專利名稱：一種雙面鍍膜鈍化電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電池，具體是涉及一種雙面鍍膜鈍化電池。
背景技術(shù)：
太陽能電池主要供家庭和工業(yè)上作為電源帶動(dòng)負(fù)載或給蓄電池充電。由于硅片表面比較光滑，具有較高的放射率，為了提高光的利用率，現(xiàn)有市場中的太陽能電池一般在硅片的表面做出一種陷光結(jié)構(gòu)——制絨，利用單晶硅的各向異性腐蝕在硅片的表面生成金字塔的結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)雖然可以減小硅片在光下的反射率，現(xiàn)有理想的陷光結(jié)構(gòu)可以使電池的反射率在13%左右，但反射率仍然較高，從而導(dǎo)致光能的利用率較低
實(shí)用新型內(nèi)容
(一 )要解決的技術(shù)問題針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供一種成本低廉、反射率強(qiáng)的的雙面鍍膜鈍化電池。( 二 )技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種雙面鍍膜鈍化電池，包括本體(1)，硅片
(3)，正面電極(4)和背電極(5);所述的本體(I)上兩面均鍍有一層厚度為60mm氮化硅膜⑵。進(jìn)一步、所述本體(I)正面上設(shè)置有兩塊正面電極，所述本體(I)的背面設(shè)置有兩塊背電極。(三)有益效果本實(shí)用新型的一種雙面鍍膜鈍化電池可進(jìn)一步降低硅片的反射率，理想的氮化硅減反射I吳可以使反射率僅僅有4%左右,使光能的轉(zhuǎn)化效率進(jìn)一步提聞；可純化娃片中的懸掛鍵、位錯(cuò)、晶界、點(diǎn)缺陷(空位、填隙原子、金屬雜質(zhì)、氧、氮及他們的復(fù)合物)等缺陷，減少少子的復(fù)合；提高載流子遷移率20%左右，延長少子(少數(shù)載流子)的壽命，提高了電池的短路電流和開路電壓，從而達(dá)到提聞晶體娃太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。

圖I為本實(shí)用新型的一種雙面鍍膜鈍化電池的橫截面示意圖；圖2為本實(shí)用新型的一種雙面鍍膜鈍化電池的主視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。請參見附圖說明其實(shí)施過程如圖I和圖2所示，一種雙面鍍膜鈍化電池，包括本體1，硅片3，正面電極4和背電極5，所述的本體I上兩面均鍍有一層氮化硅膜2，氮化硅膜2的作用是減少反射率，使光能的轉(zhuǎn)化效率進(jìn)一步提高；所述的氮化硅膜2厚度約為75_，這樣設(shè)計(jì)的好處是可使折射率控制在大約2. 0-2. I以內(nèi)。PECVD鍍膜的原理——在真空壓力下，利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。PECVD方法鍍膜的特點(diǎn)在于等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需的激活能。加在電極板上的射頻電場，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和和電離的過程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走。雙面膜的工藝實(shí)現(xiàn)，將短線清洗去處磷硅玻璃后的電池片放在石墨裝載框上，放入設(shè)備開始工藝(此時(shí)的工藝參數(shù)包括氣體的配比流量、反應(yīng)速度以及反應(yīng)功率值等特殊設(shè)置)。將鍍膜后的電池片翻轉(zhuǎn)后重新放在石墨裝載框開始工藝。(此時(shí)的工藝參數(shù)包括氣體的配比流量、反應(yīng)速度以及反應(yīng)功率值等特殊設(shè)置)。且在整個(gè)工藝的過程中鍍一面膜時(shí)避免另一面受到干擾。對雙面鍍理想的SiNx:H膜后的電池片進(jìn)行印刷電極，高溫?zé)Y(jié)后測試，發(fā)現(xiàn)雙面鍍膜的電池短路電流有 較大的提聞。本實(shí)用新型的動(dòng)力轉(zhuǎn)向器高壓油管具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的有益效果可進(jìn)一步降低硅片的反射率，理想的氮化硅減反射膜可以使反射率僅僅有4%左右，使光能的轉(zhuǎn)化效率進(jìn)一步提聞；可純化娃片中的懸掛鍵、位錯(cuò)、晶界、點(diǎn)缺陷(空位、填隙原子、金屬雜質(zhì)、氧、氮及他們的復(fù)合物)等缺陷，減少少子的復(fù)合；提聞載流子遷移率20%左右,延長少子(少數(shù)載流子)的壽命，提聞了電池的短路電流和開路電壓，從而達(dá)到提高晶體硅太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種雙面鍍膜鈍化電池，其特征在于包括本體(1)，硅片(3)，正面電極(4)和背電極(5);所述的本體(I)上兩面均鍍有一層厚度為60mm氮化硅膜(2)。
2.如權(quán)利要求I所述的雙面鍍膜鈍化電池，其特征在于所述本體(I)正面上設(shè)置有兩塊正面電極，所述本體(I)的背面設(shè)置有兩塊背電極。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種雙面鍍膜鈍化電池，包括本體(1)，硅片(3)，正面電極(4)和背電極(5)；所述的本體(1)上兩面均鍍有一層厚度為60mm氮化硅膜(2)。本實(shí)用新型的一種雙面鍍膜鈍化電池可進(jìn)一步降低硅片的反射率，理想的氮化硅減反射膜可以使反射率僅僅有4％左右，使光能的轉(zhuǎn)化效率進(jìn)一步提高；可鈍化硅片中的懸掛鍵、位錯(cuò)、晶界，減少少子的復(fù)合；提高載流子遷移率20％左右，延長少子的壽命，提高了電池的短路電流和開路電壓，從而達(dá)到提高晶體硅太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。
文檔編號H01L31/0216GK202601625SQ20122008589
公開日2012年12月12日 申請日期2012年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月7日
發(fā)明者沈華苗 申請人:寧波晶晟新能源科技有限公司