專利名稱:石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種石英舟,屬于晶體硅太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學特性,被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英玻璃是以含二氧化硅物質(zhì),如水晶、硅石。四氧化硅為原料高溫熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多,一般石英玻璃二氧化硅含量在99. 999%,石英玻璃制品的純凈度也非常高,即使在高溫狀態(tài)下,也不會向外釋放雜質(zhì)微粒。石英玻璃還具有優(yōu)異的光學性能,不僅可見光透光度特別好,而且透紫外線,紅外線。石英玻璃電學性能極佳,在常溫下,它的電阻相當于普通玻璃的10倍,對全部頻率的介電損失很微小,絕緣耐壓強度大。透明石英玻璃的線膨脹系數(shù)的5. 4 * 10,相當于普通玻璃的1/121/20由于石英玻璃的熱膨脹系數(shù)低,故熱穩(wěn)定性能特別好,透明石英玻璃的平均比熱是O. 251 (0-9000C )熱傳導(dǎo)率是O. 0035卡/厘米、秒、度(20°C )透明石英玻璃的變形點,退火點和工作溫度。石英舟是擴散時的常用工具。擴散是制造太陽能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié),是太陽能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)?,F(xiàn)有的石英舟舟腳一直使用的是透明石英來進行磨砂處理,但是在實際使用時剛開始還可以在紅外線的照射下準確找出基準點,但是經(jīng)過一段時間后,磨砂表面脫落,就很難找出基準點。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為解決上述技術(shù)問題,提供一種石英舟,它的舟腳是乳白不透明石英,具有對紅外線有良好反射率的優(yōu)點。本實用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的一種石英舟,包括舟體和連接舟體的同一側(cè)的兩個舟腳,所述舟腳均為乳白不透明石英,所述舟腳和所述舟體的材質(zhì)均為石英材質(zhì)并通過高溫熔融焊接連接在一起,在以往技術(shù)中,都是使用透明石英來進行磨砂處理,但是在實際使用時剛開始還可以在紅外線的照射下準確找出基準點,但是經(jīng)過一段時間后,磨砂表面脫落或表面變的光滑后,其對光線的反射率就大大降低,就很難找出基準點,導(dǎo)致自動檢測設(shè)備定位不準,從而撞壞或撞損石英舟。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的優(yōu)點是,采用了乳白不透明石英材料作為舟腳,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測環(huán)節(jié),舟腳能一直保持對紅外線較高的反射率,使得自動檢測設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會出現(xiàn)定位不準撞壞舟腳的問題,顯著提高了石英舟的使用壽命O
圖I是本實用新型的側(cè)視圖;[0010]圖2是本實用新型的俯視圖;圖中,I-舟體,2-舟腳
具體實施方式
本具體實施例僅僅是對本發(fā)明的解釋,其并不是對本發(fā)明的限制,本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對本實施例做出沒有創(chuàng)造性貢獻的修改,但只要在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護。實施例一如圖I、圖2所示,一種石英舟,包括舟體I和連接舟體I的同一側(cè)兩個舟腳2,兩個所述舟腳2均為乳白不透明石英,所述舟腳2和所述舟體I的材質(zhì)均為石英材質(zhì),所述舟 腳2和所述舟體I通過高溫熔融焊接。
權(quán)利要求1.一種石英舟,包括舟體(I)和用于連接所述舟體(I)的同一側(cè)的兩個舟腳(2),其特征在于同一側(cè)兩個所述舟腳⑵均為乳白不透明石英。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種石英舟,其特征在于所述舟腳(2)和所述舟體(I)通過高溫熔融焊接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種石英舟,其特征在于所述舟腳(2)和所述舟體(I)的材質(zhì)均為石英材質(zhì)。
專利摘要一種石英舟,包括舟體和用于連接所述舟體同一側(cè)的2個所述舟腳均為乳白不透明石英,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測環(huán)節(jié),舟腳能一直保持對紅外線較高的反射率,使得自動檢測設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會出現(xiàn)定位不準撞壞舟腳的問題,顯著提高了石英舟的使用壽命。
文檔編號H01L21/673GK202662580SQ20122027150
公開日2013年1月9日 申請日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者常永喜, 陳文 , 申應(yīng)琪 申請人:蘇州安融石英有限公司