專(zhuān)利名稱(chēng)：一種基板處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及基板處理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及ー種基板處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有基板處理系統(tǒng)在進(jìn)行基板處理的過(guò)程中，基板都是由基板傳送設(shè)備傳送的，通常，整個(gè)基板處理過(guò)程中會(huì)有ー個(gè)或多個(gè)基板傳送設(shè)備完成基板的傳送操作，所有基板傳送設(shè)備都是完全相同的，每個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置都是相同的，這就容易使得基板的同一位置與基板傳送設(shè)備接觸頻繁，易出現(xiàn)基板劃傷。而且當(dāng)出現(xiàn)基板劃傷時(shí)，由于每個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置都相同，又使得不容易查明是哪個(gè)基板傳送設(shè)備劃傷基板的，難以查明基板劃傷的原因，無(wú)法有效避免 再次劃傷基板。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供了ー種基板處理系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有基板處理系統(tǒng)在整個(gè)基板處理過(guò)程中容易出現(xiàn)基板劃傷，并且難以查明基板劃傷原因的問(wèn)題。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了ー種基板處理系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備；所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置為第一位置，其余任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在所述基板上的接觸位置為第二位置，所述第一位置與所述第二位置不相同。其中，優(yōu)選地，所述的基板處理系統(tǒng)，還可包括用于對(duì)所述基板進(jìn)行操作的處理設(shè)備，與所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中的至少ー個(gè)基板傳送設(shè)備連接。其中，優(yōu)選地，所述處理設(shè)備可具體為用于對(duì)所述基板進(jìn)行エ藝處理的エ藝設(shè)備；或者用于對(duì)所述基板進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)設(shè)備。其中，優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備為至少兩個(gè)基板傳送帯。其中，優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)基板傳送帶中的任ー個(gè)基板傳送帶具有第一傳送橫桿和套設(shè)于所述第一傳送橫桿上的多個(gè)第一傳送輪，其余任ー個(gè)基板傳送帶具有第二傳送橫桿和套設(shè)于所述第二傳送橫桿上的多個(gè)第二傳送輪，所述第一傳送橫桿與所述第二傳送橫桿的長(zhǎng)度相同；所述多個(gè)第一傳送輪中的任ー個(gè)第一傳送輪到所述第一傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第一距離，所述多個(gè)第二傳送輪中的任ー個(gè)第二傳送輪到所述第二傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第二距離，所述第一距離與所述第二距離不相同。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述基板處理系統(tǒng)處理基板的過(guò)程中，基板與每個(gè)基板傳送設(shè)備的接觸位置互不相同，不會(huì)像現(xiàn)有技術(shù)那樣出現(xiàn)在整個(gè)基板處理過(guò)程中始終是基板上的同一位置與每個(gè)基板傳送設(shè)備接觸的現(xiàn)象，不易劃傷基板；進(jìn)ー步地，當(dāng)基板出現(xiàn)劃傷吋，能依據(jù)基板的劃傷位置和各基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置查找出劃傷基板的是哪個(gè)基板傳送設(shè)備，查明劃傷原因斗匕如基板的劃傷位置正好是ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置，則說(shuō)明是該基板傳送設(shè)備劃傷了基板，通過(guò)對(duì)該基板傳送設(shè)備檢測(cè)可獲知?jiǎng)潅?，消除產(chǎn)生劃傷的原因便可有效避免基板的再次劃傷；更進(jìn)一歩地，每個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置互不相同，相當(dāng)于增大了整個(gè)基板處理過(guò)程中基板與基板傳送設(shè)備的總接觸面積，從而降低了基板彎曲的發(fā)生概率，降低了基板的不良率。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例中ー種基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中另一種基板處通系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中再ー種基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了ー種基板處理系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備；上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置為第一位置，其余任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置為第二位置；第一位置與第二位置不相同。也就是說(shuō)，上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中每個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置都互不相同。以三個(gè)基板傳送設(shè)備為例，如圖I所示，一基板處理系統(tǒng)包括三個(gè)基板傳送設(shè)備基板傳送設(shè)備I、基板傳送設(shè)備2和基板傳送設(shè)備3 ；其中，基板傳送設(shè)備I的基板支撐部件10(表示為無(wú)填充色的圓圈)在基板4上的接觸位置為基板支撐部件10在基板4上的投影位置(即無(wú)填充色的圓圈所占位置)；基板傳送設(shè)備2的基板支撐部件20 (表示為填充有黒色的圓圈)在基板4上的接觸位置為基板支撐部件20在基板4上的投影位置(即填充有黒色的圓圈所占位置)；基板傳送設(shè)備3的基板支撐部件30 (表示為填充有斜線的圓圈)在基板4上的接觸位置為基板支撐部件30在基板4上的投影位置(即填充有斜線的圓圈所占位置)；上述三個(gè)接觸位置互不相同。上述接觸位置除圖I所示可橫向均勻排布外，也可以是不規(guī)則排布，如排布形狀圍成三角形、四邊形、多邊形等不規(guī)則圖形，只要保證不同的基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置互不相同即可。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述基板處理系統(tǒng)處理基板的過(guò)程中，基板與每個(gè)基板傳送設(shè)備的接觸位置互不相同，不會(huì)像現(xiàn)有技術(shù)那樣出現(xiàn)在整個(gè)基板處理過(guò)程中始終是基板上的同一位置與每個(gè)基板傳送設(shè)備接觸的現(xiàn)象，不易劃傷基板；[0029]進(jìn)ー步地，當(dāng)基板出現(xiàn)劃傷吋，能依據(jù)基板的劃傷位置和各基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置查找出劃傷基板的是哪個(gè)基板傳送設(shè)備，查明劃傷原因斗匕如基板的劃傷位置是正好是ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置，則說(shuō)明是該基板傳送設(shè)備劃傷了基板，通過(guò)對(duì)該基板傳送設(shè)備檢測(cè)可獲知?jiǎng)潅颍a(chǎn)生劃傷的原因便可有效避免基板的再次劃傷；更進(jìn)一歩地，每個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置互不相同，相當(dāng)于增大了整個(gè)基板處理過(guò)程中基板與基板傳送設(shè)備的總接觸面積，從而降低了基板彎曲的發(fā)生概率，降低了基板的不良率。其中，優(yōu)選地，上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備可具體實(shí)施為至少兩個(gè)基板傳送帶?；鍌魉蛶ǔ＞哂卸鄠€(gè)相互平行的傳送橫桿，每個(gè)傳送橫桿上套設(shè)有多個(gè)傳送輪，基板放置在傳送輪上，在驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下傳送輪可以繞傳送橫桿軸向轉(zhuǎn)動(dòng)，傳送輪在軸向轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中將基板傳送出去。此時(shí)，優(yōu)選地，上述至少兩個(gè)基板傳送帶中任ー個(gè)基板傳送帶具有第一傳送橫桿和套設(shè)于第一傳送橫桿上的多個(gè)第一傳送輪，其余任ー個(gè)基板傳送帶具有第二傳送橫桿和套設(shè)于第二傳送橫桿上的多個(gè)第二傳送輪，第一傳送橫桿與第二傳送橫桿的長(zhǎng)度相同；多個(gè)第一傳送輪中的任ー個(gè)第一傳送輪到第一傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第一距離，多個(gè)第二傳送輪中的任ー個(gè)第二傳送輪到第二傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第二距離，第一距離與第二距離不相同。以三個(gè)基板傳送帶為例，如圖2所示，一基板處理系統(tǒng)包括三個(gè)基板傳送帶基板傳送帶5、基板傳送帶6和基板傳送帶7 ;基板傳送帶5具有傳送橫桿51，傳送橫桿51上套設(shè)有多個(gè)傳送輪52，基板傳送帶6具有傳送橫桿61，傳送橫桿61上套設(shè)有多個(gè)傳送輪62，基板傳送帶7具有傳送橫桿71，傳送橫桿71上套設(shè)有多個(gè)傳送輪72 ;傳送橫桿51、傳送橫桿61、傳送橫桿71的長(zhǎng)度相同；傳送橫桿51上的任一個(gè)傳送輪52到傳送橫桿51的中心點(diǎn)的距離為dl ;傳送橫桿61上的任一個(gè)傳送輪62到傳送橫桿61的中心點(diǎn)的距離為d2 ;傳送橫桿71上的任一個(gè)傳送輪72到傳送橫桿71的中心點(diǎn)的距離為d3 ;其中，dl、d2、d3互不相同。通常，在基板傳送過(guò)程中，基板位于傳送橫桿的中間位置，因此，dl、d2、d3互不相同，就可保證每個(gè)基板傳送帶的傳送輪在基板上的接觸位置都互不相同。這樣，不僅不易出現(xiàn)基板劃傷，而且當(dāng)出現(xiàn)基板劃傷時(shí)，能依據(jù)基板的劃傷位置和各基板傳送帶的傳送輪在基板上的接觸位置查找出劃傷基板的是哪個(gè)基板傳送帶，查明劃傷原因，消除產(chǎn)生劃傷的原因便可有效避免基板的再次劃傷；進(jìn)ー步地，還可降低基板彎曲的發(fā)生概率，降低了基板的不良率。實(shí)際實(shí)施過(guò)程中，基板傳送設(shè)備還可以實(shí)施為其它用于傳送基板的設(shè)備，并不限于上述基板傳送帯。另外，優(yōu)選地，如圖3所示，上述基板處理系統(tǒng)還可以包括用于對(duì)基板進(jìn)行操作的處理設(shè)備，與上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中的至少ー個(gè)基板傳送設(shè)備連接。處理設(shè)備的數(shù)量可以是ー個(gè)或者多個(gè)；每個(gè)處理設(shè)備可以根據(jù)需要與ー個(gè)或兩個(gè)基板傳送設(shè)備連接。[0041]其中，上述處理設(shè)備可具體實(shí)施為用于對(duì)基板進(jìn)行エ藝處理的エ藝設(shè)備，如彩色濾光片生產(chǎn)設(shè)備等；或者用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)設(shè)備，如檢測(cè)基板是否有劃傷的檢測(cè)設(shè)備等。需要說(shuō)明的是，實(shí)際實(shí)施過(guò)程中，上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中的任意兩個(gè)基板傳送設(shè)備可以直接連接，使基板可以由ー個(gè)基板傳送設(shè)備直接傳送到另ー個(gè)基板傳送設(shè)備，這樣可以避免基板在一段傳送過(guò)程中始終保持ー個(gè)接觸位置，可進(jìn)ー步避免出現(xiàn)劃傷；或者，上述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中的任意兩個(gè)基板傳送設(shè)備可以間接連接，即該任意兩個(gè)基板傳送設(shè)備之間設(shè)置ー處理設(shè)備，這樣，基板通過(guò)ー個(gè)基板傳送設(shè)備被傳送到該處理設(shè)備，基板經(jīng)過(guò)該處理設(shè)備的處理后再通過(guò)另ー個(gè)基板傳送設(shè)備被傳送出去。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，包括 至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備； 所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置為第一位置，其余任ー個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在所述基板上的接觸位置為第二位置，所述第一位置與所述第二位置不相同。
2.如權(quán)利要求I所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括 用于對(duì)所述基板進(jìn)行操作的處理設(shè)備，與所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中的至少ー個(gè)基板傳送設(shè)備連接。
3.如權(quán)利要求2所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理設(shè)備具體為 用于對(duì)所述基板進(jìn)行エ藝處理的エ藝設(shè)備；或者 用于對(duì)所述基板進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)設(shè)備。
4.如權(quán)利要求1-3中任一所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在干， 所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備為至少兩個(gè)基板傳送帯。
5.如權(quán)利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在干， 所述至少兩個(gè)基板傳送帶中的任ー個(gè)基板傳送帶具有第一傳送橫桿和套設(shè)于所述第ー傳送橫桿上的多個(gè)第一傳送輪，其余任ー個(gè)基板傳送帶具有第二傳送橫桿和套設(shè)于所述第二傳送橫桿上的多個(gè)第二傳送輪，所述第一傳送橫桿與所述第二傳送橫桿的長(zhǎng)度相同； 所述多個(gè)第一傳送輪中的任ー個(gè)第一傳送輪到所述第一傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第一距離，所述多個(gè)第二傳送輪中的任ー個(gè)第二傳送輪到所述第二傳送橫桿的中心點(diǎn)的距離為第二距離，所述第一距離與所述第二距離不相同。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種基板處理系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有基板處理系統(tǒng)在整個(gè)基板處理過(guò)程中容易出現(xiàn)基板劃傷，并且難以查明基板劃傷原因的問(wèn)題。該基板處理系統(tǒng)包括至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備；所述至少兩個(gè)基板傳送設(shè)備中任一個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在基板上的接觸位置為第一位置，其余任一個(gè)基板傳送設(shè)備的基板支撐部件在所述基板上的接觸位置為第二位置，所述第一位置與所述第二位置不相同。該基板處理系統(tǒng)不易出現(xiàn)基板劃傷，容易查明劃傷原因，可降低基板彎曲的發(fā)生概率，降低了基板的不良率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202473882SQ20122011530
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月23日
發(fā)明者趙楊, 高雪松 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司