專利名稱：有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置以及一種制造該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法。
背景技術(shù)：
通常，有機(jī)發(fā)光顯示裝置可以應(yīng)用于移動(dòng)設(shè)備(諸如數(shù)碼相機(jī)、攝影機(jī)、便攜式攝像機(jī)、便攜式信息終端、智能電話、超薄筆記本、臺(tái)式個(gè)人計(jì)算機(jī)以及柔性顯示設(shè)備)或者電子/電氣設(shè)備(諸如超薄電視機(jī))的顯示裝置。有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有發(fā)射層(EML)置于陽極和陰極之間的堆疊結(jié)構(gòu)。然而，通過所述結(jié)構(gòu)難以獲得高效率的發(fā)射，因此，可以在陽極和陰極之間選擇性地插入諸如電子注入層(EIL)、電子傳輸層(ETL)、空穴傳輸層(HTL)以及空穴注入層(HIL)和/或類似的層的中間層，并且可以使用中間層。通常，通過諸如噴嘴印刷方法、沉積方法等若干方法制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置。例如，EML可以通過噴嘴印刷方法形成，中間層可以通過沉積方法形成。在利用沉積方法的情況下，用于中間層的溶劑，例如，用于HTL的溶液的溶劑，在沉積工藝中會(huì)溶解EML，從而會(huì)劣化界面特性。另外，通過利用噴嘴印刷方法和沉積方法二者，投入成本會(huì)增加，會(huì)需要用于設(shè)備的大的空間，并且會(huì)難以或者不能夠布置基于流水線的設(shè)備(in-linebasedequipment)。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置以及一種制造該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，其中，利用靜電噴射方法通過溶解工藝制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的一方面，提供一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括在基底上形成多個(gè)薄膜晶體管(TFT)并且形成多個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)，每個(gè)OLED包括:第一電極，具有被位于薄膜晶體管上的像素限定層暴露的部分；有機(jī)層，位于第一電極的暴露的部分上并且包括被構(gòu)造為發(fā)射具有多種顏色中的至少一種顏色的光的發(fā)射層(EML);第二電極，位于有機(jī)層上，其中，在多個(gè)子像素區(qū)域中的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中的每個(gè)子像素區(qū)域中形成EML，通過在PDL中形成開口來形成所述多個(gè)子像素區(qū)域，在所述具有一種顏色的子像素區(qū)域中形成與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的溶液供應(yīng)單元，通過溶液供應(yīng)單元向所述具有一種顏色的子像素區(qū)域和所述具有其他顏色的其他子像素區(qū)域供應(yīng)用于多種顏色的發(fā)射層原料。經(jīng)由被通電的噴嘴單元可以將發(fā)射層原料中的至少一種噴射到溶液供應(yīng)單元，發(fā)射層原料中的所述至少一種可以移動(dòng)到與溶液供應(yīng)單元連通的子像素區(qū)域，從而可以形成EML?？梢酝ㄟ^下述步驟形成EML:使發(fā)射層原料中的包括液體發(fā)射層原料的至少一種帶電；通過經(jīng)由噴嘴單元噴射帶電的液體發(fā)射層原料來形成液滴，而后經(jīng)由溶液供應(yīng)單元形成EML。使液體發(fā)射層原料帶電的步驟可以包括向液體發(fā)射層原料施加電勢差?？梢韵驀娮靻卧┘诱妷海瑥亩后w發(fā)射層原料可以帶正電而后可以經(jīng)由噴嘴單元噴射，基底可以電結(jié)合到地電壓源。EML可以包括第一顏色發(fā)射層、第二顏色發(fā)射層和第三顏色發(fā)射層，第一顏色發(fā)射層可以形成在子像素區(qū)域的第一子像素區(qū)域中，第一子像素區(qū)域可以與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，第二顏色發(fā)射層可以形成在子像素區(qū)域的第二子像素區(qū)域中，第二子像素區(qū)域可以與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，第三顏色發(fā)射層可以形成在子像素區(qū)域的第三子像素區(qū)域中，處于液態(tài)并且?guī)щ姷牡谝活伾l(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料可以分別經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元噴射，由于斥力可以分別移動(dòng)到第一子像素區(qū)域和第二子像素區(qū)域，而后可以分別形成第一顏色發(fā)射層和第二顏色發(fā)射層。多個(gè)第一子像素區(qū)域、多個(gè)第二子像素區(qū)域和多個(gè)第三子像素區(qū)域可以沿基底的一個(gè)方向交替地形成，第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元可以形成在基底的側(cè)端上，所述多個(gè)第一子像素區(qū)域全部可以與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，所述多個(gè)第二子像素區(qū)域全部可以與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通。第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元可以沿基底的一個(gè)方向延伸，所述多個(gè)第一子像素區(qū)域和所述多個(gè)第二子像素區(qū)域可以分別沿與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成。噴射第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料的步驟可以包括:固定被通電的噴嘴單元；沿一個(gè)方向移動(dòng)基底，并且分別經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元同時(shí)噴射處于液態(tài)的第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料。第三顏色發(fā)射層原料可以經(jīng)由噴嘴單元噴射在第三子像素區(qū)域上，從而在第三子像素區(qū)域中形成第三顏色發(fā)射層。噴射第三顏色發(fā)射層原料的步驟可以包括:固定基底；沿基底的另一方向移動(dòng)噴嘴單元，并且同時(shí)在將要形成第三顏色發(fā)射層的第三子像素區(qū)域上噴射第三顏色發(fā)射層原料。第一顏色發(fā)射層可以包括紅色發(fā)射層；第二顏色發(fā)射層可以包括綠色發(fā)射層;第三顏色發(fā)射層可以包括藍(lán)色發(fā)射層。液體發(fā)射層原料可以包括納米尺寸的顆粒?？梢酝ㄟ^經(jīng)由被通電的噴嘴單元將第二電極原料噴射在基底上來形成第二電極。
噴射的第二電極原料可以具有納米尺寸的顆粒。有機(jī)層還可以包括空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、電子傳輸層(ETL)和電子注入層(EIL)中的至少一個(gè)層，可以通過噴射相應(yīng)的原料形成所述至少一個(gè)層。所述至少一個(gè)層可以包括HIL或者HTL，可以通過利用狹縫式涂布機(jī)將空穴注入層原料或者空穴傳輸層原料涂覆在基底的基本整個(gè)表面上。所述至少一個(gè)層可以包括ETL，可以經(jīng)由被通電的噴嘴單元將納米尺寸的電子傳輸層原料噴射在基底上。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的另一方面，提供一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括:基底；薄膜晶體管(TFT)，位于基底上；像素限定層(PDL)，位于TFT上；有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)，包括位于通過圖案化PDL而被暴露的區(qū)域中的第一電極、具有多個(gè)發(fā)射層(EML)中的相應(yīng)的一個(gè)層的有機(jī)層以及第二電極，其中，所述多個(gè)EML分別形成在通過圖案化PDL形成的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中，與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的溶液供應(yīng)單元位于基底上。所述多個(gè)EML可以包括第一顏色發(fā)射層、第二顏色發(fā)射層和第三顏色發(fā)射層，第一顏色發(fā)射層可以位于子像素區(qū)域的第一子像素區(qū)域中并且第一子像素區(qū)域可以與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，第二顏色發(fā)射層可以位于子像素區(qū)域的第二子像素區(qū)域中并且第二子像素區(qū)域可以與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，第三顏色發(fā)射層可以位于子像素區(qū)域的第三子像素區(qū)域中。多個(gè)第一子像素區(qū)域、多個(gè)第二子像素區(qū)域和多個(gè)第三子像素區(qū)域可以沿基底的一個(gè)方向交替地形成，第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元可以位于基底的側(cè)端上，所述多個(gè)第一子像素區(qū)域全部可以與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通，所述多個(gè)第二子像素區(qū)域全部可以與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通。第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元可以沿基底的一個(gè)方向以條狀形成，所述多個(gè)第一子像素區(qū)域和所述多個(gè)第二子像素區(qū)域可以分別沿與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成。第一顏色發(fā)射層可以包括紅色發(fā)射層，第二顏色發(fā)射層可以包括綠色發(fā)射層，第三顏色發(fā)射層可以包括藍(lán)色發(fā)射層。第一顏色發(fā)射層和第二顏色發(fā)射層可以包括納米尺寸的顆粒。有機(jī)層還可以包括空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、電子傳輸層(ETL)和電子注入層(EIL)中的至少一個(gè)層。


通過參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例，本發(fā)明的以上和其他特點(diǎn)和方面將變得更加清楚，在附圖中:圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的子像素的示例的示圖；圖2示出了圖1的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)；圖3示出了圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的子像素區(qū)域的圖案結(jié)構(gòu)；圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的噴嘴裝置的示圖；圖5是示出了圖4的噴嘴裝置的噴嘴單元的示圖；圖6是圖5的噴嘴單元的仰視圖；圖7示出了用于制造圖1的OLED的層的工藝。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在將參照附圖更加全面地描述本發(fā)明，在附圖中示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以以許多不同的形式實(shí)施，且不應(yīng)被解釋為局限于在此闡述的實(shí)施例。因此，本發(fā)明可以包括所有包括在涉及本發(fā)明的構(gòu)思和技術(shù)范圍內(nèi)的修改、等同物或者替代物。在描述本發(fā)明的實(shí)施例的過程中，當(dāng)現(xiàn)有技術(shù)的某些詳細(xì)說明被認(rèn)為會(huì)不必要地模糊本發(fā)明的本質(zhì)時(shí)，可以省略其詳細(xì)描述。盡管可以使用如“第一”、“第二”等這樣的術(shù)語來描述不同的組件，但是這些組件不應(yīng)該受上述術(shù)語的限制。上述術(shù)語通常用于將一個(gè)組件與另一個(gè)組件區(qū)分開來。在本說明書中使用的術(shù)語僅用于描述具體的實(shí)施例，而不意圖限制本發(fā)明。除非在上下文中具有明顯不同的含義，否則使用的單數(shù)的表述包括復(fù)數(shù)的表述。在本說明書中，將理解的是，諸如“包括”或“具有”等術(shù)語意在說明存在公開在說明書中的特征、數(shù)量、步驟、操作、組件、部件或它們的組合，但不意在排除可以存在或可以附加一個(gè)或多個(gè)其他特征、數(shù)量、步驟、操作、組件、部件或它們的組合的可能性。在下文中，將參照附圖通過解釋本發(fā)明的示例性實(shí)施例來詳細(xì)地描述本發(fā)明。在附圖中，相同的標(biāo)號指示相同的元件。一系列元件之前的諸如“至少一個(gè)”的表述修飾整個(gè)系列的元件，而不修飾這一系列中的單個(gè)的元件。圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的子像素的示例的示圖。圖2示出了圖1的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)。這里，子像素具有OLED和至少一個(gè)薄膜晶體管(TFT)。TFT的結(jié)構(gòu)不限于圖1中示出的結(jié)構(gòu)，并且TFT的數(shù)量和結(jié)構(gòu)可以變化。參照圖1和圖2，有機(jī)發(fā)光顯示裝置100包括第一基底101。第一基底101可以形成為由玻璃、塑料和/或類似物形成的絕緣基底。緩沖層102形成在第一基底101上。緩沖層102具有有機(jī)材料或無機(jī)材料被成層的結(jié)構(gòu)，或者具有有機(jī)材料和無機(jī)材料交替堆疊的結(jié)構(gòu)。緩沖層102用于阻擋氧和水分，并且用于防止從第一基底101產(chǎn)生的水分或異物擴(kuò)散到0LED。具有圖案(例如，預(yù)定的圖案)的半導(dǎo)體有源層103形成在緩沖層102上。當(dāng)半導(dǎo)體有源層103將要由多晶硅形成時(shí)，首先，可以形成非晶硅而后可以使非晶硅結(jié)晶，以變成多晶硅。為了使非晶硅結(jié)晶，可以使用各種方法，例如快速熱退火(RTA)方法、固相結(jié)晶(SPC)方法、準(zhǔn)分子激光退火(ELA)方法、金屬誘導(dǎo)結(jié)晶(MIC)方法、金屬誘導(dǎo)橫向結(jié)晶(MILC)方法、順序橫向凝固(SLS)方法等。在半導(dǎo)體有源層103中形成源極區(qū)域104和漏極區(qū)域105，源極區(qū)域104和漏極區(qū)域105通過摻雜N型或P型離子(或者雜質(zhì))而獲得。源極區(qū)域104和漏極區(qū)域105之間的區(qū)域?qū)?yīng)于沒有被雜質(zhì)的溝道區(qū)域106。柵極絕緣層107沉積在半導(dǎo)體有源層103上。柵極絕緣層107形成為由SiO2形成的單層，或者形成為由SiO2和SiNx形成的雙層。柵電極108形成在柵極絕緣層107的區(qū)域(例如，預(yù)定的區(qū)域)上。柵電極108電結(jié)合(例如，連接)到柵極線(未示出)，以施加TFT導(dǎo)通信號或TFT截止信號。柵電極108可以由單一金屬材料或者多種金屬材料形成，并且可以形成為包括Mo、Moff> Cr、Al、Al合金、Mg、N1、W或Au的單層,或者可以形成為包括它們的組成或者組合的多層。層間絕緣層109形成在柵電極108上。源電極110經(jīng)由接觸孔電結(jié)合到源極區(qū)域104，漏電極111經(jīng)由另一接觸孔電結(jié)合到漏極區(qū)域105。由SiO2或SiNx等形成的鈍化層112形成在源電極110和漏電極111上。由諸如亞克力(acryl)、聚酰亞胺或苯并環(huán)丁烯(BCB)的有機(jī)材料形成的平坦化層113形成在鈍化層112上。第一電極115形成在平坦化層113上。第一電極115的一部分被像素限定層(PDL) 114覆蓋，第一電極115的剩余部分被暴露，其中，PDL 114是由有機(jī)材料形成的絕緣層。第一電極115電結(jié)合到源電極110或漏電極111。有機(jī)層116形成在第一電極115的通過蝕刻I3DLl 14的一部分而暴露的區(qū)域上。第二電極117形成在有機(jī)層116上。第一電極115和第二電極117通過有機(jī)層116彼此絕緣。具有不同極性的電壓施加到第一電極115和第二電極117,以允許在有機(jī)層116中發(fā)生光發(fā)射。該OLED通過根據(jù)電流的流動(dòng)發(fā)射紅色射線、綠色射線和藍(lán)色射線中的一種射線來顯示圖像信息(例如，預(yù)定的圖像信息)。該OLED包括:第一電極115，電結(jié)合到源電極110或漏電極111，并且從源電極110或漏電極111接收正電源；第二電極117，布置為覆蓋整個(gè)像素并且接收負(fù)電源；有機(jī)層116，設(shè)置在第一電極115和第二電極117之間，并且發(fā)光。這里，第一電極115用作陽極，第二電極117用作陰極。然而，本發(fā)明不限于此，第一電極115和第二電極117的極性可以互換。第一電極115可以形成為透明電極或反射電極。當(dāng)?shù)谝浑姌O115用作透明電極時(shí)，第一電極115可以包括例如ΙΤΟ、IZO、ZnO或In2O3,當(dāng)?shù)谝浑姌O115用作反射電極時(shí)，第一電極115可以以下述方式形成:由從由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr和它們的組成或組合組成的組中選擇的一種材料形成反射層，而后可以在該反射層上形成ITO、IZO、ZnO或Ιη203。第二電極117可以形成為透明電極或反射電極。當(dāng)?shù)诙姌O117用作透明電極時(shí)，第二電極117可以以下述方式形成:朝著有機(jī)層116形成逸出功小并且包括從由L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg和它們的組成或組合組成的組中選擇的一種材料的金屬；而后，可以在所述金屬上通過利用透明電極形成材料形成輔助電極層，或者可以在所述金屬上形成匯流電極線。當(dāng)?shù)诙姌O117用作反射電極時(shí)，可以在整個(gè)表面上形成從由L1、Ca、LiF/Ca、LiF/A1、A1、Ag、Mg和它們的組成或組合組成的組中選擇的材料。當(dāng)?shù)谝浑姌O115形成為透明電極或反射電極時(shí)，第一電極115可以具有與每個(gè)子像素的開口相對應(yīng)的形狀。形成為透明電極或反射電極的第二電極117可以形成在顯示區(qū)的整個(gè)區(qū)域上。然而，不是必須將第二電極117形成在整個(gè)區(qū)域上，因此，第二電極117可以通過利用各種圖案而形成。這里，本發(fā)明不限于本實(shí)施例，第一電極115和第二電極117的位置可以彼此互換。有機(jī)層116可以由低分子有機(jī)層或聚合物有機(jī)層形成。如圖2所示，在使用低分子有機(jī)層的情況下，有機(jī)層116可以具有單層結(jié)構(gòu)或者堆疊有空穴注入層(HIL) 201、空穴傳輸層(HTL) 202、發(fā)射層(EML) 310、電子傳輸層(ETL) 204、電子注入層(EIL) 205和/或類似層的多層(例如，多個(gè)層)結(jié)構(gòu)。在使用聚合物有機(jī)層的情況下，通常，有機(jī)層116可以包括HTL和EML。然而，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)層116的結(jié)構(gòu)不限于此，因此可以改變。還可以在OLED上形成第二基底。第二基底可以由玻璃基底或柔性基底形成，或者可以通過涂覆絕緣材料形成。圖3示出了圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的子像素區(qū)域300的圖案結(jié)構(gòu)。參照圖3，通過圖案化TOL 114在第一基底101上形成子像素區(qū)域300。子像素區(qū)域300根據(jù)發(fā)射顏色而具有多個(gè)圖案。根據(jù)本實(shí)施例，子像素區(qū)域300包括紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303。紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303可以通過對TOL114鉆孔(例如，在I3DL 114中形成開口)而形成。作為第一發(fā)射層的紅色發(fā)射層320形成在紅色子像素區(qū)域301中，作為第二發(fā)射層的綠色發(fā)射層330形成在綠色子像素區(qū)域302中，作為第三發(fā)射層的藍(lán)色發(fā)射層340形成在藍(lán)色子像素區(qū)域303中。雖然未示出，但是可以分別在紅色發(fā)射層320、綠色發(fā)射層330和藍(lán)色發(fā)射層340下方針對紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303中的每個(gè)子像素區(qū)域?qū)⒌谝浑姌O115圖案化。另外，HIL 201和HTL 202可以形成在第一電極115和EML 310之間，ETL 204和EIL 205可以形成在EML 310上。第二電極117可以形成在有機(jī)層116的最外層上。這里，紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303沿第一基底101的一個(gè)方向(即，X軸方向)交替地形成。因此，紅色發(fā)射層320、綠色發(fā)射層330和藍(lán)色發(fā)射層340沿第一基底101的所述一個(gè)方向分別交替地形成在紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303中。這里，與紅色子像素區(qū)域301連通的紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304和與綠色子像素區(qū)域302連通的綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305形成在第一基底101的側(cè)端(SP，沿Y軸方向的側(cè)端)。S卩，紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304形成在第一基底101的一側(cè)，面對紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304的綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305形成在第一基底101的另一側(cè)。紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304和綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305沿第一基底101的一個(gè)方向(B卩，X軸方向)延伸(例如，以條狀形狀形成)。紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304和綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305可以通過對TOL 114的一部分鉆孔(例如，在TOL 114的一部分中形成開口)來形成。紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304與其中形成紅色發(fā)射層320的紅色子像素區(qū)域301連通，綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305與其中形成綠色發(fā)射層330的綠色子像素區(qū)域302連通。為了連通，在第一基底101上被圖案化的紅色子像素區(qū)域301的端部可以沿Y軸方向連接到紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304。紅色子像素區(qū)域301和紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304可以沿彼此交叉的方向被圖案化(例如，被布置)。另外，綠色子像素區(qū)域302的端部可以沿Y軸方向連接到綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305。綠色子像素區(qū)域302和綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305可以沿彼此交叉的方向布置。這里，為了形成紅色發(fā)射層320和綠色發(fā)射層330中的每個(gè)，可以將紅色發(fā)射層原料和綠色發(fā)射層原料經(jīng)由紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304和綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305分別供應(yīng)到紅色子像素區(qū)域301和綠色子像素區(qū)域302。現(xiàn)在將對此進(jìn)行詳細(xì)描述。圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的噴嘴裝置400的示圖。圖5是示出了圖4的噴嘴裝置400的噴嘴單元420的示圖。圖6是圖5的噴嘴單元420的仰視圖。參照圖4到圖6，噴嘴裝置400包括主體單元(例如，主體)410，主體單元410儲(chǔ)存發(fā)射層原料401。噴嘴單元420安裝在主體單元410的端部。噴嘴單元420可以是多噴嘴(例如，可以包括多個(gè)噴嘴)，但是噴嘴單元420的類型不限于此。在噴嘴單元420中，多個(gè)噴嘴421以規(guī)則的間隔布置。在一個(gè)實(shí)施例中，噴嘴421之間的距離dl可以在200 μ m和450 μ m之間。在一個(gè)實(shí)施例中，噴嘴421的噴射開口 422的直徑d2可以在50 μ m和150 μ m之間。噴嘴蓋423形成在噴嘴單元420上，并且當(dāng)噴嘴蓋423打開時(shí)，處于液態(tài)的發(fā)射層原料401可以并行地(例如，同時(shí)地)供應(yīng)到噴嘴421。發(fā)射層原料401沿每個(gè)噴嘴421的具有毛細(xì)管形狀的內(nèi)部路徑移動(dòng)，而后經(jīng)由噴射開口 422噴射在第一基底101上。這里，向噴嘴單元420通電(例如，預(yù)定的電)，從而通過靜電噴射方法將液態(tài)的發(fā)射層原料401噴射在第一基底101的期望的區(qū)域上。為此，噴嘴單元420由諸如鋁、銅、鉬、金、銀、SUS(不銹鋼)和/或類似物的具有導(dǎo)電性的材料形成。另外，供電單元430(例如，電源)結(jié)合到噴嘴單元420。當(dāng)噴嘴單元420從供電單元430接收功率時(shí)，噴嘴單元420可以在經(jīng)由噴射開口 422噴射發(fā)射層原料401的同時(shí)使處于液態(tài)的發(fā)射層原料401帶正電。這里，向所有的噴嘴421施加正電壓。另外，第一基底101電結(jié)合到地電壓源。因此，當(dāng)帶正電的處于液態(tài)的發(fā)射層原料401經(jīng)由每個(gè)噴嘴421的噴射開口 422噴射在第一基底101的期望的區(qū)域上時(shí)，發(fā)射層原料401之間產(chǎn)生斥力。因此，發(fā)射層原料401彼此不碰撞而是彼此排斥。具有50V和5KV之間的電壓的功率可以從供電單元430施加到噴嘴裝置400，就這一點(diǎn)而言，噴嘴裝置400可以根據(jù)施加的功率的強(qiáng)度將分配模式分成線性模式區(qū)域和噴射模式區(qū)域，并且可以噴射發(fā)射層原料401。例如，當(dāng)施加的功率的強(qiáng)度減小時(shí)，噴嘴裝置400可以將發(fā)射層原料401噴射在線性模式區(qū)域中，當(dāng)施加的功率的強(qiáng)度增大時(shí)，噴嘴裝置400可以將發(fā)射層原料401噴射在噴射模式區(qū)域中?，F(xiàn)在將參照圖1到圖7描述根據(jù)本實(shí)施例的制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置100的OLED的方法。這里，為了形成用于形成紅色發(fā)射層320的紅色子像素區(qū)域301、與紅色子像素區(qū)域301連通的紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304、用于形成綠色發(fā)射層330的綠色子像素區(qū)域302、與綠色子像素區(qū)域302連通的綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305以及用于形成藍(lán)色發(fā)射層340的藍(lán)色子像素區(qū)域303，將位于第一基底101上的TOL 114的一部分圖案化(或者去除以形成開口)，以具有特定的形狀。在紅色子像素區(qū)域301、綠色子像素區(qū)域302和藍(lán)色子像素區(qū)域303中的每個(gè)子像素區(qū)域中，有機(jī)層116形成在圖案化的第一電極115的暴露部分上。首先，通過利用空穴注入層狹縫式涂布機(jī)710將HIL 201形成在第一電極115上，空穴注入層狹縫式涂布機(jī)710儲(chǔ)存處于液態(tài)的空穴注入層原料。通過利用空穴傳輸層狹縫式涂布機(jī)720將HTL 202形成在HIL 201上，空穴傳輸層狹縫式涂布機(jī)720儲(chǔ)存處于液態(tài)的空穴傳輸層原料。HIL 201和HTL 202是可以不需要被圖案化的公共層，從而可以通過利用空穴注入層狹縫式涂布機(jī)710和空穴傳輸層狹縫式涂布機(jī)720將空穴注入層原料和空穴傳輸層原料完全噴射在第一基底101上。這里，空穴注入層狹縫式涂布機(jī)710和空穴傳輸層狹縫式涂布機(jī)720處于停止?fàn)顟B(tài)。另一方面，第一基底101沿X軸方向移動(dòng)。HIL 201和HTL 202中的每個(gè)可以形成為厚度等于或小于120nm。然后，可以將EML 310形成在HTL 202上。為了形成藍(lán)色發(fā)射層340，通過利用藍(lán)色發(fā)射層噴嘴裝置730將藍(lán)色發(fā)射層原料噴射在藍(lán)色子像素區(qū)域303上。這里，藍(lán)色發(fā)射層噴嘴裝置730沿與空穴注入層狹縫式涂布機(jī)710和空穴傳輸層狹縫式涂布機(jī)720交叉的方向設(shè)置。藍(lán)色發(fā)射層噴嘴裝置730在藍(lán)色發(fā)射層噴嘴裝置730沿第一基底101的Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)將藍(lán)色發(fā)射層原料噴射在藍(lán)色子像素區(qū)域303中。另一方面，第一基底101是固定的。為了形成紅色發(fā)射層320和綠色發(fā)射層330，使用紅色發(fā)射層噴嘴裝置740和綠色發(fā)射層噴嘴裝置750。這里，紅色發(fā)射層噴嘴裝置740和綠色發(fā)射層噴嘴裝置750是固定的。另一方面，第一基底101沿X軸方向移動(dòng)。關(guān)于紅色發(fā)射層噴嘴裝置740和綠色發(fā)射層噴嘴裝置750的工作原理基本上相同，因此，現(xiàn)在將在下文中描述通過利用紅色發(fā)射層噴嘴裝置740來形成紅色發(fā)射層320的情況。另外，由于利用綠色發(fā)射層噴嘴裝置750形成綠色發(fā)射層330的制造過程基本上相同，因此在這里省略其詳細(xì)描述。這里，假定圖4到圖6中示出的噴嘴裝置400應(yīng)用于圖7的紅色發(fā)射層噴嘴裝置740。首先，將正電壓(例如，具有預(yù)定電平的正電壓)從供電單元430施加到噴嘴單元430。這里，第一基底101電結(jié)合到地電壓源。因此，在噴嘴單元420和第一基底101之間產(chǎn)生電勢差，經(jīng)由噴嘴單元420的噴射開口 422帶正電的紅色發(fā)射層原料經(jīng)由噴嘴單元420的噴射開口 422被噴射到紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304。這里，可以經(jīng)由噴射開口 422以線性模式供應(yīng)紅色發(fā)射層原料。由于將電壓(例如，預(yù)定的電壓)施加到被噴射到紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304中的紅色發(fā)射層原料，因此紅色發(fā)射層原料形成均具有非常小的尺寸(例如，納米尺寸)的微小的液滴。當(dāng)微小的液滴到達(dá)紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304的內(nèi)部時(shí)，包括在處于液態(tài)的紅色發(fā)射層原料401中的溶劑完全蒸發(fā)，從而僅留下溶質(zhì)。
這里，由于紅色發(fā)射層原料401全部帶正電，因此紅色發(fā)射層原料401之間產(chǎn)生斥力。因此，通過使被噴射到紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304中的紅色發(fā)射層原料401帶電得到的液滴相互排斥，并且因此移動(dòng)到與紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304連通的紅色子像素區(qū)域301。因此，在紅色子像素區(qū)域301中形成紅色發(fā)射層320。另外，通過利用綠色發(fā)射層噴嘴裝置750將均具有非常小的尺寸(例如，納米尺寸)的綠色發(fā)射層原料噴射到綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305，而后所述綠色發(fā)射層原料由于通過使綠色發(fā)射層原料帶電得到的液滴之間的斥力而移動(dòng)到綠色子像素區(qū)域302，其中，綠色子像素區(qū)域302與綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305連通。因此，在綠色子像素區(qū)域302中形成綠色發(fā)射層330。接下來，在EML 310上形成ETL 204。通過利用儲(chǔ)存電子傳輸層原料的電子傳輸層噴嘴裝置760形成ETL 204。在ETL 204上形成EIL 205。通過利用儲(chǔ)存電子注入層原料的電子注入層噴嘴裝置 770 形成 EIL 205。ETL 204和EIL205是可以不需要被圖案化的公共層，從而可以通過利用電子傳輸層噴嘴裝置760和電子注入層噴嘴裝置770將電子傳輸層原料和電子注入層原料完全噴射在第一基底101上。這里，由于EML 310不交叉連接，所以EML 310的表面可以被電子傳輸層原料溶解。因此，ETL 204和EML 310之間的界面會(huì)混合在一起，并且粗糙度會(huì)增加，從而OLED的特性可能會(huì)劣化。為了防止所述劣化，與形成EML 310的情況類似，可以通過靜電噴射方法通過噴射具有非常小的尺寸(例如，納米尺寸)的電子傳輸層原料來形成ETL 204。為了形成紅色發(fā)射層320和綠色發(fā)射層330，可以分別將紅色發(fā)射層原料和綠色發(fā)射層原料噴射到紅色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元304的期望區(qū)域和綠色子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元305的期望區(qū)域，從而紅色發(fā)射層噴嘴裝置740和綠色發(fā)射層噴嘴裝置750可以以線性模式噴射紅色發(fā)射層原料和綠色發(fā)射層原料。然而，由于ETL 204不被圖案化并且可以形成在第一基底101的整個(gè)表面上，因此電子傳輸層噴嘴裝置760可以通過升高電壓以噴射模式噴射電子傳輸層原料。通過這樣做，能夠進(jìn)行涂覆操作，同時(shí)使對EML 310的表面的沖擊(或撞擊)減小或最小化。另外，對EIL 205的圖案化不是必須的，因此，可以通過利用電子注入層噴嘴裝置770將具有非常小的尺寸(例如，納米尺寸)的電子注入層原料噴射在第一基底101上。然后，在EIL 205上形成第二電極117?？梢酝ㄟ^利用儲(chǔ)存第二電極原料的第二電極噴嘴裝置780形成第二電極117。第二電極117是可以不需要被圖案化的公共層。因此，可以通過利用第二電極噴嘴裝置780將具有非常小的尺寸(例如，納米尺寸)的第二電極原料(諸如銀墨(silverink))以噴射模式噴射在第一基底101上。然后，為了提高第二電極117的導(dǎo)電率，可以在約50°C的溫度執(zhí)行退火工藝。如上所述，HIL201、HTL 202、EML 310、ETL 204、EIL 205 以及第二電極 117 可以
利用儲(chǔ)存液體原料的噴嘴裝置經(jīng)由溶解工藝一起制造。根據(jù)有機(jī)發(fā)光顯示裝置以及制造該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，當(dāng)形成OLED時(shí)，有機(jī)層或陰極等可以經(jīng)由溶解工藝一起制造，從而可以省略沉積工藝。另外，由于OLED經(jīng)由溶解工藝制造，因此可以制造大的基底，從而可以提高生產(chǎn)率并且可以降低制造成本。另外，由于不需要復(fù)雜的設(shè)備(諸如用于沉積工藝的真空設(shè)備)，并且在大氣環(huán)境下執(zhí)行制造工序，因此可以簡化制造工序，并且可以形成基于流水線的系統(tǒng)。另外，由于可以使用商業(yè)可得的母玻璃，或者可以相對容易地大規(guī)模地生產(chǎn)母玻璃，因此可以節(jié)省制造成本。盡管已經(jīng)參照本發(fā)明的示例性實(shí)施例具體地示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將理解的是，在不脫離由權(quán)利要求及其等同物所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種改變。
權(quán)利要求
1.一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括下述步驟: 在基底上形成多個(gè)薄膜晶體管；以及 形成多個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管，每個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管包括:第一電極，具有被位于薄膜晶體管上的像素限定層暴露的部分；有機(jī)層，位于第一電極的暴露的部分上并且包括被構(gòu)造為發(fā)射具有多種顏色中的至少一種顏色的光的發(fā)射層；第二電極，位于有機(jī)層上， 其中，在多個(gè)子像素區(qū)域中的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中的每個(gè)子像素區(qū)域中形成發(fā)射層，通過在像素限定層中形成開口來形成所述多個(gè)子像素區(qū)域， 在所述具有一種顏色的子像素區(qū)域中形成與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的溶液供應(yīng)單元， 通過溶液供應(yīng)單元向所述具有一種顏色的子像素區(qū)域和所述具有其他顏色的其他子像素區(qū)域供應(yīng)用于多種顏色的發(fā)射層原料，從而形成發(fā)射層。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，經(jīng)由被通電的噴嘴單元將發(fā)射層原料中的至少一種噴射到溶液供應(yīng)單元中， 發(fā)射層原料中的所述至少一種移動(dòng)到與溶液供應(yīng)單元連通的子像素區(qū)域，從而形成發(fā)射層。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，通過下述步驟形成發(fā)射層: 使發(fā)射層原料中的包括液體發(fā)射層原料的至少一種帶電； 通過經(jīng)由噴嘴單元噴射帶電的液體發(fā)射層原料來形成液滴，而后經(jīng)由溶液供應(yīng)單元形成發(fā)射層。`
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，使液體發(fā)射層原料帶電的步驟包括向液體發(fā)射層原料施加電勢差。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，向噴嘴單元施加正電壓，從而液體發(fā)射層原料帶正電而后經(jīng)由噴嘴單元噴射， 基底電結(jié)合到地電壓源。
6.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，發(fā)射層包括第一顏色發(fā)射層、第二顏色發(fā)射層和第三顏色發(fā)射層， 第一顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第一子像素區(qū)域中，第一子像素區(qū)域與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 第二顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第二子像素區(qū)域中，第二子像素區(qū)域與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 第三顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第三子像素區(qū)域中， 所述多個(gè)發(fā)射層原料中的處于液態(tài)并且?guī)щ姷牡谝活伾l(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料分別經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元噴射，由于斥力而分別移動(dòng)到第一子像素區(qū)域和第二子像素區(qū)域，然后分別形成第一顏色發(fā)射層和第二顏色發(fā)射層。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述多個(gè)子像素區(qū)域中的多個(gè)第一子像素區(qū)域、多個(gè)第二子像素區(qū)域和多個(gè)第三子像素區(qū)域沿基底的一個(gè)方向交替地形成， 第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元形成在基底的側(cè)端上，所述多個(gè)第一子像素區(qū)域全部與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 所述多個(gè)第二子像素區(qū)域全部與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元沿基底的一個(gè)方向延伸， 所述多個(gè)第一子像素區(qū)域沿與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成，所述多個(gè)第二子像素區(qū)域沿與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成。
9.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，噴射第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料的步驟包括: 使被通電的噴嘴單元固定；以及 沿一個(gè)方向移動(dòng)基底，并且同時(shí)經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元分別噴射處于液態(tài)的第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料。
10.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述多個(gè)發(fā)射層原料中的第三顏色發(fā)射層原料經(jīng)由噴嘴單元噴射在第三子像素區(qū)域上，從而在第三子像素區(qū)域中形成第三顏色發(fā)射層。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中，噴射第三顏色發(fā)射層原料的步驟包括: 使基底固定；以及 沿基底的另一方向移動(dòng)噴嘴單元，并且同時(shí)在將要形成第三顏色發(fā)射層的第三子像素區(qū)域上噴射第三顏色發(fā)射層原料。
12.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，第一顏色發(fā)射層包括紅色發(fā)射層，第二顏色發(fā)射層包括綠色發(fā)射層，第三顏 色發(fā)射層包括藍(lán)色發(fā)射層。
13.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，液體發(fā)射層原料包括納米尺寸的顆粒。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，通過經(jīng)由被通電的噴嘴單元將第二電極原料噴射在基底上來形成第二電極。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，第二電極原料包括納米尺寸的顆粒。
16.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，有機(jī)層還包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和電子注入層中的至少一個(gè)層， 通過噴射對應(yīng)的原料形成所述至少一個(gè)層。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述至少一個(gè)層包括空穴注入層或者空穴傳輸層， 利用狹縫式涂布機(jī)將空穴注入層原料或者空穴傳輸層原料涂覆在基底的基本整個(gè)表面上。
18.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述至少一個(gè)層包括電子傳輸層， 經(jīng)由被通電的噴嘴單元將納米尺寸的電子傳輸層原料噴射在基底上。
19.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括: 基底； 薄膜晶體管，位于基底上； 像素限定層，位于薄膜晶體管上；以及 有機(jī)發(fā)光二極管，包括位于通過圖案化像素限定層而被暴露的區(qū)域中的第一電極、具有多個(gè)發(fā)射層中的相應(yīng)的一個(gè)層的有機(jī)層以及第二電極， 其中，所述多個(gè)發(fā)射層分別形成在通過圖案化像素限定層形成的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中， 與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的溶液供應(yīng)單元位于基底上。
20.如權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述多個(gè)發(fā)射層包括第一顏色發(fā)射層、第二顏色發(fā)射層和第三顏色發(fā)射層， 第一顏色發(fā)射層位于子像素區(qū)域中的第一子像素區(qū)域中，第一子像素區(qū)域與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 第二顏色發(fā)射層位于子像素區(qū)域中的第二子像素區(qū)域中，第二子像素區(qū)域與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 第三顏色發(fā)射層位于 子像素區(qū)域中的第三子像素區(qū)域中。
21.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，多個(gè)第一子像素區(qū)域、多個(gè)第二子像素區(qū)域和多個(gè)第三子像素區(qū)域沿基底的一個(gè)方向交替地形成， 第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元位于基底的側(cè)端上， 所述多個(gè)第一子像素區(qū)域全部與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通， 所述多個(gè)第二子像素區(qū)域全部與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通。
22.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元沿基底的一個(gè)方向以條狀形成， 所述多個(gè)第一子像素區(qū)域沿與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成，所述多個(gè)第二子像素區(qū)域沿與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成。
23.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，第一顏色發(fā)射層包括紅色發(fā)射層，第二顏色發(fā)射層包括綠色發(fā)射層，第三顏色發(fā)射層包括藍(lán)色發(fā)射層。
24.如權(quán)利要求23所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，第一顏色發(fā)射層和第二顏色發(fā)射層包括納米尺寸的顆粒。
25.如權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，有機(jī)層還包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和電子注入層中的至少一個(gè)層。
全文摘要
在一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置以及制造該有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法中，所述方法包括在基底上形成薄膜晶體管(TFT)并且形成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)，每個(gè)OLED包括第一電極，具有被位于TFT上的像素限定層(PDL)暴露的部分；有機(jī)層，位于第一電極的暴露的部分上并且包括被構(gòu)造為發(fā)射具有多種顏色中的相應(yīng)的一種顏色的光的發(fā)射層(EML)；第二電極，位于有機(jī)層上。在通過在PDL中形成開口而形成的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中的每個(gè)子像素區(qū)域中形成EML。在所述具有一種顏色的子像素區(qū)域中形成與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元。
文檔編號H01L27/32GK103165527SQ201210442419
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月19日
發(fā)明者趙晟煥 申請人:三星顯示有限公司