專利名稱：全自動(dòng)晶圓片刻蝕清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于LED芯片制作裝備領(lǐng)域，涉及一種LED晶圓片刻蝕及清洗的裝置，尤其是一種能實(shí)現(xiàn)多工位自動(dòng)刻蝕及清洗的設(shè)備。
技術(shù)背景目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上的晶圓清洗機(jī)，均為手動(dòng)操作的清洗機(jī)，即需要人工將工件按照工藝順序依次進(jìn)行多工位刻蝕及清洗；而這樣不僅存在生產(chǎn)安全隱患，更不利于工藝要求一致性的保證，進(jìn)而影響產(chǎn)品的品質(zhì)
實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有晶圓清洗機(jī)存在的以上問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種能實(shí)現(xiàn)多工位自動(dòng)刻蝕及清洗的設(shè)備。 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是采用可升降并可360度旋轉(zhuǎn)的防腐機(jī)械臂，機(jī)械臂上設(shè)有可裝卸工件的夾持頭；當(dāng)工件被安裝到夾持頭后，設(shè)備在PC控制下帶動(dòng)工件按照人機(jī)界面中輸入的工藝路線自動(dòng)運(yùn)行，依次完成后，報(bào)警提示。本實(shí)用新型的有益效果是整個(gè)工藝過(guò)程由機(jī)械臂自動(dòng)完成，避免了人工操作帶來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量及安全生產(chǎn)的隱患；并且通過(guò)人機(jī)界面，可自如改動(dòng)工藝線路及參數(shù)，可滿足更多工藝要求。

圖1為本實(shí)用新型全自動(dòng)晶圓刻蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1為本體框架；2為操作界面；3為控制系統(tǒng)；4為機(jī)械臂；5為QDR清洗槽；6為加熱工藝槽；7為超聲加熱工藝槽；圖2為本實(shí)用新型全自動(dòng)晶圓刻蝕清洗機(jī)的機(jī)械臂示意圖。其中1為花籃；2為轉(zhuǎn)臂；3為密封套；4為支架；5為套桿；6為導(dǎo)桿；7為撥叉；8為滾珠絲杠；9為伺服電機(jī)；10為銷軸；11為聯(lián)軸器；12為伺服電機(jī)
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述本實(shí)用新型的設(shè)備是國(guó)內(nèi)最先實(shí)現(xiàn)LED晶圓片多工位自動(dòng)刻蝕及清洗的設(shè)備，優(yōu)于國(guó)內(nèi)傳統(tǒng)的手工操作設(shè)備。在圖1中，本體框架I由耐腐蝕材質(zhì)制成；機(jī)械臂4可360度自由旋轉(zhuǎn)，可通過(guò)操作界面2隨意設(shè)置各工藝槽的流程排序，使機(jī)械臂轉(zhuǎn)臂帶動(dòng)花籃旋轉(zhuǎn)運(yùn)行；同時(shí)機(jī)械臂4可上下升降運(yùn)動(dòng)，可通過(guò)操作界面2隨意設(shè)置各工藝槽中的工藝數(shù)據(jù)，包括振幅振動(dòng)頻率等，使機(jī)械臂轉(zhuǎn)臂帶動(dòng)花籃上下運(yùn)行。加熱工藝槽6可自動(dòng)加熱，并有自動(dòng)液位檢測(cè)溫度檢測(cè)過(guò)載保護(hù)等功能，同時(shí)具有自動(dòng)供液排液功能；超聲加熱工藝槽7可自動(dòng)加熱并同時(shí)具有超聲清洗功能，并有自動(dòng)液位檢測(cè)溫度檢測(cè)過(guò)載保護(hù)等功能以及自動(dòng)供液排液功能；QDR清洗槽5具有噴淋鼓泡自動(dòng)檢測(cè)水阻值等功能。在圖2中，伺服電機(jī)9通過(guò)滾珠絲杠8及撥叉7帶動(dòng)套桿5轉(zhuǎn)臂2及花籃I上下運(yùn)動(dòng)；伺服電機(jī)12通過(guò)聯(lián)軸器11及導(dǎo)桿6帶動(dòng)套桿5轉(zhuǎn)臂2及花籃I做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。伸縮密封套3可被做升降及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實(shí)施方式
僅限于此，對(duì)于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單的推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明山所提交的權(quán)利要求書確定專利保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種晶圓片刻蝕清洗機(jī)其特征是采用可升降并可360度旋轉(zhuǎn)的防腐機(jī)械臂，機(jī)械臂上設(shè)有可裝卸工件的夾持頭；機(jī)械臂在PC控制下帶動(dòng)工件按照人機(jī)界面中輸入的工藝路線自動(dòng)運(yùn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片刻蝕清洗機(jī)，其特征是伺服電機(jī)(9)通過(guò)滾珠絲杠(8)及撥叉(7)帶動(dòng)套桿(5)轉(zhuǎn)臂(2)及花籃(I)上下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片刻蝕清洗機(jī)，其特征是伺服電機(jī)(12)通過(guò)聯(lián)軸器(11)及導(dǎo)桿(6 )帶動(dòng)套桿(5 )轉(zhuǎn)臂(2 )及花籃(I)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片刻蝕清洗機(jī)，其特征是伸縮密封套(3)可被做升降及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片刻蝕清洗機(jī)，其特征是加熱工藝槽(6)可自動(dòng)加熱，并有自動(dòng)液位檢測(cè)溫度檢測(cè)過(guò)載保護(hù)等功能，同時(shí)具有自動(dòng)供液排液功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片刻蝕清洗機(jī)，其特征是超聲加熱工藝槽(7)可自動(dòng)加熱并同時(shí)具有超聲清洗功能，并有自動(dòng)液位檢測(cè)溫度檢測(cè)過(guò)載保護(hù)等功能以及自動(dòng)供液排液功能。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種全自動(dòng)晶圓片刻蝕清洗機(jī)。它采用可升降并可360度旋轉(zhuǎn)的防腐機(jī)械臂，機(jī)械臂上設(shè)有可裝卸工件的夾持頭；當(dāng)工件被安裝到夾持頭后，設(shè)備在PC控制下帶動(dòng)工件按照人機(jī)界面中輸入的工藝路線自動(dòng)運(yùn)行。本實(shí)用新型的有益效果是整個(gè)工藝過(guò)程由機(jī)械臂自動(dòng)完成，避免了人工操作帶來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量及安全生產(chǎn)的隱患；并且通過(guò)人機(jī)界面，可自如改動(dòng)工藝線路及參數(shù)，可滿足更多工藝要求。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202855718SQ20122004083
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者王曉雁, 王斌, 尚保衛(wèi), 馬白云, 馬志勇, 何思英 申請(qǐng)人:西安博納自動(dòng)化工程有限公司