專(zhuān)利名稱(chēng)：一種紫外探測(cè)器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光電器件的制造方法，尤其涉及一種探測(cè)器的制造方法。
背景技術(shù)：
紫外光是指波長(zhǎng)在200nm到400nm之間的電磁波，它在自然界和人們的生活中廣泛存在。紫外探測(cè)技術(shù)是繼紅外探測(cè)、激光探測(cè)后發(fā)展起來(lái)的又一新型探測(cè)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、天文學(xué)、國(guó)防軍事和天際通信等領(lǐng)域?，F(xiàn)有技術(shù)中比較成熟的紫外探測(cè)器件以真空光電倍增管和紫外增強(qiáng)型硅光電二極管為主，前者體積大、工作電壓高；后者需要昂貴的濾光片來(lái)減小可見(jiàn)光及紅外光的影響，給實(shí)際應(yīng)用帶來(lái)困難。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，人們對(duì)寬帶隙半導(dǎo)體材料也進(jìn)行了大量研究，并利用寬帶隙半導(dǎo)體材料，例如ZnO和GaN等材料制備了紫外探測(cè)器件，由于ZnO和GaN等半導(dǎo)體材料具有激子束縛能高、生長(zhǎng)溫度低和抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，可以制備高性能的紫外探測(cè)器件。但是這類(lèi)器件不透明、不可彎曲，且制備過(guò)程需要加熱處理，工藝復(fù)雜，制備成本較高。而隨著大氣臭氧層破壞的加劇，輻照到地球表面的紫外光越來(lái)越強(qiáng)，人們開(kāi)始關(guān)注紫外輻射對(duì)人體健康的影響。及時(shí)準(zhǔn)確地檢測(cè)外界環(huán)境紫外光輻射強(qiáng)度，便可以采取有效的防護(hù)措施，降低病變的發(fā)生，因此便攜式紫外探測(cè)器成為人們研究的熱點(diǎn)。同時(shí)，隨著信息技術(shù)和電子技術(shù)的不斷發(fā)展，人們對(duì)低成本、柔性、低重量、便攜式的電子產(chǎn)品的需求越來(lái)越大。隨著生物交叉科學(xué)的發(fā)展，人們對(duì)各種透明或半透明器件也具有更多的需求。而現(xiàn)有技術(shù)中傳統(tǒng)的基于無(wú)機(jī)半導(dǎo)體材料的探測(cè)器件很難滿(mǎn)足這些要求，因此可以實(shí)現(xiàn)這些特性的基于有機(jī)半導(dǎo)體材料的電子器件得到了人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開(kāi)了一種紫外探測(cè)器的制造方法，該紫外探測(cè)器透明、柔性、重量小，可以提高紫外探測(cè)器的應(yīng)用范圍，滿(mǎn)足人們的需求。本發(fā)明的紫外探測(cè)器的制備方法包括如下步驟I)準(zhǔn)備柔性襯底；2)在柔性襯底表面沉積活性層；3)在活性層表面沉積透明叉指電極；其中， 活性層的材料為苯并五元不飽和雜環(huán)化合物，其具有如通式I所示結(jié)構(gòu)，
權(quán)利要求
1. 一種紫外探測(cè)器的制備方法，包括如下步驟 1)準(zhǔn)備柔性襯底； 2)在柔性襯底表面沉積活性層； 3)在活性層表面沉積透明叉指電極； 其中，活性層的材料為苯并五元不飽和雜環(huán)化合物，其具有如通式I所示結(jié)構(gòu)，
2.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述化合物為2-乙氧甲酰-苯并噻吩2-(2’ -甲基亞砜基)_乙酰苯并噻吩2-(2’_甲砜基)乙酰-苯并噻吩2-乙氧甲酰-5，6-亞甲基二氧-苯并噻吩2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰_5，6-亞甲基二氧-苯并噻吩2-(2’_甲砜基)乙酰-5，6-亞甲基二氧-苯并噻吩2-乙氧甲酰-苯并呋喃2-(2’ -甲基亞砜基)_乙酰苯并呋喃2-乙氧甲酰-4-氯-苯并噻吩2-(I’ -羥基-2’ -甲基亞砜基)_乙基-苯并噻吩2-乙氧甲酰-4-甲氧基-苯并呋喃2-乙氧甲酰-5-甲氧基-苯并呋喃2-乙氧甲酰-6-甲氧基-苯并呋喃2-乙氧甲酰-7-甲氧基-苯并呋喃2-乙氧甲酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩2-乙氧甲酰-7-氟-苯并呋喃2-乙氧甲酰-5，7- 二氯-苯并呋喃2-乙氧甲酰-5-甲氧甲酰-苯并噻吩2-乙酰-5-甲氧甲酰-苯并噻吩2-乙氧甲酰-6-甲氧甲酰-苯并噻吩2-乙酰-5-羧基-苯并噻吩2-乙酰-6-甲氧甲酰-苯并噻吩2-乙酰-6-羧基-苯并噻吩2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰-4-氯-苯并噻吩2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰-4-甲氧基-苯并呋喃2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰-5-甲氧基-苯并呋喃2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰-6-甲氧基-苯并呋喃2-(2’ -甲基亞砜基)乙酰-7-甲氧基-苯并呋喃2-乙氧甲酰-6-二乙氨基-苯并呋喃(E)-2-[3’ -(4"-甲氧基苯)丙烯酰]-6-乙氧甲酰-苯并噻吩(E)-2-[3’ -(4"-甲氧基苯)丙烯酰]-5-乙氧甲酰-苯并噻吩2-(I’ -羥基-2’ -甲基亞砜基)乙基_5，6-亞甲基二氧-苯并噻吩2-(I’ -羥基)乙基-5-甲氧甲酰-苯并噻吩2-(I’ -羥基)乙基-6-甲氧甲酰-苯并噻吩(E) -2-肉桂酰-6-乙氧甲酰-苯并噻吩 (E)-2-[3’ _(2”，3”，4”_三甲氧基苯)丙烯酰]-5-乙氧甲酰-苯并噻吩(E)-2-[3，_(2”，3”，4”_三甲氧基苯)丙烯酰]-6-乙氧甲酰-苯并噻吩(E)_2_肉桂酰-5-乙氧甲酰-苯并噻吩 (E)-2_[3’ _(2”_氯苯基)丙烯酰]-5-乙氧甲酰-苯并噻吩(E)-2_[3’ _(2”_氯苯基)丙烯酰]-5-甲氧甲酰-苯并噻吩 (E)-2-[3’ -(2”_氯苯基)丙烯酰]-6-乙氧甲酰-苯并噻吩 (E)-2-[3’ -(3”，4”- 二甲氧基苯)丙烯酰]-6-乙氧甲酰-苯并噻吩 (E)-2-[3’ -(3”，4”- 二甲氧基苯)丙烯酰]-5-乙氧甲酰-苯并噻吩 2-(2’_甲砜基)乙酰-5-甲氧基-苯并呋喃 2-(1’ -羥基-2’ -甲基亞砜)乙基-5-甲氧基-苯并呋喃 (E)-2-[3’ _(4”_甲氧基苯)丙烯酰]-5，6-二甲氧基-吲哚 (E)-1-甲基-2-[3’ _(4”_甲氧基苯)丙烯酰]-5，6-二甲氧基-吲哚 (E)-1-氯乙基-2-[3’ _(4”_甲氧基苯)丙烯酰]-5，6-二甲氧基-吲哚 (E)-1-乙酰基-2- [3’ - (4” -氟苯)丙烯酰]-5，6- 二甲氧基-吲哚 (E)-l-(2’ -羥乙基)-2-[3’ _(4”_氟苯)丙烯酰]-5-乙酰氧基-吲哚 (E)-l-(2’ -氨基乙基)-2-[3’ _(4”_氟苯)丙烯酰]-5-乙酰氧基-吲哚 (E)-l-(2’ -甲氧基乙基)-2-[3’ _(4”_氟苯)丙烯酰]-5-乙酰氧基-吲哚 2-乙氧甲酰-4-甲基-苯并噻吩 2-庚酰-5，6- 二甲基-苯并噻吩 2-戊氧甲酰_5，6- 二氨基苯并噻吩 2-酮酸-苯并噻吩 2-(1’，2’ - 二羰基)戊基苯并噻吩 2-( 丁基亞諷基)乙酸_5，6_ 二氛基-苯并喔吩 2_ (4’ -氯庚氧甲酰)-5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2-(4’ -氯己基亞砜基)乙酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2-(6’ -羥基己基)氧甲酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2-(6’ -羥基戊亞砜基)乙酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2_ (6’ -甲氧基己基)氧甲酰_5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2_ (6’ -甲氧基戊基亞砜基)乙酰-5，6-二甲氧基-苯并噻吩 2-乙氧甲酰-5，6-乙基亞甲基二氧-苯并噻吩 2-乙氧甲酰_5，6-(2’ -氯乙基)亞甲基二氧-苯并噻吩 2-乙氧甲酰-5，6-(Γ -羥乙基)亞甲基二氧-苯并噻吩 2-乙氧甲酰-5，6-(Γ -氨乙基)亞甲基二氧-苯并噻吩 2-乙氧甲酰-5，6-(Γ -甲氧基乙基)亞甲基二氧-苯并噻吩 2-乙酰苯并噻吩 (E)-2-(3’ _(4”_甲氧基苯)丙烯酰)_苯并噻吩或者 2-乙酰-苯并呋喃。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述柔性襯底是聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜、聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜、聚醚砜樹(shù)脂薄膜或有機(jī)玻璃薄膜。
4.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，在柔性襯底表面蒸發(fā)或升華沉積活性層，沉積時(shí)間為30 200分鐘。
5.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述活性層的厚度為50nm 200nmo
6.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，在活性層表面沉積透明叉指電極的具體步驟為將帶有叉指圖形的金屬掩膜固定在活性層上面，并將其放置到磁控濺射生長(zhǎng)室，利用磁控濺射技術(shù)在活性層上沉積透明叉指電極，濺射過(guò)程在低壓高純氬氣中進(jìn)行，氣壓維持在5Pa 20Pa，濺射功率在80W 200W，濺射時(shí)間為30min 200min。
7.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述透明叉指電極是摻雜錫的銦氧化物、摻雜氟的錫氧化物或摻雜鋁的鋅氧化物。
8.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述透明叉指電極的厚度為IOOnm 300nm,叉指間距為 10 y m 1000 u m。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種紫外探測(cè)器的制造方法，包括如下步驟1)準(zhǔn)備柔性襯底；2)在柔性襯底表面沉積活性層；3)在活性層表面沉積透明叉指電極；其中，活性層的材料為苯并五元不飽和雜環(huán)化合物，其具有如通式I所示結(jié)構(gòu)，。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了紫外探測(cè)器的透明化、柔性化，可以應(yīng)用在信息、電子、生物或其交叉領(lǐng)域。由于該器件具有柔軟的特性，可以隨著物體的外表面輪廓發(fā)生相應(yīng)的變化，而且其透明的特性不會(huì)影響紫外探測(cè)器對(duì)物體外觀的影響，應(yīng)用的范圍較廣。
文檔編號(hào)H01L51/48GK103050629SQ201210474130
公開(kāi)日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月20日
發(fā)明者張俊, 叢國(guó)芳 申請(qǐng)人:溧陽(yáng)市生產(chǎn)力促進(jìn)中心