專(zhuān)利名稱(chēng)：多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)及其制造方法、多晶硅電阻器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)及其制造方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體芯片電路設(shè)計(jì)中，會(huì)大量的使用多晶硅電阻。一般電路設(shè)計(jì)人員多采用傳統(tǒng)的N型或P型多晶電阻，但這些電阻在制造過(guò)程中都需要硅化物阻擋層(salicide block layer, SAB)作為一個(gè)額外的掩膜以用于保護(hù)娃片表面,在其保護(hù)下,娃片不與其它 Ti,Co之類(lèi)的金屬形成不期望的金屬硅化物，即需要增加一道光刻步驟。具體地說(shuō)，現(xiàn)有技術(shù)中的作為多晶硅電阻器的N型摻雜的多晶硅或者P型摻雜的多晶硅是通過(guò)在邏輯多晶硅 (本身是無(wú)摻雜的)上，進(jìn)行N型離子注入(通常是高濃度的硼(B)離子注入)或P型離子注入(通常是高濃度的磷(P)離子注入)而形成，它們都需要硅化物阻止層作為光罩。然而，硅化物阻止層的引入增大了工藝的復(fù)雜性，并且增大了制造成本。
在現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)方案中提出的存儲(chǔ)多晶硅電阻不需要硅化物阻擋層，降低了制造成本。但是，該多晶硅電阻是η型電阻，溫度系數(shù)較大；加之該多晶硅為摻雜濃度較高，因此電阻值較小，不利于降低電路面積。
中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)CN 102214560Α提出了一種利用存儲(chǔ)多晶硅MPOL形成多晶硅電阻器的方案，但是存儲(chǔ)多晶硅MPOL的最小寬度不能做得很小，由此限制了所制成的多晶硅電阻器的阻值大小，當(dāng)需要較大阻值的多晶硅電阻器時(shí)，需要很長(zhǎng)的存儲(chǔ)多晶硅條來(lái)實(shí)現(xiàn)大電阻，因此不利于節(jié)省芯片面積。
因此，希望能夠提出一種能夠在不使用硅化物阻擋層的情況下防止多晶硅電阻器表面形成金屬硅化物由此增大存儲(chǔ)多晶硅電阻率的簡(jiǎn)化多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方案。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠在不使用硅化物阻擋層的情況下防止多晶硅電阻器表面形成金屬硅化物由此增大多晶硅電阻率的簡(jiǎn)化的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法以及相應(yīng)的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其包括第一多晶硅層沉積步驟，用于在襯底上沉積第一多晶硅層；氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層上沉積氮化硅層，并對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層中形成第一凹陷部和第二凹陷部，并在第一凹陷部和第二凹陷部中填充隔離物，從而將氮化硅層分成三部分；第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層上沉積隔離物層以及第二多晶硅層，其中隔離物層以及第二多晶硅層至少覆蓋氮化硅層的中間部分，而不覆蓋氮化硅層的兩側(cè)部分；氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻和第二多晶硅側(cè)墻，在氮化硅層、隔離物層以及第二多晶硅層的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻和疊層側(cè)墻，并且在第一多晶硅層的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔和第二接觸孔。
優(yōu)選地，在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟。
優(yōu)選地，在第二多晶硅層沉積步驟中，隔離物層以及第二多晶硅層部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部和第二凹陷部。
本發(fā)明還提供一種通過(guò)根據(jù)第一方面所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶娃電阻器結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明還提供一種通過(guò)將多個(gè)上述多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)而得到的多晶娃電阻器。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其包括第一多晶硅層沉積步驟，用于在襯底上沉積第一多晶硅層；氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層上沉積氮化硅層，并對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層中形成第一凹陷部和第二凹陷部，并在第一凹陷部和第二凹陷部中填充隔離物，從而將氮化硅層分成三部分；第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層上沉積隔離物層以及第二多晶硅層，其中隔離物層以及第二多晶硅層至少覆蓋氮化硅層的中間部分，而不覆蓋氮化硅層的兩側(cè)部分；氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻和第二多晶硅側(cè)墻，在氮化硅層以及隔離物層的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻和疊層側(cè)墻，并且在第一多晶硅層的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔和第二接觸孔。
優(yōu)選地，在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟。
優(yōu)選地，在第二多晶硅層沉積步驟中，隔離物層以及第二多晶硅層部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部和第二凹陷部。
本發(fā)明還提供一種通過(guò)根據(jù)第二方面所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶娃電阻器結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明還提供一種通過(guò)將多個(gè)上述多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)而得到的多晶娃電阻器。
在根據(jù)本發(fā)明的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法中，氮化硅層用于保護(hù)下面形成電阻的形成多晶硅電阻器的主體的第一多晶硅層不在蝕刻的過(guò)程中被清除，中間形成電阻的部分第一多晶娃層上面的氮化娃層又被另外的第二多晶娃層保護(hù)，從而使下面的第一多晶娃層的中間部分最終不形成金屬硅化物。而第一多晶硅層兩端的兩側(cè)部分上方?jīng)]有保護(hù)層， 會(huì)在去除氮化硅層時(shí)清除，從而使下面的第一多晶硅層的兩側(cè)部分形成金屬硅化物。形成金屬硅化物的第一多晶硅層的兩側(cè)部分則用來(lái)形成接觸孔的位置。
由此，本發(fā)明提供了一種能夠在不使用硅化物阻擋層的情況下防止多晶硅電阻器表面形成金屬硅化物由此增大多晶硅電阻率的簡(jiǎn)化的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法。


結(jié)合附圖，并通過(guò)參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中
圖I示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例及第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的第一多晶硅層沉積步驟。
圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例及第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的氮化硅層沉積及刻蝕步驟。
圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例及第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的第二多晶硅層沉積步驟。
圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例及第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的氮化硅層刻蝕步驟。
圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟。
圖6示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的第二多晶硅層去除步驟。
圖7示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法的隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟。
需要說(shuō)明的是，附圖用于說(shuō)明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類(lèi)似的元件標(biāo)有相同或者類(lèi)似的標(biāo)號(hào)。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。
<第一實(shí)施例>
圖I至圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法。
具體地說(shuō)，如圖所示，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法包括
第一多晶硅層沉積步驟，用于在襯底I上沉積第一多晶硅層2 ;例如，襯底I為硅襯底，第一多晶硅層2形成了多晶硅電阻器的主體，如圖I所示；具體地說(shuō)，第一多晶硅層2 例如是自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極層，由此可以在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟；
氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層2上沉積氮化硅層3，并對(duì)氮化硅層3進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層3中形成第一凹陷部41和第二凹陷部42，并在第一凹陷部41 和第二凹陷部42中填充隔離物(例如氧化硅)，從而將氮化硅層3分成三部分，如圖2所示；
第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層3上沉積隔離物層5以及第二多晶硅層 6，其中隔離物層5以及第二多晶硅層6至少覆蓋氮化硅層3的中間部分，而不覆蓋氮化硅層3的兩側(cè)部分，并且優(yōu)選地，隔離物層5以及第二多晶硅層6部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部41和第二凹陷部42，如圖3所示；其中，例如，第二多晶硅層6作為保護(hù)多晶硅層，可以是自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)記憶體(存儲(chǔ)器)生產(chǎn)過(guò)程中用到的多晶硅層。該多晶硅層需要是在氮化硅層3蝕刻后形成的并且有其自己的光罩定義其圖形。
氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層3進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層3的兩側(cè)部分，如圖4所示；
隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層2兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻71和第二多晶硅側(cè)墻72，在氮化硅層3、隔離物層5以及第二多晶硅層6的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻81和疊層側(cè)墻82，并且在第一多晶硅層2的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層2的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔91和第二接觸孔92 (從而可作為多晶硅電阻器的兩個(gè)連接端)，如圖5所示。
在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法中，氮化硅層3用于保護(hù)下面形成電阻的形成多晶硅電阻器的主體的第一多晶硅層2不在蝕刻的過(guò)程中被清除，中間形成電阻的部分第一多晶硅層2 (即第一多晶硅層2的中間部分)上面的氮化硅層3又被另外的第二多晶硅層6保護(hù)，從而使下面的第一多晶硅層2的中間部分最終不形成金屬硅化物。而第一多晶硅層2兩端的小圖形(第一多晶硅層2的兩側(cè)部分)上方?jīng)]有保護(hù)層，會(huì)在去除氮化硅層3時(shí)清除，從而使下面的第一多晶硅層2的兩側(cè)部分形成金屬硅化物。形成金屬硅化物的第一多晶硅層2的兩側(cè)部分則用來(lái)形成接觸孔的位置。
由此，本發(fā)明第一實(shí)施例提供了一種能夠在不使用硅化物阻擋層的情況下防止多晶硅電阻器表面形成金屬硅化物由此增大多晶硅電阻率的簡(jiǎn)化的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法。
并且，根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施例，還提供了一種根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步地，如果需要形成較大的電阻，可以使用多個(gè)本電阻結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)。
〈第二實(shí)施例〉
圖I至圖4以及圖6和圖7示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法。
具體地說(shuō)，如圖所示，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法包括
第一多晶娃層沉積步驟,用于在襯底I上沉積第一多晶娃層2 ;例如,襯底I為娃襯底，第一多晶硅層2形成了多晶硅電阻器的主體，如圖I所示；具體地說(shuō)，第一多晶硅層2 例如是自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極層，由此可以在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟；
氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層2上沉積氮化硅層3，并對(duì)氮化硅層3進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層3中形成第一凹陷部41和第二凹陷部42，并在第一凹陷部41 和第二凹陷部42中填充隔離物(例如氧化硅)，從而將氮化硅層3分成三部分，如圖2所示；
第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層3上沉積隔離物層5以及第二多晶硅層 6，其中隔離物層5以及第二多晶硅層6至少覆蓋氮化硅層3的中間部分，而不覆蓋氮化硅層3的兩側(cè)部分，并且優(yōu)選地，隔離物層5以及第二多晶硅層6部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部41和第二凹陷部42，如圖3所示；其中，例如，第二多晶硅層6作為保護(hù)多晶硅層，可以是自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)記憶體(存儲(chǔ)器)生產(chǎn)過(guò)程中用到的多晶硅層。該多晶硅層需要是在氮化硅層3蝕刻后形成的并且有其自己的光罩定義其圖形。
氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層3進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層3的兩側(cè)部分，如圖4所示；
第二多晶硅層去除步驟，用于去除第二多晶硅層6，如圖6所示；
隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層2兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻71和第二多晶硅側(cè)墻72，在氮化硅層3以及隔離物層5的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻 81和疊層側(cè)墻82，并且在第一多晶硅層2的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層2的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔91和第二接觸孔92(從而可作為多晶硅電阻器的兩個(gè)連接端)，如圖7所示。
在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法中，氮化硅層3用于保護(hù)下面形成電阻的形成多晶硅電阻器的主體的第一多晶硅層2不在蝕刻的過(guò)程中被清除，中間形成電阻的部分第一多晶硅層2 (即第一多晶硅層2的中間部分)上面的氮化硅層3又被另外的第二多晶硅層6保護(hù)，從而使下面的第一多晶硅層2的中間部分最終不形成金屬硅化物。而第一多晶硅層2兩端的小圖形(第一多晶硅層2的兩側(cè)部分)上方?jīng)]有保護(hù)層，會(huì)在去除氮化硅層3時(shí)清除，從而使下面的第一多晶硅層2的兩側(cè)部分形成金屬硅化物。形成金屬硅化物的第一多晶硅層2的兩側(cè)部分則用來(lái)形成接觸孔的位置。
由此，本發(fā)明第二實(shí)施例提供了一種能夠在不使用硅化物阻擋層的情況下防止多晶硅電阻器表面形成金屬硅化物由此增大多晶硅電阻率的簡(jiǎn)化的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法。
并且，根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施例，還提供了一種根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步地，如果需要形成較大的電阻，可以使用多個(gè)本電阻結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)。
此外，需要說(shuō)明的是，除非特別說(shuō)明或者指出，否則說(shuō)明書(shū)中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個(gè)組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。
可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下， 都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于包括第一多晶硅層沉積步驟，用于在襯底上沉積第一多晶硅層；氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層上沉積氮化硅層，并對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層中形成第一凹陷部和第二凹陷部，并在第一凹陷部和第二凹陷部中填充隔離物，從而將氮化硅層分成三部分；第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層上沉積隔離物層以及第二多晶硅層，其中隔離物層以及第二多晶硅層至少覆蓋氮化硅層的中間部分，而不覆蓋氮化硅層的兩側(cè)部分； 氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻和第二多晶硅側(cè)墻，在氮化硅層、隔離物層以及第二多晶硅層的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻和疊層側(cè)墻，并且在第一多晶硅層的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔和第二接觸孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于，在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于，在第二多晶硅層沉積步驟中，隔離物層以及第二多晶硅層部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部和第二凹陷部。
4.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求I至3之一所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)。
5.一種通過(guò)將多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)而得到的多晶硅電阻器。
6.一種多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于包括第一多晶硅層沉積步驟，用于在襯底上沉積第一多晶硅層；氮化硅層沉積及刻蝕步驟，用于在第一多晶硅層上沉積氮化硅層，并對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層中形成第一凹陷部和第二凹陷部，并在第一凹陷部和第二凹陷部中填充隔離物，從而將氮化硅層分成三部分；第二多晶硅層沉積步驟；用于在氮化硅層上沉積隔離物層以及第二多晶硅層，其中隔離物層以及第二多晶硅層至少覆蓋氮化硅層的中間部分，而不覆蓋氮化硅層的兩側(cè)部分； 氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；氮化硅層刻蝕步驟，用于對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；隔離側(cè)墻及接觸孔形成步驟，用于在第一多晶硅層兩側(cè)分別形成第一多晶硅側(cè)墻和第二多晶硅側(cè)墻，在氮化硅層以及隔離物層的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻和疊層側(cè)墻，并且在第一多晶硅層的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔和第二接觸孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于，在形成自對(duì)準(zhǔn)非揮發(fā)存儲(chǔ)器的控制柵極的工藝步驟中執(zhí)行第一多晶硅層沉積步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法，其特征在于，在第二多晶硅層沉積步驟中，隔離物層以及第二多晶硅層部分覆蓋填充有隔離物的第一凹陷部和第二凹陷部。
9.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求6至8之一所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)制造方法制成的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)。
10.一種通過(guò)將多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求9所述的多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)進(jìn)行電連接串聯(lián)而得到的多晶硅電阻器。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種多晶硅電阻器結(jié)構(gòu)及其制造方法、多晶硅電阻器。在襯底上沉積第一多晶硅層；在第一多晶硅層上沉積氮化硅層，并對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕以在氮化硅層中形成第一凹陷部和第二凹陷部，從而將氮化硅層分成三部分；在氮化硅層上沉積隔離物層以及第二多晶硅層；對(duì)氮化硅層進(jìn)行刻蝕，從而去除氮化硅層的兩側(cè)部分；在第一多晶硅層兩側(cè)分別形成多晶硅側(cè)墻，在氮化硅層、隔離物層以及第二多晶硅層的疊層兩側(cè)分別形成疊層側(cè)墻和疊層側(cè)墻，并且在第一多晶硅層的兩側(cè)部分分別形成與第一多晶硅層的兩側(cè)部分的表面分別接觸的第一接觸孔和第二接觸孔。
文檔編號(hào)H01L21/02GK102938365SQ201210507179
公開(kāi)日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月30日
發(fā)明者江紅 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司