專利名稱：一種移動式密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造工藝領(lǐng)域，具體涉及一種移動式密封裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體工藝設(shè)備的發(fā)展，對集成電路硅片的清洗制造工藝要求也越來越高。在集成電路清洗工藝過程中，對于工藝腔室內(nèi)部的微環(huán)境有較高的要求，為了保證一個良好的內(nèi)部微環(huán)境，需要對硅片周圍的工藝腔室進(jìn)行密封，以使硅片與周圍的環(huán)境進(jìn)行隔絕。但是同時，在機(jī)械手對硅片進(jìn)行抓取與放置的過程中，又不可避免的會使工藝腔室與外部環(huán)境連通。為使硅片在清洗的過程中盡可能的減小外部環(huán)境對其的影響，在硅片放置完畢后，應(yīng)該對工藝腔室進(jìn)行及時的密封，以保證工藝腔室的工藝要求。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型的目的在于提供一種在機(jī)械手進(jìn)入工藝腔室中對硅片進(jìn)行抓取與放置并退出工藝腔室之后，能夠及時對工藝腔室進(jìn)行密封的移動式密封裝置。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種移動式密封裝置，該密封裝置包括:移動式密封板、驅(qū)動裝置、導(dǎo)軌和導(dǎo)軌滑塊；所述導(dǎo)軌與導(dǎo)軌滑塊連接；所述移動式密封板一端與導(dǎo)軌滑塊連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。進(jìn)一步，所述驅(qū)動裝置為氣缸。再進(jìn)一步，所述氣缸上設(shè)有能夠上下移動的滑塊。其中，該密封裝置還包括連接件；所述移動式密封板通過連接件與氣缸的滑塊連接。其中，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護(hù)罩，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)。進(jìn)一步，所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩為電動執(zhí)行器保護(hù)罩。其中，所述電動執(zhí)行器保護(hù)罩采用無塵防腐蝕的非金屬材料。其中，所述電動執(zhí)行器保護(hù)罩一側(cè)開有長凹槽，另一側(cè)開有第一短凹槽和第二短凹槽。其中，該密封裝置還包括位置控制裝置；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)。進(jìn)一步，所述位置控制裝置包括第一限位傳感器和第二限位傳感器，所述第一限位傳感器和第二限位傳感器分別安裝在電動執(zhí)行器保護(hù)罩的第一短凹槽和第二短凹槽中。(三)有益效果本實用新型提供的移動式密封裝置安裝在工藝腔室開口處，在機(jī)械手進(jìn)入工藝腔室之前，該密封裝置移動到最低位置，以使機(jī)械手能夠進(jìn)入工藝腔室中對硅片進(jìn)行抓取與放置，在機(jī)械手退出工藝腔室后，使用該密封裝置對工藝腔室進(jìn)行及時密封。利用本實用新型提供的移動式密封裝置對工藝腔室進(jìn)行密封，能夠使工藝腔室內(nèi)部放置的硅片的周圍微環(huán)境與外界環(huán)境做到更好的隔離，從而保證工藝腔室內(nèi)部的潔凈等級，使設(shè)備達(dá)到更高的工藝要求。

圖1是將移動式密封裝置固定在工藝腔室面板上的示意圖。圖2是本實用新型提供的移動式密封裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖3是圖2所示的移動式密封裝置的移動式密封板的結(jié)構(gòu)圖。圖4是圖2所示的移動式密封裝置的氣缸的結(jié)構(gòu)圖。圖5是圖2所示的移動式密封裝置的連接件的結(jié)構(gòu)圖。圖6是不含頂蓋情況下的電動執(zhí)行器保護(hù)罩的結(jié)構(gòu)圖。圖7是圖2所示的移動式密封裝置的導(dǎo)軌滑塊的結(jié)構(gòu)圖。圖中，1:工藝腔室；2:移動式密封裝置；3:移動式密封板；301:第一孔；302:第二孔；4:氣缸；401:滑塊；5:連接件；501:弟一通孔；502:第二通孔；6:電動執(zhí)彳了器保護(hù)罩；601:第一短凹槽；602:第二短凹槽；603:長凹槽；7:第一限位傳感器；8:第二限位傳感器；9:導(dǎo)軌；10:導(dǎo)軌滑塊。
具體實施方式
下面結(jié) 合附圖對本實用新型提供的移動式密封裝置的具體實施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)說明。這些實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。此外，在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。如圖1所示，工藝腔室I上開有一個大小適中的口，用于從工藝腔室I內(nèi)取放硅片，將移動式密封裝置2通過螺釘?shù)染o固件固定在工藝腔室I開口處(圖中工藝腔室只顯示其中一個面)。如圖2、圖7所示，本實用新型提供的移動式密封裝置2包括:移動式密封板3、驅(qū)動裝置、導(dǎo)軌9和導(dǎo)軌滑塊10，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護(hù)罩、連接件5和位置控制裝置；所述導(dǎo)軌9與導(dǎo)軌滑塊10連接；所述移動式密封板3 —端與導(dǎo)軌滑塊10連接，另一端通過連接件5與驅(qū)動裝置連接；所述導(dǎo)軌滑塊10為兩個。 在本實施方式中，通過導(dǎo)軌滑塊10達(dá)到移動式密封板3在導(dǎo)軌9上滑動的效果只是本實用新型的優(yōu)選方式，其他可以達(dá)到此效果的連接方式也在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。所述驅(qū)動裝置采用氣缸4驅(qū)動，用于驅(qū)動移動式密封板3的上下移動，以保證驅(qū)動過程平穩(wěn)、可靠；為了達(dá)到良好的密封效果，所述移動式密封板3的面積應(yīng)稍大于工藝腔室I上的開口的面積；所述連接件5用于連接氣缸4和移動式密封板3 ;所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩為電動執(zhí)行器保護(hù)罩6，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)，用于隔離驅(qū)動裝置與周圍環(huán)境，減小由于驅(qū)動裝置在移動過程中產(chǎn)生微小顆粒而影響工藝過程；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)，其包括第一限位傳感器7和第二限位傳感器8，用于該密封裝置2在上下移動時的限位保護(hù)；所述導(dǎo)軌9用于導(dǎo)向定位，以保證該密封裝置2在移動過程中沿固定方向移動不會發(fā)生較大偏差；為了保證該移動式密封裝置2的穩(wěn)定性，所述導(dǎo)軌9與導(dǎo)軌滑塊10的接觸面積不能太小。如圖3所不,移動式密封板3上設(shè)有第一孔301和第二孔302,第一孔301和第二孔302分別位于移動式密封板3的左右兩側(cè)，第一孔301用于移動式密封板3與導(dǎo)軌滑塊10的連接，第二孔302用于移動式密封板3與氣缸4的連接。如圖4所示，氣缸4上設(shè)有能夠上下移動的滑塊401，所述滑塊401上開有螺紋孔；所述移動式密封板3通過連接件5與氣缸4的滑塊401連接。如圖5所示，連接件5上設(shè)有第一通孔501和第二通孔502，第一通孔501用于連接件5與移動式密封板3的連接，第二通孔502用于連接件5與氣缸4上方的滑塊401的連接；為了減小由于加工誤差而造成的安裝困難等問題，將所述第一通孔501加工成橢圓狀。如圖6所示，電動執(zhí)行器保護(hù)罩6 —側(cè)開有長凹槽603，用于連接件5的上下移動，另一側(cè)開有第一短凹槽601和第二短凹槽602,分別用于安裝第一限位傳感器7和第二限位傳感器8，當(dāng)移動式密封板3移動到上極限位置或下極限位置時，第一限位傳感器7或第二限位傳感器8發(fā)出觸發(fā)信號使氣缸4停止驅(qū)動，以保護(hù)移動式密封裝置2，同時也能夠保證良好的密封效果；為了避免采用金屬材料制成的電動執(zhí)行器保護(hù)罩6產(chǎn)生微小顆粒而影響集成電路清洗的效果，電動執(zhí)行器保護(hù)罩6采用無塵防腐蝕的非金屬材料制成。本實用新型提供的移動式密封裝置2對工藝腔室I的密封過程如下:S1:機(jī)械手將硅片放置到工藝腔室I的合適位置并退出腔室；S2:驅(qū)動裝置驅(qū)動移動式密封板3沿導(dǎo)軌9上下移動；S3:第一限位傳感器7和第二限位傳感器8對移動式密封板3的滑移距離進(jìn)行控制；S4:當(dāng)移動式密封板3完全覆蓋工藝腔室I的開口時，驅(qū)動裝置停止驅(qū)動，此時密封過程結(jié)束。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置包括:移動式密封板(3)、驅(qū)動裝置、導(dǎo)軌(9)和導(dǎo)軌滑塊(10);所述導(dǎo)軌(9)與導(dǎo)軌滑塊(10)連接；所述移動式密封板(3) —端與導(dǎo)軌滑塊(10)連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為氣缸(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述氣缸(4)上設(shè)有能夠上下移動的滑塊(401)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括連接件(5);所述移動式密封板(3)通過連接件(5)與氣缸(4)的滑塊(401)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括驅(qū)動裝置保護(hù)罩，所述驅(qū)動裝置位于所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置保護(hù)罩為電動執(zhí)行器保護(hù)罩(6 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述電動執(zhí)行器保護(hù)罩(6)采用無塵防腐蝕的非金屬材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述電動執(zhí)行器保護(hù)罩(6)—側(cè)開有長凹槽(603)，另一側(cè)開有第一短凹槽(601)和第二短凹槽(602)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的移動式密封裝置，其特征在于，該密封裝置還包括位置控制裝置；所述位置控制裝置安裝在驅(qū)動裝置保護(hù)罩內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的移動式密封裝置，其特征在于，所述位置控制裝置包括第一限位傳感器(7)和第二限位傳感器(8)，所述第一限位傳感器(7)和第二限位傳感器(8)分別安裝在電動執(zhí)行器保護(hù)罩(6)的第一短凹槽(601)和第二短凹槽(602)中。
專利摘要本實用新型提供一種移動式密封裝置，該密封裝置包括移動式密封板、驅(qū)動裝置、導(dǎo)軌和導(dǎo)軌滑塊；所述導(dǎo)軌與導(dǎo)軌滑塊連接；所述移動式密封板一端與導(dǎo)軌滑塊連接，另一端與驅(qū)動裝置連接。本實用新型提供的移動式密封裝置安裝在工藝腔室開口處，在機(jī)械手進(jìn)入工藝腔室之前，該密封裝置移動到最低位置，以使機(jī)械手能夠進(jìn)入工藝腔室中對硅片進(jìn)行抓取與放置，在機(jī)械手退出工藝腔室后，使用該密封裝置對工藝腔室進(jìn)行及時密封。利用本實用新型提供的移動式密封裝置對工藝腔室進(jìn)行密封，能夠使工藝腔室內(nèi)部放置的硅片的周圍微環(huán)境與外界環(huán)境做到更好的隔離，從而保證工藝腔室內(nèi)部的潔凈等級，使設(shè)備達(dá)到更高的工藝要求。
文檔編號H01L21/67GK203013688SQ20122065275
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月30日
發(fā)明者徐俊成, 高 浩, 李偉, 賈星杰, 孫文婷 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司