專利名稱：液漿噴射發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路，進(jìn)一步來說，涉及半導(dǎo)體集成電路的器件，尤其涉及集成電路封裝后外殼的表面處理。
背景技術(shù)：
小外形陶瓷表面貼裝(CSOP)集成電路封裝過程中，采用金鋼砂進(jìn)行表面處理，噴砂產(chǎn)生的粉塵幾乎完全通過排風(fēng)排入大氣，對大氣造成嚴(yán)重的污染；粉塵的泄漏對生產(chǎn)環(huán)境還會造成污染，工人在生產(chǎn)過程中必須佩戴“自吸過濾式呼吸保護(hù)器”，才能盡可能地降低對人體產(chǎn)生的危害。顯然不適應(yīng)“低碳、環(huán)保，節(jié)能、減排”的要求。工藝上，在噴砂過程中，金鋼砂在高速運(yùn)行中與器件外引線摩擦形成高壓靜電，靜電放電會對器件造成的損壞，特別是一些抗靜電能力差的器件經(jīng)噴砂表面處理后會完全失 效。經(jīng)檢索，尚無涉及液漿噴射發(fā)生器的中國專利申請件。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種液漿噴射發(fā)生器，以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，更好地解決現(xiàn)有的噴砂表面處理工藝對器件靜電損傷、對大氣環(huán)境造成污染、對人體產(chǎn)生的危
害等問題。設(shè)計(jì)人提供的液漿噴射發(fā)生器，是由工作臺、液漿回收槽、液漿攪拌系統(tǒng)、噴頭和防護(hù)隔離罩5個部分組成的，其中工作臺由臺板和臺柱組成，臺柱支撐臺板，臺板中部開有一個圓形孔；液漿回收槽安裝在臺板上方，液漿攪拌系統(tǒng)安裝在臺板下方，防護(hù)隔離罩置于臺板上方、罩在液漿回收槽外部；液漿回收槽由一個長方形的槽體和一個圓筒形的回流管組成，槽體內(nèi)有一帶小孔的隔板將其分為上下兩部分，槽體下部四周有邊、中心有回流管；液漿攪拌系統(tǒng)由液漿筒、鼓泡攪拌導(dǎo)管、液漿導(dǎo)管組成，鼓泡攪拌導(dǎo)管和液漿導(dǎo)管分別插入液漿筒之中；噴頭為一根直管與一根支管交叉的三通形，其支管是液漿進(jìn)口，直管兩端是液漿噴射出口和壓縮空氣進(jìn)口 ；噴頭的液漿進(jìn)口有軟管連接到液漿導(dǎo)管，壓縮空氣進(jìn)口11與壓縮空氣管道連接；防護(hù)隔離罩是一個透明罩，其底部開有液漿回收槽安裝孔，側(cè)面開有傳遞窗口，頂部開有水霧排氣孔，正面開有兩個操作孔。上述臺板中部開的圓形孔直徑與液漿回收槽的回流管外徑一致。上述防護(hù)隔離罩底板開的收槽安裝孔為長方形，尺寸與液漿回收槽外形一致。液漿噴射發(fā)生器使用時，啟動液漿攪拌系統(tǒng)，一方面通過壓縮空氣鼓泡攪拌液漿；另一方面壓縮空氣將液漿壓入噴頭，液漿噴射處理器件的表面，實(shí)行噴砂表面處理；過程中的水霧由防護(hù)隔離罩的排氣孔排出。本實(shí)用新型的技術(shù)原理是根據(jù)空氣動力學(xué)的基本原理，當(dāng)氣體高速通過管道時，在管道璧附近的壓力減小，管壁處壓力的大小與氣體通過管道的速度成反比，速度越大管壁處壓力越小，在管路中開一支路，將支路連接管道放入金剛砂與水的混合物攪拌系統(tǒng)中，在大氣壓力的作用下，利用金剛砂與水混合物噴射處理器件的表面。本實(shí)用新型的液漿噴射發(fā)生器，克服了原有技術(shù)的缺陷，避免了表面處理工藝對器件產(chǎn)生的靜電損傷，大大減少了對大氣環(huán)境造成污染、對人體產(chǎn)生的危害，而且液漿可以循環(huán)利用，達(dá)到“低碳、環(huán)保，節(jié)能、減排”的要求。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，效果良好；適用于生產(chǎn)集成電路的企業(yè)。

圖I為液漿噴射發(fā)生器結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為噴頭剖視圖，圖3為液漿回收槽剖視圖，圖4為液漿攪拌系統(tǒng)剖視圖，圖5為防護(hù)隔離罩構(gòu)造示意圖。圖中I為臺板，2為臺柱，3為槽體，4為回流管，5為帶小孔的隔板，6為液漿筒，7為鼓泡攪拌導(dǎo)管，8為液漿導(dǎo)管，9為液漿進(jìn)口，10為液漿噴射出，11為壓縮空氣進(jìn)口，12為安裝孔，13為傳遞窗口，14為水霧排 氣孔，15為操作孔，16為軟管。
具體實(shí)施方式
一臺液漿噴射發(fā)生器如圖1，它是由工作臺、液漿回收槽、液漿攪拌系統(tǒng)、噴頭和防護(hù)隔離罩5個部分組成的，其中工作臺由臺板I和臺柱2組成，臺柱2支撐臺板1，臺板I中部開有一個圓形孔；液漿回收槽安裝在臺板I上方，液漿攪拌系統(tǒng)安裝在臺板I下方，防護(hù)隔離罩置于臺板I上方、罩在液漿回收槽外部；液漿回收槽由一個長方形的槽體3和一個圓筒形的回流管4組成，槽體內(nèi)有一帶0>5mm小孔的隔板5將其分為上下兩部分，小孔按50mmX50mm均勻分布；槽體3下部四周有邊、中心有回流管4 ;液漿攪拌系統(tǒng)由液漿筒6、鼓泡攪拌導(dǎo)管7、液漿導(dǎo)管8組成，鼓泡攪拌導(dǎo)管7和液漿導(dǎo)管8分別插入液漿筒6之中；噴頭為一根直管與一根支管交叉的三通形，其支管是液漿進(jìn)口 9，直管兩端是液漿噴射出口 10和壓縮空氣進(jìn)口 11 ;噴頭的液漿進(jìn)口 9有軟管16連接到液漿導(dǎo)管8，壓縮空氣進(jìn)口 11與壓縮空氣管道連接；防護(hù)隔離罩是一個透明罩，其底部開有液漿回收槽安裝孔12，側(cè)面開有傳遞窗口 13，頂部開有水霧排氣孔14，正面開有兩個操作孔15。臺板I中部開的圓形孔直徑與液漿回收槽的回流管4外徑均為0>40_。泡攪拌導(dǎo)管內(nèi)徑為①6mm，液漿導(dǎo)管內(nèi)徑為OnOmm。噴管的液漿進(jìn)口內(nèi)徑為6mm，液漿噴射出口和壓縮空氣進(jìn)口內(nèi)徑為08mm。防護(hù)隔離罩底板開的安裝孔12為長方形，尺寸與液漿回收槽外形一致；傳遞窗口直徑為①300mm，水霧排氣孔14直徑為0>110mm，操作孔15直徑為①150mmo
權(quán)利要求1.一種液漿噴射發(fā)生器，其特征在于它由工作臺、液漿回收槽、液漿攪拌系統(tǒng)、噴頭和防護(hù)隔離罩5個部分組成，其中工作臺由臺板(I)和臺柱(2)組成，臺柱(2)支撐臺板(1)，臺板(I)中部開有一個圓形孔；液漿回收槽安裝在臺板(I)上方，液漿攪拌系統(tǒng)安裝在臺板(I)下方，防護(hù)隔離罩置于臺板(I)上方、罩在液漿回收槽外部；液漿回收槽由長方形的槽體(3)和圓筒形的回流管(4)組成，槽體內(nèi)有帶小孔的隔板(5)將其分為上下兩部分，槽體⑶下部四周有邊、中心有回流管⑷；液漿攪拌系統(tǒng)由液漿筒(6)、鼓泡攪拌導(dǎo)管(7)、液漿導(dǎo)管(8)組成，鼓泡攪拌導(dǎo)管(7)和液漿導(dǎo)管(8)分別插入液漿筒(6)之中；噴頭為一直管與一支管交叉的三通形，其支管是液漿進(jìn)口(9)，直管兩端是液漿噴射出口(10)和壓縮空氣進(jìn)口(11)，液漿進(jìn)口(9)有軟管(16)連接到液漿導(dǎo)管(8)，壓縮空氣進(jìn)口(11)與壓縮空氣管道連接；防護(hù)隔離罩是透明罩，其底部開有液漿回收槽安裝孔(12)，側(cè)面開 有傳遞窗口(13)，頂部開有水霧排氣孔(14)，正面開有兩個操作孔(15)。
2.按照權(quán)利要求I所述的液漿噴射發(fā)生器，其特征在于所述臺板(I)中部開的圓形孔直徑與液漿回收槽的回流管(4)外徑一致。
3.按照權(quán)利要求I所述的液漿噴射發(fā)生器，其特征在于所述防護(hù)隔離罩底板開的收槽安裝孔(12)為長方形，尺寸與液漿回收槽外形一致。
專利摘要液漿噴射發(fā)生器，由工作臺、液漿回收槽、液漿攪拌系統(tǒng)、噴頭和防護(hù)隔離罩5部分組成，其中工作臺由臺板和臺柱組成；液漿回收槽裝在臺板上方，液漿攪拌系統(tǒng)裝在臺板下方，防護(hù)隔離罩置于臺板上方、罩在液漿回收槽外；液漿回收槽由槽體和回流管組成；液漿攪拌系統(tǒng)由液漿筒、鼓泡攪拌導(dǎo)管、液漿導(dǎo)管組成；噴頭支管是液漿進(jìn)口，直管兩端是液漿噴射出口和壓縮空氣進(jìn)口；防護(hù)隔離罩開有液漿回收槽安裝孔、傳遞窗口、水霧排氣孔和操作孔。本實(shí)用新型避免了表面處理工藝對器件產(chǎn)生的靜電損傷，減少了對大氣的污染、對人體的危害，液漿可循環(huán)利用。結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，效果良好；適用于生產(chǎn)集成電路的企業(yè)。
文檔編號H01L21/67GK202487540SQ201220120989
公開日2012年10月10日 申請日期2012年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月28日
發(fā)明者馮云, 馮大發(fā), 劉永鵬, 呂家權(quán), 唐建榮, 尹國平, 張玉剛, 李斌, 楊成剛, 聶平建, 蘇貴東, 蔡景洋, 連云剛, 高鵬, 黃成高 申請人:貴州振華風(fēng)光半導(dǎo)體有限公司