氧化防止氣體吹送單元的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種氧化防止氣體吹送單元，其具備：中空板狀基體部(10)，于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路(53)、(54)；氧化防止氣體入口(20)，使氧化防止氣體流入至氧化防止氣體流路(53)、(54)；貫通孔(30)，以可拔插毛細(xì)管(72)的方式貫通基體部(10)的厚度方向，且與氧化防止氣體流路(53)、(54)連通而使氧化防止氣體流出；及薄膜加熱器(40)，安裝于貫通孔(30)周圍的基體部(10)的外面，該氧化防止氣體吹送單元可利用緊湊的構(gòu)造有效果地對(duì)接合球進(jìn)行加溫。
【專利說明】氧化防止氣體吹送單元
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種安裝于引線接合裝置的氧化防止氣體吹送單元的構(gòu)造。
【背景技術(shù)】
[0002]引線接合裝置大多進(jìn)如下的球形接合:借由火花使自作為引線接合工具的毛細(xì)管的前端伸出的線尾形成為接合球，利用毛細(xì)管的前端將接合球接合于半導(dǎo)體組件、或基板的電極上。
[0003]從前，于引線接合中大多使用金線，但現(xiàn)在正逐步使用更廉價(jià)且電氣特性優(yōu)異的銅線進(jìn)行接合。然而，與金不同，銅線易氧化，因此當(dāng)借由火花形成接合球時(shí)，導(dǎo)致于球的表面形成氧化皮膜。存在如下情形，即，該氧化皮膜使接合球與電極的附著性降低，引起接合不良。因此，已提出有如下方法:當(dāng)使用銅線進(jìn)行接合時(shí)，例如于氮?dú)怏w或氬氣體等惰性氣體中形成接合球，從而抑制接合球表面氧化(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]然而，存在如下問題:當(dāng)如專利文獻(xiàn)I所記載的接合裝置般，自一個(gè)方向?qū)⒍栊詺怏w噴射至形成接合球的區(qū)域時(shí)，存在如下情形，即惰性氣流所形成的接合球產(chǎn)生偏心，或因空氣卷入至接合球的形成區(qū)域而發(fā)生氧化。因此，已提出有如下方法:于形成接合球的空腔的周圍配置多孔質(zhì)構(gòu)件，以該多孔質(zhì)構(gòu)件的細(xì)孔減慢惰性氣體的速度，使惰性氣體于空腔中均勻地?cái)U(kuò)散(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0005]另一方面，存在如下問題:若接合時(shí)的接合球的表面溫度降低，則存在接合球與電極的接合強(qiáng)度降低的情形、或接合球發(fā)生異形化(例如不變圓)的情形。因此，已提出有如下方法:于接合球形成的前后及接合球形成過程中，使已加熱的還原性氣體流動(dòng)至該接合球的周邊，藉此，將接合球的溫度保持于高溫度，確保接合強(qiáng)度(例如參照專利文獻(xiàn)3)。又，于使已加熱的惰性氣體流動(dòng)的狀態(tài)下形成接合球，藉此，抑制球表面的氧化，并且將接合球的溫度保持于高溫度并進(jìn)行接合(例如參照專利文獻(xiàn)4)。
[0006]然而，如專利文獻(xiàn)3、4所記載的現(xiàn)有技術(shù)，于自氣體噴嘴噴出已加熱的惰性氣體的構(gòu)造的情形時(shí)，為了維持惰性氣體環(huán)境，必需增加惰性氣體的流量。因此，存在如下問題:用于對(duì)惰性氣體進(jìn)行加溫的加熱器亦需要較大者，導(dǎo)致接合裝置變?yōu)榇笮脱b置，或?qū)е聞?dòng)作遲緩而難以進(jìn)行高速的接合。
[0007]【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】
[0008]【專利文獻(xiàn)】
[0009][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2007-294975號(hào)公報(bào)
[0010][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2008-130825號(hào)公報(bào)
[0011][專利文獻(xiàn)3]日本專利特開昭63-164230號(hào)公報(bào)
[0012][專利文獻(xiàn)4]日本專利特開昭63-266845號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013] 【發(fā)明所欲解決的問題】[0014]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種可利用緊湊的構(gòu)造有效果地對(duì)接合球進(jìn)行加溫的氧化防止氣體吹送單元。
[0015]【解決問題的技術(shù)手段】
[0016]本發(fā)明的氧化防止氣體吹送單元的具備:中空板狀的基體部，于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路；貫通孔，以可拔插毛細(xì)管的方式貫通基體部的厚度方向，且與氧化防止氣體流路連通而使氧化防止氣體流出；及薄膜加熱器，安裝于貫通孔周圍的基體部的外面。
[0017]于本發(fā)明的氧化防止氣體吹送單元中，較佳為氧化防止氣體流路具備多個(gè)吹送口，所述多個(gè)吹送口朝向貫通孔的中心吹出氧化防止氣體；具備使氧化防止氣體流入至氧化防止氣體流路的氧化防止氣體入口 ；且較佳為氧化防止氣體流路具備迷路，所述迷路使流動(dòng)方向于自氧化防止氣體入口至各吹送口為止之間至少變更2次。
[0018]又，于本發(fā)明的氧化防止氣體吹送單元中，較佳為迷路具備:多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體，配置于貫通孔的周緣，且所述多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體之間的周方向的各間隙形成各吹送口 ；及多個(gè)外周側(cè)塊體，處于各內(nèi)周側(cè)塊體的外周側(cè)，且所述多個(gè)外周側(cè)塊體之間的周方向的各間隙與內(nèi)周側(cè)塊體的各間隙在周方向上錯(cuò)開地配置。
[0019]又，于本發(fā)明的氧化防止氣體吹送單元中，較佳為薄膜加熱器安裝于配置有迷路的區(qū)域的基體部的外面；炬電極較佳為配置于基體部的外側(cè)，亦較佳為配置于基體部的內(nèi)偵牝該炬電極與自毛細(xì)管的前端伸出的線尾之間產(chǎn)生火花，將尾線形成為接合球。
[0020]【發(fā)明的效果】
[0021]本發(fā)明具有如下效果:可提供一種可利用緊湊的構(gòu)造有效果地對(duì)接合球進(jìn)行加溫的氧化防止氣體吹送單元。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是表示安裝有本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的引線接合裝置的立體圖。
[0023]圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的構(gòu)成的立體圖。
[0024]圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的氧化防止氣體流路的說明圖。
[0025]圖4是圖3所示的氧化防止氣體流路的放大圖。
[0026]圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的氧化防止氣體的吹送狀態(tài)的說明圖。
[0027]圖6是表示本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的氧化防止氣體流路的說明圖。
[0028] 圖7是表示本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的構(gòu)成的立體圖。
[0029]圖8是表示本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)中的氧化防止氣體吹送單元的氧化防止氣體的吹送狀態(tài)的說明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]以下，一面參照?qǐng)D式一面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。如圖1所示，本實(shí)施形態(tài)的氧化防止氣體吹送單元100具備:中空板狀的基體部10，其于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路53、54 ;氧化防止氣體入口 20，其使氧化防止氣體流入至氧化防止氣體流路53、54 ;貫通孔30，其以可拔插毛細(xì)管72的方式貫通基體部10的厚度方向，且與氧化防止氣體流路53,54的連通而使氧化防止氣體流出；及薄膜加熱器40，其安裝于貫通孔30周圍的基體部10的外面。氧化防止氣體流路53具備朝向貫通孔30的中心吹出氧化防止氣體的多個(gè)吹送口 35。而且，氧化防止氣體流路53、54具備迷路50，該迷路50使流動(dòng)方向于自氧化防止氣體入口 20至各吹送口 35為止之間至少變更2次。迷路50包括:配置于貫通孔30的周緣的多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體51、及多個(gè)外周側(cè)塊體52，各塊體51、52的周方向的間隙分別構(gòu)成氧化防止氣體流路53、54。又，于基體部10的配置有迷路50的區(qū)域的外面安裝有薄膜加熱器40，該薄膜加熱器40對(duì)在氧化防止氣體流路53、54中流動(dòng)的氧化防止氣體進(jìn)行加熱。又，于基體部10的下側(cè)安裝有炬電極80，于該炬電極80與自毛細(xì)管72的前端至伸出的線尾73之間產(chǎn)生火花，將線尾73形成為接合球。
[0031]于進(jìn)行接合動(dòng)作時(shí)，毛細(xì)管72借由接合臂71于上下方向上移動(dòng)，將形成于毛細(xì)管72的前端的接合球推壓至半導(dǎo)體芯片或基板的電極，將線接合(bond)于電極。氧化防止氣體吹送單元100系安裝于接合頭(未圖示)，且與接合臂71、毛細(xì)管72 —并于XY方向上移動(dòng)，所述接合頭安裝有接合臂71。氧化防止氣體可為氮或氬等惰性氣體，亦可使用例如混合有氫等還原性氣體的氣體。
[0032]一面參照?qǐng)D2 —面詳細(xì)地對(duì)氧化防止氣體吹送單元100進(jìn)行說明?；w部10具備:本體11，其于內(nèi)部具備凹部60 ;及蓋12，其安裝于本體11上且于與本體11內(nèi)部的凹部60之間，形成氧化防止氣體所流經(jīng)的中空部。于基體部10的蓋12上安裝有薄膜加熱器40，于該薄膜加熱器40上安裝有蓋板13。于蓋12上設(shè)置有氧化防止氣體入口 20，該氧化防止氣體入口 20使氧化防止氣體流入至本體11的凹部60，于蓋板13中，在與蓋12的氧化防止氣體入口 20相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有氣體孔21，該氣體孔21與氧化防止氣體入口 20連通。將氧化防止氣體導(dǎo)入的氧化防止氣體導(dǎo)入管22安裝于蓋板13的氣體孔21。又，于本體11、蓋12、薄膜加熱器40、及蓋板13中，分別設(shè)置有由毛細(xì)管72貫通的各孔31、32、41、34。于本實(shí)施形態(tài)中，本體11、蓋12、蓋板13分別為陶瓷制，如圖2所示，將本體11、蓋12、薄膜加熱器40、蓋板13依序迭合并燒結(jié)形成，或利用接著劑進(jìn)行組裝。
[0033]設(shè)置于本體11內(nèi)部的凹部60具備入口區(qū)域61、中間部62、及迷路區(qū)域63該3個(gè)區(qū)域，所述入口區(qū)域61與蓋12的氧化防止氣體入口 20連通且寬度窄，所述中間部62的自兩側(cè)朝寬度方向延伸的突起58的氧化防止氣體入口 20側(cè)的寬度變大，所述迷路區(qū)域63較突起58更靠孔31側(cè)。于凹部60的迷路區(qū)域63中設(shè)置有可拔插毛細(xì)管72的孔31，且設(shè)置有自凹部60的底面立起的多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體51、多個(gè)外周側(cè)塊體52、長(zhǎng)方體的第I入口側(cè)塊體57、及長(zhǎng)方體的第2入口側(cè)塊體56，所述多個(gè)外周側(cè)塊體52設(shè)置于內(nèi)周側(cè)塊體51的外周側(cè)且自凹部60的底面立起，所述長(zhǎng)方體的第I入口側(cè)塊體57與突起58串聯(lián)地配置且自凹部60底面立起，所述長(zhǎng)方體的第2入口側(cè)塊體56與第I入口側(cè)塊體57平行地配置，且其長(zhǎng)度大于第I入口側(cè)塊體57的長(zhǎng)度。
[0034]如圖3所示，于本實(shí)施形態(tài)中，配置于孔31的周緣的內(nèi)周側(cè)塊體51包括第I內(nèi)周側(cè)塊體51a至第5內(nèi)周側(cè)塊體51e該5個(gè)塊體，外周側(cè)塊體52包括第I外周側(cè)塊體52a至第5外周側(cè)塊體52e該5個(gè)塊體。
[0035]如圖4所示，第I內(nèi)周側(cè)塊體51a _第5內(nèi)周側(cè)塊體51e為于大致梯形形狀的斜邊部分設(shè)置有朝外周方向突出的小突起的形狀。更詳細(xì)而言，第I內(nèi)周側(cè)塊體51a~第5內(nèi)周側(cè)塊體51e具備:內(nèi)面511a~內(nèi)面511e,其為沿著孔31的外周的部分圓筒面；左右的側(cè)面512a _側(cè)面512e，其自各內(nèi)面511a _內(nèi)面511e朝外周側(cè)延伸；與各內(nèi)面511a~內(nèi)面511e相對(duì)向的平面狀的外面514a~外面514e ;及角部513a_角部513e，其較外面514a~外面514e更朝外周側(cè)突出。第I內(nèi)周側(cè)塊體51a μ第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的各側(cè)面512a 一側(cè)面512e相互平行，且形成自第I內(nèi)周側(cè)塊體51a~第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的外周側(cè)朝向孔31的氧化防止氣體流路53a _氧化防止氣體流路53e。又，各氧化防止氣體流路53a 一氧化防止氣體流路53e的孔31側(cè)的端面分別形成第I吹送口 35a —第5吹送口35e,第I內(nèi)周側(cè)塊體51a~第5內(nèi)周側(cè)塊體5Ie的各內(nèi)面511a…內(nèi)面511e與設(shè)置于本體11、蓋12的各孔31、孔32形成將基體部10貫通的貫通孔30。
[0036]于第I內(nèi)周側(cè)塊體51a~第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的外周側(cè)設(shè)置有圓弧狀的第I外周側(cè)塊體52a~第5外周側(cè)塊體52e。第I外周側(cè)塊體52a~第5外周側(cè)塊體52e為使各左端部524a _左端部524e與各右端部523a~右端部523e分別朝向第I內(nèi)周側(cè)塊體51a ^第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的外面514a _外面514e的曲率，于各左端部524a 一左端部524e、各右端部523a 一右端部523e與第I內(nèi)周側(cè)塊體51a 一第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的各角部513a~角部513e之間形成有使氧化防止氣體流動(dòng)的流路。第I外周側(cè)塊體52a~第5外周側(cè)塊體52e各自之間的間隙形成氧化防止氣體流路54a 一氧化防止氣體流路54e。而且，氧化防止氣體流路54a~氧化防止氣體流路54e的周方向位置系與氧化防止氣體流路53a氧化防止氣體流路53e的周方向位置錯(cuò)開地配置，該氧化防止氣體流路53a~氧化防止氣體流路53e為自第I內(nèi)周側(cè)塊體51a至第5內(nèi)周側(cè)塊體51e各自之間的間隙。于本實(shí)施形態(tài)中，各氧化防止氣體流路53a 一氧化防止氣體流路53e與各氧化防止氣體流路54a 氧化防止氣體流路54e于周方向上相互錯(cuò)開且以相等中心角度配置。
[0037]圖2所示的自氧化防止氣體導(dǎo)入管22經(jīng)由氣體孔21、氧化防止氣體入口 20導(dǎo)入至本體11的凹部60的入口區(qū)域61的氧化防止氣體如圖3的箭頭所示,流入至凹部60的中間部62，自中間部62經(jīng)由突起58與第I入口側(cè)塊體57之間進(jìn)入至凹部60的迷路區(qū)域63。進(jìn)入至迷路區(qū)域63的氧化防止氣體與第2入口側(cè)塊體56發(fā)生碰撞，或流動(dòng)方向因第2入口側(cè)塊體56而改變?yōu)楸倔w11的寬度方向，沿著第2入口側(cè)塊體56流動(dòng)，自第2入口側(cè)塊體56與凹部60的寬度方向的側(cè)面之間流出，逐步流向包含第I內(nèi)周側(cè)塊體51a 一第5內(nèi)周側(cè)塊體51e與第I外周側(cè)塊體52a~第5外周側(cè)塊體52e的迷路50。
[0038]繼而，如圖3所示，氧化防止氣體經(jīng)由氧化防止氣體流路54a _氧化防止氣體流路54e朝孔31流動(dòng)，分別與自第I內(nèi)周側(cè)塊體51a至第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的各外面514a 一外面514e發(fā)生碰撞而將流動(dòng)方向改變?yōu)榕c朝向孔31的方向相反的方向后(第1次流動(dòng)方向的變更)，圍繞圖4所示的角部513a 角部513e,進(jìn)入至氧化防止氣體流路53a 一氧化防止氣體流路53e (第2次流動(dòng)方向的變更)，經(jīng)由氧化防止氣體流路53a _氧化防止氣體流路53e自第I吹送口 35a _第5吹送口 35e朝孔31的中心吹出，所述氧化防止氣體流路54a~氧化防止氣體流路54e為自第I外周側(cè)塊體52a至第5外周側(cè)塊體52e各自之間的間隙，所述氧化防止氣體流路53a~氧化防止氣體流路53e為自第I內(nèi)周側(cè)塊體51a至第5內(nèi)周側(cè)塊體51e各自之間的間隙。
[0039]如圖2、圖3所示，于蓋12的與本體11的凹部60的迷路區(qū)域63相對(duì)應(yīng)的區(qū)域安裝有薄膜加熱器40，因此，進(jìn)入至迷路區(qū)域63的氧化防止氣體借由薄膜加熱器40而逐步被加熱。于迷路區(qū)域63中，設(shè)置有包含第I內(nèi)周側(cè)塊體51a w第5內(nèi)周側(cè)塊體51e、與第I外周側(cè)塊體52a _第5外周側(cè)塊體52e的迷路50，且由于對(duì)氧化防止氣體進(jìn)行加熱的面變大，因此，氧化防止氣體借由迷路50而有效果地被加熱并達(dá)到適當(dāng)?shù)臏囟?，自第I吹送口35a _第5吹送口 35e朝孔31的中心吹出。
[0040]如圖5所示，自第I吹送口 35a _第5吹送口 35e吹送的氧化防止氣體經(jīng)由本體11的孔31朝氧化防止氣體吹送單元100的下側(cè)(基板90側(cè))流出，并且經(jīng)由蓋12、薄膜加熱器40、蓋板13的各孔32、孔41、孔34朝氧化防止氣體吹送單元100的上側(cè)流出。繼而，形成朝向氧化防止氣體吹送單元100的貫通孔30的內(nèi)部、及氧化防止氣體吹送單元100的上側(cè)與下側(cè)擴(kuò)大的氧化防止氣體區(qū)域65。繼而，使炬電極80與自毛細(xì)管72的前端突出的線尾73之間產(chǎn)生火花，一面抑制線尾73的氧化，一面形成接合球74。
[0041 ] 如參照?qǐng)D2至圖4所說明般，迷路50可將氧化防止氣體的流動(dòng)方向至少變更2次，藉此，使流入至凹部60的迷路區(qū)域63的氧化防止氣體的自氧化防止氣體入口 20朝向孔31的方向的速度成分減少，使該流動(dòng)方向與自第I吹送口 35a _第5吹送口 35e朝向孔31的中心的方向一致，并且使自第I吹送口 35a?第5吹送口 35e吹出的氧化防止氣體的流量均等，因此，圖5所示的朝氧化防止氣體吹送單元100的上側(cè)、下側(cè)延伸的氧化防止氣體區(qū)域65系沿著毛細(xì)管72的軸方向而處于大致垂直的方向。因此，使線尾73或接合球74朝與毛細(xì)管72的軸呈直角的水平方向移動(dòng)的流體力受到抑制，從而可抑制接合球74的偏心，且提聞接合的品質(zhì)。
[0042]又，本實(shí)施形態(tài)的氧化防止氣體吹送單元100為薄板狀的構(gòu)造，可將氧化防止氣體均等地自第I吹送口 35a 一第5吹送口 35e吹出，因此，即便氧化防止氣體的流量少，亦可良好地形成氧化防止氣體區(qū)域65，且可借由迷路50確保充分的熱交換面積，因此，可借由小容量的薄膜加熱器40使氧化防止氣體的溫度上升至100°C左右為止。藉此，可將接合球74適度地加熱而確保接合質(zhì)量。又，由于可設(shè)為緊湊的構(gòu)成，因此，可容易地裝入至引線接合裝置，而且可形成輕量構(gòu)造，因此，可朝XY方向高速移動(dòng)，發(fā)揮可提高接合速度的效果。
[0043]又，于本實(shí)施形態(tài)中，將炬電極80配置于薄板狀的氧化防止氣體吹送單元100的下側(cè)，因此，氧化防止氣流不會(huì)因炬電極80而偏移，故而可將氧化防止氣體更均勻地自第I吹送口 35a?第5吹送口 35e吹出，從而可良好地形成氧化防止氣體區(qū)域65。
[0044]參BS圖6對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖5所說明的實(shí)施形態(tài)相同的部分標(biāo)注相同符號(hào)并省略說明。于先前說明的實(shí)施形態(tài)中，將第I內(nèi)周側(cè)塊體51a 一第5內(nèi)周側(cè)塊體51e設(shè)為于大致梯形形狀的斜邊部分設(shè)置有朝外周方向突出的小角部513a?角部513e的形狀而進(jìn)行了說明，但亦可根據(jù)氧化防止氣體的流量，不設(shè)置角部513a g角部513e，而如圖6所示，將所述第I內(nèi)周側(cè)塊體51a 一第5內(nèi)周側(cè)塊體51e設(shè)為大致梯形狀。又，于先前說明的實(shí)施形態(tài)中，說明了第I外周側(cè)塊體52a _第5外周側(cè)塊體52e為使各左端部524a?左端部524e與各右端部523a?右端部523e分別朝向第I內(nèi)周側(cè)塊體51a %第5內(nèi)周側(cè)塊體51e的外面514a?外面514e的曲率，但可不為如此大的曲率，亦可設(shè)為如圖6所示的等間隔地配置有單純的部分圓環(huán)的構(gòu)成。
[0045]進(jìn)而，將迷路50設(shè)為內(nèi)周側(cè)塊體51與外周側(cè)塊體52的2段的構(gòu)成而進(jìn)行了說明，但亦可將3段或3段以上的段數(shù)的塊體配置于孔31的周圍，薄膜加熱器40只要為薄型加熱器，則其可并非為薄膜狀，亦可將多個(gè)薄型加熱器分散地配置于蓋12上。本實(shí)施形態(tài)發(fā)揮與先前參照?qǐng)D1至圖5所說明的實(shí)施形態(tài)相同的效果。
[0046]其次，參照?qǐng)D7、圖8，對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖6所說明的實(shí)施形態(tài)相同的部分標(biāo)注相同符號(hào)并省略說明。本實(shí)施形態(tài)如圖7、圖8所示，將炬電極80配置于氧化防止氣體吹送單元100的內(nèi)側(cè)。如圖7、圖8所示，于本實(shí)施形態(tài)中，炬電極80系以如下方式配置，即，與本體的表面平行地自本體11的端面插入，經(jīng)由凹部60的入口區(qū)域61，將第I入口側(cè)塊體57、第2入口側(cè)塊體56、外周側(cè)塊體52中的一者貫通后，經(jīng)由內(nèi)周側(cè)塊體51之間的氧化防止氣體流路53到達(dá)孔31的上面。又，如圖8所示，炬電極80于本體11的凹部60內(nèi)部配置于較上下方向的中央更靠下側(cè)處，當(dāng)毛細(xì)管72前端的接合球74于本體11的厚度方向的中央位于貫通孔30的中心時(shí)，該炬電極80位于較接合球74稍靠下側(cè)且較接合球74更偏向貫通孔30的周邊的位置。借由將炬電極80配置于該位置，可良好地形成接合球74。炬電極80系以可自外部拔插且可調(diào)整其前端位置的方式安裝于本體11。
[0047]本實(shí)施形態(tài)除了發(fā)揮與先前參照?qǐng)D1至圖6所說明的實(shí)施形態(tài)相同的效果以外，由于將炬電極80配置于氧化防止氣體區(qū)域65中，因此，本實(shí)施形態(tài)亦發(fā)揮如下效果，即，抑制炬電極80表面的氧化，從而可長(zhǎng)時(shí)間地進(jìn)行穩(wěn)定的放電。
[0048]本發(fā)明并不限定于以上說明的實(shí)施形態(tài)，其包含權(quán)利要求所規(guī)定的本發(fā)明的技術(shù)范圍至不脫離本質(zhì)的全部的變更及修正。
[0049]【符號(hào)說明】
[0050]10基體部
[0051]11本體
[0052]12蓋
[0053]13蓋板
[0054]20氧化防止氣體入口
[0055]21氣體孔
[0056]22氧化防止氣體導(dǎo)入管
[0057]30貫通孔
[0058]31，32，41，34 孔
[0059]35，35a~35e氧化防止氣體吹送口
[0060]40薄膜加熱器
[0061]50迷路
[0062]51,51a~51e 內(nèi)周側(cè)塊體
[0063]52,52a~52e外周側(cè)塊體
[0064]53, 53a~53e, 54, 54a~54e 氧化防止氣體流路
[0065]56第2入口側(cè)塊體
[0066]57第I入口側(cè)塊體
[0067]58突起
[0068]60凹部
[0069] 61入口區(qū)域[0070]62中間部
[0071]63迷路區(qū)域
[0072]65氧化防止氣體區(qū)域
[0073]71接合臂
[0074]72毛細(xì)管
[0075]73線尾
[0076]74接合球
[0077]80炬電極
[0078]90基板
[0079]100氧化防止氣體吹送單元
[0080]511a ~511e 內(nèi)面
[0081]512a ~512e 側(cè)面
[0082]513a ~513e 角部
[0083]514a ~514e 外面
[0084]523a ~523e 右端部
[0085]524a ~524e 左端部
【權(quán)利要求】
1.一種氧化防止氣體吹送單元，其具備: 中空板狀的基體部，于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路； 貫通孔，以可拔插毛細(xì)管的方式貫通所述基體部的厚度方向，且與所述氧化防止氣體流路連通而使氧化防止氣體流出；及 薄膜加熱器，安裝于所述貫通孔周圍的所述基體部的外面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 所述氧化防止氣體流路具備多個(gè)吹送口，所述多個(gè)吹送口朝向所述貫通孔的中心吹出氧化防止氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 具備使氧化防止氣體流入至氧化防止氣體流路的氧化防止氣體入口， 所述氧化防止氣體流路具備迷路，所述迷路使流動(dòng)方向自所述氧化防止氣體入口至各吹送口為止之間至少變更2次。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 所述迷路具備: 多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體，配置于所述貫通孔的周緣，且所述多個(gè)內(nèi)周側(cè)塊體之間的周方向的各間隙形成所述各吹送口 ；及 多個(gè)外周側(cè)塊體，處于所述各內(nèi)周側(cè)塊體的外周側(cè)，且所述多個(gè)外周側(cè)塊體之間的周方向的各間隙與所述內(nèi)周側(cè)塊體的各間隙在周方向上錯(cuò)開地配置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 所述薄膜加熱器安裝于配置有所述迷路的區(qū)域的所述基體部的外面。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 所述薄膜加熱器安裝于配置有所述迷路的區(qū)域的所述基體部的外面。
7.根據(jù)權(quán)利要求3至權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 于所述基體部的外側(cè)配置有炬電極，所述炬電極與自所述毛細(xì)管的前端伸出的線尾之間產(chǎn)生火花，將所述線尾形成為接合球。
8.根據(jù)權(quán)利要求3至權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的氧化防止氣體吹送單元，其中 于所述基體部的內(nèi)側(cè)配置有炬電極，所述炬電極與自所述毛細(xì)管的前端伸出的線尾之間產(chǎn)生火花，將所述線尾形成為接合球。
【文檔編號(hào)】H01L21/60GK103930980SQ201280055529
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月26日
【發(fā)明者】前田徹, 坂倉(cāng)光昭 申請(qǐng)人:株式會(huì)社新川