專利名稱：一種自動緩沖補(bǔ)液裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種補(bǔ)液裝置，尤其涉及制絨工藝的一種自動緩沖補(bǔ)液裝置。
背景技術(shù)：
目前在晶硅太陽能電池的制絨生產(chǎn)的過程中，要求控制絨面的大小及其深度，這就需要補(bǔ)液量的精確性。通過單一的精密流量傳感器控制的加注方式，不能有效的確認(rèn)實(shí)際的加注量與理論的加注量的差異，在實(shí)際大規(guī)模生產(chǎn)的情況下，藥液濃度會產(chǎn)生差異，會使硅片的減重量降低或升高，導(dǎo)致硅片的陷光效應(yīng)不理想。因此，需要一種能夠精確確定補(bǔ)液量的裝置，更好的控制溶液濃度，使大規(guī)模生產(chǎn) 的多晶硅絨面效果更好。

實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的本實(shí)用新型的目的在于針對目前無法精確定量補(bǔ)液量等問題，提供一種能夠精確定量補(bǔ)液的自動緩沖補(bǔ)液裝置。技術(shù)方案本實(shí)用新型所述的自動緩沖補(bǔ)液裝置，包括工藝槽和給所述工藝槽配液的主干道，還包括緩沖罐、液位測試管和精密流量傳感器。所述緩沖罐的進(jìn)口端通過管道與所述主干道連接，出口端通過管道與所述工藝槽連接；所述液位測試管設(shè)置在所述緩沖罐的一側(cè)，與所述緩沖罐連通構(gòu)成U型連通器；所述液位測試管中設(shè)置有液位傳感器；所述精密流量傳感器設(shè)置在所述緩沖罐出口端與所述工藝槽連接的管道上。通過液位測試管中的液位傳感器和精密流量傳感器返回的數(shù)值，可以精確加注補(bǔ)液量。為了精確控制緩沖罐的液位，所述液位傳感器為三個，高液位傳感器、中液位傳感器和低液位傳感器，分別設(shè)置在所述液位測試管的上部、中部和底部。使用時，中高液位傳感器高度差調(diào)整為20mm，保證緩沖罐的液面在一定范圍內(nèi)，所述緩沖罐的進(jìn)口端與所述主干道連接的管道上設(shè)置有第一自動閥，第一自動閥的開啟由液位傳感器控制，當(dāng)液位低至中液位傳感器時，第一自動閥打開，供液至高液位傳感器處，第一自動閥關(guān)閉。所述緩沖罐的出口端與所述工藝槽連接的管道上設(shè)置有第二自動閥。 給所述工藝槽配液的主干道設(shè)置有第三自動閥。有益效果1、本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥液的精確自動加注，減少溶液濃度的誤差；采用液位測試管結(jié)合精密流量傳感器的雙重輸出，使工藝人員能直觀的監(jiān)控添加藥液的量，保證工藝的穩(wěn)定性；2、本實(shí)用新型管路全部采用耐腐蝕的高純度的PFA材料，適用于所有化學(xué)藥液的加注。利用自動緩沖裝置及精密流量傳感器的控制，藥液的補(bǔ)液濃度誤差(±1%，滿足工藝要求；3、本實(shí)用新型結(jié)合了液位測試管和精密流量傳感器雙重定量的結(jié)構(gòu)，精確的定量加注補(bǔ)液量，結(jié)構(gòu)簡單且操作維護(hù)容易。
圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面對本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。實(shí)施例本實(shí)用新型自動緩沖補(bǔ)液裝置，包括工藝槽I和給所述工藝槽I配液的主干道2，還包括緩沖罐3、液位測試管4和精密流量傳感器5。所述緩沖罐3的進(jìn)口端通過管道與所述主干道2連接，出口端通過管道與所述工藝槽I連接；所述液位測試管4設(shè)置在所述緩沖罐3的一側(cè)，與所述緩沖罐3連通構(gòu)成U型連通器；所述液位測試管4中設(shè)置有液位傳感器6 ;所述精密流量傳感器5設(shè)置在所述緩沖罐3出口端與所述工藝槽I連接的管道上。 所述液位傳感器6為三個，高液位傳感器6-1、中液位傳感器6-2和低液位傳感器
6-3，分別設(shè)置在所述液位測試管的上部、中部和底部。所述緩沖罐3的進(jìn)口端與所述主干道2連接的管道上設(shè)置有第一自動閥7 ;所述緩沖罐3的出口端與所述工藝槽I連接的管道上設(shè)置有第二自動閥8 ;給所述工藝槽I配液的主干道2設(shè)置有第三自動閥9。工藝槽I中的配液量主要由第三自動閥9控制。再給工藝槽I定量加補(bǔ)溶液時，控制相應(yīng)的第二自動閥8即可。緩沖罐3的進(jìn)口端與所述主干道2連接的管道上的第一自動閥7的開關(guān)由高液位傳感器6-1和中液位傳感器6-2控制，當(dāng)液位低至中液位傳感器6-2時，第一自動閥7自動打開，供液至高液位傳感器6-1處時，第一自動閥7關(guān)閉。所述的自動閥、緩沖罐以及管道均由PFA或PP材料制成。如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型，但其不得解釋為對本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
權(quán)利要求1.一種自動緩沖補(bǔ)液裝置，包括工藝槽(I)和給所述工藝槽(I)配液的主干道(2)，其特征在于，還包括緩沖罐(3)、液位測試管(4)和精密流量傳感器(5)； 所述緩沖罐(3)的進(jìn)口端通過管道與所述主干道(2)連接，出口端通過管道與所述工藝槽⑴連接； 所述液位測試管(4)設(shè)置在所述緩沖罐(3)的一側(cè)，與所述緩沖罐(3)連通構(gòu)成U型連通器；所述液位測試管(4)中設(shè)置有液位傳感器(6)； 所述精密流量傳感器(5)設(shè)置在所述緩沖罐(3)出口端與所述工藝槽(I)連接的管道上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動緩沖補(bǔ)液裝置，其特征在于所述液位傳感器(6)為三個，高液位傳感器出-1)、中液位傳感器(6-2)和低液位傳感器￠-3)，分別設(shè)置在所述液位測試管的上部、中部和底部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動緩沖補(bǔ)液裝置，其特征在于所述緩沖罐(3)的進(jìn)口端與所述主干道(2)連接的管道上設(shè)置有第一自動閥(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動緩沖補(bǔ)液裝置，其特征在于所述緩沖罐(3)的出口端與所述工藝槽(I)連接的管道上設(shè)置有第二自動閥(8)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動緩沖補(bǔ)液裝置，其特征在于給所述工藝槽(I)配液的主干道⑵設(shè)置有第三自動閥(9)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動緩沖補(bǔ)液裝置，包括工藝槽和給所述工藝槽配液的主干道，還包括緩沖、液位測試管和精密流量傳感器；所述緩沖罐的進(jìn)口端通過管道與所述主干道連接，出口端通過管道與所述工藝槽連接；所述液位測試管設(shè)置在所述緩沖罐的一側(cè)，與所述緩沖罐連通構(gòu)成U型連通器；所述液位測試管中設(shè)置有液位傳感器；所述精密流量傳感器設(shè)置在所述緩沖罐出口端與所述工藝槽連接的管道上。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥液的精確自動加注，減少溶液濃度的誤差；采用液位測試管結(jié)合精密流量傳感器的雙重輸出，使工藝人員能直觀的監(jiān)控添加藥液的量，保證工藝的穩(wěn)定性。
文檔編號H01L21/306GK202473854SQ20122005418
公開日2012年10月3日 申請日期2012年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月20日
發(fā)明者勾憲芳, 吳回君, 許禮, 高榮剛, 魏文文 申請人:中節(jié)能太陽能科技(鎮(zhèn)江)有限公司