片盒傾斜及歸位裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種片盒傾斜及歸位裝置。包括片盒、片盒底板、片盒底托架及運動機構(gòu)，其中片盒安裝在片盒底板上，所述片盒底板的前端與片盒底托架鉸接，后端的下方設(shè)有定位槽，片盒底板在該定位槽處連接有使片盒底板的后端以前端為旋轉(zhuǎn)軸擺動的運動機構(gòu)。本發(fā)明通過片盒的傾斜和其后的自動歸位的動作，使承載在片盒中的晶圓能有效插入片盒的最內(nèi)側(cè)，避免了人為因素造成晶圓在片盒中位置的不正確，達到節(jié)省人力提高生產(chǎn)效率的目的。
【專利說明】片盒傾斜及歸位裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種片盒傾斜及歸位裝置。本發(fā)明適用于用片盒進行晶圓取送的設(shè)備，尤其適用全自動半導(dǎo)體設(shè)備中晶圓在片盒中的歸位使用。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，隨著半導(dǎo)體制程的多樣化，設(shè)備中很多的工藝處理越來越復(fù)雜，在制造過程中晶圓的取送的準(zhǔn)確性也提出更高的要求，在取送中需保證待處理的晶圓插入片盒的最里端，這樣才能使取送晶圓的手指與晶圓保持正確的位置關(guān)系，有利于晶圓在半導(dǎo)體設(shè)備中在其它單元間的傳遞，提高生產(chǎn)效率。
[0003]目前在用片盒承載侍處理的晶圓時，需將晶圓插入片盒中，且確保晶圓插入片盒最內(nèi)側(cè)后，再將片盒平穩(wěn)地安放在設(shè)備上，然后由手指取出晶片進行相應(yīng)半導(dǎo)體制程。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種片盒傾斜及歸位裝置。該片盒傾斜及歸位裝置通過片盒的傾斜和其后的自動歸位的動作，使承載在片盒中的晶圓能有效插入片盒的最內(nèi)側(cè)，避免了人為因素造成晶圓在片盒中位置的不正確，達到節(jié)省人力提高生產(chǎn)效率的目的。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0006]一種片盒傾斜及歸位裝置，包括片盒、片盒底板、片盒底托架及運動機構(gòu)，其中片盒安裝在片盒底板上，所述片盒底板的前端與片盒底托架鉸接，后端的下方設(shè)有定位槽，片盒底板在該定位槽處連接有使片盒底板的后端以前端為旋轉(zhuǎn)軸擺動的運動機構(gòu)。
[0007]所述片盒底板后端下方的定位槽沿晶圓插入方向開設(shè)、并由淺到深。
[0008]所述運動機構(gòu)包括氣缸、導(dǎo)向塊及安裝支架，其中導(dǎo)向塊與氣缸的活塞桿連接，所述氣缸通過安裝支架安裝在片盒底托架上、并位于片盒底板的下方，所述導(dǎo)向塊與片盒底板后端的定位槽抵接、并通過氣缸的驅(qū)動在定位槽內(nèi)水平方向往復(fù)移動。所述氣缸與用來調(diào)節(jié)氣缸活塞運行速度的調(diào)速閥連接。
[0009]所述片盒底板的下方連接有襯板。
[0010]所述導(dǎo)向塊位于定位槽前端時，片盒底板處于歸位狀態(tài)；所述導(dǎo)向塊位于定位槽后端時，片盒底板處于傾斜狀態(tài)。
[0011]所述片盒通過四個固定塊安裝在片盒底板上。
[0012]所述片盒底板的前端通過兩個鉸鏈與片盒底托架連接。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是:
[0014]1.本發(fā)明利用氣缸推動使片盒底板傾斜然后再歸位的動作，利用晶圓本身重力，使晶圓在片盒中保持正確位置，結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便。
[0015]2.本發(fā)明為通過機械形式安裝在片盒底板下部的裝置，在此裝置使用時不接觸任何化學(xué)藥劑、具有壽命長、無化學(xué)污染、維護方便等優(yōu)點，特別適用于全自動運轉(zhuǎn)設(shè)備、真空、超凈等特殊環(huán)境中。
[0016]3.本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，可滿足多種工藝制程，適用于各種使用片盒的承載晶圓進行相應(yīng)半導(dǎo)體制程的場合。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明的立體示意圖之一；
[0018]圖2為本發(fā)明的立體示意圖之二；
[0019]圖3為本發(fā)明的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為圖3的俯視圖；
[0021]圖5為圖3中I處的放大圖；
[0022]圖6為圖3的仰視立體示意圖；
[0023]圖7為圖6中II處的放大圖；
[0024]圖8為本發(fā)明的片盒底板處于傾斜狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖9為圖8中III處的放大圖；
[0026]圖10為本發(fā)明的片盒底板處于傾斜狀態(tài)的立體示意圖；
[0027]圖11為本發(fā)明的片盒底板處于歸位狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖12為圖11中IV處的放大圖；
[0029]圖13為發(fā)明的片盒底板處于歸位狀態(tài)的立體示意圖。
[0030]其中:1為片盒底托架，2為片盒底板，3為片盒，4為晶圓，5為絞鏈，6為右下固定塊，7為左下固定塊,8為拉手,9為右上定位塊，10為左上定位塊,11為調(diào)速閥，12為襯板，13為氣缸,14為導(dǎo)向塊,15為安裝支架，16為定位槽前端，17為定位槽后端。
【具體實施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。
[0032]如圖1-7所示，本發(fā)明包括片盒3、片盒底板2、片盒底托架I及運動機構(gòu)，其中片盒3通過四個固定塊安裝在片盒底板2上，即片盒的后端兩側(cè)分別通過左上定位塊10和右上定位塊9定位，前端兩側(cè)分別通過左下固定塊7和右下固定塊6固定。片盒底板2的前端通過兩個鉸鏈與片盒底托架I鉸接，后端的下方沿晶圓插入方向開設(shè)有定位槽，該定位槽由淺到深，即定位槽前端16淺，定位槽后端17深。片盒底板2在該定位槽處連接有使片盒底板2的后端以前端為旋轉(zhuǎn)軸擺動的運動機構(gòu)。片盒底板2的下方連接有襯板12，上方兩側(cè)分別設(shè)有拉手，方便操作者使用。
[0033]所述運動機構(gòu)包括氣缸13、導(dǎo)向塊14及安裝支架15，其中導(dǎo)向塊14與氣缸13的活塞桿連接，氣缸14通過安裝支架15安裝在片盒底托架I上、并位于片盒底板2的下方。導(dǎo)向塊14與片盒底板2后端的定位槽抵接、并通過氣缸13的驅(qū)動在定位槽內(nèi)水平方向往復(fù)移動。氣缸13與相應(yīng)氣路及用來調(diào)節(jié)氣缸活塞運行速度的調(diào)速閥11連接。導(dǎo)向塊14位于定位槽前端16時,片盒底板2處于歸位狀態(tài)；所述導(dǎo)向塊14位于定位槽后端17時,片盒底板2處于傾斜狀態(tài)。
[0034]本發(fā)明的工作過程是:[0035]如圖8-13所示，將片盒平穩(wěn)地安放在片盒底板上，設(shè)備在取送片盒中的晶圓進行相應(yīng)的半導(dǎo)體制程前，氣缸13首先運動，活塞桿伸出，在活塞桿上相應(yīng)的導(dǎo)向塊14與片盒底板2下方的定位槽相接觸，因定位槽在氣缸活塞運行方向有一定的高度差，而氣缸13此時連接到片盒底托架I上，高度上保持不動，片盒底板2及其上的片盒3 (含片盒中安放的晶圓4)此時就會繞前端鉸鏈產(chǎn)生一定旋轉(zhuǎn)，整個片盒3向后傾斜一定的角度，此時在片盒3中的晶圓4也一起向后傾斜。在其自身重力的原因下，使其插入到片盒3中最內(nèi)側(cè)，保證晶圓4與片盒3的正確位置關(guān)系，避免人為因素造成的晶圓4未插入片盒3最內(nèi)側(cè)情況的發(fā)生。在略延時后，氣缸活塞回縮，同理因?qū)驂K14與定位槽的相對位置的改變，片盒底板2及片盒3回到最初的位置(以上通過已知的軟件及電控技術(shù)就可實現(xiàn))，此時晶圓4的大平面與設(shè)備上取送晶圓4的手指的上平面平行，設(shè)備可進行取送晶圓4的動作，完成相應(yīng)的半導(dǎo)體制程。在加工一整盒晶圓前，只需通過氣缸13的伸出及歸位的一次動作就可完成片盒3中晶圓4的歸位，保證晶圓4在片盒3中的正確位置。
[0036]本發(fā)明中所用氣缸為市購產(chǎn)品，購置于SMC公司，型號為⑶JP2B6-25D-M9N ;鉸鏈購置于斯科公司，型號為B2204-1250，調(diào)速閥購置于CKD公司，型號為SC-M5-L。
【權(quán)利要求】
1.一種片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:包括片盒(3)、片盒底板(2)、片盒底托架(I)及運動機構(gòu)，其中片盒(3)安裝在片盒底板(2)上，所述片盒底板(2)的前端與片盒底托架(I)鉸接，后端的下方設(shè)有定位槽，片盒底板(2)在該定位槽處連接有使片盒底板(2)的后端以前端為旋轉(zhuǎn)軸擺動的運動機構(gòu)。
2.按權(quán)利要求1所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述片盒底板(2)后端下方的定位槽沿晶圓插入方向開設(shè)、并由淺到深。
3.按權(quán)利要求2所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述運動機構(gòu)包括氣缸(13)、導(dǎo)向塊(14)及安裝支架(15)，其中導(dǎo)向塊(14)與氣缸(13)的活塞桿連接，所述氣缸(14)通過安裝支架(15)安裝在片盒底托架(I)上、并位于片盒底板(2)的下方，所述導(dǎo)向塊(14)與片盒底板(2)后端的定位槽抵接、并通過氣缸(13)的驅(qū)動在定位槽內(nèi)水平方向往復(fù)移動。
4.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述氣缸(13)與用來調(diào)節(jié)氣缸活塞運行速度的調(diào)速閥(11)連接。
5.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述片盒底板(2)的下方連接有襯板(12)。
6.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向塊(14)位于定位槽前端(16)時，片盒底板⑵處于歸位狀態(tài)；所述導(dǎo)向塊(14)位于定位槽后端(17)時，片盒底板(2)處于傾斜狀態(tài)。
7.按權(quán)利要求1所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述片盒(3)通過四個固定塊安裝在片盒底板(2)上。
8.按權(quán)利要求1或2所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于:所述片盒底板(2)的前端通過兩個鉸鏈與片盒底托架(I)連接。
【文檔編號】H01L21/673GK103811384SQ201210439420
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月6日
【發(fā)明者】童宇波 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司