專利名稱：一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體器件的特征尺寸的不斷縮小，其器件性能越來越高，對器件制造環(huán)境的要求也達(dá)到了前所未有的高度。半導(dǎo)體中的雜質(zhì)對電阻率的影響非常大，半導(dǎo)體中摻入微量雜質(zhì)時，雜質(zhì)原子附近的周期勢場受到干擾并形成附加的束縛狀態(tài)，在禁帶中產(chǎn)加的雜質(zhì)能級。為了滿足量產(chǎn)上的需求，半導(dǎo)體的電性必須是可預(yù)測并且穩(wěn)定的，因此包括摻雜物的純度以及半導(dǎo)體晶格結(jié)構(gòu)的品質(zhì)都必須嚴(yán)格要求。半導(dǎo)體技術(shù)是指半導(dǎo)體加工的各種技術(shù)，包括晶圓的生長技術(shù)、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術(shù)和工藝整合等技術(shù)。可見，半導(dǎo)體制程是一項(xiàng)復(fù)雜的制作流程，先進(jìn)的IC所需要的制作程序達(dá)一千個以上的步驟。這些步驟先依不同的功能組合成小的單元，稱為單 元制程，如蝕刻、微影與薄膜制程；幾個單元制程組成具有特定功能的模塊制程，最后再組合這些模塊制程成為某種特定IC的整合制程?，F(xiàn)有的半導(dǎo)體制程一般是將半導(dǎo)體晶圓放置于密封性良好的制程室內(nèi)進(jìn)行，以保證半導(dǎo)體器件制備的穩(wěn)定性。密封門是半導(dǎo)體制程室的一個重要的設(shè)備?，F(xiàn)有的密封門一般包括門板及一固定轉(zhuǎn)軸，所述門板垂直于所述固定轉(zhuǎn)軸，且可隨所述固定轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動對密封門進(jìn)行開關(guān)。這種設(shè)計(jì)的密封門由于是單軸固定旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)的，故密封門的重量均受力于所述固定轉(zhuǎn)軸上，容易造成固定轉(zhuǎn)軸的彎曲，影響門板的正常轉(zhuǎn)動，造成門板被制程室的側(cè)壁刮傷，同時容易造成氣密性降低等問題。因此，提供一種新型的能穩(wěn)定密封的制程室密封門實(shí)屬必要。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中單軸密封門在開關(guān)過程中容易變形導(dǎo)致門板被刮傷而影響門板密封性等問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，所述移動門至少包括兩個滑道、門板、空心密封圈以及門框，其中所述兩個滑道間隔固定于所述制程室的側(cè)壁上；所述門板上下卡接于所述兩個滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動；所述門框固定于所述制程室的側(cè)壁上，且其面積小于所述門板的面積；所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管及排氣管；所述空心密封圈充氣時與所述門框密封，排氣時與所述門框分離。作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的一個優(yōu)選方案，所述門板上下底部具有垂直固定于所述門板的連接部，且所述連接部卡接于所述滑道內(nèi)，使所述門板與所述門框具有預(yù)設(shè)間隔。進(jìn)一步地，所述門板底部的連接部具有多個滑輪，各該滑輪卡接于所述滑道內(nèi)。作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述門框的形狀為圓形或圓角多邊形。作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述空心密封圈為空心的環(huán)形橡膠管。作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述進(jìn)氣管及排氣管均設(shè)置有開關(guān)閥門。如上所述，本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，具有以下有益效果所述移動門至少包括兩個滑道、門板、空心密封圈以及門框；所述兩個滑道間隔固定于制程室的側(cè)壁；所述門板上下卡接于所述兩個滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動；所述門框固定于 制程室的側(cè)壁；所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管道及排氣管道；所述空心密封圈充氣時與所述門框密封，排氣時與所述門框分離。本實(shí)用新型采用并行滑道設(shè)計(jì)的移動門，有效的改善了現(xiàn)有的單軸式密封門容易變形的缺陷；于門板與門框中加入了空心密封圈，有效的提高了移動門的氣密性，并且解決了移動門容易被刮傷的問題。

圖I顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室移動門的實(shí)施例I的平面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室移動門的實(shí)施例I中移動門打開時的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。圖3顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例I中移動門關(guān)閉時的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。圖4顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例2的平面結(jié)構(gòu)示意圖。圖5顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例2中移動門打開時的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。圖6顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例2中移動門關(guān)閉時的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。元件標(biāo)號說明101滑道102門板103門框104空心密封圈105進(jìn)氣管106排氣管107開關(guān)閥門108連接部109滑輪具體實(shí)施方式
以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式
加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。請參閱圖f圖6。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。實(shí)施例I如圖f圖3所示，本實(shí)施例提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，所述移動門至少包括兩個滑道101、門板102、空心密封圈104以及門框103，其中 所述兩個滑道101間隔固定于所述制程室的側(cè)壁上；所述門板102上下卡接于所述兩個滑道101內(nèi)并可沿與滑道101平行的方向移動；所述門框103固定于所述制程室的側(cè)壁上，且其面積小于所述門板102的面積；所述空心密封圈104固定于所述門板102的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框103對應(yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管105及排氣管106 ；所述空心密封圈104充氣時與所述門框103密封,排氣時與所述門框103分離。所述滑道101通過焊接或者如螺絲、螺栓等固定件固定于所述制程室的側(cè)壁上，所述滑道101的材料為不銹鋼或鋁合金等剛性耐磨材料。所述門板102通過一與門板材料相同的連接部108卡接于所述滑道101內(nèi)，使所述門板102與所述門框103具有預(yù)設(shè)間隔。所述門板102并可沿所述滑道101的平行方向左右移動，實(shí)現(xiàn)移動門的開關(guān)，在本實(shí)施例中，所述門板102的主體為不銹鋼板，為了便于觀察，于門板102中心鑲嵌有一材料鋼化玻璃的窗口。所述門框103固定凸設(shè)于所述制程室的側(cè)壁上，以使其能與所述空心密封圈104壓迫達(dá)到密封的效果。所述門框103的面積略小于所述門板102的面積，其形狀為圓形或圓角多邊形，在本實(shí)施例中，所述門框103的形狀為圓角矩形。其材料為橡膠、塑料或其它可用于與橡膠形成密封的材料。所述空心密封圈104固定于所述門板102的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框103對應(yīng)的形狀、大小及位置，以在其充其膨脹時與所述門框103壓迫達(dá)到密封的效果，所述空心密封圈104具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管105及排氣管106，且所述進(jìn)氣管105及排氣管106均設(shè)置有開關(guān)閥門107。在本實(shí)施例中，所述空心密封圈104為空心的環(huán)形橡膠管，當(dāng)然，在其它的實(shí)施例中，所述空心密封圈104的材料也可以為其它具有高強(qiáng)度拉伸膨脹特性的聚合物材料。在具體的實(shí)施過程中，所述移動門打開時，所述空心密封圈104處于排氣狀態(tài)，其相對于所述門框103具有一定的間隔；在關(guān)閉移動門時，通過所述滑道101將門板102滑至門框103處，由于空心密封圈104處于排氣狀態(tài)且與所述門框103具有一定的間隔，故在滑動時可避免門板102及空氣密封管與門框103碰撞而造成的刮傷。當(dāng)門板102滑至門框103處后，通過開關(guān)閥門107關(guān)閉所述排氣管106，打開所述進(jìn)氣管105的開關(guān)閥門107并往所述空心密封圈104通進(jìn)N2氣體使其膨脹，使其壓迫所述門框103達(dá)到密封的效果。需要打開移動門時，先打開所述排氣管106的開關(guān)閥門107將N2排出，使所述空心密封圈104與門框103分離，然后滑動所述門板102便可把移動門打開。本實(shí)用新型采用滑道101代替了傳統(tǒng)的單軸式移動門，避免了移動門的刮傷；增加了空心密封圈104大大地提高了移動門的密封性能。實(shí)施例2如圖Γ圖6所示，本實(shí)施例提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其基本結(jié)構(gòu)如實(shí)施例1，其中，所述門板102上下底部具有垂直固定于所述門板102的連接部108，使所述門板102與所述門框103具有預(yù)設(shè)間隔，所述門板102底部的連接部108具有多個滑輪109，各該滑輪109卡接于所述滑道101內(nèi)。所述滑輪109焊接于所述門板102的底部，可以有效減少門板102與滑道101的摩擦，便于門板102的移動。在具體的實(shí)施過程中，所述移動門打開時，所述空心密封圈104處于排氣狀態(tài)，其相對于所述門框103具有一定的間隔；在關(guān)閉移動門時，通過所述滑道101將門板102滑至門框103處，由于空心密封圈104處于排氣狀態(tài)且與所述門框103具有一定的間隔，故在滑動時可避免門板102及空氣密封管與門框103碰撞而造成的刮傷。當(dāng)門板102滑至門框103處后，通過開關(guān)閥門107關(guān)閉所述排氣管106，打開所述進(jìn)氣管105并往所述空心密封圈104通進(jìn)N2氣體使其膨脹，壓迫所述門框103達(dá)到密封的效果。需要打開移動門時，先打開所述排氣管106將N2排出使所述空心密封圈104與門框103分離，然后滑動所述門板102便可把移動門打開。本實(shí)用新型采用滑道101代替了傳統(tǒng)的單軸式移動門，避免了移動門的刮傷；于門板102底部增加了滑輪109，可有效地減少門板102與滑道101的摩擦，便于移動；增加了空心密封圈104大大地提高了移動門的密封性能。綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，所述移動門至少包括兩個滑道101、門板102、空心密封圈104以及門框103 ;所述兩個滑道101間隔固定于制程室的側(cè)壁；所述門板102上下卡接于所述兩個滑道101內(nèi)并可沿與滑道101平行的方向移動；所述門框103固定于制程室的側(cè)壁；所述空心密封圈104固定于所述門板102的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框103對應(yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管105道及排氣管106道；所述空心密封圈104充氣時與所述門框103密封，排氣時與所述門框103分離。本實(shí)用新型采用并行滑道101設(shè)計(jì)的移動門，有效的改善了現(xiàn)有的單軸式密封門容易變形的缺陷；于門板102與門框103中加入了空心密封圈，有效的提高了移動門的氣密性，并且解決了移動門容易被刮傷的問題。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于，所述移動門至少包括兩個滑道、門板、空心密封圈以及門框，其中 所述兩個滑道間隔固定于所述制程室的側(cè)壁上； 所述門板上下卡接于所述兩個滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動； 所述門框固定于所述制程室的 側(cè)壁上，且其面積小于所述門板的面積； 所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管及排氣管； 所述空心密封圈充氣時與所述門框密封，排氣時與所述門框分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于所述門板上下底部具有垂直固定于所述門板的連接部，且所述連接部卡接于所述滑道內(nèi)，使所述門板與所述門框具有預(yù)設(shè)間隔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于所述門板底部的連 接部具有多個滑輪，各該滑輪卡接于所述滑道內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于所述門框的形狀為圓形或圓角多邊形。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于所述空心密封圈為空心的環(huán)形橡膠管。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，其特征在于所述進(jìn)氣管及排氣管均設(shè)置有開關(guān)閥門。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。所述移動門至少包括兩個滑道、門板、空心密封圈以及門框；所述兩個滑道間隔固定于制程室的側(cè)壁；所述門板上下卡接于所述兩個滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動；所述門框固定于制程室的側(cè)壁；所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管道及排氣管道；所述空心密封圈充氣時與所述門框密封，排氣時與所述門框分離。本實(shí)用新型采用并行滑道設(shè)計(jì)的移動門，有效的改善了現(xiàn)有的單軸式密封門容易變形的缺陷；于門板與門框中加入了空心密封圈，有效的提高了移動門的氣密性，并且解決了移動門容易被刮傷的問題。
文檔編號H01L21/67GK202772113SQ201220437568
公開日2013年3月6日 申請日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月30日
發(fā)明者許亮 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司