專(zhuān)利名稱(chēng)：一種臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)計(jì)及制造領(lǐng)域，尤其涉及一種具有制動(dòng)裝置的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)：
臨界尺寸掃描電鏡(以下均簡(jiǎn)稱(chēng)CD-SEM)和缺陷檢測(cè)(Defect Detection)掃描電鏡是伴隨微電子工業(yè)的需要而發(fā)展起來(lái)的一種掃描電鏡，用于在半導(dǎo)體超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)上對(duì)硅片的自動(dòng)檢測(cè)?，F(xiàn)有的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)一般包括幾個(gè)腔室，分別為交換腔、中轉(zhuǎn)腔和測(cè)量腔。現(xiàn)有的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)還包括用以放置晶圓的支撐臺(tái)、控制支撐臺(tái)上升或下降的驅(qū)動(dòng)器、轉(zhuǎn)置晶圓的交換臂、設(shè)于中轉(zhuǎn)腔內(nèi)用以放置晶圓的放置臺(tái)、控制腔室內(nèi)真空度的抽氣泵。但是，現(xiàn)有技術(shù)的這種臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)，在支撐臺(tái)正常退片時(shí)，如果突發(fā)抽氣泵跳掉，支撐臺(tái)會(huì)自動(dòng)升起，交換臂上的晶圓存在夾傷碎片風(fēng)險(xiǎn)。因此，針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，有必要提供一種改良結(jié)構(gòu)的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，以克服上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種防止晶圓在正常退片時(shí)被破壞的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:—種臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其包括交換腔、中轉(zhuǎn)腔、測(cè)量腔、用以放置晶圓的支撐臺(tái)、控制支撐臺(tái)上升或下降的驅(qū)動(dòng)器、轉(zhuǎn)置晶圓的交換臂、抽氣泵，所述支撐臺(tái)上設(shè)有在抽氣泵停止工作時(shí)控制支撐臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)的緊急制動(dòng)裝置。優(yōu)選的，在上述臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)中，所述緊急制動(dòng)裝置包括與抽氣泵連接的感應(yīng)器、傳遞感應(yīng)器信號(hào)的信號(hào)傳遞器、與信號(hào)傳遞器銜接且根據(jù)信號(hào)傳遞器的信號(hào)控制驅(qū)動(dòng)器運(yùn)動(dòng)或停止的制動(dòng)器。優(yōu)選的，在上述臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)中，所述緊急制動(dòng)裝置包括用以在抽氣泵停止工作時(shí)強(qiáng)制制止支撐臺(tái)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)制制動(dòng)部。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)通過(guò)設(shè)置一個(gè)緊急制動(dòng)裝置，可以防止在抽氣泵突然停止工作時(shí)，阻止支撐臺(tái)自動(dòng)升起，從而避免存在正常退片時(shí)夾傷晶圓，甚至碎片的風(fēng)險(xiǎn)，最終可以避免造成晶圓報(bào)廢。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的有關(guān)本實(shí)用新型的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)的簡(jiǎn)單示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開(kāi)了 一種防止晶圓在正常退片時(shí)被破壞的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)。該臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其包括交換腔、中轉(zhuǎn)腔、測(cè)量腔、用以放置晶圓的支撐臺(tái)、控制支撐臺(tái)上升或下降的驅(qū)動(dòng)器、轉(zhuǎn)置晶圓的交換臂、抽氣泵，所述支撐臺(tái)上設(shè)有在抽氣泵停止工作時(shí)控制支撐臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)的緊急制動(dòng)裝置。進(jìn)一步的，所述緊急制動(dòng)裝置包括與抽氣泵連接的感應(yīng)器、傳遞感應(yīng)器信號(hào)的信號(hào)傳遞器、與信號(hào)傳遞器銜接且根據(jù)信號(hào)傳遞器的信號(hào)控制驅(qū)動(dòng)器運(yùn)動(dòng)或停止的制動(dòng)器。進(jìn)一步的，所述緊急制動(dòng)裝置包括用以在抽氣泵停止工作時(shí)強(qiáng)制制止支撐臺(tái)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)制制動(dòng)部。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。如圖1所示，本實(shí)用新型揭示的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其包括交換腔100、中轉(zhuǎn)腔200、測(cè)量腔300、用以放置晶圓900的支撐臺(tái)400、控制支撐臺(tái)400上升或下降的驅(qū)動(dòng)器500、轉(zhuǎn)置晶圓900的交換臂600、控制腔室內(nèi)真空度的抽氣泵。支撐臺(tái)400上設(shè)有在抽氣泵停止工作時(shí)控制支撐臺(tái)400停止運(yùn)動(dòng)的緊急制動(dòng)裝置700。如此設(shè)置，通過(guò)設(shè)置一個(gè)緊急制動(dòng)裝置700，可以防止在抽氣泵突然停止工作時(shí)，阻止支撐臺(tái)400自動(dòng)升起，從而避免了夾傷晶圓900,甚至碎片的風(fēng)險(xiǎn)，最終可以避免造成晶圓900報(bào)廢。本實(shí)用新型關(guān)于緊急制動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)置不受限制，可以采用任何便捷的方式進(jìn)行控制。比如，緊急制動(dòng)裝置可以設(shè)置為包括:與抽氣泵連接的感應(yīng)器、傳遞感應(yīng)器信號(hào)的信號(hào)傳遞器、與信號(hào)傳遞器銜接且根據(jù)信號(hào)傳遞器的信號(hào)控制驅(qū)動(dòng)器500運(yùn)動(dòng)或停止的制動(dòng)器。這種結(jié)構(gòu)的緊急制動(dòng)裝置在抽氣泵突然停止工作時(shí)，感應(yīng)器的感應(yīng)信號(hào)通過(guò)信號(hào)傳遞器傳遞給制動(dòng)器，使得制動(dòng)器啟動(dòng)將驅(qū)動(dòng)器500暫停工作，從而使得支撐臺(tái)400停止運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，也可以設(shè)置一個(gè)強(qiáng)制制動(dòng)部，該強(qiáng)制制動(dòng)部的工作原理是接到抽氣泵突然停止工作的信號(hào)后，即直接強(qiáng)制卡住支撐臺(tái)400，使得支撐臺(tái)400被迫強(qiáng)行停止。強(qiáng)制制動(dòng)部可以單獨(dú)設(shè)置，也可以在為了進(jìn)一步保證緊急制動(dòng)的效果的情況下，配合上述控制驅(qū)動(dòng)器500運(yùn)動(dòng)的方式同時(shí)使用。本實(shí)用新型實(shí)施例的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)的工作原理為:進(jìn)片時(shí)，晶圓900置于支撐臺(tái)400上并從交換腔100隨著支撐臺(tái)400的向下運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，到達(dá)交換臂600的位置，交換臂600運(yùn)動(dòng)，將晶圓900帶至中轉(zhuǎn)腔200，然后晶圓900再?gòu)闹修D(zhuǎn)腔200被轉(zhuǎn)移到測(cè)量腔300進(jìn)行精度測(cè)試；測(cè)試完成后，進(jìn)行退片工序，先將晶圓900從測(cè)量腔300轉(zhuǎn)移到中轉(zhuǎn)腔200，然后通過(guò)交換臂600將測(cè)量好的晶圓900換到支撐臺(tái)400的位置，然后驅(qū)動(dòng)器500工作，控制支撐臺(tái)400上升，支撐臺(tái)400上升的同時(shí)將交換臂600上的晶圓900頂起而向上傳輸，晶圓900到達(dá)交換腔100后，外部抓取臂會(huì)將晶圓900取走，交換腔100內(nèi)設(shè)有一個(gè)蓋體800，蓋體800在抽氣泵的作用下被頂起，且外部抓取臂在抽氣泵的作用下在交換腔100內(nèi)的部分呈真空狀態(tài)，利用真空吸附晶圓900，此時(shí)若是抽氣泵停止工作，外部抓取臂處于半真空甚至大氣壓狀態(tài)，此時(shí)，對(duì)晶圓900的吸附力降低，導(dǎo)致晶圓900與外部抓取臂之間產(chǎn)生摩擦，而同時(shí)，若是抽氣泵停止工作，交換腔100內(nèi)呈大氣壓狀態(tài)，蓋體800在大氣壓作用下下降，導(dǎo)致蓋體800會(huì)壓壞晶圓900，進(jìn)而造成夾傷晶圓900，甚至碎片的風(fēng)險(xiǎn)。本實(shí)用新型實(shí)施例的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)通過(guò)設(shè)置一個(gè)緊急制動(dòng)裝置700，可以防止在抽氣泵突然停止工作時(shí)，阻止支撐臺(tái)400自動(dòng)升起，從而避免存在正常退片時(shí)夾傷晶圓900,甚至碎片的風(fēng)險(xiǎn)，最終可以避免造成晶圓900報(bào)廢。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
權(quán)利要求1.一種臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其包括交換腔、中轉(zhuǎn)腔、測(cè)量腔、用以放置晶圓的支撐臺(tái)、控制支撐臺(tái)上升或下降的驅(qū)動(dòng)器、轉(zhuǎn)置晶圓的交換臂、抽氣泵，其特征在于:所述支撐臺(tái)上設(shè)有在抽氣泵停止工作時(shí)控制支撐臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)的緊急制動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述緊急制動(dòng)裝置包括與抽氣泵連接的感應(yīng)器、傳遞感應(yīng)器信號(hào)的信號(hào)傳遞器、與信號(hào)傳遞器銜接且根據(jù)信號(hào)傳遞器的信號(hào)控制驅(qū)動(dòng)器運(yùn)動(dòng)或停止的制動(dòng)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述緊急制動(dòng)裝置包括用以在抽氣泵停止工作時(shí)強(qiáng)制制止支撐臺(tái)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)制制動(dòng)部。
專(zhuān)利摘要一種臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)，其包括交換腔、中轉(zhuǎn)腔、測(cè)量腔、用以放置晶圓的支撐臺(tái)、控制支撐臺(tái)上升或下降的驅(qū)動(dòng)器、轉(zhuǎn)置晶圓的交換臂、抽氣泵，所述支撐臺(tái)上設(shè)有在抽氣泵停止工作時(shí)控制支撐臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)的緊急制動(dòng)裝置。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置緊急制動(dòng)裝置，使得臨界尺寸掃描電鏡機(jī)臺(tái)在支撐臺(tái)正常退片突發(fā)抽氣泵跳掉時(shí)，支撐臺(tái)在自動(dòng)升起過(guò)程中緊急制動(dòng)，減少夾傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202996793SQ20122057593
公開(kāi)日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月1日
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