專利名稱：垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在集成電路制造領(lǐng)域，晶圓在制造過程中需要極其嚴(yán)格的潔凈度條件。在實際生產(chǎn)中，半導(dǎo)體工廠普遍采用自動緩沖系統(tǒng)以滿足潔凈度的要求，該自動緩沖系統(tǒng)旨在通過將晶圓封閉在一個超潔凈的小型環(huán)境中，同時放寬對這個小型環(huán)境以外 的潔凈度要求來防止晶圓被污染。請參考圖1，其為現(xiàn)有的自動緩沖系統(tǒng)的示意圖。如圖I所示，自動緩沖系統(tǒng)100包括殼體110、設(shè)置于殼體110內(nèi)的裝載端口(未圖示)以及設(shè)置于殼體110內(nèi)晶圓處理裝置(未圖示)。所述殼體110包括頂蓋111、前壁112、后壁(未圖示)、第一側(cè)壁113和第二側(cè)壁(未圖示)，所述頂蓋111、前壁112、后壁、第一側(cè)壁113和第二側(cè)壁連接構(gòu)成容置空間，所述殼體110的后壁與一半導(dǎo)體加工裝置(未圖示)連接，且所述后壁上設(shè)置有開口，以使所述容置空間與所述半導(dǎo)體加工裝置的工藝腔室連通構(gòu)成超潔凈的小型環(huán)境。在制造過程中，操作人員可將晶圓盒放置于頂蓋111上，所述裝載端口會自動打開晶圓盒130，并將晶圓盒130內(nèi)的晶圓置于所述小型環(huán)境中，接著，所述晶圓處理裝置將會將晶圓傳送至半導(dǎo)體加工裝置。工藝步驟完成后，晶圓處理裝置會將晶圓放回晶圓盒130。如圖I所示，現(xiàn)有的自動緩沖系統(tǒng)中晶圓盒是依次水平擺放在殼體110上，使得整個現(xiàn)有的自動緩沖系統(tǒng)占用了過多的平面空間，隨著晶圓的尺寸日益增大，自動緩沖系統(tǒng)所占用的平面空間也將不斷增長。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是在保證效率的情況下，減少自動緩沖系統(tǒng)占用的平面空間。為了解決上述問題，本實用新型提供了一種垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，包括晶圓盒保護(hù)裝置、裝載端口、殼體，以及所述殼體內(nèi)的晶圓處理裝置，其特征在于所述晶圓盒保護(hù)裝置有多層，每層供放置一個晶圓盒，所述晶圓盒保護(hù)裝置的每一層都與對應(yīng)的所述裝載端口連接。所述晶圓盒保護(hù)裝置的每一層均設(shè)有底板、頂蓋和左右側(cè)壁。所述殼體為兩層的階梯型結(jié)構(gòu)，所述晶圓盒保護(hù)裝置豎直立在殼體的第一階梯層的上表面上，所述晶圓盒保護(hù)裝置的背面連接殼體的第二階梯層的正面表面，所述裝載端口設(shè)在所述第二階梯層的正面表面。每個所述裝載端口均設(shè)有一個自動門。所述自動門采用橫向平移打開方式。所述晶圓盒保護(hù)裝置與所述裝載端口連接處設(shè)有所述自動門的自動感應(yīng)系統(tǒng)。所述晶圓處理裝置至少包括一個晶圓傳輸機(jī)器，所述晶圓傳輸機(jī)器包括載貨裝置、旋轉(zhuǎn)臂、旋轉(zhuǎn)軸、垂直升降裝置和水平旋轉(zhuǎn)裝置，所述載貨裝置設(shè)在旋轉(zhuǎn)臂的末端，所述旋轉(zhuǎn)臂以旋轉(zhuǎn)軸為軸心旋轉(zhuǎn)，所述垂直升降裝置和所述水平旋轉(zhuǎn)裝置位于所述旋轉(zhuǎn)軸上。本實用新型的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，通過多層的晶圓盒保護(hù)裝置的引入，充分利用了垂直空間，而避免了現(xiàn)有技術(shù)中水平擺放的缺點，不僅節(jié)省了平面的空間，同時也使得晶圓傳輸機(jī)器使用的運(yùn)轉(zhuǎn)部件更少，運(yùn)轉(zhuǎn)方式更加簡潔，從而提高了工作效率。

附圖I是現(xiàn)有的自動緩沖系統(tǒng)的示意圖；附圖2是本實用新型一實施例的正面示意圖；附圖3是本實用新型一實施例的側(cè)面示意圖。圖中，110-殼體;111-頂蓋;112-前壁；113-側(cè)壁；130-晶圓盒;201_殼體的第一 階梯層；202_殼體的第二階梯層；203-晶圓盒保護(hù)裝置；204、205、206-晶圓盒；207_晶圓傳輸機(jī)器；208_旋轉(zhuǎn)臂。
具體實施方式
請參閱圖2，并結(jié)合圖3，所述垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)包括晶圓盒保護(hù)裝置203、裝載端口(未圖示)、殼體(未圖示)，以及所述殼體內(nèi)的晶圓處理裝置(部分未圖示)。所述殼體包括第一階梯層201與第二階梯層202。所述晶圓盒保護(hù)裝置203豎直立在殼體的第一階梯層201的上表面上，所述晶圓盒保護(hù)裝置203的背面與殼體第二階梯層202的正面連接。在本實施例中，所述晶圓盒保護(hù)裝置203有三層，三層分別放置晶圓盒204、205和206。晶圓盒保護(hù)裝置203的背面與殼體的第二階梯層202的正面連接，每一層均對應(yīng)一個裝載端口(圖未示)，所述裝載端口設(shè)在殼體的第二階梯層202的正面表面。所述晶圓盒保護(hù)裝置203的每一層均設(shè)有底板、頂蓋和左右側(cè)壁，正面與背面均不設(shè)側(cè)壁，晶圓盒204、205、206分別放置在每一層的底板上。三層晶圓盒保護(hù)裝置的引入，充分利用了垂直空間，而避免了現(xiàn)有技術(shù)中水平擺放時浪費空間的缺點。所述裝載端口設(shè)有一個自動門(圖未示)，自動門采用橫向平移打開方式，晶圓盒保護(hù)裝置與所述裝載端口連接處設(shè)有所述自動門的自動感應(yīng)系統(tǒng)(圖未示)。當(dāng)自動感應(yīng)系統(tǒng)感應(yīng)到晶圓盒被放置到晶圓盒保護(hù)裝置203每一層的對應(yīng)位置時，就會自動打開自動門。當(dāng)自動感應(yīng)系統(tǒng)感應(yīng)到晶圓盒保護(hù)裝置203上沒有晶圓盒時，自動門則會自動關(guān)閉。自動門的存在保證了只有當(dāng)晶圓盒保護(hù)裝置203上有晶圓盒時，自動門才會打開，從而可以使得晶圓處理的過程中裝置內(nèi)潔凈度有所保證。所述晶圓處理裝置至少包括了晶圓傳輸機(jī)器207，所述晶圓傳輸機(jī)器207包括了載貨裝置(圖未示)、旋轉(zhuǎn)臂208、旋轉(zhuǎn)軸、垂直升降裝置(圖未示)和水平旋轉(zhuǎn)裝置(圖未示)。所述載貨裝置設(shè)在旋轉(zhuǎn)臂208的末端，所述旋轉(zhuǎn)臂208以旋轉(zhuǎn)軸為軸心旋轉(zhuǎn)，所述垂直升降裝置和所述水平旋轉(zhuǎn)裝置位于所述旋轉(zhuǎn)軸上。當(dāng)晶圓盒204、205、206放置到晶圓盒保護(hù)裝置203每一層的對應(yīng)位置時，自動門就會打開，同時，晶圓傳輸機(jī)器207升降到對應(yīng)位置，晶圓傳輸機(jī)器207的旋轉(zhuǎn)臂208將旋轉(zhuǎn)到晶圓盒的位置，載貨裝置會抓起晶圓盒中的晶圓，然后再通過旋轉(zhuǎn)和升降的動作將晶圓運(yùn)輸?shù)狡浜蟮木A處理裝置中。在實施例中，本實用新型在水平方向并沒有放置多個晶圓盒，也未在水平方向上設(shè)置多個裝載端口，使得晶圓傳輸 機(jī)器207相較于現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓傳輸機(jī)器，刪除了水平移動的裝置，只需完成水平旋轉(zhuǎn)和垂直升降的動作，在節(jié)省平面空間的同時，使得晶圓傳輸機(jī)器使用的運(yùn)轉(zhuǎn)部件更少，運(yùn)轉(zhuǎn)方式更加簡潔，從而提高了工作效率。
權(quán)利要求1.一種垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，包括晶圓盒保護(hù)裝置、裝載端口、殼體以及設(shè)于所述殼體內(nèi)的晶圓處理裝置，其特征在于所述晶圓盒保護(hù)裝置有多層，每層供放置一個晶圓盒，所述晶圓盒保護(hù)裝置的每一層都與一個所述裝載端口連接。
2.權(quán)利要求I所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于所述晶圓盒保護(hù)裝置的每一層均設(shè)有底板、頂蓋和左右側(cè)壁。
3.權(quán)利要求I所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于所述殼體為兩層的階梯型結(jié)構(gòu)，所述晶圓盒保護(hù)裝置豎直立在殼體的第一階梯層的上表面上，所述晶圓盒保護(hù)裝置的背面連接殼體的第二階梯層的正面表面，所述裝載端口設(shè)在所述第二階梯層的正面表面。
4.權(quán)利要求I所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于每個所述裝載端口均設(shè)有一個自動門。
5.權(quán)利要求4所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于所述自動門采用橫向平移打開方式。
6.權(quán)利要求4所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于所述晶圓盒保護(hù)裝置與所述裝載端口連接處設(shè)有所述自動門的自動感應(yīng)系統(tǒng)。
7.權(quán)利要求I所述的垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，其特征在于所述晶圓處理裝置至少包括一個晶圓傳輸機(jī)器，所述晶圓傳輸機(jī)器包括載貨裝置、旋轉(zhuǎn)臂、旋轉(zhuǎn)軸、垂直升降裝置和水平旋轉(zhuǎn)裝置，所述載貨裝置設(shè)在旋轉(zhuǎn)臂的末端，所述旋轉(zhuǎn)臂以旋轉(zhuǎn)軸為軸心旋轉(zhuǎn)，所述垂直升降裝置和所述水平旋轉(zhuǎn)裝置位于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
專利摘要本實用新型提供了一個垂直疊加式自動緩沖系統(tǒng)，包括晶圓盒保護(hù)裝置、裝載端口、殼體，以及所述殼體內(nèi)的晶圓處理裝置，每層供放置一個晶圓盒，所述晶圓盒保護(hù)裝置的每一層都與對應(yīng)的所述裝載端口連接。本實用新型通過多層的晶圓盒保護(hù)裝置的引入，充分利用了垂直空間，而避免了現(xiàn)有技術(shù)中水平擺放的缺點，不僅節(jié)省了平面的空間，同時也使得晶圓傳輸機(jī)器使用的運(yùn)轉(zhuǎn)部件更少，運(yùn)轉(zhuǎn)方式更加簡潔，從而提高了工作效率。
文檔編號H01L21/673GK202549810SQ20122020766
公開日2012年11月21日 申請日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者唐強(qiáng), 施成, 朱海青, 湯露奇, 錢繼君 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司