專利名稱：一種引線鍵合機(jī)基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及全自動引線鍵合機(jī)基座的設(shè)計(jì)。
背景技術(shù)：
在電子和半導(dǎo)體器件制造設(shè)備全自動引線鍵合機(jī)的自動生產(chǎn)過程中，速度、精度和可靠性是引線鍵合機(jī)的重要技術(shù)指標(biāo)。這其中高穩(wěn)定性，高抗震動性的基座是實(shí)現(xiàn)引線鍵合機(jī)高速度，高精度，高可靠性運(yùn)行目標(biāo)的重要基礎(chǔ)部件。傳統(tǒng)的鍵合機(jī)XY工作臺的X向直線電機(jī)安裝在綁定頭的左側(cè)，綁頭下面還需要基座來支撐X向直線電機(jī)基座，這樣將導(dǎo)致整個XY工作臺占空間面積大，并且需要基座和X向直線電機(jī)動子的精密配合加上高精度的機(jī)械設(shè)計(jì)和裝配才能保證XY工作臺裝配精度的技術(shù)問題。另外，傳統(tǒng)鍵合機(jī)基座采用由方鋼焊接后的支架承載大基板結(jié)構(gòu)，抗震動性不強(qiáng)，該缺陷是導(dǎo)致全自動引線鍵合機(jī)整機(jī)速度無法再往上提升的瓶頸。本實(shí)用新型的目的在于克服上述缺欠，提出了一種抗震性更強(qiáng)的弓I線鍵合機(jī)基座。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種引線鍵合機(jī)基座，由礦物質(zhì)鑄件基座、礦物質(zhì)支腿和基礎(chǔ)鋼板三部分組成，礦物質(zhì)鑄件基座為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺階形狀基座，其中第一層臺階開有豎向走線孔用于導(dǎo)線安裝，第二層臺階表面開有若干個用于安裝X向直線電機(jī)定子和X向交叉滾子的安裝孔，并開有X向直線電機(jī)安裝凹槽，在X向直線電機(jī)安裝凹槽的側(cè)面開有走線凹槽；第三層臺階表面也開有用于Y向直線電機(jī)定子的安裝孔；在第二層臺階垂直面上開有水平向的導(dǎo)線孔為X向直線電機(jī)動子的導(dǎo)線提供通道；礦物質(zhì)鑄件基座的四角留有礦物質(zhì)支腿的安裝孔，四根大螺栓通過礦物質(zhì)鑄件基座四角的支腿安裝孔將礦物質(zhì)鑄件基座、礦物質(zhì)支腿和基礎(chǔ)鋼板固定連接在一起，在礦物質(zhì)支腿上開有若干個走線孔。本實(shí)用新型的有益效果是由于物體的共振頻率與物體材料的彈性模量成正比，而與材料的密度成反比，因此采用高比剛度材料做成的基座來安裝XY基板和鍵合頭等核心部件，能夠使整個引線鍵合設(shè)備具有較高的共振頻率，也就能夠提高整個鍵合設(shè)備的抗振動能力。有了高的抗振動能力，也就使XY基板和鍵合頭能夠在高的加速度和高的速度下運(yùn)行，提高了鍵合生產(chǎn)效率。另一個優(yōu)點(diǎn)是省略掉傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)左側(cè)安裝X向直線電機(jī)的一大片空間，使得整個機(jī)臺的重心向中間偏移，利于整個機(jī)臺的穩(wěn)定，從而大大增加了機(jī)器焊接的穩(wěn)定性。

圖1，圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中3.礦物質(zhì)鑄件基座，4.礦物質(zhì)支腿，5.基礎(chǔ)鋼板，41-44. X向直線電機(jī)定子安裝孔，51-56. Y向直線電機(jī)定子安裝孔，70-79. X向交叉滾子安裝孔，8. X向直線電機(jī)安裝凹槽，10. X直線電機(jī)動子走線凹槽，31-34.支腿安裝孔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。將人造理石鑄造成為三層階梯的臺階形狀基座，其中在第一層臺階開有豎向走線孔用于導(dǎo)線安裝，第二層臺階表面上開出若干個X向直線電機(jī)定子安裝孔(41-44)用于安裝X向直線電機(jī)定子，開有X向交叉滾子安裝孔(70-79)用于安裝X向交叉滾子；在第二層臺階表面上開有X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)，在X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)的側(cè)面開有走線凹槽(10);第三層臺階表面上開出用于安裝Y向直線電機(jī)定子的安裝孔(51-56);第二層臺階垂直面上開有水平向的導(dǎo)線孔，為X向直線電機(jī)動子的導(dǎo)線提供通道；礦物質(zhì)鑄件基座(3)的四角留有礦物質(zhì)支腿(4)的支腿安裝孔(31-34)，用四根大螺栓通過支腿安裝孔(31-34)將礦物質(zhì)鑄件基座(3)、礦物質(zhì)支腿(4)和基礎(chǔ)鋼板(5)固定連接在一起，在礦物質(zhì)支腿(4)上開 有若干個走線孔。
權(quán)利要求1.一種引線鍵合機(jī)基座，由礦物質(zhì)鑄件基座(3)、礦物質(zhì)支腿(4)和基礎(chǔ)鋼板(5)三部分組成，其特征在于礦物質(zhì)鑄件基座(3)為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺階形狀基座，其中第一層臺階開有垂直方向的走線孔用于導(dǎo)線安裝；第二層臺階水平表面開有X向直線電機(jī)定子安裝孔(41-44)和X向交叉滾子安裝孔(70-79)，第二層臺階水平表面上還開有X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)，在X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)的側(cè)面開有走線凹槽(10);第三層臺階水平表面上開有Y向直線電機(jī)定子安裝孔(51-56);在第二層臺階的垂直面上開有水平向的導(dǎo)線孔；礦物質(zhì)鑄件基座(3)的四角留有礦物質(zhì)支腿(4)的安裝孔(31-34)，四根大螺栓通過礦物質(zhì)支腿安裝孔(31-34)將礦物質(zhì)鑄件基座(3)，礦物質(zhì)支腿(4)和基礎(chǔ)鋼板(5)固定連接在一起，在礦物質(zhì)支腿(4)上開有若干個走線孔。
專利摘要一種引線鍵合機(jī)基座結(jié)構(gòu)，屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，這種引線鍵合機(jī)基座，由于物體的共振頻率與物體材料的彈性模量成正比，而與材料的密度成反比，因此采用高比剛度材料做成的基座來安裝XY工作臺和鍵合頭等核心部件，能夠使整個引線鍵合設(shè)備具有較高的共振頻率，也就能夠提高整個鍵合設(shè)備的抗振動能力。有了高的抗振動能力，也就使XY工作臺和鍵合頭能夠在高的加速度和高的速度下運(yùn)行，提高了鍵合生產(chǎn)效率。另一個優(yōu)點(diǎn)是省略掉傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)左側(cè)安裝X向直線電機(jī)的一大片空間，使得整個機(jī)臺的重心向中間偏移，利于整個機(jī)臺的穩(wěn)定，從而大大增加了機(jī)器焊接的穩(wěn)定性。
文檔編號H01L21/60GK202905672SQ20122061196
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者張飛, 潘寶剛, 王輝 申請人:大連佳峰電子有限公司