發(fā)光二極管的制作過(guò)程中同步形成觸摸用的投射電容，對(duì)于每個(gè)像素單元在橫向和縱向兩個(gè)方向上形成了獨(dú)立的信號(hào)感應(yīng)單元，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性，此外由于作為投射電容的信號(hào)電極與發(fā)光二級(jí)管的像素電極同層形成也降低生產(chǎn)成本。此外，參照現(xiàn)有技術(shù)每個(gè)顯示單元可以包括紅綠藍(lán)三個(gè)像素單元，當(dāng)然也可包括多個(gè)像素單元，這里以包括以紅綠藍(lán)三原色的像素單元為例進(jìn)行說(shuō)明。優(yōu)選地，可以在顯示單元包括的紅綠藍(lán)三個(gè)像素單元選擇性的設(shè)置本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管，因?yàn)樵诂F(xiàn)有技術(shù)條件下紅綠藍(lán)三個(gè)像素單元發(fā)光面積等面積時(shí)，亮度是不同的，為了保證發(fā)光亮度的一致性，紅綠藍(lán)三個(gè)像素單元的發(fā)光面積一般是按比例設(shè)置的；在現(xiàn)有技術(shù)條件下同等發(fā)光面積的像素單元綠色放光材料的亮度較大，因此在制作過(guò)程中一般是采取減小綠光像素單元的電致發(fā)光層的面積，因此可以選擇在綠光像素單元采用本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管，這樣投射電容的電極在有機(jī)發(fā)光二極管的像素電極層占用一定的發(fā)光面積，從而避免了對(duì)顯示裝置發(fā)光亮度的影響。當(dāng)然在黃光或綠光的像素單元上采用本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光二極管亦是可行的。更優(yōu)選地，即使對(duì)于綠色像素，也可以根據(jù)實(shí)際情況，如分辨率、感應(yīng)面積、電容靈敏度等要求，而排列具有觸摸電容的像素和不具有觸摸電容的像素、其比例及位置關(guān)系等。本發(fā)明的實(shí)施例提供一種觸摸顯示裝置的制作方法，總體來(lái)說(shuō)，所述制作方法包括形成第一、第二電極層以及夾在第一、第二電極層之間的電致發(fā)光層的步驟、以及形成數(shù)據(jù)線、柵線的步驟，還包括形成第一、第二信號(hào)電極及絕緣層的步驟。具體地，如圖10所示，包括
S201、在基板上制作一層金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成柵極、柵線及縱向的感應(yīng)線；可以使用磁控濺射方法，在下基板上制備一層厚度在1000人至7000人的金屬導(dǎo)電薄膜。制作金屬導(dǎo)電薄膜的金屬材料通?？梢圆捎描€、鋁、鋁鎳合金、鑰鎢合金、鉻、或銅等，也可以使用上述幾種材料薄膜的組合結(jié)構(gòu)。然后，用掩模版通過(guò)曝光、顯影、刻蝕、剝離等工藝處理，在基板的一定區(qū)域上形成柵極、柵線及縱向的感應(yīng)線；其中，金屬導(dǎo)電薄膜的成膜方法具體可以為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、磁控濺射、熱蒸發(fā)或其它成膜方法。S202、形成覆蓋基板的柵絕緣層；然后可以利用化學(xué)汽相沉積法在下基板上連續(xù)沉積厚度為丨000人至6000人的柵 絕緣層薄膜；柵絕緣層的材料通常是氮化硅，也可以使用氧化硅和氮氧化硅等，柵絕緣層的 成膜方法可以采用沉積方式、旋涂方式或滾涂方式。S203、在柵絕緣層上形成有源層；可以在柵絕緣層上利用化學(xué)汽相沉積法沉積厚度為IOOOA至6000人的非晶硅薄膜和η+非晶硅薄膜，也可以是在柵絕緣層薄膜之上沉積金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜；用有源層的掩模版對(duì)非晶硅薄膜進(jìn)行曝光，之后對(duì)該非晶硅薄膜進(jìn)行干法刻蝕，在柵極的上方形成有源層。此外，如果是在柵絕緣層薄膜之上沉積金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜作為有源層，則對(duì)金屬氧化物薄膜進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝即可形成有源層，即在光刻膠涂覆后，用普通的掩模版對(duì)基板進(jìn)行曝光、顯影、刻蝕形成有源層即可。S204、在基板上形成一層金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源極、漏極、數(shù)據(jù)線和橫向的感應(yīng)線；可以使用和制作柵極相同的方法，在下基板上制備一層厚度在丨000人至7000人的金屬導(dǎo)電薄膜。制作金屬導(dǎo)電薄膜的金屬材料通?？梢圆捎描€、鋁、鋁鎳合金、鑰鎢合金、鉻、或銅等，也可以使用上述幾種材料薄膜的組合結(jié)構(gòu)。然后，用掩模版通過(guò)曝光、顯影、刻蝕、剝離等工藝處理，形成源極、漏極、數(shù)據(jù)線和橫向的感應(yīng)線，成膜方法具體可以為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、磁控濺射、熱蒸發(fā)或其它成膜方法。S205、形成覆蓋下基板的鈍化層；在整個(gè)下基板上涂覆一層厚度在丨000人到6000Α的鈍化層，其材料可以是二氧化硅等硅的氧化物，此時(shí)柵極、源極和漏極和第二感應(yīng)線或第一感應(yīng)線上面均覆蓋有鈍化層。S206、在漏極、感應(yīng)線上方各層形成過(guò)孔；S207、在下基板上形成一層第一導(dǎo)電薄膜,通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極；其中所述像素電極通過(guò)所述漏極上方的過(guò)孔與所述漏極電連接，所述第一信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第一感應(yīng)線電連接，所述第二信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第二感應(yīng)線電連接,所述第一感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線且第二感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線，或者，所述第二感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線且第一感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線。以上可以理解的是橫向和縱向是相對(duì)而言的，因此這里的橫向和縱向只是第一感應(yīng)線和第二感應(yīng)線的相對(duì)位置關(guān)系，因此可以理解為第一感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線則第二感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線，相反第一感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線則第二感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線。具體的S207之后的各步驟的具體過(guò)程參照SlOl S107這里不再贅述。S208、制作覆蓋像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極的絕緣層；S209、在像素電極上方的絕緣層上形成過(guò)孔；S210、在過(guò)孔中形成電致發(fā)光層；將基板置于真空腔室中在像素電極上方蒸鍍多層有機(jī)材料薄膜形成電致發(fā)光 層，薄膜的均勻度為350 A±25 A?？蛇x的，在該步驟S210之前還包括在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層；其中空穴傳輸層，常用的材料是芳香雙胺，如四苯基聯(lián)苯二胺類化合物(N, N, N，，N，-TETRAPHENYL-1，I’ -BIPHENYL-4，4’ DIAMINE,簡(jiǎn)稱 TPD)、TAD(分子式為
CzsH52N4)等；在該步驟之后S210之后還包括在第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層；電子傳輸層，常用的材料是8-羥基喹啉鋁(Alq3)、8_羥基喹啉鋅(Znq2)等。S211、制作覆蓋電致發(fā)光層和絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極；如步驟S210所述當(dāng)在第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成有電子傳輸層時(shí)，步驟S211中制作的第二導(dǎo)電電極為覆蓋電子傳輸層。可選的，步驟S211還包括對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除第二導(dǎo)電電極的位于第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。經(jīng)過(guò)該可選的工藝形成的有機(jī)發(fā)光二極管的等效電路圖為如圖6所示。當(dāng)然可選工藝可以與制作第二導(dǎo)電電極的同一次構(gòu)圖工藝形成，不會(huì)增加額外的曝光工藝步驟。S212、制作至少覆蓋第二導(dǎo)電電極的封裝層。本發(fā)明的實(shí)施例提供的觸摸顯示裝置的制造方法，在有機(jī)發(fā)光二極管的制作過(guò)程中同步形成觸摸用的投射電容，對(duì)于每個(gè)像素單元在橫向和縱向兩個(gè)方向上形成了獨(dú)立的信號(hào)感應(yīng)單元，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性，此外由于作為投射電容的信號(hào)電極與發(fā)光二級(jí)管的像素電極同層形成也降低生產(chǎn)成本。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光二極管，其特征在于，包括 基板； 所述基板上作為第一導(dǎo)電電極的像素電極； 與所述像素電極同層設(shè)置的第一信號(hào)電極以及第二信號(hào)電極，其中所述第一信號(hào)電極用于連接第一感應(yīng)線，所述第二信號(hào)電極用于連接第二感應(yīng)線，所述第一感應(yīng)線和所述第二感應(yīng)線縱橫交叉但不電連接； 覆蓋所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層； 覆蓋所述像素電極的電致發(fā)光層，所述電致發(fā)光層和所述像素電極的疊層與所述絕緣層處于相同層； 至少覆蓋所述電致發(fā)光層的第二導(dǎo)電電極； 至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管，其特征在于，所述第一導(dǎo)電電極為陽(yáng)極，所述第二導(dǎo)電電極為陰極。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光二極管，其特征在于，還包括位于陽(yáng)極與電致發(fā)光層之間的空穴傳輸層。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光二極管，其特征在于，還包括位于陰極與電致發(fā)光層之間的電子傳輸層。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管，其特征在于，所述絕緣層為有機(jī)絕緣層。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光二極管,其特征在于,所述第二導(dǎo)電電極在對(duì)應(yīng)于所述第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極上方的位置處的部分被去除。
7.一種有機(jī)發(fā)光二極管的制作方法，其特征在于， 在基板上形成第一導(dǎo)電薄膜； 通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極； 制作覆蓋所述像素電極和所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層； 在所述像素電極上方的所述絕緣層上形成過(guò)孔； 在所述過(guò)孔中形成電致發(fā)光層； 制作覆蓋所述電致發(fā)光層和所述絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極； 制作至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述方法還包括對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除所述第二導(dǎo)電電極的位于所述第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的制作方法，其特征在于，所述方法還包括在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層； 在所述第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層。
10.一種觸摸顯示裝置，其特征在于，包括按陣列結(jié)構(gòu)排列的顯示單元，其中每個(gè)所述顯示單元包括分別由柵線和數(shù)據(jù)線圍成的像素單元，其中至少一部分所述顯示單元中的像素單元包括如權(quán)利要求I 6之任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光二極管，所述觸摸顯示裝置還包括多條平行排列的第一感應(yīng)線和多條平行排列的第二感應(yīng)線，所述第一感應(yīng)線和所述第二感應(yīng)線縱橫交叉但不電連接，所述有機(jī)發(fā)光二級(jí)管的第一信號(hào)電極與所述第一感應(yīng)線電連接，所述有機(jī)發(fā)光二極管的第二信號(hào)線與所述第二感應(yīng)線電連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸摸顯示裝置，其特征在于，所述第一感應(yīng)線與所述數(shù)據(jù)線同層，所述第二感應(yīng)線與所述柵線同層。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸摸顯示裝置，其特征在于，所述第一感應(yīng)線與所述柵線同層，所述第二感應(yīng)線與所述數(shù)據(jù)線同層。
13.一種觸摸顯示裝置的制作方法，其特征在于，包括 在基板上制作金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成柵極、柵線及縱向的感應(yīng)線； 形成覆蓋所述基板的柵絕緣層； 在所述柵絕緣層上形成有源層； 在所述基板上形成金屬導(dǎo)電薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成源極、漏極、數(shù)據(jù)線和橫向的感應(yīng)線. 形成覆蓋所述基板的鈍化層； 在所述漏極、所述感應(yīng)線上方各層形成過(guò)孔； 在所述基板上形成第一導(dǎo)電薄膜，通過(guò)一次構(gòu)圖工藝形成作為第一導(dǎo)電電極的像素電極和第一信號(hào)電極及第二信號(hào)電極，其中所述像素電極通過(guò)所述漏極上方的過(guò)孔與所述漏極電連接，所述第一信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第一感應(yīng)線電連接，所述第二信號(hào)電極通過(guò)所述感應(yīng)線上方的過(guò)孔與第二感應(yīng)線電連接，所述第一感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線且所述第二感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線，或者，所述第二感應(yīng)線為橫向的感應(yīng)線且所述第一感應(yīng)線為縱向的感應(yīng)線； 制作覆蓋所述像素電極和所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層； 在所述像素電極上方的所述絕緣層上形成過(guò)孔； 在所述過(guò)孔中形成電致發(fā)光層； 制作覆蓋所述電致發(fā)光層和所述絕緣層的第二導(dǎo)電薄膜作為第二導(dǎo)電電極； 制作至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制作方法，其特征在于，所述方法還包括，對(duì)第二導(dǎo)電電極進(jìn)行構(gòu)圖工藝以去除所述第二導(dǎo)電電極的位于所述第一信號(hào)電極與第二信號(hào)電極上方的部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的制作方法，其特征在于，還包括 在所述第一導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成空穴傳輸層； 在所述第二導(dǎo)電電極與所述電致發(fā)光層之間形成電子傳輸層。
全文摘要
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光二極管和觸摸顯示裝置及其制造方法，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，能夠提高產(chǎn)品觸摸靈敏性、降低生產(chǎn)成本。該有機(jī)發(fā)光二極管包括基板；所述基板上作為第一導(dǎo)電電極的像素電極；與所述像素電極同層設(shè)置的第一信號(hào)電極以及第二信號(hào)電極，其中所述第一信號(hào)電極用于連接第一感應(yīng)線，所述第二信號(hào)電極用于連接第二感應(yīng)線，所述第一感應(yīng)線和所述第二感應(yīng)線縱橫交叉但不電連接；覆蓋所述第一信號(hào)電極及所述第二信號(hào)電極的絕緣層；與所述絕緣層同層且覆蓋所述像素電極的電致發(fā)光層；至少覆蓋所述電致發(fā)光層的第二導(dǎo)電電極；至少覆蓋所述第二導(dǎo)電電極的封裝層。本發(fā)明的實(shí)施例應(yīng)用于顯示器制造。
文檔編號(hào)H01L51/52GK102881839SQ20121037228
公開(kāi)日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月28日
發(fā)明者馬占潔 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司