專利名稱：一種擴(kuò)散用石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶硅太陽(yáng)電池制作工裝領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散用石英舟。
背景技術(shù)：
石英舟是晶硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工序中用于承載硅片，將硅片置于擴(kuò)散爐中反應(yīng)的載具，具有耐高溫和化學(xué)穩(wěn)定性。目前，在晶硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工序中，如圖1所示，擴(kuò)散用的石英舟是由石英舟架I和固定在石英舟架I上的四根石英橫桿2組成，其中，平行的且間距較寬的兩根石英橫桿2在石英舟上部，剩下兩根間距較窄的石英橫桿2位于石英舟的底部,每根石英橫桿2上設(shè)有垂直于該石英橫桿的插槽3,該插槽3的數(shù)目、寬度相同且 對(duì)應(yīng)，將娃片固定于石英橫桿2的卡槽內(nèi)，并垂直于石英橫桿2，且硅片上半部分位于石英舟的上方。在擴(kuò)散爐中，待反應(yīng)氣體是垂直于硅片擴(kuò)散，而現(xiàn)擴(kuò)散石英舟上的硅片是正立在石英舟上，易阻擋帶待反應(yīng)氣體。此外，石英舟橫桿、插槽阻擋了部分待反應(yīng)氣體。上述原因?qū)?dǎo)致待反應(yīng)氣體與硅片部分區(qū)域接觸不充分，從而導(dǎo)致整個(gè)硅片摻雜不均勻。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種擴(kuò)散用石英舟?？赡透邷兀透g，并且能使置于石英舟內(nèi)的硅片在擴(kuò)散爐中穩(wěn)定均勻地反應(yīng)，加快反應(yīng)效率，節(jié)省材料。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種擴(kuò)散用石英舟，包括石英舟架和設(shè)于所述石英舟架之間的三根石英橫桿，所述石英橫桿互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英橫桿在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英橫桿上設(shè)有卡槽，三根所述石英橫桿上的所述卡槽的寬度和間距一一對(duì)應(yīng)。作為上述方案的改進(jìn)，所述卡槽的寬度相等，間距相同。作為上述方案的改進(jìn)，所述石英橫桿包括設(shè)于所述石英舟架上部的兩根上石英橫桿和設(shè)于所述石英舟架下部中間位置的下石英橫桿。作為上述方案的改進(jìn)，所述上石英橫桿上的卡槽槽底面向外傾斜45°。作為上述方案的改進(jìn)，所述下石英橫桿上的卡槽兩端向中間傾斜，形成“V”字型卡槽。作為上述方案的改進(jìn)，所述石英舟架為設(shè)于所述石英舟兩端的石英板，所述石英板的底部設(shè)有石英支撐腳。作為上述方案的改進(jìn)，所述石英舟架外側(cè)面設(shè)有把手，所述把手為兩根垂直于所述石英舟架外側(cè)面的石英圓柱。實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，具有如下有益效果:本實(shí)用新型所述的石英舟采用三根石英橫桿固定，比現(xiàn)有的石英舟采用四根石英橫桿固定所述硅片的方案節(jié)省一根石英橫桿，降低了制作成本，節(jié)省原料。而且所述石英橫桿與所述硅片接觸面減少了四分之一，減少了卡點(diǎn)導(dǎo)致的摻雜不均勻，提高了擴(kuò)散均勻性。采用本實(shí)用新型，所述硅片呈菱形放置于所述石英舟內(nèi)，減少了所述硅片對(duì)所述擴(kuò)散爐內(nèi)反應(yīng)氣體的阻擋，使反應(yīng)更充分和摻雜更均勻。

圖1是現(xiàn)有的一種擴(kuò)散用石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一種擴(kuò)散用石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型一種擴(kuò)散用石英舟的又一結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型一種擴(kuò)散用石英舟的使用狀態(tài)圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。如圖2至圖4所示，一種擴(kuò)散用石英舟，包括石英舟架I和設(shè)于所述石英舟架I之間的三根石英橫桿2，所述石英橫桿2互相平行并垂直于所述石英舟架I正面，所述石英橫桿2在所述石英舟架I上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英橫桿2上設(shè)有卡槽3，三根所述石英橫桿2上的所述卡槽3的寬度和間距一一對(duì)應(yīng)。優(yōu)選地，所述卡槽3的寬度相等，間距相同。優(yōu)選地，所述石英橫桿2包括設(shè)于所述石英舟架I上部的兩根上石英橫桿2a和設(shè)于所述石英舟架I下部中間位置的下石英橫桿2b。需要說(shuō)明的是，本實(shí)用新型所述的石英舟采用三根石英橫桿2固定，比現(xiàn)有的石英舟采用四根石英橫桿2固定所述硅片的方案節(jié)省一根石英橫桿2，大大降低了制作成本，節(jié)省原料。而且所述石英橫桿2與所述硅片接觸面減少了四分之一，減少了卡點(diǎn)導(dǎo)致的摻雜不均勻，提高了擴(kuò)散均勻性。采用本實(shí)用新型，所述硅片呈菱形放置于所述石英舟內(nèi)，減少了所述硅片對(duì)所述擴(kuò)散爐內(nèi)反應(yīng)氣體的阻擋，使反應(yīng)更充分和摻雜更均勻。優(yōu)選地，所述上石英橫桿2a上的卡槽3槽底面向外傾斜45°。優(yōu)選地，所述下石英橫桿2b上的卡槽3兩端向中間傾斜，形成“V”字型卡槽4。需要說(shuō)明的是，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，所述石英舟采用三根所述石英橫桿2將硅片固定，所述下石英橫桿2b用于支撐硅片底部，當(dāng)硅片放置于所述石英舟中時(shí)，硅片的一角置于所述下石英橫桿2b的“V”字型卡槽4中，此時(shí)硅片水平狀態(tài)的兩角分別置于所述上石英橫桿2a的卡槽3中，硅片呈完全穩(wěn)定放置狀態(tài)。優(yōu)選地，所述石英舟架I為設(shè)于所述石英舟兩端的石英板，所述石英板的底部設(shè)有石英支撐腳7。需要說(shuō)明的是，所述石英支撐腳7可以增大支撐點(diǎn)對(duì)地面的投影面積，增強(qiáng)所述石英舟的穩(wěn)定性，同時(shí)節(jié)省材料。優(yōu)選地，所述石英舟架I外側(cè)面設(shè)有把手5，所述把手5為兩根垂直于所述石英舟架I外側(cè)面的石英圓柱。需要說(shuō)明的是，所述把手5作為操作人員移動(dòng)所述石英舟時(shí)的抓取部位，也可以作為進(jìn)入擴(kuò)散爐后的舟體支撐定位之用。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型一種較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散用石英舟，其特征在于，包括石英舟架和設(shè)于所述石英舟架之間的三根石英橫桿，所述石英橫桿互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英橫桿在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英橫桿上設(shè)有卡槽，三根所述石英橫桿上的所述卡槽的寬度和間距一一對(duì)應(yīng)。
2.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述卡槽的寬度相等，間距相同。
3.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英橫桿包括設(shè)于所述石英舟架上部的兩根上石英橫桿和設(shè)于所述石英舟架下部中間位置的下石英橫桿。
4.如權(quán)利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述上石英橫桿上的卡槽槽底面向外傾斜 45。。
5.如權(quán)利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述下石英橫桿上的卡槽兩端向中間傾斜，形成“V”字型卡槽。
6.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架為設(shè)于所述石英舟兩端的石英板，所述石英板的底部設(shè)有石英支撐腳。
7.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架外側(cè)面設(shè)有把手，所述把手為兩根垂直于所述石英舟架外側(cè)面的石英圓柱。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散用石英舟，包括石英舟架和設(shè)于所述石英舟架之間的三根石英橫桿，所述石英橫桿互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英橫桿在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英橫桿上設(shè)有卡槽，三根所述石英橫桿上的所述卡槽的寬度和間距一一對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型所述的石英舟采用三根石英橫桿固定所述硅片，比現(xiàn)有的石英舟采用四根石英橫桿固定的方案節(jié)省一根石英橫桿，不但降低了制作成本，節(jié)省原料，而且減小了石英橫桿對(duì)待反應(yīng)氣體的阻擋，使硅片與待反應(yīng)氣體接觸更充分。此外，所述石英橫桿與所述硅片接觸面減少了四分之一，減少了卡點(diǎn)導(dǎo)致的摻雜不均勻，提高了擴(kuò)散均勻性。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202940221SQ20122056649
公開(kāi)日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月31日
發(fā)明者胡海平, 班群, 方結(jié)彬, 何達(dá)能, 陳剛 申請(qǐng)人:廣東愛(ài)康太陽(yáng)能科技有限公司