專利名稱：一種激光調(diào)阻機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光調(diào)阻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩(wěn)定、可靠的激光調(diào)阻機(jī)。
背景技術(shù)：
激光調(diào)阻工藝已經(jīng)成熟應(yīng)用在厚膜、薄膜及半導(dǎo)體電路中，現(xiàn)今由于人們對(duì)器件的微型化要求越來越高甚至到苛刻的地步，電路的微型化要求也越來越高，在一些精密的厚、薄膜電路以及一些半導(dǎo)體電路中，對(duì)精密激光調(diào)阻機(jī)有著相當(dāng)高的要求，而且這些電路的工藝只有激光調(diào)阻才能解決。除了基本的測(cè)量精度外，對(duì)產(chǎn)品的運(yùn)動(dòng)精度及定位精度要求也非常的高。由于激光調(diào)阻加工時(shí)激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)需要重復(fù)運(yùn)動(dòng)、探針需要重復(fù)升降，而且對(duì)運(yùn)動(dòng)效率要求非常高，整個(gè)高速運(yùn)動(dòng)對(duì)基臺(tái)會(huì)產(chǎn)生一定的反作用力，這對(duì)加工產(chǎn)品位置會(huì)有一定的影響，另外傳統(tǒng)的金屬材料基臺(tái)由于熱賬冷縮因素，隨著溫度的變化，臺(tái)面也會(huì)有微量的變形，上述因素的影響對(duì)產(chǎn)品定位精度會(huì)造成大于IOum以上的誤差，這對(duì)于要求極高的精密調(diào)阻加工位置精度來說都是不允許的，所以精密激光調(diào)阻機(jī)對(duì)整個(gè)基臺(tái)穩(wěn)定性非常重要。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型主要是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述技術(shù)問題，提供一種使用過程中不易變形、穩(wěn)定、可靠的激光調(diào)阻機(jī)。本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:一種激光調(diào)阻機(jī)，包括安裝有計(jì)算機(jī)和控制電路的機(jī)體，所述機(jī)體上安裝有基臺(tái)，所述基臺(tái)上安裝有激光器系統(tǒng)，所述基臺(tái)由大理石制成。本實(shí)用新型的基臺(tái)全部采用大理石結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)合理，能有效防止各運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)其反作用力帶來的基臺(tái)振動(dòng)，并且長時(shí)間使用過程中不會(huì)產(chǎn)生溫度導(dǎo)致的基臺(tái)變形，大大提 高了整個(gè)激光調(diào)阻系統(tǒng)的位置精度，滿足對(duì)位置要求極高的精細(xì)激光調(diào)阻加工，從實(shí)驗(yàn)情況來看效果非常理想。作為優(yōu)選，所述激光器系統(tǒng)包括激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、探針升降運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和激光器升降系統(tǒng)。該結(jié)構(gòu)使激光器的控制更加方便。作為優(yōu)選，所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括采用空氣懸浮技術(shù)的平面電機(jī)。采用空氣懸浮技術(shù)的平面電機(jī)，運(yùn)動(dòng)過程懸浮無摩擦力，運(yùn)動(dòng)速度及精度高。作為優(yōu)選，所述探針升降系統(tǒng)和激光器升降系統(tǒng)分別垂直于激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)，所述探針升降系統(tǒng)和激光器升降系統(tǒng)垂直。該結(jié)構(gòu)緊湊合理，控制方便。作為優(yōu)選，所述基臺(tái)包括大理石平臺(tái)和大理石立柱，所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)固定大大理石平臺(tái)上，所述探針升降系統(tǒng)和激光器升降系統(tǒng)固定在大理石立柱上。該結(jié)構(gòu)提高了整套系統(tǒng)的穩(wěn)定性。作為優(yōu)選，還包括顯示器組件，所述顯示器組件安裝在機(jī)體上。該結(jié)構(gòu)便于工作人員操作。[0010]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、合理、操作方便，并且能有效防止各運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)其反作用力帶來的基臺(tái)振動(dòng)，并且長時(shí)間使用不存在溫度導(dǎo)致的細(xì)微變形的影響，大大提高了整個(gè)激光調(diào)阻系統(tǒng)的位置精度，滿足對(duì)位置要求極高的精細(xì)激光調(diào)阻加工。

附圖1為本實(shí)用新型一種激光調(diào)阻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2為本實(shí)用新型一種基臺(tái)和激光器系統(tǒng)的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型的部分實(shí)施例。實(shí)施例1:參見附圖1，本實(shí)用新型一種激光調(diào)阻機(jī)，包括安裝有計(jì)算機(jī)和控制電路的機(jī)體1，所述機(jī)體I上安裝有基臺(tái)2，所述基臺(tái)2上安裝有激光器系統(tǒng)3，所述基臺(tái)2由大理石制成，還包括顯示器組件9，所述顯示器組件9安裝在機(jī)體I上。所述激光器系統(tǒng)3包括激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)4、探針升降運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)5和激光器升降系統(tǒng)6。所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)4包括采用空氣懸浮技術(shù)的平面電機(jī)。所述探針升降系統(tǒng)5和激光器升降系統(tǒng)6分別垂直于激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)4，所述探針升降系統(tǒng)5和激光器升降系統(tǒng)6垂直。所述基臺(tái)2包括大理石平臺(tái)7和大理石立柱8，所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)4固定大大理石平臺(tái)7上，所述探針升降系統(tǒng)5和激光器升降系統(tǒng)6固定在大理石立柱8上。
·[0016]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、合理、操作方便，并且能有效防止各運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)其反作用力帶來的基臺(tái)振動(dòng)，并且長時(shí)間使用不存在溫度導(dǎo)致的細(xì)微變形的影響，大大提高了整個(gè)激光調(diào)阻系統(tǒng)的位置精度，滿足對(duì)位置要求極高的精細(xì)激光調(diào)阻加工。應(yīng)理解，上述實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
權(quán)利要求1.一種激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:包括安裝有計(jì)算機(jī)和控制電路的機(jī)體(1)，所述機(jī)體(I)上安裝有基臺(tái)(2)，所述基臺(tái)(2)上安裝有激光器系統(tǒng)(3)，所述基臺(tái)(2)由大理石制成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:所述激光器系統(tǒng)(3)包括激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(4)、探針升降運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(5)和激光器升降系統(tǒng)(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(4)包括采用空氣懸浮技術(shù)的平面電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:所述探針升降系統(tǒng)(5)和激光器升降系統(tǒng)(6)分別垂直于激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)(4)，所述探針升降系統(tǒng)(5)和激光器升降系統(tǒng)(6)垂直。
5.根據(jù)權(quán)利要求f4任一所述的激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:所述基臺(tái)(2)包括大理石平臺(tái)(7)和大理石立柱(8)，所述激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)(4)固定大大理石平臺(tái)(7)上，所述探針升降系統(tǒng)(5)和激光器升降系統(tǒng)(6)固定在大理石立柱(8)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光調(diào)阻機(jī)，其特征在于:還包括顯示器組件(9)，所述顯示器組件(9)安裝在機(jī)體(I)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及激光調(diào)阻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩(wěn)定、可靠的激光調(diào)阻機(jī)。包括安裝有計(jì)算機(jī)和控制電路的機(jī)體，所述機(jī)體上安裝有基臺(tái)，所述基臺(tái)上安裝有激光器系統(tǒng)，所述基臺(tái)由大理石制成。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、合理、操作方便，提高了整個(gè)激光調(diào)阻系統(tǒng)的位置精度，滿足對(duì)位置要求極高的精細(xì)激光調(diào)阻加工。
文檔編號(hào)H01C17/242GK203103039SQ20122070489
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月19日
發(fā)明者何成鵬, 程燕爭, 陳麗芳 申請(qǐng)人:武漢三工精密制造有限公司