配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】提供使用紅外線相機(jī)分多次拍攝面板時(shí)能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行缺陷檢測(cè)的配線缺陷檢測(cè)方法和裝置。本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法取得各檢查區(qū)域和與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置具備焊盤(pán)切換單元，該焊盤(pán)切換單元基于該對(duì)應(yīng)關(guān)系，將進(jìn)行供電的焊盤(pán)切換為與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)。
【專利說(shuō)明】配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及適于形成于液晶面板和太陽(yáng)能電池面板等面板的配線的缺陷檢測(cè)的配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置，特別是，涉及以大型的面板為對(duì)象的配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為半導(dǎo)體基板的一例，例如液晶面板的制造工藝大體分為陣列(TFT)工序、單元(液晶)工序和模塊工序。其中，在陣列工序中，在透明基板上形成柵極電極、半導(dǎo)體膜、源極/漏極電極、保護(hù)膜和透明電極后進(jìn)行陣列檢測(cè)，檢測(cè)電極或者配線等的配線的短路的有無(wú)。
[0003]通常，在陣列檢測(cè)中，使探測(cè)器接觸配線的端部，測(cè)定配線兩端的電阻或者相鄰的配線間的電阻和電容，從而確定這種缺陷。然而，在陣列檢測(cè)中，即使能夠檢測(cè)出配線部的缺陷的有無(wú)，也不容易確定該缺陷的位置。
[0004]例如，作為改善上述的問(wèn)題，確定缺陷的位置的方法，有如下紅外線檢測(cè):向漏電缺陷基板施加電壓使其發(fā)熱，使用由紅外線相機(jī)拍攝漏電缺陷基板表面溫度而得到的圖像來(lái)確定缺陷位置。
[0005]專利文獻(xiàn)I涉及利用紅外線圖像檢測(cè)基板的短路缺陷的紅外線檢查，其是如下缺陷檢測(cè)方法:將作為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體基板(漏電缺陷基板)上的液晶面板分割為多個(gè)區(qū)域。接著，在對(duì)整個(gè)該液晶面板施加電壓后，按分割為多個(gè)而得到的每個(gè)區(qū)域測(cè)定施加電壓前后的該液晶面板的紅外線圖像的強(qiáng)度(溫度)，使發(fā)熱明顯化來(lái)檢測(cè)缺陷。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)_7] 專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)平6-207914號(hào)公報(bào)(
【公開(kāi)日】:1994年7月26日)
【發(fā)明內(nèi)容】
_9] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0010]然而，當(dāng)使用專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)時(shí)，要向半導(dǎo)體基板(漏電缺陷基板)上的整個(gè)液晶面板施加電壓，因此，整個(gè)面板會(huì)發(fā)熱，未拍攝紅外線圖像的區(qū)域也會(huì)發(fā)熱。因此，在對(duì)某分割而成的檢查區(qū)域進(jìn)行紅外線檢查后，對(duì)分割而成的下一檢查區(qū)域進(jìn)行紅外線檢查時(shí)，電壓施加前的該分割而成的下一檢查區(qū)域會(huì)殘留熱，電壓施加前的紅外線圖像不是恰當(dāng)?shù)膱D像，電壓施加前后的紅外線圖像不會(huì)產(chǎn)生缺陷檢測(cè)所需要的強(qiáng)度差(溫度差)。即，在將整個(gè)液晶面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域，分多次拍攝液晶面板的紅外線圖像的情況下，當(dāng)使用該現(xiàn)有技術(shù)時(shí)，缺陷的檢測(cè)會(huì)變得困難。
[0011]用于解決問(wèn)題的方案
[0012]本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題而完成的，其目的在于，提供如下配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置:即使在將半導(dǎo)體基板上的液晶面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域，分多次拍攝該半導(dǎo)體基板上的該液晶面板的紅外線圖像的情況下，其也能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行缺陷的檢測(cè)。
[0013]因此，為了解決上述的問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法，
[0014]用于通過(guò)利用紅外線相機(jī)拍攝具有多個(gè)焊盤(pán)和配線的面板來(lái)檢測(cè)上述配線的缺陷，其特征在于，包含:
[0015]存儲(chǔ)工序，將對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)是使根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)而得到的各檢查區(qū)域和上述多個(gè)焊盤(pán)中的與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)而得到的；
[0016]焊盤(pán)切換工序，使上述面板和上述紅外線相機(jī)的相對(duì)位置變化，并且基于紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置和保存于上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，切換進(jìn)行供電的焊盤(pán)；
[0017]電壓施加工序，經(jīng)由在上述焊盤(pán)切換工序中切換到的焊盤(pán)向與該焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的上述配線施加規(guī)定的電壓；以及
[0018]缺陷檢測(cè)工序，利用上述紅外線相機(jī)拍攝包含在上述電壓施加工序中施加了上述電壓的配線的檢查區(qū)域，檢測(cè)上述配線的缺陷。
[0019]根據(jù)上述的構(gòu)成，在改變紅外線相機(jī)和面板的相對(duì)位置而使用紅外線相機(jī)對(duì)作為配線缺陷檢測(cè)的對(duì)象的面板(漏電缺陷基板)且是具有比紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域大的區(qū)域的面板進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)的拍攝視野的區(qū)域所包含的面板的各個(gè)檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱。
[0020]另外，由于這樣僅向某檢查區(qū)域施加電壓使其發(fā)熱來(lái)拍攝該某檢查區(qū)域，因此，在不同于該某檢查區(qū)域的尚未進(jìn)行紅外線檢查的檢查區(qū)域中，面板不會(huì)發(fā)熱至紅外線檢查中會(huì)產(chǎn)生故障的程度。
[0021]因此，即使是在對(duì)無(wú)法完全進(jìn)入I個(gè)拍攝視野區(qū)域的比較大型的面板(例如60英寸的液晶面板)利用電壓施加會(huì)導(dǎo)致發(fā)熱這一點(diǎn)來(lái)檢測(cè)該面板的配線缺陷的情況下，在各檢查區(qū)域中也能夠得到缺陷的檢測(cè)所需的溫度上升，能夠恰當(dāng)?shù)貦z測(cè)缺陷。
[0022]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，
[0023]作為上述存儲(chǔ)工序的前工序，
[0024]包含:對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序，根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)檢查區(qū)域，從上述多個(gè)焊盤(pán)中推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)，使檢查區(qū)域和與該檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)，作成上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)。
[0025]通過(guò)包含上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序，在進(jìn)行具有未預(yù)先將與紅外線相機(jī)的對(duì)應(yīng)關(guān)系存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的焊盤(pán)的面板的配線缺陷檢測(cè)時(shí)，能夠使將面板分割而得到的多個(gè)檢查區(qū)域分別和與該各個(gè)檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)。
[0026]因此，配線缺陷檢測(cè)裝置不會(huì)成為受限于大小已定的面板的裝置或受限于已定的拍攝視野范圍和與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)的裝置，能夠在每次檢查時(shí)或者根據(jù)需要作成對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)良好的分割檢測(cè)。
[0027]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，作為上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序的前工序，包含:
[0028]檢查區(qū)域數(shù)判斷工序，根據(jù)上述面板的大小和上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小，判斷是否必須將面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域；以及
[0029]檢查區(qū)域決定工序，在上述檢查區(qū)域數(shù)判斷工序中判斷為必須分割為多個(gè)檢查區(qū)域的情況下，決定各檢查區(qū)域的大小。
[0030]通過(guò)包含上述檢查區(qū)域數(shù)判斷工序和上述檢查區(qū)域決定工序，在對(duì)未決定各檢查區(qū)域的大小的液晶面板進(jìn)行配線缺陷檢測(cè)時(shí)，能夠根據(jù)液晶面板的大小和紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小決定各檢查區(qū)域的大小。
[0031]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，
[0032]在上述焊盤(pán)切換工序中，將與各焊盤(pán)連接而進(jìn)行供電的探針切換為在上述電壓施加工序中施加電壓的探針，從而將按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置進(jìn)行供電的焊盤(pán)切換為與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)。
[0033]通過(guò)包含上述焊盤(pán)切換工序，能夠僅向與紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域所包含的液晶面板的各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)經(jīng)由對(duì)應(yīng)的探針進(jìn)行供電，從而僅使各檢查區(qū)域發(fā)熱。
[0034]另外，為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置，
[0035]用于通過(guò)利用紅外線相機(jī)拍攝具有多個(gè)焊盤(pán)和配線的面板來(lái)檢測(cè)上述配線的缺陷，其特征在于，具備:
[0036]上述紅外線相機(jī)；
[0037]數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，其保存對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)是使根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)而得到的各檢查區(qū)域和上述多個(gè)焊盤(pán)中的與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)而得到的；
[0038]移動(dòng)單元,其使上述面板和上述紅外線相機(jī)的相對(duì)位置變化；
[0039]焊盤(pán)切換單元，其基于利用上述移動(dòng)單元移動(dòng)上述相對(duì)位置的紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置和保存于上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，切換進(jìn)行供電的焊盤(pán)；
[0040]電壓施加單元，其經(jīng)由被上述焊盤(pán)切換單元切換到的焊盤(pán)向與該焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的配線施加規(guī)定的電壓；以及
[0041]缺陷檢測(cè)單元，其利用上述紅外線相機(jī)拍攝包含由上述電壓施加單元施加了上述電壓的配線的檢查區(qū)域，檢測(cè)上述配線的缺陷，
[0042]上述焊盤(pán)切換單元和上述缺陷檢測(cè)單元設(shè)置于控制部。
[0043]根據(jù)上述的構(gòu)成，在改變紅外線相機(jī)和面板的相對(duì)位置而使用紅外線相機(jī)對(duì)作為配線缺陷檢測(cè)的對(duì)象的面板(漏電缺陷基板)且是具有比紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域大的區(qū)域的面板進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)的拍攝視野的區(qū)域所包含的面板的各個(gè)檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱。
[0044]另外，由于這樣僅向某檢查區(qū)域施加電壓使其發(fā)熱來(lái)拍攝該某檢查區(qū)域，因此在不同于該某檢查區(qū)域的尚未進(jìn)行紅外線檢查的檢查區(qū)域中，面板不會(huì)發(fā)熱至紅外線檢查中會(huì)產(chǎn)生故障的程度。
[0045]因此，即使是在對(duì)無(wú)法完全進(jìn)入I個(gè)拍攝視野區(qū)域的比較大型的面板(例如60英寸的液晶面板)利用電壓施加會(huì)導(dǎo)致發(fā)熱這一點(diǎn)檢測(cè)該面板的配線缺陷的情況下，在各檢查區(qū)域中，也能夠得到缺陷的檢測(cè)所需的溫度上升，能夠恰當(dāng)?shù)貦z測(cè)缺陷。
[0046]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，
[0047]還具備:對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部，其根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)檢查區(qū)域，從上述多個(gè)焊盤(pán)中推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)，使檢查區(qū)域和與該檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)，作成上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，
[0048]上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部保存上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部作成的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，
[0049]上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部設(shè)置于上述控制部。
[0050]通過(guò)包含上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成單元，在進(jìn)行具有未預(yù)先將與紅外線相機(jī)的對(duì)應(yīng)關(guān)系存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的焊盤(pán)的面板的配線缺陷檢測(cè)時(shí)，能夠使將面板分割而得到的多個(gè)檢查區(qū)域分別和與該各個(gè)檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)。
[0051]因此，配線缺陷檢測(cè)裝置不會(huì)成為受限于大小已定的面板的裝置或受限于已定的拍攝視野范圍和與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)的裝置，能夠在每次檢查時(shí)或者根據(jù)需要作成對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)良好的分割檢測(cè)。
[0052]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，
[0053]在上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部中設(shè)置有:
[0054]檢查區(qū)域數(shù)判斷單元，其根據(jù)上述面板的大小和上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小判斷是否必須將面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域；以及
[0055]檢查區(qū)域決定單元，其在由上述檢查區(qū)域數(shù)判斷單元判斷為必須分割為多個(gè)檢查區(qū)域的情況下，決定各檢查區(qū)域的大小。
[0056]通過(guò)包含上述檢查區(qū)域數(shù)判斷單元和上述檢查區(qū)域決定單元，在對(duì)未決定各檢查區(qū)域的大小的液晶面板進(jìn)行配線缺陷檢測(cè)時(shí)，能夠根據(jù)液晶面板的大小和紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小決定各檢查區(qū)域的大小。
[0057]另外，本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式優(yōu)選在上述的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，
[0058]具備與上述焊盤(pán)連接而進(jìn)行供電的探針，
[0059]上述焊盤(pán)切換單元通過(guò)切換為使用上述電壓施加單元施加電壓的上述探針，將按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置進(jìn)行供電的焊盤(pán)切換為與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)。
[0060]通過(guò)包含上述焊盤(pán)切換單元，能夠僅向與紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域所包含的液晶面板的各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)經(jīng)由對(duì)應(yīng)的探針進(jìn)行供電，從而僅使各檢查區(qū)域發(fā)熱。
[0061]發(fā)明效果
[0062]如上所示，根據(jù)本發(fā)明所涉及的液晶面板用配線缺陷檢測(cè)方法和配線缺陷檢測(cè)裝置，僅向紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域所包含的液晶面板的各檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱，因此，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板不會(huì)過(guò)度發(fā)熱。即，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板的溫度不會(huì)過(guò)度上升。從而，即使在液晶面板的下一檢查區(qū)域中進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查時(shí)，向液晶面板的焊盤(pán)立刻供電而使液晶面板發(fā)熱了，也能夠得到缺陷的檢測(cè)所需的溫度上升，能夠恰當(dāng)?shù)貦z測(cè)缺陷。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】[0063]圖1是示出本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式的構(gòu)成的框圖和示出具有利用該裝置進(jìn)行缺陷檢測(cè)的液晶面板的母基板的構(gòu)成的立體圖。
[0064]圖2是示出本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置的一個(gè)方式的構(gòu)成的立體圖。
[0065]圖3是利用本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置進(jìn)行缺陷檢測(cè)的液晶面板和該裝置所具備的探測(cè)器的俯視圖。
[0066]圖4是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法的流程圖。
[0067]圖5是示出本發(fā)明所涉及的像素部的缺陷的示意圖。
[0068]圖6是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法的概要的圖。
[0069]圖7是示出本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)方法的流程圖。
[0070]圖8是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的液晶面板的概略圖。
[0071]圖9是本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的液晶面板的概略圖。
[0072]圖10是示出本發(fā)明中使用的短路路徑的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0073]〔實(shí)施方式I〕
[0074]參照?qǐng)D1?圖5和圖8來(lái)說(shuō)明本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置和配線缺陷檢測(cè)方法的一個(gè)實(shí)施方式。
[0075](配線缺陷檢測(cè)裝置的構(gòu)成)
[0076]圖1的(a)是示出本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)裝置100的構(gòu)成的框圖，圖1的(b)是作為使用配線缺陷檢測(cè)裝置100進(jìn)行配線缺陷檢測(cè)的對(duì)象的母基板I的立體圖。
[0077]配線缺陷檢測(cè)裝置100能夠在形成于圖1的(b)所示的母基板I上的多個(gè)液晶面板2 (面板)中檢測(cè)配線等的缺陷。液晶面板2能夠應(yīng)用60英寸程度的比較大型的面板。
[0078]如圖1的(a)所示，配線缺陷檢測(cè)裝置100具備:探測(cè)器3，其用于與液晶面板2導(dǎo)通；以及探測(cè)器移動(dòng)單元4，其使探測(cè)器3在各液晶面板2上移動(dòng)。另外，配線缺陷檢測(cè)裝置100具備:紅外線相機(jī)5，其用于取得紅外線圖像；以及相機(jī)移動(dòng)單元6，其使紅外線相機(jī)5在液晶面板2上移動(dòng)。配線缺陷檢測(cè)裝置100還具備控制探測(cè)器移動(dòng)單元4和相機(jī)移動(dòng)單元6的控制部7 (焊盤(pán)切換單元、缺陷檢測(cè)單元)。
[0079]上述探測(cè)器3連接有:電阻測(cè)定部8，其用于測(cè)定液晶面板2的配線間的電阻；以及電壓施加部9 (電壓施加單元)，其用于向液晶面板2的配線間施加電壓。這些電阻測(cè)定部8和電壓施加部9由控制部7控制。
[0080]上述控制部7具備取得液晶面板2上的各檢查區(qū)域和與其對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)(后述)的關(guān)系的對(duì)應(yīng)關(guān)系取得部(未圖示)，連接到存儲(chǔ)配線間的電阻值和圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10。
[0081]圖2是示出本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)裝置100的構(gòu)成的立體圖。在配線缺陷檢測(cè)裝置100中，如圖2所示，在基臺(tái)上設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11，構(gòu)成為對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11能夠載置母基板
I?？膳c探測(cè)器移動(dòng)單元4和相機(jī)移動(dòng)單元6的XY坐標(biāo)軸平行地對(duì)載置有母基板I的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11進(jìn)行位置調(diào)整。這時(shí)，在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的位置調(diào)整中使用設(shè)置于對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的上方的用于確認(rèn)母基板I的位置的光學(xué)相機(jī)12。
[0082]上述探測(cè)器移動(dòng)單元4能滑動(dòng)地設(shè)置于配置在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的外側(cè)的導(dǎo)軌13a。另夕卜，在探測(cè)器移動(dòng)單元4的主體側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)軌13b和13c，安裝部14a設(shè)置為能夠沿著這些導(dǎo)軌13在XYZ的各坐標(biāo)方向移動(dòng)。在該安裝部14a中搭載有與液晶面板2對(duì)應(yīng)的探測(cè)器3。
[0083]上述相機(jī)移動(dòng)單元6能滑動(dòng)地設(shè)置于配置在探測(cè)器移動(dòng)單元4的外側(cè)的導(dǎo)軌13d。另外，在相機(jī)移動(dòng)單元6的主體上還設(shè)置有導(dǎo)軌13e和13f，3個(gè)部位的安裝部14b、14c和14d能夠沿著這些導(dǎo)軌13在XYZ的各坐標(biāo)方向各自移動(dòng)。
[0084]在本實(shí)施方式中，配線缺陷檢測(cè)裝置100所具備的紅外線相機(jī)5有2種。一種是宏觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5a，另一種是微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b。
[0085]在配線缺陷檢測(cè)裝置100的安裝部14c中搭載有宏觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5a，在安裝部14b中搭載有微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b，另外，在安裝部14d中搭載有光學(xué)相機(jī)16。
[0086]宏觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5a是視野擴(kuò)展至520 X 405mm程度的能進(jìn)行宏觀測(cè)定的紅外線相機(jī)。宏觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5a為了擴(kuò)展視野，例如組合4臺(tái)紅外線相機(jī)而構(gòu)成。即，每I臺(tái)宏觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)的視野為母基板I的大概1/9。
[0087]另外，微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b是視野小至16 X 12mm程度但能進(jìn)行高分辨率的攝影的能進(jìn)行微觀測(cè)定的紅外線相機(jī)。
[0088]此外，在相機(jī)移動(dòng)單元6中，也能夠追加安裝部，而搭載用于修正缺陷部位的激光照射裝置。通過(guò)搭載激光照射裝置，能夠在確定缺陷部的位置后，向缺陷部照射激光從而連續(xù)地進(jìn)行缺陷修正。
[0089]探測(cè)器移動(dòng)單元4和相機(jī)移動(dòng)單元6分別設(shè)置于獨(dú)立的導(dǎo)軌13a和13d。因此，能夠在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11的上方在X坐標(biāo)方向互不干擾地移動(dòng)。從而，能夠在維持使探測(cè)器3接觸液晶面板2的狀態(tài)下，使紅外線相機(jī)5a、5b和光學(xué)相機(jī)16在液晶面板2上移動(dòng)。
[0090]圖3 (a)是形成于母基板I的多個(gè)液晶面板2中的I個(gè)液晶面板2的俯視圖。如圖3 (a)所示，在各液晶面板2中形成有:在掃描線和信號(hào)線交叉的各交點(diǎn)形成有TFT的像素部17 ;以及與掃描線和信號(hào)線分別連接的周邊電路部18。在液晶面板2的緣部設(shè)置有焊盤(pán)19a?19d，焊盤(pán)19a?19d與像素部17或者周邊電路部18的配線相連。此外，關(guān)于焊盤(pán)19，不限于設(shè)置在如圖3(a)所示的4方向(19a?19d)，例如也可以是設(shè)置為3方向(例如 19a、19b 和 19d)。
[0091]圖3 (b)是用于與配設(shè)于液晶面板2的焊盤(pán)19a?19d導(dǎo)通的探測(cè)器3 (電壓施加單元)的俯視圖。探測(cè)器3呈與圖3 (a)所示的液晶面板2的大小為大致相同大小的框狀的形狀，在與液晶面板2的焊盤(pán)19a?19d對(duì)應(yīng)的位置具備探針21a?21d。
[0092]探針21a?21d能夠通過(guò)繼電器通斷切換(未圖示)使每一個(gè)探針21單獨(dú)地與圖1的(a)所示的電阻測(cè)定部8和電壓施加部9連接。因此，探測(cè)器3能夠選擇性地連接與焊盤(pán)19a?19d相連的多個(gè)配線，或者一并連接多個(gè)配線。
[0093]如上所述，探測(cè)器3呈與液晶面板2大致相同大小的框的形狀，因此，在將焊盤(pán)19a?19d和探針21a?21d的位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)，能夠從探測(cè)器3的框的內(nèi)側(cè)使用光學(xué)相機(jī)16確認(rèn)該位置。
[0094]本實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置100具備探測(cè)器3和與探測(cè)器3連接的電阻測(cè)定部8，能夠使探測(cè)器3與液晶面板2導(dǎo)通，測(cè)定后述的相鄰的各配線間的電阻值等。
[0095]另外，本實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置100具備:探測(cè)器3 ;與探測(cè)器3連接的電壓施加部9 ;以及紅外線相機(jī)5。并且，在經(jīng)由探測(cè)器3向液晶面板2的配線或者配線間施加電壓的前后，使用紅外線相機(jī)5測(cè)定液晶面板2的溫度。
[0096]具備這種構(gòu)成的本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)裝置100為如下方式:即使在與紅外線相機(jī)5的拍攝視野范圍的大小相比，液晶面板2的大小例如像上述的60英寸這樣大的情況下，也能夠?qū)崿F(xiàn)利用拍攝的缺陷檢測(cè)。詳細(xì)內(nèi)容后述，但之所以能夠?qū)崿F(xiàn)這一點(diǎn)，是因?yàn)榘凑占t外線相機(jī)5的拍攝視野范圍，將液晶面板2分割為多個(gè)檢查區(qū)域，一邊使紅外線相機(jī)5移動(dòng)，一邊進(jìn)行液晶面板2的全部區(qū)域的缺陷檢測(cè)。其中，本發(fā)明的特征特別在于，在通過(guò)施加電壓使某檢查區(qū)域(即，某拍攝區(qū)域)發(fā)熱時(shí)，使未檢查區(qū)域盡可能不發(fā)熱。從而，在紅外線相機(jī)5移動(dòng)而新的檢查區(qū)域成為了檢查對(duì)象時(shí)能夠從該檢查區(qū)域高精度地取得發(fā)熱數(shù)據(jù)，因而，能進(jìn)行準(zhǔn)確的缺陷檢測(cè)。
[0097]以下，詳述使用了本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)裝置100的缺陷檢測(cè)。
[0098]特別是，在本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)裝置100中，能夠利用I臺(tái)裝置兼顧電阻檢查和紅外線檢查來(lái)進(jìn)行缺陷檢測(cè)。
[0099](配線缺陷檢測(cè)方法)
[0100]圖4是使用了本實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置100的配線缺陷檢測(cè)方法的流程圖。
[0101]本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)方法包含:
[0102](i)存儲(chǔ)工序，按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⒁壕姘?分割為多個(gè)檢查區(qū)域，推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)，將使檢查區(qū)域和與其對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)而得到的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部；
[0103](ii)焊盤(pán)切換工序，使面板和紅外線相機(jī)的相對(duì)位置變化，并且基于保存于上述存儲(chǔ)部的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，將按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置進(jìn)行供電的焊盤(pán)19切換為與該檢查區(qū)域R對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19 ；
[0104](iii)電壓施加工序，向在上述焊盤(pán)切換工序中切換到的焊盤(pán)19供電，向與該焊盤(pán)19對(duì)應(yīng)的配線施加規(guī)定的電壓；以及
[0105](iv)缺陷檢測(cè)方法，使用紅外線相機(jī)5拍攝在上述電壓施加工序中施加了上述電壓的檢查區(qū)域，從而檢測(cè)缺陷。
[0106]在本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)方法中，對(duì)形成于圖1的(b)所示的母基板I的多個(gè)液晶面板2中的每一個(gè)液晶面板，根據(jù)步驟SI?步驟S20的步驟依次實(shí)施配線缺陷檢測(cè)。
[0107]以下,說(shuō)明步驟SI?步驟S20的各步驟。
[0108]在步驟SI中，將母基板I載置于圖2所示的配線缺陷檢測(cè)裝置100的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11，將母基板I的位置調(diào)整為與XY坐標(biāo)軸平行。
[0109]在步驟S2中，利用圖2所示的探測(cè)器移動(dòng)單元4將探測(cè)器3移動(dòng)到在步驟SI中進(jìn)行了位置調(diào)整的母基板I的某液晶面板2的上部，使上下左右的探針21a?21d與液晶面板2的上下左右的焊盤(pán)19a?19d接觸。
[0110]在步驟S3中，繼步驟S2之后，與各種缺陷的檢測(cè)模式對(duì)應(yīng)地選擇用于進(jìn)行電阻檢查的配線間，進(jìn)行要導(dǎo)通的探針21的切換。
[0111]在此，使用圖5 (a)?(C)來(lái)說(shuō)明各種缺陷的檢測(cè)模式。在圖5 (a)?(C)中，作為一例，示意性地示出像素部17所產(chǎn)生的缺陷部23 (配線短路部)的位置。[0112]圖5 (a)示出例如在像掃描線和信號(hào)線那樣配線X和配線Y上下交叉的液晶面板中，在該交叉部分中配線X和配線Y發(fā)生了短路的缺陷部23。將要導(dǎo)通的探針21切換為圖3 (b)所示的上側(cè)的探針21a和左側(cè)的探針21d的組或者右側(cè)的探針21b和下側(cè)的探針21c的組，關(guān)于圖5 Ca)的配線Xl?XlO和配線Yl?YlO以I對(duì)I測(cè)定配線間的電阻值，從而能夠確定缺陷部23的有無(wú)。今后，將向該配線X-配線Y施加電壓來(lái)進(jìn)行缺陷檢測(cè)的缺陷檢測(cè)模式稱為“缺陷檢測(cè)模式A”。
[0113]圖5 (b)示出例如在像掃描線和輔助電容線那樣的相鄰的配線X的配線間發(fā)生了短路的缺陷部23。對(duì)于這種缺陷部23，能夠?qū)D3 (b)所示的要導(dǎo)通的探針21切換為右側(cè)的探針21b的奇數(shù)編號(hào)和左側(cè)的探針21d的偶數(shù)編號(hào)的組，測(cè)定配線Xl?XlO的相鄰的配線間的電阻值，從而確定有缺陷部23的配線。今后，將向該配線X-X施加電壓來(lái)進(jìn)行缺陷檢測(cè)的缺陷檢測(cè)模式稱為“缺陷檢測(cè)模式B”。
[0114]圖5 (C)示出例如在像信號(hào)線和輔助電容線那樣的相鄰的配線Y的配線間發(fā)生了短路的缺陷部23。對(duì)于這種缺陷部23，能夠?qū)D3 (b)所示的要導(dǎo)通的探針21切換為上側(cè)的探針21a中的相鄰的探針的對(duì)(奇數(shù)編號(hào)的探針21a及其旁邊的偶數(shù)編號(hào)的探針21a的組)，或者切換為下側(cè)的探針21c中的相鄰的探針的對(duì)(奇數(shù)編號(hào)的探針21c及其旁邊的偶數(shù)編號(hào)的探針21c的組)，測(cè)定配線Yl?YlO的相鄰的配線間的電阻值，從而確定有缺陷部23的配線。今后，將向該配線Y-Y施加電壓來(lái)進(jìn)行缺陷檢測(cè)的缺陷檢測(cè)模式稱為“缺陷檢測(cè)模式C”。
[0115]在步驟S4中，使在步驟S3中切換到的探針21導(dǎo)通，測(cè)定并取得所選擇的配線間的電阻值。將取得的電阻值與所選擇的配線間的信息一并存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10。
[0116]在步驟S5中，判斷在缺陷檢測(cè)模式A、B和C中的全部模式中電阻值的測(cè)定是否已結(jié)束。例如，假設(shè)按缺陷檢測(cè)模式A、B和C的順序進(jìn)行電阻值的測(cè)定。在僅缺陷檢測(cè)模式A中的電阻值的測(cè)定已結(jié)束的情況下，返回步驟S3，將探針21切換為缺陷檢測(cè)模式B用的，在隨后的步驟S4中進(jìn)行電阻值的測(cè)定。在缺陷檢測(cè)模式A和B中的電阻值的測(cè)定已結(jié)束的情況下，返回步驟S3，將探針切換為缺陷檢測(cè)模式C用的，在隨后的步驟S4中進(jìn)行電阻值的測(cè)定。當(dāng)缺陷檢測(cè)模式A、B和C中的全部模式中電阻值的測(cè)定結(jié)束時(shí)，移至隨后的步驟S6。
[0117]在步驟S6中，判斷在檢查中的液晶面板2中是否存在需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷。
[0118]首先，將在步驟S4中取得的電阻值和預(yù)先存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的電阻檢查閾值進(jìn)行比較。在此，在步驟S4中取得的電阻值比預(yù)先存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的電阻檢查閾值大的情況下，能夠確定該檢查中的液晶面板2沒(méi)有缺陷，移至后述的步驟S19。另一方面，在步驟S4中取得的電阻值為預(yù)先存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的電阻檢查閾值以下的情況下，能夠確定在該檢查中的液晶面板2中在配線間有缺陷，移至隨后的步驟S7。
[0119]例如，如圖5 (a)所示，在配線X和配線Y交叉的部位產(chǎn)生缺陷部23的情況下，利用配線間的電阻檢查，可檢測(cè)出配線X4和配線Y4有異常，因此連缺陷部23的位置都能夠確定。因此，在圖5 (a)所示的缺陷部23的情況下，不一定需要利用紅外線檢測(cè)確定其位置(步驟S6)。即，如果按配線X和配線Y的全部組合中的每個(gè)組合進(jìn)行電阻檢查，則也能夠進(jìn)行位置確定，因此不需要進(jìn)行紅外線檢測(cè)。但是，組合數(shù)是龐大的，因此需要長(zhǎng)時(shí)間。例如，在全高清用液晶面板的情況下，配線X為1080條，配線Y為1920條，因此全部組合約為207萬(wàn)。若按每個(gè)這種組合進(jìn)行電阻檢查，則節(jié)拍變?yōu)殚L(zhǎng)時(shí)間，檢測(cè)處理能力大幅變低，并不現(xiàn)實(shí)。因此，將配線X和配線Y的全部組合統(tǒng)一為若干來(lái)進(jìn)行電阻檢查，從而能夠削減電阻檢查次數(shù)。例如,如果在統(tǒng)一為一組的配線X和統(tǒng)一為一組的配線Y之間進(jìn)行電阻檢查，則該電阻檢查次數(shù)僅為I次。然而，利用電阻檢查能夠檢測(cè)配線間的短路，但無(wú)法確定位置。因此，需要利用紅外線檢測(cè)確定缺陷部23的位置。
[0120]另一方面，在如圖5 (b)或者圖5 (C)那樣在相鄰的配線間產(chǎn)生缺陷部23的情況下，能夠確定一對(duì)配線例如配線X3和配線X4之間有缺陷部。但是，在該配線的長(zhǎng)度方向上無(wú)法確定缺陷部23的位置，因此需要利用紅外線檢測(cè)確定缺陷部23的位置。
[0121]相鄰的配線間的電阻檢查是龐大的數(shù)量，因此需要長(zhǎng)時(shí)間。例如，在全高清用液晶面板的情況下，相鄰的配線X間的電阻檢查次數(shù)為1079，相鄰的配線Y間的電阻檢查次數(shù)為1919。在如圖5 (b)的情況那樣的相鄰的配線X間的電阻檢查的情況下，如果在全部的X奇數(shù)編號(hào)和全部的X偶數(shù)編號(hào)之間進(jìn)行電阻檢查，則該電阻檢查次數(shù)僅為I次。在如圖5(c)的情況那樣的相鄰的配線Y間的電阻檢查的情況下，如果在全部的Y奇數(shù)編號(hào)和全部的Y偶數(shù)編號(hào)之間進(jìn)行電阻檢查，則該電阻檢查次數(shù)僅為I次。然而，利用電阻檢查能夠檢測(cè)配線間的短路，但無(wú)法確定位置。因此，需要利用隨后的步驟S7以后的紅外線檢測(cè)確定缺陷部23的位置。
[0122]在此，在本實(shí)施方式中，如圖6所示，將I個(gè)液晶面板2分割為左右2個(gè)檢查區(qū)域(第一檢查區(qū)域Rl和第二檢查區(qū)域R2)，在各個(gè)檢查區(qū)域中進(jìn)行利用紅外線相機(jī)5的拍攝和缺陷檢測(cè)。詳細(xì)內(nèi)容如下。
[0123]在步驟S7 (存儲(chǔ)工序)中，根據(jù)作為檢查對(duì)象的液晶面板2的大小和紅外線相機(jī)5的拍攝視野范圍的大小，推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的進(jìn)行供電的焊盤(pán)，取得使各檢查區(qū)域和焊盤(pán)的關(guān)系相對(duì)應(yīng)而得到的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，將其保存于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10 (存儲(chǔ)工序)。
[0124]在步驟S8中，使用圖1所示的相機(jī)移動(dòng)單元6,將紅外線相機(jī)5移動(dòng)到液晶面板2的第一檢查區(qū)域Rl。
[0125]在步驟S9中，從缺陷檢測(cè)模式A、B和C中選擇I個(gè)需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷檢測(cè)模式。具體地說(shuō)，選擇I個(gè)與在步驟S4中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的存在缺陷的配線間對(duì)應(yīng)的缺陷檢測(cè)模式。
[0126]在步驟SlO中，基于在步驟S7中保存的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)、在步驟S8中移動(dòng)的紅外線相機(jī)5的位置以及在步驟S9中決定的缺陷檢測(cè)模式的信息，決定供電中使用的探針。
[0127]具體地說(shuō)，在缺陷檢測(cè)模式A中，能夠檢測(cè)如圖5 (a)所示的那樣的缺陷部23。當(dāng)選擇缺陷檢測(cè)模式A時(shí)，為了僅向圖3 Ca)所圖示的上下左右的焊盤(pán)19a?19d中的左側(cè)的焊盤(pán)19d以及上側(cè)的焊盤(pán)19a中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的一部分供電，將圖3 (b)所圖示的探針21a?21d中的探針21d以及與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分選擇/決定為供電用的探針。具體地說(shuō)，切換為探針21d和圖8所示的與焊盤(pán)19al至19a5對(duì)應(yīng)的探針21al至21a5。向圖8所示的與焊盤(pán)19al至19a5對(duì)應(yīng)的探針21al至21a5中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)19dl至19dl0對(duì)應(yīng)的探針21dl至21dl0的各個(gè)探針之間施加后述的電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0128]在缺陷檢測(cè)模式B中，能夠檢測(cè)如圖5 (b)所示的那樣的缺陷部23。在選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至19d的中的焊盤(pán)19d供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的探針21d。更具體地說(shuō)，向圖8所示的與焊盤(pán)19dl至19dl0中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19dl和19d2的組、19d2和19d3的組等)對(duì)應(yīng)的探針21之間(21dl和21d2之間、21d2和21d3之間等)施加電壓。例如可以向探針21dl、21d3和21d5統(tǒng)一施加O伏特，向與各自對(duì)應(yīng)的21d2、21d4和21d6統(tǒng)一施加30伏特。從而，與缺陷檢測(cè)模式B對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0129]在缺陷檢測(cè)模式C中，能夠檢測(cè)如圖5 (C)所示的那樣的缺陷部23。在選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至19d中的焊盤(pán)19a供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的探針21a。更具體地說(shuō)，向圖8所示的與焊盤(pán)19al至19a5中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19al和19a2的組、19a2和19a3的組等)對(duì)應(yīng)的探針21之間(21al和21a2之間、21a2和21a3之間等)施加電壓。例如可以向探針21al、21a3和21a5統(tǒng)一施加0伏特，向與各自對(duì)應(yīng)的21a2、21a4和21a6統(tǒng)一施加30伏特。從而，與缺陷檢測(cè)模式C對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0130]在步驟Sll中，基于在步驟S4中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的電阻值設(shè)定向液晶面板2的配線間施加的電壓值。
[0131]具體地說(shuō)，在步驟Sll中，設(shè)定與在步驟S4中取得的電阻值成正比的施加電壓V(伏特)的電壓值。
[0132]即，在本實(shí)施方式的步驟S6中，使施加電壓V (伏特)由以下的式(I):
[0133][數(shù)1]
[0134]V = mXR(1)
[0135]其中，m:最大電流值，R:電阻(歐姆)
[0136]來(lái)設(shè)定。
[0137]例如，將最大電流值m指定為20毫安，算出與電阻成正比的電壓值。
[0138]另外，在對(duì)算出的電壓值也事先設(shè)定有最大值(例如，50伏特)，該設(shè)定的最大電壓值比由上述式(1)算出的電壓值大的情況下，在該步驟Sll中，設(shè)定的電壓值不是根據(jù)上述式(1)算出的電壓值，而是最大電壓值。從而，流過(guò)液晶面板2的配線間的電流的電流值比最大電流值小。
[0139]在此，電流I(安)為下式(2):
[0140][數(shù)2]
[0141]I = V/R = (mXR)/R = m(2)
[0142]即，通過(guò)適當(dāng)?shù)貨Q定施加電壓，能夠使電流固定。
[0143]在此，形成于基板的配線的電阻值R為下式(3):
[0144][數(shù)3]
[0145]R= p XL/A(3)
[0146]其中，p:電阻率，L:配線長(zhǎng)度(米)，A:截面積(平方米)
[0147]電阻率p和截面積A是由配線的種類和位置決定的常量。因此，每單位長(zhǎng)度的配線的電阻值R/L= P /A也為常量。即，若將按每個(gè)配線的種類和位置賦予的編號(hào)設(shè)為i，則配線i的每單位長(zhǎng)度的電阻值r (i)由下式(4):
[0148][數(shù)4][0149]r(i) = P (i)/A(i)=恒定(4)
[0150]其中，p⑴:配線i的電阻率，A(i):配線i的截面積
[0151]來(lái)表示。
[0152]在此，若考慮每單位時(shí)間的發(fā)熱量J (焦耳)由以下的式(5):
[0153][數(shù)5]
[0154]J = WXT = W = VX I = I2XR = V2/R(5)
[0155]其中，W:功耗(瓦特)，T:時(shí)間(秒)，1:電流(安)
[0156]來(lái)表示，則配線i的每單位長(zhǎng)度的配線i的發(fā)熱量根據(jù)上述式(2)、(4)和(5)，成為下式(6):
[0157][數(shù)6]
[0158] W (i) = I2Xr (i) = m2Xr (i) =f亙定(6)
[0159]。
[0160]在此，圖10是用于說(shuō)明短路路徑的圖，是薄膜晶體管基板的電配線圖的一例。圖10的薄膜晶體管基板是如下基板:掃描線(配線)31~35和信號(hào)線(配線)41~45格子狀地配置在玻璃基板上，在各交點(diǎn)連接有未圖示的薄膜晶體管和透明像素電極，整體上形成有5X5像素。將該薄膜晶體管基板和未圖示的共用電極基板平行配置，向其間封入液晶而得到的面板是液晶面板。另外，在薄膜晶體管基板上，如圖10所示，將掃描線的各引出線31p~35p的前端部通過(guò)共用線30共同連接來(lái)防止靜電破壞。這對(duì)于信號(hào)線也是同樣的。在圖10所示的薄膜晶體管基板中，在掃描線33和信號(hào)線43之間形成有短路部位50。在這種薄膜晶體管基板中，若考慮短路路徑分為引出線33p —掃描線33 —短路部位50 —信號(hào)線43 —引出線43p的情況，則能夠使每單位長(zhǎng)度的掃描線33和信號(hào)線43的發(fā)熱量均恒定。
[0161]因此，與短路部位的電阻的大小無(wú)關(guān)地，預(yù)先適當(dāng)?shù)貨Q定常量m，從而，能夠利用紅外線圖像穩(wěn)定地識(shí)別掃描線33和信號(hào)線43。
[0162]并且，進(jìn)一步解析該識(shí)別的配線部分，確定掃描線33和信號(hào)線43發(fā)生了短路的部分，從而能夠確定短路部位。若短路部位的電阻值高，則短路部位的發(fā)熱量變大，因此能夠從紅外線圖像容易地確定短路部位。
[0163]另外，基于配線的電阻值決定電壓時(shí)，控制部7每次執(zhí)行計(jì)算上述式(I)的處理即可?；蛘撸瑢㈦娮柚岛碗妷旱年P(guān)系預(yù)先存儲(chǔ)為表，控制部7每次參照該表，根據(jù)電阻值決定電壓即可。
[0164]即，基于式(1)，將與電阻值成正比的施加電壓V (伏特)施加到液晶面板2，從而能夠使每單位時(shí)間的發(fā)熱量恒定。
[0165]根據(jù)基板的種類或者基板上的缺陷的發(fā)生位置等短路原因的不同，例如包含如圖5所示的那樣的缺陷部23的短路路徑的電阻值會(huì)較大變動(dòng)。然而，只要進(jìn)行該步驟S11，就能夠使包含缺陷的短路路徑的每單位時(shí)間的發(fā)熱量恒定。由于該發(fā)熱量恒定，使得在缺陷的電阻值大的情況下，缺陷自身良好地發(fā)熱，在缺陷的電阻值小的情況下，短路路徑的配線部良好地發(fā)熱。因此，在任何情況下的紅外線檢查中均能夠容易地檢測(cè)缺陷。
[0166]在步驟S12中，首先向在步驟S9中決定的探針21施加在步驟Sll中設(shè)定的由式
(I)表示的電壓(電壓施加工序)。在此，在步驟S8中移動(dòng)到存在檢查對(duì)象的缺陷的第一檢查區(qū)域Rl的紅外線相機(jī)5由控制部7控制為與該電壓向探針21的施加聯(lián)動(dòng)。從而，在該電壓施加到探針21而缺陷開(kāi)始發(fā)熱的同時(shí)，紅外線相機(jī)5開(kāi)始該缺陷的紅外線圖像的拍攝。并且，使用缺陷發(fā)熱前的紅外線圖像和缺陷發(fā)熱后的紅外線圖像，基于該紅外線圖像的差值圖像(即，電壓施加前后的液晶面板的溫度差)進(jìn)行紅外線檢查，將超過(guò)規(guī)定的溫度差的發(fā)熱部位判斷為包含缺陷的配線間。通過(guò)以上的工序完成使用了宏觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5a的發(fā)熱部位的確定。接著，將紅外線相機(jī)5切換為微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b,使微觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5b移動(dòng)從而使發(fā)熱部位位于微觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5b的視野內(nèi)，而能夠高精度地確定缺陷的坐標(biāo)位置或者進(jìn)行關(guān)于修正所需的形狀等信息的測(cè)量。在使用了該微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b的微觀測(cè)定中，不僅能確定線缺陷的位置，還能確定點(diǎn)缺陷的位置(缺陷檢測(cè)工序)。此外，在該實(shí)施方式中，將規(guī)定的溫度差設(shè)定為I度。
[0167]在步驟S13中，判斷是否在需要進(jìn)行紅外線檢查的全部的缺陷檢測(cè)模式中進(jìn)行了紅外線檢查。在按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行了紅外線檢查的情況下，移至下一步驟S14。在沒(méi)有按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行紅外線檢查的情況下，返回步驟S9，重復(fù)各步驟。
[0168]在步驟S14中，使用圖1所示的相機(jī)移動(dòng)單元6，將紅外線相機(jī)5從液晶面板2的第一檢查區(qū)域Rl移動(dòng)到第二檢查區(qū)域R2。
[0169]在步驟S15中，從缺陷檢測(cè)模式A、B和C中選擇I個(gè)要實(shí)施的缺陷檢測(cè)模式。具體地說(shuō)，選擇I個(gè)與在步驟S4中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的存在缺陷的配線間對(duì)應(yīng)的缺陷檢測(cè)模式。
[0170]在步驟S16中，設(shè)定與在步驟Sll中設(shè)定的電壓值相同的電壓值。即，設(shè)定由式(I)表不的電壓的電壓值。
[0171]在步驟S17中，基于在步驟S7中保存的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)、在步驟S14中移動(dòng)的紅外線相機(jī)5的位置以及在步驟S15中決定的缺陷檢測(cè)模式的信息，決定供電中使用的探針，利用繼電器通斷切換，從在步驟SlO中決定的探針進(jìn)行切換。
[0172]具體地說(shuō)，在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的焊盤(pán)19b和與第二檢查區(qū)域R2對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的探針21b和與第二檢查區(qū)域R2對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分。具體地說(shuō)，切換為圖8所示的與焊盤(pán)19a6至19al0對(duì)應(yīng)的探針21a6至21al0中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)19bl至19bl0對(duì)應(yīng)的探針21bl至21bl0中的各個(gè)探針。
[0173]在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至19d中的焊盤(pán)19b供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至2Id中的探針21b。具體地說(shuō)，切換為圖8所示的與焊盤(pán)19bl至19bl0中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19bl和19b2的組、19b2和19b3的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(例如，21bl和21b2的組、21b2和21b3的組等)。
[0174]在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，為了僅向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19a至19d中的焊盤(pán)19a供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至2Id中的探針21a。具體地說(shuō)，切換為圖8所示的與焊盤(pán)19a6至19bl0中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19a6和19a7的組、19a7和19a8的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(例如，21a6和21a7的組、21a7和21a8的組等)。[0175]在步驟S18中，首先向在步驟S16中切換到的探針21施加在步驟S15中設(shè)定的由式(I)表示的電壓(電壓施加工序)。在此，在步驟14中移動(dòng)到存在檢查對(duì)象的缺陷的第二檢查區(qū)域R2的紅外線相機(jī)5由控制部7控制為與該電壓向探針21的施加聯(lián)動(dòng)。從而，在該電壓施加到探針21而缺陷開(kāi)始發(fā)熱的大致同時(shí)，紅外線相機(jī)開(kāi)始該缺陷的紅外線圖像的拍攝。并且，使用缺陷發(fā)熱前的紅外線圖像和缺陷發(fā)熱后的紅外線圖像，基于該紅外線圖像的差值圖像(即，電壓施加前后的液晶面板的溫度差)進(jìn)行紅外線檢查，將超過(guò)規(guī)定的溫度差的發(fā)熱部位判斷為包含缺陷的配線間。通過(guò)以上的工序完成使用了宏觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5a的發(fā)熱部位的確定。
[0176]接著，將紅外線相機(jī)5切換為微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b，進(jìn)行與上述同樣的微觀測(cè)定(缺陷檢測(cè)工序)。此外，在該實(shí)施方式中，將規(guī)定的溫度差設(shè)定為I度。
[0177]在此，一邊參照?qǐng)D5和圖8，一邊說(shuō)明具體的電壓施加方法。
[0178]在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，即在檢測(cè)如圖5 Ca)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖8所示的與焊盤(pán)19a6至19al0對(duì)應(yīng)的探針21a6至21al0中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)19bl至19bl0對(duì)應(yīng)的探針21bl至21bl0中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0179]在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，即在檢測(cè)如圖5(b)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖8所示的與焊盤(pán)19dl至19dl0中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19dl和19d2的組、19d2和19d3的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21dl和21d2的組、21d2和21d3的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式B對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0180]在步驟S15中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，即在檢測(cè)如圖5(c)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖8所示的與焊盤(pán)19a6至19al0中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19a6和19a7的組、19a7和19a8的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21a6和21a7的組、21a7和21a8的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式C對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0181]在步驟S19中，判斷是否在需要進(jìn)行紅外線檢查的全部的缺陷檢測(cè)模式中進(jìn)行了紅外線檢查。在按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行了紅外線檢查的情況下，移至下一步驟S19。在沒(méi)有按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行紅外線檢查的情況下，返回步驟S14，重復(fù)各步驟。
[0182]在步驟S20中，判斷在配線缺陷檢測(cè)中的母基板I上的全部60英寸液晶面板2中配線缺陷檢測(cè)是否已結(jié)束。在此，在全部液晶面板2中配線缺陷檢測(cè)沒(méi)有結(jié)束的情況下，返回步驟S2，將探測(cè)器移動(dòng)到作為下一配線缺陷檢測(cè)對(duì)象的液晶面板2，重復(fù)進(jìn)行配線缺陷檢測(cè)。相反地，在全部液晶面板2中配線缺陷檢測(cè)已結(jié)束的情況下，用于配線缺陷檢測(cè)的全部工序結(jié)束。
[0183]此外，作為本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)方法的變形例，可以舉出如下流程:在步驟S12和步驟S18中，僅實(shí)施電壓的施加和紅外線圖像的拍攝，在步驟S18的緊后設(shè)置新的步驟，在該新的步驟中實(shí)施在步驟S18中拍攝的紅外線圖像的圖像處理。
[0184](實(shí)施方式I的作用效果)
[0185]根據(jù)本實(shí)施方式，在改變紅外線相機(jī)5和液晶面板2的相對(duì)位置對(duì)處于半導(dǎo)體基板(漏電缺陷基板)上的作為配線缺陷檢測(cè)的對(duì)象的液晶面板2且是具有比紅外線相機(jī)5的拍攝視野的范圍大的范圍的液晶面板2進(jìn)行2次拍攝的構(gòu)成中，能夠根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)的拍攝視野的范圍所包含的液晶面板2的各個(gè)檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱。
[0186]另外，由于根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)5的拍攝視野的范圍所包含的液晶面板的各個(gè)檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱，因此，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板2不會(huì)過(guò)度發(fā)熱。即，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板2的溫度不會(huì)過(guò)度上升。從而，在液晶面板2的下一檢查區(qū)域中進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查時(shí)，即使向液晶面板2的焊盤(pán)19立刻供電而使液晶面板2發(fā)熱了，也能夠得到缺陷的檢測(cè)所需的溫度上升，能夠恰當(dāng)?shù)貦z測(cè)缺陷。
[0187]此外，在本實(shí)施方式中，使用了根據(jù)與液晶面板2的大小一致的探測(cè)器3，但本發(fā)明不限于此，也能夠與液晶面板的檢查區(qū)域的位置和缺陷檢測(cè)模式相應(yīng)地使用不同的探測(cè)器。
[0188]〔實(shí)施方式2〕
[0189]參照?qǐng)D1?圖5和圖9來(lái)說(shuō)明本發(fā)明所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置和配線缺陷檢測(cè)方法的其它實(shí)施方式。
[0190](配線缺陷檢測(cè)裝置的構(gòu)成)
[0191]說(shuō)明本發(fā)明所涉及的其它實(shí)施方式。
[0192]在該實(shí)施方式中，使用與實(shí)施方式I的裝置同樣的裝置。
[0193]在實(shí)施方式I中，是對(duì)將液晶面板2分割為2個(gè)而得到的檢查區(qū)域分別進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的構(gòu)成，而在本實(shí)施方式中，說(shuō)明進(jìn)一步增加了液晶面板的分割數(shù)的情況下的紅外線檢查。
[0194](配線缺陷檢測(cè)方法)
[0195]圖7是使用了本實(shí)施方式所涉及的配線缺陷檢測(cè)裝置100的配線缺陷檢測(cè)方法的流程圖。
[0196]在實(shí)施方式I中，作為進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的液晶面板2，使用了將檢查區(qū)域分割為2個(gè)的例如60英寸的比較大型的液晶面板，但在本實(shí)施方式中，使用自由尺寸的大型的液晶面板2。
[0197]因此，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為首先在實(shí)施方式I中說(shuō)明的步驟7之前進(jìn)行:
[0198](a)控制部的檢查區(qū)域數(shù)判斷單元根據(jù)液晶面板的大小和紅外線相機(jī)的拍攝視野范圍的大小，判斷是否必須將液晶面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域的檢查區(qū)域數(shù)判斷工序；以及
[0199](b)在上述檢查區(qū)域數(shù)判斷工序中判斷為必須分割為多個(gè)檢查區(qū)域的情況下，控制部的檢查區(qū)域決定單元決定各檢查區(qū)域的大小的檢查區(qū)域決定工序。
[0200]以下，基于步驟SlOO?步驟S2400來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的配線缺陷檢測(cè)方法。
[0201]在步驟SlOO中，將母基板I載置于圖2所示的配線缺陷檢測(cè)裝置100的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)11，將母基板I的位置調(diào)整為與XY坐標(biāo)軸平行。
[0202]在步驟S200中，利用圖2所示的探測(cè)器移動(dòng)單元4將探測(cè)器3移動(dòng)到在步驟SI中進(jìn)行了位置調(diào)整的母基板I的作為檢測(cè)對(duì)象的液晶面板2的上部，使探針21a?21d與液晶面板2的焊盤(pán)19a?19d接觸。
[0203]在步驟S300中，繼步驟S200之后，與各種缺陷的檢測(cè)模式對(duì)應(yīng)地選擇用于進(jìn)行電阻檢查的配線間，進(jìn)行要導(dǎo)通的探針21的切換。此處的各種缺陷的檢測(cè)模式與實(shí)施方式I中記述的缺陷檢測(cè)模式A、B和C相同。
[0204]在步驟S400中，使在步驟S300中切換到的探針21導(dǎo)通，測(cè)定并取得所選擇的配線間的電阻值。將取得的電阻值與所選擇的配線間的信息一并存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10。
[0205]在步驟S500中，與實(shí)施方式I同樣地判斷在缺陷檢測(cè)模式A、B和C中的全部模式中電阻值的測(cè)定是否已結(jié)束。在全部的缺陷檢測(cè)模式?jīng)]有結(jié)束的情況下，返回步驟S300，重復(fù)各步驟。在全部的缺陷檢測(cè)模式已結(jié)束的情況下，移至下一步驟S600。
[0206]在步驟S600中，與實(shí)施方式I同樣地判斷在檢查中的液晶面板2中是否存在需要進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的缺陷。在判斷為沒(méi)有需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷的情況下，移至后述的步驟S2400。在判斷為有需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷的情況下，移至隨后的步驟S700。
[0207]在步驟S700 (檢查區(qū)域數(shù)判斷工序)中，控制部的檢查區(qū)域數(shù)判斷單元根據(jù)作為檢查對(duì)象的液晶面板2的大小和紅外線相機(jī)5的拍攝視野范圍的大小判斷是否必須將液晶面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域。即，判斷進(jìn)行紅外線檢查時(shí)的液晶面板2上的檢查區(qū)域數(shù)是I個(gè)還是縱n個(gè)X橫m個(gè)的多個(gè)。
[0208]在步驟S800 (檢查區(qū)域決定工序)中，在步驟S700中判斷為進(jìn)行紅外線檢查時(shí)的液晶面板2上的檢查區(qū)域數(shù)是多個(gè)(nXm個(gè))的情況下，由控制部的檢查區(qū)域決定單元根據(jù)作為檢查對(duì)象的液晶面板2的大小和紅外線相機(jī)5的拍攝視野的范圍決定各檢查區(qū)域的范圍。在此，是分割為縱nX橫m的檢查區(qū)域的液晶面板2的各檢查區(qū)域，如圖9所示，最左側(cè)的列自上按順序設(shè)為Rl、R2、…、Rn，最左側(cè)起第二列自上按順序設(shè)為Rn+1、Rn+2、…、R2Xn,并且,最右側(cè)的列自上按順序設(shè)為RnXm- (n_l)、RnXm- (n_2)、...、RnXm。
[0209]在步驟S900中，根據(jù)在步驟S800中求出的各檢查區(qū)域的范圍推算出用于對(duì)應(yīng)的進(jìn)行供電的焊盤(pán)19，控制部的對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部作成使各檢查區(qū)域R和焊盤(pán)19的關(guān)系相對(duì)應(yīng)而得到的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)(對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序)，將其存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10(存儲(chǔ)工序)。另外，在該對(duì)應(yīng)關(guān)系取得部中，事先將在面板內(nèi)在二維分布(例如5cm間隔)的各點(diǎn)按每個(gè)缺陷檢測(cè)模式使用上下左右的哪一焊盤(pán)19作為相關(guān)數(shù)據(jù)登錄并存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10，在自動(dòng)進(jìn)行區(qū)域分割時(shí)基于紅外線相機(jī)的視野中央部的登錄信息和該相關(guān)數(shù)據(jù)決定要使用的焊盤(pán)。
[0210]在步驟S1000中，使用圖1所示的相機(jī)移動(dòng)單元6，使紅外線相機(jī)5移動(dòng)到液晶面板2的圖9所示的第一檢查區(qū)域Rl。
[0211]在步驟SllOO中，從缺陷檢測(cè)模式A、B和C中選擇1個(gè)需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷檢測(cè)模式。具體地說(shuō)，選擇I個(gè)與在步驟S900中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的存在缺陷的配線間對(duì)應(yīng)的缺陷檢測(cè)模式。
[0212]在步驟S1200中，基于在步驟S900中存儲(chǔ)的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)和相關(guān)數(shù)據(jù)、在步驟S1000中移動(dòng)的紅外線相機(jī)5的位置以及在步驟SllOO中決定的缺陷檢測(cè)模式的信息，決定供電中使用的探針。
[0213]具體地說(shuō)，在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分和焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3(b)所圖示的探針21a至21d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分和探針21d的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)Wal1至19a5i對(duì)應(yīng)的探針21al!至21a5i和與焊盤(pán)IQdl1至19(^對(duì)應(yīng)的探針21(11!至21d510
[0214]在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至19d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的探針21d的一部分。即切換為圖9所示的與焊盤(pán)Igdl1至IgdlO1對(duì)應(yīng)的探針21(1^至21dl0lo
[0215]在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至19d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第一檢查區(qū)域Rl對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分。即切換為圖9所示的與焊盤(pán)Wal1至19a5i對(duì)應(yīng)的探針21ali至21a5lt)
[0216]在步驟S1300中，基于在步驟S400中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的電阻值設(shè)定向液晶面板2的配線間施加的電壓值。具體的電壓值的設(shè)定方法與實(shí)施方式I同樣。
[0217]在步驟S1400中，首先向在步驟S1200中決定的探針21施加在步驟S1300中設(shè)定的由式(I)表示的電壓。在此，在步驟S1000中移動(dòng)到存在檢查對(duì)象的缺陷的第一檢查區(qū)域Rl的紅外線相機(jī)5由控制部7控制為與該電壓向探針21的施加聯(lián)動(dòng)。從而，在該電壓施加到探針21而缺陷開(kāi)始發(fā)熱的同時(shí)，紅外線相機(jī)5開(kāi)始該缺陷的紅外線圖像的拍攝。并且，使用缺陷發(fā)熱前的紅外線圖像和缺陷發(fā)熱后的紅外線圖像，基于該紅外線圖像的差值圖像(即，電壓施加前后的液晶面板的溫度差)進(jìn)行紅外線檢查，將超過(guò)規(guī)定的溫度差的發(fā)熱部位判斷為包含缺陷的配線間。通過(guò)以上的工序完成使用了宏觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5a的發(fā)熱部位的確定。接著，將紅外線相 機(jī)5切換為微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b，進(jìn)行與上述同樣的微觀測(cè)定(缺陷檢測(cè)工序)。此外，在該實(shí)施方式中，將規(guī)定的溫度差設(shè)定為I度。
[0218]在此，一邊參照?qǐng)D5和圖9，一邊說(shuō)明具體的電壓施加方法。
[0219]在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，即在檢測(cè)如圖5 Ca)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖9所示的與焊盤(pán)Wal1至19a5i對(duì)應(yīng)的探針21ali至21a5i中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)Igdl1至IgdlO1對(duì)應(yīng)的探針Zldl1至ZldlO1中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0220]在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，即在檢測(cè)如圖5 (b)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖9所示的與焊盤(pán)Igdl1至IgdlO1對(duì)應(yīng)的探針Zldl1至ZldlO1中的相鄰的2個(gè)探針之間(例如，Zldl1和Zlc^1之間、21(11和ZldS1之間等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式B對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0221]在步驟SllOO中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，即在檢測(cè)如圖5 (c)所示的那樣的缺陷部23的情況下，向圖9所示的與焊盤(pán)Wal1至19a5i對(duì)應(yīng)的探針21ali至21(1&1中的相鄰的2個(gè)探針之間(例如，21ah和21a2i之間、21a+和21a5i之間等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式C對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0222]在步驟S1500中，判斷是否在需要進(jìn)行紅外線檢查的全部的缺陷檢測(cè)模式中進(jìn)行了紅外線檢查。在按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行了紅外線檢查的情況下，移至下一步驟S1600。在沒(méi)有按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行紅外線檢查的情況下，返回步驟S1100，重復(fù)各步驟。
[0223]在步驟S1600中，使用圖1所示的相機(jī)移動(dòng)單元6，使紅外線相機(jī)5從液晶面板2的第一檢查區(qū)域Rl移動(dòng)到位于縱第q行(1≤q≤n)和橫第r列(1≤r≤m)的第k個(gè)檢查區(qū)域 Rk (k=2、...、nXm)。
[0224]在步驟S1700中，從缺陷檢測(cè)模式A、B和C中選擇I個(gè)需要進(jìn)行紅外線檢查的缺陷檢測(cè)模式。具體地說(shuō)，選擇I個(gè)與在步驟S400中存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部10的存在缺陷的配線間對(duì)應(yīng)的缺陷檢測(cè)模式。
[0225]在步驟S1800中，設(shè)定與在步驟S1200中設(shè)定的電壓值相同的電壓值。即，設(shè)定由式(I)表不的電壓的電壓值。
[0226]在步驟S1900 (探針切換工序)中，基于在步驟S900中存儲(chǔ)的對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)和相關(guān)數(shù)據(jù)、在步驟S1600中移動(dòng)的紅外線相機(jī)5的位置以及在步驟S1700中選擇的缺陷檢測(cè)模式的信息，決定供電中使用的探針，利用繼電器通斷切換，從在步驟S1200中決定的探針進(jìn)行切換。
[0227]具體地說(shuō)，在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，如果上述的q是n/2以下且上述的r是m/2以下，則為了僅向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分和焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3(b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分和探針21d的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19a“至19a5r對(duì)應(yīng)的探針21alr至21a5r和與焊盤(pán)19(11,至19(110,對(duì)應(yīng)的探針21(11,至21(110,。另外，如果上述的q比n/2大且上述的r比m/2大，則為了僅向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19c的一部分和焊盤(pán)19b的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21c的一部分和探針21b的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19clr至19c5r對(duì)應(yīng)的探針21clr至21c5r和與焊盤(pán)19blq至19blOq對(duì)應(yīng)的探針21blq至21blOq。另外，如果上述的q是n/2以下且上述的r比m/2大，則為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分和焊盤(pán)19b的一部分供`電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分和探針21b的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19alr至19a5r對(duì)應(yīng)的探針21alr至21a5r和與焊盤(pán)19blq至19blOq對(duì)應(yīng)的探針2訃1(1至21blOq。另外，如果上述的q比n/2大且上述的r是m/2以下，則為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19c的一部分和焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21c的一部分和探針21d的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19clr至19c5r對(duì)應(yīng)的探針21clr至21c5r和與焊盤(pán)19(11,至19(110,對(duì)應(yīng)的探針21(11^至 21(110^。
[0228]此外，不限于使用上下左右的焊盤(pán)中的靠近檢查區(qū)域Rk的焊盤(pán)的上述的方式，也可以總是使用上下中的一方且總是使用左右中的一方這一方式，從而使未檢查區(qū)域不發(fā)熱。例如，也可以設(shè)為如下方式:不向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19c供電，而總是向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，且不向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)1%供電，而總是向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19d的一部分供電。
[0229]在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，如果上述的r是m/2以下，則為了僅向圖3(a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21d的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)…(^,至19(110,對(duì)應(yīng)的探針21(11,至21dlOq。另一方面,如果上述的r比m/2大,貝U為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19b的一部分供電，將探針21切換為圖3(b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21b的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19blq至19blOq對(duì)應(yīng)的探針21blq至21blOq。此外，即使是在上述的r比m/2大的情況下，也可以與r是m/2以下的情況同樣地，為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19d的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21d的一部分。
[0230]在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，如果上述的q是n/2以下，則為了僅向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19al,至19a5,對(duì)應(yīng)的探針21alr至21a5r。另一方面，如果上述的q比n/2大，則為了僅向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19c的一部分供電，將探針21切換為圖3(b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21c的一部分。即，切換為圖9所示的與焊盤(pán)19cU至19c5r對(duì)應(yīng)的探針21cU至21c5-此外，即使是在上述的q比n/2大的情況下，也可以與q為n/2以下的情況同樣地，為了僅向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19a至焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，將探針21切換為圖3 (b)所圖示的探針21a至21d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的探針21a的一部分。
[0231]在步驟S2000中，首先向在步驟S1900中切換到的探針21施加在步驟S1800中設(shè)定的由式(I)表示的電 壓。在此，在步驟S1600中移動(dòng)到存在檢查對(duì)象的缺陷的第k個(gè)檢查區(qū)域Rk的紅外線相機(jī)5由控制部7控制為與該電壓向探針21的施加聯(lián)動(dòng)。從而，在該電壓施加到探針21而缺陷開(kāi)始發(fā)熱的同時(shí)，紅外線相機(jī)5開(kāi)始該缺陷的紅外線圖像的拍攝。并且，使用缺陷發(fā)熱前的紅外線圖像和缺陷發(fā)熱后的紅外線圖像，基于該紅外線圖像的差值圖像(即，電壓施加前后的液晶面板的溫度差)進(jìn)行紅外線檢查，將超過(guò)規(guī)定的溫度差的發(fā)熱部位判斷為包含缺陷的配線間。通過(guò)以上的工序完成使用了宏觀測(cè)量用的紅外線相機(jī)5a的發(fā)熱部位的確定。接著，將紅外線相機(jī)5切換為微觀測(cè)定用的紅外線相機(jī)5b，進(jìn)行與上述同樣的微觀測(cè)定(缺陷檢測(cè)工序)。在該實(shí)施方式中，將規(guī)定的溫度差設(shè)定為I度。
[0232]在此，一邊參照?qǐng)D5和圖9，一邊說(shuō)明具體的電壓施加方法。
[0233]在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式A的情況下，即在檢測(cè)如圖5 Ca)所示的那樣的缺陷部23的情況下，如果上述的q是n/2以下且上述的 是m/2以下，則向圖9所示的與焊盤(pán)19alr至19a5r對(duì)應(yīng)的探針21alr至21a5r中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)19(11,至19(110,對(duì)應(yīng)的探針21(11,至21(110,中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。另外，如果上述的q比n/2大且上述的r比m/2大，則向圖9所示的與焊盤(pán)19cU至19c5,對(duì)應(yīng)的探針21cU至21c5,中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)WblqM 19blOq對(duì)應(yīng)的探針21blqM 21blOq中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。另外，如果上述的q是n/2以下且上述的r比m/2大，則向圖9所示的與焊盤(pán)19alr至19a5r對(duì)應(yīng)的探針21al,至21a5r中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)丨此^至19blOq對(duì)應(yīng)的探針21(11(1至21(110(1中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。另外，如果上述的q比n/2大且上述的r是m/2以下，則向圖9所示的與焊盤(pán)19c^至19c5r對(duì)應(yīng)的探針21clr至21c5r中的各個(gè)探針和與焊盤(pán)19(11,至19(110,對(duì)應(yīng)的探針21(11,至2IdlOq中的各個(gè)探針之間施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式A對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0234]此外，不限于向與上下左右的焊盤(pán)中的靠近檢查區(qū)域Rk的焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的探針施加電壓的上述的方式，也可以設(shè)為總是使用上下中的一方的焊盤(pán)且總是使用左右中的一方的焊盤(pán)，向與該焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的探針施加電壓這一方式，從而使未檢查區(qū)域不發(fā)熱。例如，也可以設(shè)為如下方式:不向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19c供電，而總是向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19a中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19a的一部分供電，且不向圖3 (a)所圖示的焊盤(pán)19b供電，而總是向圖3 Ca)所圖示的焊盤(pán)19d中的與第k個(gè)檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)19d的一部分供電。
[0235]在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式B的情況下，即在檢測(cè)如圖5 (b)所示的那樣的缺陷部23的情況下，如果上述的r是m/2以下，則向圖9所示的與焊盤(pán)19(11,至19(110,中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，…(!、和19(12,的組、…(^,和19(13,的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組Gldlt^P 21(12,的組、21(12,和21(13,的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式B對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。另一方面，如果上述的r比m/2大，則向圖9所示的與焊盤(pán)1%15至19blOq中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，1%15和19b2q的組、19b2q和19b3q的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21bl<^P 21b2q的組、21b2<^P 21b3q的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式B對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，從而紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。此外，如上所述，即使是在r比m/2大的情況下，也可以與r是m/2以下的情況同樣地構(gòu)成:向圖9所示的與焊盤(pán)19(11,至19(110,中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19dlq和19(12,的組、19d2q和19(13,的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組Gldlt^P 21(12,的組、。^。，和21(13,的組等)施加電壓。
[0236]在步驟S1700中選擇了缺陷檢測(cè)模式C的情況下，即在檢測(cè)如圖5 (c)所示的那樣的缺陷部23的情況下，如果上述的q是n/2以下，則向圖9所示的與焊盤(pán)19a^至19d\中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19alr和19a2r的組、19a2r和19a3r的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21a込和21a2r的組、21a2r和21a3r的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式C對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，從而紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。另一方面，如果上述的q比n/2大，則向圖9所示的與焊盤(pán)19clr至19c5r中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19clr和19c2r的組、19c2r和19c3r的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21clr和21c2r的組、21c2r和21c3r的組等)施加電壓，從而，與缺陷檢測(cè)模式C對(duì)應(yīng)的缺陷部23發(fā)熱，從而紅外線相機(jī)5能拍攝紅外線圖像。
[0237]此外，如上所述，即使是在q比n/2大的情況下，也可以與q是n/2以下的情況同樣地構(gòu)成:向圖9所示的與焊盤(pán)19alr至19d5r中的相鄰的焊盤(pán)的組(例如，19alr和19a2f的組、19a2r和19a3r的組等)對(duì)應(yīng)的探針21的組(21alr和21a2r的組、21a2r和21a3r的組等)施加電壓。
[0238]在步驟S2100中，判斷是否在需要進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的全部的缺陷檢測(cè)模式中進(jìn)行了紅外線檢查。在按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行了紅外線檢查的情況下，移至下一步驟S2200。在沒(méi)有按全部的缺陷檢測(cè)模式進(jìn)行紅外線檢查的情況下，返回步驟S1700，重復(fù)各步驟。
[0239]在步驟S2200中，判斷在當(dāng)前時(shí)點(diǎn)進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的檢查區(qū)域Rk是否是最后的檢查區(qū)域Rn X m。在是k=n X m的情況下,移至步驟S2400。在不是k=n X m的情況下，移至步驟S2300。
[0240]在步驟S2300中，在將k設(shè)為k+1的基礎(chǔ)上，返回步驟S1600，重復(fù)各步驟。
[0241]在步驟S2400中，判斷在配線缺陷檢測(cè)中的母基板I上的液晶面板2的全部區(qū)域中配線缺陷檢測(cè)是否已結(jié)束。在此，在全部液晶面板2中配線缺陷檢測(cè)沒(méi)有結(jié)束的情況下，返回步驟S200，將探測(cè)器移動(dòng)到作為下一配線缺陷檢測(cè)對(duì)象的液晶面板2，重復(fù)進(jìn)行配線缺陷檢測(cè)。相反地，在全部液晶面板2中配線缺陷檢測(cè)已結(jié)束的情況下，用于配線缺陷檢測(cè)的全部工序結(jié)束。
[0242]在此，在如本實(shí)施方式這樣依次檢查縱nX橫m的檢查區(qū)域的情況下，檢查第k個(gè)檢查區(qū)域Rk的順序優(yōu)選按下面的(A)至(D)的區(qū)域順序進(jìn)行檢查。
[0243](A) q≤n/2且r≤m/2的區(qū)域
[0244]對(duì)縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，將最開(kāi)始檢查的縱一列設(shè)為最左列，其后，對(duì)該一列的旁邊的縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的縱一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。
[0245](B) q≤ n/2 且 r > m/2 的區(qū)域
[0246]對(duì)縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，將最開(kāi)始檢查的縱一列設(shè)為最右列，其后，對(duì)該一列的旁邊的縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的縱一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。
[0247](C) q > n/2 且 r ≤m/2 的區(qū)域
[0248]對(duì)縱一列從下向上依次進(jìn)行檢查，將最開(kāi)始檢查的縱一列設(shè)為最左列，其后，對(duì)該一列的旁邊的縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的縱一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。
[0249](D) q > n/2 且 r > m/2 的區(qū)域
[0250]對(duì)縱一列從下向上依次進(jìn)行檢查，將最開(kāi)始檢查的縱一列設(shè)為最右列，其后，對(duì)該一列的旁邊的縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的縱一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。
[0251]此外，在上述中關(guān)于縱列在上下方向掃描，但也可以是關(guān)于橫列在左右方向掃描的構(gòu)成。
[0252]這樣，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查，從而能盡可能抑制未檢查區(qū)域的發(fā)熱。
[0253]另外，在如本實(shí)施方式這樣依次檢查縱nX橫m的檢查區(qū)域的情況下，作為檢查區(qū)域的移動(dòng)方法，可以考慮如下變形例。
[0254](變形例I)
[0255]作為第一變形例，可以舉出對(duì)縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查的情況?？梢詫⒆铋_(kāi)始檢查的縱一列設(shè)為最左列，其后，對(duì)該一列的旁邊的縱一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的縱一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。此外，在這樣依次進(jìn)行檢查的情況下，作為與檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)，在缺陷檢測(cè)模式A時(shí)選擇19alr?19a5r和19(11,?19(110,，在缺陷檢測(cè)模式B時(shí)選擇19(11,?19(110,，在缺陷檢測(cè)模式C時(shí)選擇19alr?19a5r。
[0256](變形例2)
[0257]作為第二變形例，可以舉出對(duì)橫一列從左向右依次進(jìn)行檢查的情況。可以將最開(kāi)始檢查的橫一列作為最上列，其后，對(duì)該一列的旁邊的橫一列從上向下依次進(jìn)行檢查，其后，對(duì)進(jìn)一步旁邊的橫一列以此類推，以在相同方向掃描各列的方式進(jìn)行檢查。此外，在這樣依次進(jìn)行檢查的情況下，作為與檢查區(qū)域Rk對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)，在缺陷檢測(cè)模式A時(shí)選擇19alr?19a5r和19(11,?19(110,，在缺陷檢測(cè)模式B時(shí)選擇19(11,?19(110,，在缺陷檢測(cè)模式C時(shí)選擇19alr?19a5r。
[0258](實(shí)施方式2的作用效果)
[0259]根據(jù)本實(shí)施方式，在改變紅外線相機(jī)5和液晶面板2的相對(duì)位置對(duì)處于半導(dǎo)體基板(漏電缺陷基板)上的作為配線缺陷檢查的對(duì)象的液晶面板2且是具有比紅外線相機(jī)5的拍攝視野的范圍大的范圍的液晶面板2進(jìn)行多次拍攝的構(gòu)成中，根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)的拍攝視野的范圍所包含的液晶面板2的檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱。
[0260]另外，由于根據(jù)該相對(duì)位置的變化僅向紅外線相機(jī)5的拍攝視野的范圍所包含的液晶面板2的檢查區(qū)域施加電壓來(lái)使其發(fā)熱，因此，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板2不會(huì)過(guò)度發(fā)熱。即，在未進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查的其它檢查區(qū)域中，液晶面板2的溫度不會(huì)過(guò)度上升。從而，在液晶面板2的下一檢查區(qū)域中進(jìn)行用于配線缺陷檢測(cè)的紅外線檢查時(shí)，即使向液晶面板2的焊盤(pán)19立刻施加電壓而使液晶面板2發(fā)熱了，也能夠得到缺陷的檢測(cè)所需的溫度上升，能夠恰當(dāng)?shù)貦z測(cè)缺陷。
[0261]以上，說(shuō)明了本發(fā)明所涉及的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式和變形例。在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)能進(jìn)行種種變更，適當(dāng)組合實(shí)施方式所公開(kāi)的技術(shù)方案而得到的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
[0262]工業(yè)h的可利用件
[0263]本發(fā)明能夠用于液晶面板等具有配線的半導(dǎo)體基板的配線狀態(tài)的檢測(cè)。
[0264]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0265]I 母基板(面板)
[0266]2 液晶面板(面板)
[0267]3 探測(cè)器(電壓施加單元)
[0268]4 探測(cè)器移動(dòng)單元
[0269]5、5a、5b 紅外線相機(jī)
[0270]6 相機(jī)移動(dòng)單元
[0271]7 控制部(焊盤(pán)切換單元、對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部、檢查區(qū)域數(shù)判斷單元、檢查區(qū)域決定單元、缺陷檢測(cè)單元)
[0272]8 電阻測(cè)定部
[0273]9 電壓施加部(電壓施加單元)
[0274]10 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部[0275]11 對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
[0276]12、16 光學(xué)相機(jī)
[0277]13a、13b、13c、13d、13e、13f 導(dǎo)軌
[0278]14a、14b、14d、14d 安裝部
[0279]17 像素部
[0280]18 周邊電路部
[0281]19、19a、19b、19c、19d 焊盤(pán)
[0282]21、21a、21b、21c、21d 探測(cè)器部
[0283]23 缺陷部(配線短路部)
[0284]30、40a、40b 共用線
[0285]31、32、33、34、35 掃描線
[0286]31p、32p、33p、34p、35p 掃描線引出線
[0287]41、42、43、44、45 信號(hào)線
[0288]41p、42p、43p、44p、45p 信號(hào)線引出線
[0289]50 短路部位
[0290]60 液晶面板
[0291]100配線缺陷檢測(cè)裝置
【權(quán)利要求】
1.一種配線缺陷檢測(cè)方法， 用于通過(guò)利用紅外線相機(jī)拍攝具有多個(gè)焊盤(pán)和配線的面板來(lái)檢測(cè)上述配線的缺陷，其特征在于，包含: 存儲(chǔ)工序，將對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)是使根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)而得到的各檢查區(qū)域和上述多個(gè)焊盤(pán)中的與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)而得到的； 焊盤(pán)切換工序，使上述面板和上述紅外線相機(jī)的相對(duì)位置變化，并且基于紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置和保存于上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，切換進(jìn)行供電的焊盤(pán)； 電壓施加工序，經(jīng)由在上述焊盤(pán)切換工序中切換到的焊盤(pán)向與該焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的上述配線施加規(guī)定的電壓；以及 缺陷檢測(cè)工序，利用上述紅外線相機(jī)拍攝包含在上述電壓施加工序中施加了上述電壓的配線的檢查區(qū)域，檢測(cè)上述配線的缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的配線缺陷檢測(cè)方法，其特征在于， 作為上述存儲(chǔ)工序的前工序， 包含:對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序，根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)檢查區(qū)域，從上述多個(gè)焊盤(pán)中推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)，使檢查區(qū)域和與該檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)，作成上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的配線缺陷檢測(cè)方法，其特征在于， 作為上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成工序 的前工序，包含: 檢查區(qū)域數(shù)判斷工序，根據(jù)上述面板的大小和上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小，判斷是否必須將面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域；以及 檢查區(qū)域決定工序，在上述檢查區(qū)域數(shù)判斷工序中判斷為必須分割為多個(gè)檢查區(qū)域的情況下，決定各檢查區(qū)域的大小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的配線缺陷檢測(cè)方法，其特征在于， 在上述焊盤(pán)切換工序中，將與各焊盤(pán)連接而進(jìn)行供電的探針切換為在上述電壓施加工序中施加電壓的探針，從而將按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置進(jìn)行供電的焊盤(pán)切換為與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)。
5.一種配線缺陷檢測(cè)裝置， 用于通過(guò)利用紅外線相機(jī)拍攝具有多個(gè)焊盤(pán)和配線的面板來(lái)檢測(cè)上述配線的缺陷，其特征在于，具備: 上述紅外線相機(jī)； 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，其保存對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)是使根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)而得到的各檢查區(qū)域和上述多個(gè)焊盤(pán)中的與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)而得到的； 移動(dòng)單元，其使上述面板和上述紅外線相機(jī)的相對(duì)位置變化； 焊盤(pán)切換單元，其基于利用上述移動(dòng)單元移動(dòng)上述相對(duì)位置的紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置和保存于上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)，切換進(jìn)行供電的焊盤(pán)； 電壓施加單元，其經(jīng)由被上述焊盤(pán)切換單元切換到的焊盤(pán)向與該焊盤(pán)對(duì)應(yīng)的配線施加規(guī)定的電壓；以及 缺陷檢測(cè)單元，其利用上述紅外線相機(jī)拍攝包含由上述電壓施加單元施加了上述電壓的配線的檢查區(qū)域，檢測(cè)上述配線的缺陷， 上述焊盤(pán)切換單元和上述缺陷檢測(cè)單元設(shè)置于控制部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的配線缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 還具備:對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部，其根據(jù)上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域?qū)⑸鲜雒姘宸指顬槎鄠€(gè)檢查區(qū)域，從上述多個(gè)焊盤(pán)中推算出與各檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)，使檢查區(qū)域和與該檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)相對(duì)應(yīng)，作成上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)， 上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部保存上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部作成的上述對(duì)應(yīng)關(guān)系數(shù)據(jù)， 上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部設(shè)置于上述控制部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的配線缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 在上述對(duì)應(yīng)關(guān)系作成部中設(shè)置有: 檢查區(qū)域數(shù)判斷單元，其根據(jù)上述面板的大小和上述紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的大小判斷是否必須將面板分割為多個(gè)檢查區(qū)域；以及 檢查區(qū)域決定單元，其在由上述檢查區(qū)域數(shù)判斷單元判斷為必須分割為多個(gè)檢查區(qū)域的情況下，決定各檢查區(qū)域的大小。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中的任一項(xiàng)所述的配線缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 具備與上述焊盤(pán)連接而進(jìn)行供電的探針， 上述焊盤(pán)切換單元通過(guò)切換為使用上述電壓施加單元施加電壓的上述探針，將按照紅外線相機(jī)的拍攝視野區(qū)域的位置進(jìn)行供電的焊盤(pán)切換為與檢查區(qū)域?qū)?yīng)的焊盤(pán)。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK103765202SQ201280040898
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2012年9月10日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月12日
【發(fā)明者】柳瀨正和 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社