專利名稱：非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置。
背景技術(shù)：
非晶硅(a-Si)太陽電池是在玻璃(glass)襯底上沉積透明導(dǎo)電膜(TCO)，然后依次用等離子體反應(yīng)沉積P型、i型、n型三層a-Si，接著再蒸鍍金屬電極鋁(Al)形成，光從玻璃面入射，電池電流從透明導(dǎo)電膜和鋁引出；其還可以用不銹鋼片、塑料等作襯底；非晶硅太陽電池的厚度不到lum，不足晶體硅太陽電池厚度的1/100，這就大大降低了薄膜太陽能電池制造成本，又由于非晶硅太陽電池的制造溫度很低( 200°C )，易于實(shí)現(xiàn)大面積等優(yōu)點(diǎn)，使其在薄膜太陽電池中占據(jù)首要地位。在非晶硅太陽能電池板制備過程中每一次的蒸鍍(或?yàn)R鍍，或覆膜)都需要用激光發(fā)生器對其進(jìn)行激光刻線，其中，第一道激光劃線，也叫做P1，需要將導(dǎo)電薄膜層劃斷；第二道激光劃線即P2，需要劃斷硅層，而不能破壞導(dǎo)電薄膜層；第三道激光劃線即P3，需要將劃背電極及硅層，同樣不能破壞導(dǎo)電薄膜層。三道激光劃線需要平行度高，避免交叉；需要線寬線距小，以降低死區(qū)寬度；同時需要邊緣平滑無毛刺，避免未劃斷造成短路，光斑重疊率要小，以提高加工效率。但在激光刻線過程中，會有些部分劃線沒有完全刻斷，這些沒有刻斷的部分將影響非晶硅太陽能電池板的性能，因此，需要利用一種專門的對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，將激光刻線中沒有完全刻斷的 部分燒斷，以提高激光刻線的絕緣電阻；目前，對非晶硅太陽能電池板的導(dǎo)電薄膜的激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)的處理裝置，主要采用探針陣列的形式構(gòu)成燒蝕修復(fù)電極，即在電極上設(shè)置有與激光刻線的間距相對應(yīng)的探針陣列，每套探針陣列只能適用于一種間距的激光刻線，當(dāng)激光刻線間距有變化時，必須更換整套探針陣列，無法靈活應(yīng)用于不同間距的激光刻線中，另外，電極探針陣列的電路復(fù)雜，更換整套探針陣列的成本很高。因此，有必要提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可兼容不同激光刻線間距、且成本低的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置來克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單、可兼容不同激光刻線間距、且成本低。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其包括機(jī)架、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)、修復(fù)機(jī)構(gòu)及升降移動機(jī)構(gòu)，所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)架上，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方，且所述修復(fù)機(jī)構(gòu)與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面。較佳地，所述電極棒還包括本體及至少兩對間距不同的針套，所述本體的一端連接于所述連接塊上，間距不同的每對所述針套依次設(shè)置于所述本體的另一端，所述探針可拆卸地安裝于其中一對所述針套內(nèi)；設(shè)置不同間距的針套，對電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時，可根據(jù)不同的激光刻線間距而將探針安裝于相對應(yīng)的針套里，可兼容多種不同間距的激光刻線，增加使用的靈活性，且整個機(jī) 構(gòu)的強(qiáng)度較好，探針的針頭平面不易變形。較佳地，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)還包括安裝板，多個所述連接塊相互平行地設(shè)置于所述安裝板的一側(cè)面，多個所述連接塊上等間距排列的所述電極棒形成陣列，所述安裝板的另一側(cè)面與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接；多個連接塊的設(shè)置，使得對電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時，不需要對修復(fù)機(jī)構(gòu)進(jìn)行頻繁地升降及平移，可大大縮短修復(fù)工作以為的時間，提高工作效率。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方且與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面，這樣，在對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板進(jìn)行修復(fù)時，根據(jù)不同的刻線間距選擇使用不同間距的探針，因此可兼容不同間距的激光刻線，以滿足不同產(chǎn)能的要求，增加使用的靈活性，同時避免了更換整套探針陣列，從而降低該非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置的成本，且該裝置的結(jié)構(gòu)簡單。

圖I是本實(shí)用新型非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖I中修復(fù)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是圖3中連接塊及電極棒的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是圖4中A部分的方式示意圖。圖6是圖4中電極棒的俯視圖。圖7是圖4中電極棒的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。如圖I、圖2所示，本實(shí)用新型非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置1，其包括機(jī)架10、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20、修復(fù)機(jī)構(gòu)30及升降移動機(jī)構(gòu)40，所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20設(shè)置于所述機(jī)架10上，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20的上方,且修復(fù)機(jī)構(gòu)30與所述升降移動機(jī)構(gòu)40連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)40用于帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30升降或移動，從而使修復(fù)機(jī)構(gòu)30對非晶硅太陽能電池板上的激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)。結(jié)合圖I-圖5所示，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30包括安裝板31、至少一個連接塊32及若干電極棒33，所述安裝板31的一側(cè)連接于所述升降移動機(jī)構(gòu)40上，安裝板31的另一側(cè)面安裝有所述連接塊32，且所述連接塊32呈長條狀，在連接塊32上等間距地排列有多個電極棒33，所述電極棒33上設(shè)置有至少兩對不同間距的探針333 ;在本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30設(shè)置有八個連接塊32，八個連接塊32相互平行地連接于所述安裝板31的一側(cè)面，在每一個連接塊32上都等間距地設(shè)置有多個電極棒33，八個連接塊32上的電極棒33相對應(yīng)形成陣列；八個連接塊32上所設(shè)置的電極棒33可用于對非晶硅太陽能電池板2上的八條激光刻線同時進(jìn)行燒蝕修復(fù)；八個連接塊32的設(shè)置，使得對非晶硅太陽能電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時，不需要對修復(fù)機(jī)構(gòu)30進(jìn)行頻繁地升降及平移，可大大縮短修復(fù)工作以為的時間，提高工作效率。可以理解地，連接塊32的數(shù)量并不限于本實(shí)施例中的八個，還可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置為其他的數(shù)量，此為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的技術(shù)。結(jié)合圖5-圖7所示，所述電極棒33包括本體331、針套332及探針333，所述本體331大致呈長方體結(jié)構(gòu)，在本體331的一側(cè)面上，沿其長度方向設(shè)置有至少兩對針套332，且每對針套332之間的間距均不同，在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，在本體331上設(shè)置有四對針套332a、332b、332c、332d，四對針套332a、332b、332c、332d之間的間距沿本體331的長度方向依次增加，因此，設(shè)置于本體331上的四對針套332a、332b、332c、332d大致呈V形，所述探針333可拆卸地安裝于所述針套332a、332b、332c、332d中的一對內(nèi)；多個電極棒33的本體331依次等間距的連接于所述連接塊32上，且所述本體331的長度方向與連接塊32的軸向一致；將一個連接塊32上的所有電極棒33上都安裝上探針333后，所有電極棒33上相同間距的探針333形成兩相互平行的直線，當(dāng)八個連接塊32上的所有電極棒33上都安裝上探針333后，所有電極棒33上相同間距的探針333位于同一平面內(nèi)，保證加在激光刻線上的沒一點(diǎn)的電壓都基本一致；設(shè)置不同間距的針套332a、332b、332c、332d，對電池板進(jìn)行燒蝕修復(fù)時，可根據(jù)不同的激光刻線間距而將探針333安裝于相對應(yīng)的針套332a、332b、332c、332d內(nèi)的一對里，以兼容四種不同間距的激光刻線；當(dāng)然，電極棒33上并不只限于設(shè)置四對不同間距的針套332a、332b、332c、332d，還可以設(shè)置更多對以兼容更多不同間距的激光刻線，此為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的技術(shù)。結(jié)合圖I-圖7所示，對本實(shí)用新型非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置I的工作原理進(jìn)行說明。首先，根據(jù)非晶硅太陽能電池板2的激光刻線間距，將探針333安裝于與之相對應(yīng)的針套332a、332b、332c、332d中的一對內(nèi)；當(dāng)非晶硅太陽能電池板激光刻線完成后，從生產(chǎn)線上傳輸?shù)皆摲蔷Ч杼柲茈姵匕蹇叹€處理裝置I內(nèi)，經(jīng)過輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20的對位后，升降移動機(jī)構(gòu)40驅(qū)動修復(fù)機(jī)構(gòu)30移動，使修復(fù)機(jī)構(gòu)30的八個連接塊32分別對應(yīng)非晶硅太陽能電池板2上的八條激光刻線，接通電源后對上述八條激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)，修復(fù)完成后，升降移動機(jī)構(gòu)40驅(qū)動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30升高，再驅(qū)動修復(fù)機(jī)構(gòu)30平移，使修復(fù)機(jī)構(gòu)30的八個連接塊32分別對應(yīng)另外的八條激光刻線，再由升降移動機(jī)構(gòu)40驅(qū)動修復(fù)機(jī)構(gòu)30下降，以對另外的八條激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)，如此循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)整塊非晶硅太陽能電池板2上的所有激光刻線的燒蝕修復(fù)；當(dāng)非晶硅太陽能電池板2的激光刻線間距變化時，將探針333重新安裝于間距與之相對應(yīng)的另一對針套內(nèi)，即可對變換間距后的激光刻線進(jìn)行燒蝕修復(fù)，解決了電極棒33不能兼容不同刻線間距的缺陷。[0025]由于本實(shí)用新型的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置1，其包括機(jī)架10、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20、修復(fù)機(jī)構(gòu)30及升降移動機(jī)構(gòu)40，所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20設(shè)置于所述機(jī)架10上，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)30設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20的上方，且修復(fù)機(jī)構(gòu)30與所述升降移動機(jī)構(gòu)40連接，其中，修復(fù)機(jī)構(gòu)30包括呈長條狀的連接塊32，所述連接塊32的長度方向上等間距地排列有多個電極棒33，每一所述電極棒33上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針333，所述電極棒33上間距相同的所述探針333位于同一平面，這樣，在對激光刻線后的非晶硅太陽能電池板2進(jìn)行修復(fù)時，根據(jù)不同的刻線間距選擇使用不同間距的探針333，因此可兼容不同間距的激光刻線，以滿足不同產(chǎn)能的要求，增加使用的靈活性，同時避免了更換整套探針333陣列，從而降低該非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置I的成本，且該裝置的結(jié)構(gòu)簡單。本實(shí)用新型非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置I的機(jī)架10、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)20及升降移動機(jī)構(gòu)70的結(jié)構(gòu)及設(shè)置方式等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。··
權(quán)利要求1.一種非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其特征在于包括機(jī)架、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)、修復(fù)機(jī)構(gòu)及升降移動機(jī)構(gòu)，所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)架上，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方，且所述修復(fù)機(jī)構(gòu)與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接，所述升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊的長度方向上等間距地排列有多個電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面。
2.如權(quán)利要求I所述的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其特征在于所述電極棒還包括本體及至少兩對間距不同的針套，所述本體的一端連接于所述連接塊上，間距不同的每對所述針套依次設(shè)置于所述本體的另一端，所述探針可拆卸地安裝于其中一對所述針套內(nèi)。
3.如權(quán)利要求I所述的非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其特征在于所述修復(fù)機(jī)構(gòu)還包括安裝板，多個所述連接塊相互平行地設(shè)置于所述安裝板的一側(cè)面，多個所述連接塊上等間距排列的所述電極棒形成陣列，所述安裝板的另一側(cè)面與所述升降移動機(jī)構(gòu)連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置，其包括機(jī)架、輸入輸出對位機(jī)構(gòu)、修復(fù)機(jī)構(gòu)及升降移動機(jī)構(gòu)，輸入輸出對位機(jī)構(gòu)設(shè)置于機(jī)架上，修復(fù)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述輸入輸出對位機(jī)構(gòu)的上方并與升降移動機(jī)構(gòu)連接，升降移動機(jī)構(gòu)帶動所述修復(fù)機(jī)構(gòu)升降或移動，其中，所述修復(fù)機(jī)構(gòu)包括呈長條狀的連接塊，所述連接塊上等間距地排列有多個電極棒，每一所述電極棒上均設(shè)置有至少兩對不同間距的探針，所述電極棒上間距相同的所述探針位于同一平面，對激光刻線后的電池板進(jìn)行修復(fù)時，根據(jù)不同的刻線間距選擇使用不同間距的探針，以兼容不同間距的激光刻線，滿足不同產(chǎn)能要求，增加使用靈活性，同時降低非晶硅太陽能電池板刻線處理裝置的成本，且該裝置的結(jié)構(gòu)簡單。
文檔編號H01L31/20GK202423364SQ20122001627
公開日2012年9月5日 申請日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 覃海 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司