專利名稱：擴散石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種石英舟，尤其涉及一種擴散石英舟。
背景技術(shù)：
太陽能電池擴散是電池片制作中的核心工序，主要目的是形成PN結(jié)使得電子和空穴分離，高質(zhì)量，高均勻性的PN結(jié)是生產(chǎn)高效電池的基礎(chǔ)。目前我們所使用的傳統(tǒng)石英舟，由于溫度和氣流分布不均勻，因此擴散方阻的均勻性不是很好，可調(diào)空間也不大，工藝氣體從尾部進入爐內(nèi)，氣流垂直于硅片表面，工藝氣體沿著硅片周邊流向爐口，工藝氣體較難到達硅片與硅片之間，硅片中心區(qū)域氣體密度低于硅片四邊，從而導(dǎo)致硅片中間方阻大于四邊的方阻，方阻均勻性差，電池片方阻均勻性差從而導(dǎo)致轉(zhuǎn)換效率低。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是:為了解決傳統(tǒng)的石英舟溫度和氣流分布不均勻而導(dǎo)致電池片轉(zhuǎn)換效率低的問題，本實用新型提供一種用于生產(chǎn)太陽能電池片的擴散石英舟來解決上述問題。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種擴散石英舟，用于放置硅片進行擴散處理，包括一個支撐骨架和位于支撐骨架兩端的兩塊面板，所述的兩塊面板上均開有用于氣流通過的通孔，所述的支撐骨架包括位于底部的底固定條、設(shè)置在底固定條上的支撐條和用于圍護硅片的兩條側(cè)面橫桿，所述的兩條側(cè)面橫桿之間設(shè)置有至少兩根龍骨。為了放置的硅片穩(wěn)固，所述支撐條上具有多個第一插槽。為了放置的硅片穩(wěn)固，所述龍骨正對硅片的方向設(shè)置有多個第二插槽。進一步，具體的說，所述的底固定條為2根，支撐條為6根，龍骨為4根，所述的4根龍骨均布在所述的側(cè)面橫桿上將擴散石英舟分為三格，每格內(nèi)均設(shè)置有兩個支撐條。進一步，根據(jù)實際需要，所述的第一插槽和第二插槽的個數(shù)均為20-200。進一步，作為優(yōu)選，所述的第一插槽和第二插槽的個數(shù)均為50。進一步,具體的說,所述第一插槽和第二插槽的寬度均為0.lmm-3mm。進一步，作為優(yōu)選所述的第一插槽和第二插槽的寬度均為1.5mm。本實用新型的有益效果是，本實用新型擴散石英舟，可以使得石英舟上硅片和氣流平行，這樣氣流能均勻的在硅片之間流動，對擴散方阻的均勻性有很大的改善，同時提高了電池片的轉(zhuǎn)換效率，降低了低效片的比例，節(jié)約了企業(yè)的成本。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實 用新型擴散石英舟擺放硅片的示意圖；[0016]圖2是本實用新型擴散石英舟的主視圖；圖3是本實用新型擴散石英舟的左視圖；圖4是本使用新型擴散石英舟的俯視圖。圖中1、娃片,2、面板,3、底固定條,4、側(cè)面橫桿,5、支撐條,6.第一插槽,7、龍骨，
8、第二插槽，9、通孔。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖1-3所示，本實用新型擴散石英舟，用于放置硅片I進行擴散處理，包括一個支撐骨架和位于支撐骨架兩端的兩塊面板2，兩塊面板2上均開有用于氣流通過的通孔，支撐骨架包括位于底部的底固定條3、設(shè)置在底固定條3上的支撐條5和用于圍護硅片I的兩條側(cè)面橫桿4，兩條側(cè)面橫桿4之間設(shè)置有至少兩根龍骨7，支撐條5上具有多個第一插槽6，龍骨7正對硅片的方向設(shè)置有多個第二插槽8。在本實施例中，底固定條3為2根，支撐條5為6根，龍骨7為4根，4根龍骨7均布在側(cè)面橫桿4上將擴散石英舟分為三格,每格內(nèi)均設(shè)置有兩個支撐條5,第一插槽6和第二插槽8的個數(shù)均為50,第一插槽6和第二插槽8的寬度均為1.5_。工藝氣體從尾部進入 爐內(nèi)，利用通孔9進出擴散石英舟，氣流平行于硅片I表面。以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1.一種擴散石英舟，用于放置硅片(I)進行擴散處理，其特征在于:包括一個支撐骨架和位于支撐骨架兩端的兩塊面板(2)，所述的兩塊面板(2)上均開有用于氣流通過的通孔(9)，所述的支撐骨架包括位于底部的底固定條(3)、設(shè)置在底固定條(3)上的支撐條(5)和用于圍護硅片(I)的兩條側(cè)面橫桿(4)，所述的兩條側(cè)面橫桿(4)之間設(shè)置有至少兩根龍骨(7)。
2.如權(quán)利要求1所述的擴散石英舟，其特征在于:所述支撐條(5)上具有多個第一插槽(6)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的擴散石英舟，其特征在于:所述龍骨(7)正對硅片的方向設(shè)置有多個第二插槽(8)。
4.如權(quán)利要求3所述的擴散石英舟，其特征在于:所述的底固定條(3)為2根，支撐條(5)為6根，龍骨(7)為4根，所述的4根龍骨(7)均布在所述的側(cè)面橫桿(4)上將擴散石英舟分為三格，每格內(nèi)均設(shè)置有兩個支撐條(5)。
5.如權(quán)利要求4所述的擴散石英舟，其特征在于:所述的第一插槽(6)和第二插槽(8)的個數(shù)均為20-200。
6.如權(quán)利要求5所述的擴散石英舟，其特征在于:所述的第一插槽(6)和第二插槽(8)的個數(shù)均為50。
7.如權(quán)利要求4所述的擴散石英舟，其特征在于:所述第一插槽(6)和第二插槽(8)的寬度均為0.lmm-3mm。
8.如權(quán)利要求7所述的擴散石英舟，其特征在于:所述的第一插槽(6)和第二插槽(8)的寬度均為1.5mm。
專利摘要本實用新型涉及一種擴散石英舟，用于放置硅片進行擴散處理，包括一個支撐骨架和位于支撐骨架兩端的兩塊面板，兩塊面板上均開有用于氣流通過的通孔，支撐骨架包括位于底部的底固定條、設(shè)置在底固定條上的支撐條和用于圍護硅片的兩條側(cè)面橫桿，兩條側(cè)面橫桿之間設(shè)置有至少兩根龍骨，本實用新型可以使得石英舟上硅片和氣流平行，這樣氣流能均勻的在硅片之間流動，對擴散方阻的均勻性有很大的改善，同時提高了電池片的轉(zhuǎn)換效率，降低了低效片的比例，節(jié)約了企業(yè)的成本。
文檔編號H01L21/673GK203085500SQ20122074179
公開日2013年7月24日 申請日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者黃華, 陳瓊 申請人:常州億晶光電科技有限公司