用于清潔氣體噴射器的系統(tǒng)和方法
【專利摘要】一種具有同心雙流導(dǎo)引器和流分散噴射器座的噴射器清潔裝置以及一種清潔噴射器的方法。所述同心雙流導(dǎo)引器具有與氣體噴射器的中央通道以及多個外圍通道連通的同心清潔流體流動路徑。所述同心雙流導(dǎo)引器的輸入側(cè)噴射器接合界面和所述流分散噴射器座各自具有可壓縮密封部，所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器分別與所述輸入側(cè)噴射器接合界面和輸出側(cè)噴射器接合界面的剛性護(hù)面部鄰接。
【專利說明】用于清潔氣體噴射器的系統(tǒng)和方法
相關(guān)申請的交叉引用
[0001]本申請要求于2011年12月7日提交的序列號為61/567，693的美國臨時申請和于2012年10月12日提交的序列號為13/650,429的美國正式申請的權(quán)益。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及一種清潔氣體噴射器的內(nèi)表面的系統(tǒng)和方法。
【背景技術(shù)】
[0003]將氣體噴射器用作等離子體處理系統(tǒng)的部分，該等離子體處理系統(tǒng)用于諸如半導(dǎo)體晶片之類的襯底的等離子體處理。這些應(yīng)用要求氣體噴射器不受到污染，因?yàn)槲廴疚飳⒖赡墚a(chǎn)生不可接受的制造產(chǎn)品(work product)。通常,通過人工擦洗內(nèi)表面至一定程度,用超聲波進(jìn)一步清潔，從而清潔噴射器。相信這樣的過程不會使噴射器不受諸如陶瓷和氧化釔顆粒之類的顆粒污染。本發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識到需要有替代上述清潔工藝的替代方案，并且更具體地，需要用于從噴射器的受限表面(confined surface)去除諸如陶瓷和氧化釔顆粒之類的顆粒的更有效的替代方案。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]根據(jù)本發(fā)明的主題，提供噴射器清潔裝置來清潔氣體噴射器的內(nèi)表面。噴射器清潔裝置和相關(guān)聯(lián)的過程用于從噴射器的受限表面去除顆粒，例如陶瓷顆粒和氧化釔顆粒。噴射器清潔裝置可以用來清潔或沖洗掉常規(guī)擦洗和超聲波清潔后產(chǎn)生的顆粒。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式，噴射器清潔裝置包括同心雙流導(dǎo)引器和流分散噴射器座。所述同心雙流導(dǎo)引器包括:內(nèi)部同心清潔流體(cleaning fluid)流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通；外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通；以及輸入側(cè)噴射器接合界面。該輸入側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部(rigid facing port1n)。所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌(surges)，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接(abutment)并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙。所述流分散噴射器座包括輸出側(cè)噴射器接合界面，該輸出側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部。所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙。[0006]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，噴射器清潔裝置包括同心雙流導(dǎo)引器、流分散噴射器座、內(nèi)部流量控制模塊和外部流量控制模塊。所述同心雙流導(dǎo)引器包括:內(nèi)部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通；外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通；以及輸入側(cè)噴射器接合界面。該輸入側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部(rigid facing port1n)。所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌(surges)，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙。所述流分散噴射器座還包括內(nèi)基環(huán)、外基環(huán)和輸出側(cè)噴射器接合界面，該輸出側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部。所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙。所述內(nèi)部流量控制模塊被配置成調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動，并且所述外部流量控制模塊被配置成調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，公開了清潔氣體噴射器的方法。該方法包括:提供噴射器清潔裝置，該噴射器清潔裝置包括同心雙流導(dǎo)引器、流分散噴射器座、內(nèi)部控制模塊和外部控制模塊。所述同心雙流導(dǎo)引器包括:內(nèi)部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通；以及外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通。該方法還包括將去離子水和壓縮干燥空氣弓I入所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑以及將去離子水和壓縮干燥空氣引入所述外部同心清潔流體流動路徑。所述同心雙流導(dǎo)引器還包括輸入側(cè)噴射器接合界面，該輸入側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部。所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙。所述流分散噴射器座包括輸出側(cè)噴射器接合界面，該輸出側(cè)噴射器接合界面包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部。所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述流分散噴射器座之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙。所述內(nèi)部流量控制模塊調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動，并且所述外部流量控制模塊調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動?！緦＠綀D】
【附圖說明】
[0008]當(dāng)結(jié)合下文的附圖閱讀時，可以最好地理解本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】的下面的詳細(xì)描述，附圖中類似的結(jié)構(gòu)用類似的附圖標(biāo)記標(biāo)注，且其中:
[0009]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的示意圖；
[0010]圖2A是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的側(cè)面剖視圖(為使噴射器清潔裝置清晰起見，噴射器顯示為輪廓(silhouette))；
[0011]圖2B是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的詳細(xì)剖視圖(為使噴射器清潔裝置清晰起見，噴射器顯示為輪廓)；
[0012]圖3A是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的同心雙流導(dǎo)引器的等距視圖；
[0013]圖3B是圖3A的剖視圖；
[0014]圖3C是圖3A的另一種剖視圖；
[0015]圖4是噴射器的等距視圖；
[0016]圖5是噴射器的等距視圖；
[0017]圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的等距視圖；
[0018]圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的除去了隔離環(huán)的噴射器清潔裝置的等距視圖；
[0019]圖8是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的同心雙流導(dǎo)引器也除去了的噴射器清潔裝置的等距視圖；
[0020]圖9是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的外基環(huán)也除去了的噴射器清潔裝置的等距視圖；
[0021]圖10是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的與噴射器密封件結(jié)合使用的噴射器的側(cè)視圖；
[0022]圖11是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的除去了隔離環(huán)的噴射器清潔裝置的上部的等距視圖；
[0023]圖12是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的排放室的等距視圖；
[0024]圖13A是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的同心雙流導(dǎo)引器的等距視圖；
[0025]圖13B是圖13A的詳細(xì)視圖；
[0026]圖14A是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的上部的等距視圖；
[0027]圖14B是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的外基環(huán)也除去了的噴射器清潔裝置的上部的等距視圖；
[0028]圖14C是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的內(nèi)基環(huán)也除去了的噴射器清潔裝置的上部的等距視圖；
[0029]圖14D是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的隔離環(huán)也除去了的噴射器清潔裝置的上部的等距視圖；
[0030]圖15A是根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的噴射器清潔裝置的等距剖視圖；以及
[0031]圖15B是15A的詳細(xì)視圖。
【具體實(shí)施方式】[0032]整體參照附圖，特別是參照圖1，應(yīng)理解的是，示圖是用于說明本發(fā)明的特定實(shí)施方式的目的，而不是意圖限制本發(fā)明。用于清潔噴射器的噴射器清潔裝置100包括相關(guān)的外部流量控制模塊102和內(nèi)部流量控制模塊106。外部流量控制模塊102和內(nèi)部流量控制模塊106包括閥、壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器、流量調(diào)節(jié)器和/或其它已知的硬件和儀器。外部流量控制模塊102和內(nèi)部流量控制模塊106控制流到噴射器清潔裝置100的不同部分的去離子水和壓縮干燥空氣(CDA)的流動并清潔噴射器140的不同部分。外部流量控制模塊102和內(nèi)部流量控制模塊106具有獨(dú)立的壓強(qiáng)控制，使得去離子水和/或CDA的壓強(qiáng)或流率可以不同。
[0033]參考圖2A和圖2B，為增強(qiáng)噴射器清潔裝置100的清晰度，將噴射器140以輪廓的方式示出。在一個實(shí)施方式中，噴射器清潔裝置100具有內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112。內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112是與噴射器140的不同部分連通的不同的且獨(dú)立的流體路徑。內(nèi)區(qū)110與噴射器140的中央通道148連通。外區(qū)112與噴射器140的外圍通道146連通。該設(shè)計(jì)確保通過噴射器140的不同的外圍通道146的流均勻。
[0034]進(jìn)一步參見圖1、圖2A和圖2B，在一個實(shí)施方式中，外部流量控制模塊102提供輸入端到噴射器清潔裝置100的外區(qū)112。外部流體供應(yīng)件104將去離子水引導(dǎo)至外區(qū)孔124，而外部空氣供應(yīng)件105將壓縮干燥空氣引導(dǎo)至該外區(qū)孔。由外部流量控制模塊102控制的去離子水和CDA清潔噴射器140的外圍通道146。外部流量控制模塊102調(diào)節(jié)流到外區(qū)孔124和外圍通道146中的去離子水的流動，一個選定的示例性的流率為每分鐘約3.5至約4.0加侖。外部流量控制模塊102調(diào)節(jié)流到外區(qū)孔124和外圍通道146的壓縮干燥空氣的流動，一個選定的示例性的壓縮干燥空氣的壓強(qiáng)介于約40至約45psi之間。另外一個選定的實(shí)施方式包括去離子水的流率為每分鐘約5.5到約6.5加侖以及壓縮干燥空氣的壓強(qiáng)介于約30和約40psi之間。
[0035]在一個實(shí)施方式中，所述內(nèi)部流量控制模塊106提供輸入端到噴射器清潔裝置100的內(nèi)區(qū)110。內(nèi)部流體供應(yīng)件107將去離子水引導(dǎo)至內(nèi)區(qū)孔122，而內(nèi)部空氣供應(yīng)件108將壓縮干空氣引導(dǎo)至該內(nèi)區(qū)孔。通過內(nèi)部流量控制模塊106控制的去離子水和CDA清潔噴射器140的中央通道148。內(nèi)部流量控制模塊106調(diào)節(jié)流入內(nèi)區(qū)孔122和中央通道148的去離子水的流動，一個選定的示例性的流率為每分鐘約3.5到約4.0加侖。內(nèi)部流量控制模塊106調(diào)節(jié)流入內(nèi)區(qū)孔122和中央通道148的壓縮干燥空氣的流動，一個選定的示例性的壓縮干燥空氣的壓強(qiáng)介于約40和約45psi之間。另外一個選定的實(shí)施方式包括去離子水的流率為每分鐘約5.5到約6.5加侖以及壓縮干燥空氣的壓強(qiáng)介于約30和約40psi之間。
[0036]參考圖3A，噴射器清潔裝置100包括同心雙流導(dǎo)引器120。同心雙流導(dǎo)引器120包括將流體引入內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112的孔；孔的具體實(shí)例包括內(nèi)區(qū)孔122和外區(qū)孔124。
[0037]參考圖3B，即圖3A的剖視圖，其示出了內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)。外區(qū)112包括外部通道126，而內(nèi)區(qū)110包括內(nèi)部通道128。參考圖3C，即圖3A的另一種剖視圖，其進(jìn)一步圖解了外部通道126和內(nèi)部通道128。
[0038]參考圖4，其示出了噴射器140。噴射器140包括多個外圍出口 142和多個中央出Π 144。
[0039]參考圖5，其示出了噴射器140的另一種視圖。噴射器140還包括多個外圍通道146和至少一個中央通道148。外圍通道146終止于外圍出口 142處，而中央通道148終止于中央出口 144處。將在噴射器清潔操作中使用的流體經(jīng)由外圍通道146和中央通道148引入噴射器140中，然后通過外圍出口 142和中央出口 144從噴射器噴射。
[0040]參考圖6，其示出了組裝的噴射器清潔裝置100的實(shí)施方式。除了同心雙流導(dǎo)引器120外，噴射器清潔裝置100還包括隔離環(huán)150、排放室152和外基環(huán)154。
[0041]參考圖7，其示出了噴射器清潔裝置100的實(shí)施方式，其中除去了隔離環(huán)150以顯示噴射器140。
[0042]參考如圖8，其示出了噴射器清潔裝置100的實(shí)施方式，其中除去了同心雙流導(dǎo)引器120和隔離環(huán)150以露出流導(dǎo)引器密封件156。還示出了將外基環(huán)154和隔離環(huán)150分隔的隔離環(huán)密封件158。雖然示出的流導(dǎo)引器密封件156和隔離環(huán)密封件158為O形環(huán)式密封件，然而其它實(shí)施方式包括其它類型和式樣的本領(lǐng)域公知的密封件。
[0043]參考圖9，其示出了噴射器清潔裝置100，其中除去了外基環(huán)154以露出內(nèi)基環(huán)160。內(nèi)基環(huán)160和外基環(huán)154由內(nèi)基環(huán)密封件162和外基環(huán)密封件164分離。雖然示出的內(nèi)基環(huán)密封件162和外基環(huán)密封件164為O形環(huán)式密封件，然而其它實(shí)施方式包括其它類型和式樣的本領(lǐng)域公知的密封件。
[0044]在一個實(shí)施方式(未示出)中，外基環(huán)154和內(nèi)基環(huán)160是單個部件。外基環(huán)154和內(nèi)基環(huán)160無論是作為單個部件還是多個部件都統(tǒng)稱為流分散噴射器座166。
[0045]參考圖10，其示出了從噴射器清潔裝置100拆下的噴射器140。噴射器140當(dāng)安裝在噴射器清潔裝置100中時，其通過上部噴射器密封件170與同心雙流導(dǎo)引器120分離，并通過下部噴射器密封件172與內(nèi)基環(huán)160分離。上部噴射器密封件170和下部噴射器密封件172是可壓縮的，并使得噴射器140能在噴射器清潔裝置100中介于內(nèi)基環(huán)160和同心雙流導(dǎo)引器120之間浮動，同時保持與上部噴射器密封件和下部噴射器密封件嚙合。噴射器140在噴射器清潔裝置100中的浮動布置使得當(dāng)通過噴射器清潔裝置及噴射器的流體的壓強(qiáng)或流率改變時能改善震動的吸收。雖然示出的上部噴射器密封件170和下部噴射器密封件172為O形環(huán)式密封件，然而其它實(shí)施方式包括其它類型和式樣的本領(lǐng)域公知的密封件。
[0046]參考圖11，其不出了本發(fā)明的實(shí)施方式中的噴射器140、外基環(huán)154和同心雙流導(dǎo)引器120之間的關(guān)系。噴射器140其一端與流分散噴射器座166連接，而其另一端與同心雙流導(dǎo)引器120連接。
[0047]再次參考圖2A和2B，其示出了設(shè)置在噴射器清潔裝置中的噴射器140。噴射器140顯示為輪廓，為使周邊的噴射器清潔裝置100的結(jié)構(gòu)清晰起見，該輪廓沒有任何內(nèi)部細(xì)節(jié)。同心雙流導(dǎo)引器120包括輸入側(cè)的噴射器接合界面114。輸入側(cè)的噴射器接合界面114包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部(rigid facing port1n)。輸入側(cè)噴射器接合界面114的可壓縮密封部優(yōu)選具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過噴射器清潔裝置100的清潔流體的流動的起始和終止。輸入側(cè)噴射器接合界面114的可壓縮密封部優(yōu)選地還具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和輸入側(cè)噴射器接合界面的剛性護(hù)面部鄰接(abutment)并保持噴射器和輸入側(cè)噴射器接合界面的剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙。在一個實(shí)施方式中，上部噴射器密封件170是輸入側(cè)噴射器接合界面114的可壓縮密封部。
[0048]流分散噴射器座166包括輸出側(cè)噴射器接合界面116。輸出側(cè)噴射器接合界面116包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部。輸出側(cè)噴射器接合界面116的可壓縮密封部優(yōu)選具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過噴射器清潔裝置100的清潔流體的流動的起始和終止。輸出側(cè)噴射器接合界面116的可壓縮密封部優(yōu)選地還具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和輸出側(cè)噴射器接合界面的剛性護(hù)面部鄰接(abutment)并保持噴射器和輸出側(cè)噴射器接合界面的剛性護(hù)面部之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙。在一個實(shí)施方式中，下部噴射器密封件172是輸出側(cè)噴射器接合界面116的可壓縮密封部。
[0049]參考圖12，其示出了排放室152的端部的細(xì)節(jié)。排放室152的端部的外周包括可選的外基環(huán)密封通道180。外基環(huán)密封通道180是凹陷通道，尺寸設(shè)置成容納外基環(huán)密封件164。排放室152還包括至少一個排放口 182以在噴射器清潔操作期間提供用于從噴射器140排放的流體的路徑。
[0050]參考圖13A，其示出了同心雙流導(dǎo)引器120的端部的細(xì)節(jié)。同心雙流導(dǎo)引器120的端部的外周包括可選的流導(dǎo)引器密封通道184和可選的上部噴射器密封通道186。流導(dǎo)引器密封通道184是凹陷通道，其尺寸設(shè)置成容納流導(dǎo)引器密封件156。上部噴射器密封通道186是凹陷通道，其尺寸設(shè)置成容納上部噴射器密封件170。另外，圖13B，即圖13A的詳細(xì)視圖，其示出了外部通道126和內(nèi)部通道128。
[0051]參考圖14A，其示出了內(nèi)基環(huán)160。內(nèi)基環(huán)160具有至少一個穿孔190，以使得來自噴射器140的外圍出口 142和中央出口 144的排放物能穿過內(nèi)基環(huán)。所述至少一個穿孔190對準(zhǔn)噴射器140的外圍出口 142和中央出口 144，使得噴射器的排放物能不受阻礙地通過。圖14B所示為:外基環(huán)154已去除，露出了外基環(huán)密封件164的定位。圖14C所示為:內(nèi)基環(huán)160也已去除，露出了內(nèi)基環(huán)密封件162和下部噴射器密封件172的定位。圖14D所示為:隔離環(huán)150也已去除，露出了隔離環(huán)密封件158及流導(dǎo)引器密封件156。
[0052]參考圖15A和15B，其示出了噴射器140置于原位的噴射器清潔裝置100的實(shí)施方式的橫截面。其示出了此前披露的結(jié)構(gòu)和它們的關(guān)系。
[0053]噴射器清潔裝置100與噴射器140接觸的部件可以是聚丙烯或者適于與噴射器接觸的其他材料。這些部件的其余部分可以由尼龍或適合這些條件的其它材料制成。所有沾濕的表面(all wetted surface)不得由不銹鋼制成。
[0054]噴射器清潔裝置100用于清潔噴射器140。清潔過程的目的在于從噴射器140的受限表面去除顆粒，例如陶瓷顆粒和氧化釔顆粒。相信諸如陶瓷顆粒和氧化釔顆粒之類的顆粒沒有通過常規(guī)的漂洗或超聲波清潔的方法除去。噴射器清潔裝置100用于清潔和沖洗掉常規(guī)擦洗和超聲波清潔之后留下的顆粒。
[0055]從噴射器140去除顆粒對于無缺陷性能非常重要。在諸如半導(dǎo)體晶片襯底的等離子體處理之類的操作過程中，噴射器140中的碎屑和顆粒會導(dǎo)致在最終產(chǎn)品中的缺陷。
[0056]噴射器清潔過程的實(shí)施方式包括將流體引入噴射清潔裝置100的內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112。與內(nèi)區(qū)孔122和外區(qū)孔124連接的配件可用于將外部流量控制模塊102和內(nèi)部流量控制模塊106連接到噴射器清潔裝置100。經(jīng)由內(nèi)區(qū)孔122引入的流體穿過內(nèi)部通道128。經(jīng)由外區(qū)孔124引入的流體穿過外部通道126。這些獨(dú)立的路徑使得對于穿過內(nèi)區(qū)110和外區(qū)112的流體可以使用不同的壓強(qiáng)和流率。另外，可以想象到的是如洗滌劑或酶等二次清潔劑(secondary cleaning agents)可以包含在一流體流中，并且不包含在另一流體流中。[0057]流體穿過內(nèi)部通道128和外部通道126后，將其引入到噴射器140，以完成清潔運(yùn)行。將來自內(nèi)部通道128的流體引入噴射器140的中央通道148，使其穿過中央通道，并使其通過中央出口 144噴出。將來自外部通道126的流體引入到噴射器140的外圍通道，使其穿過外圍通道，并使其通過外圍出口 142噴出。從外圍出口 142和中央出口 144排放出的流體穿過內(nèi)基環(huán)160的至少一個穿孔190,使得流體能進(jìn)入排放室152。通過至少一個排放口 182讓流體從排放室152排出噴射器清潔裝置100。
[0058]所披露的附圖示出了斜角、錐狀、倒角、圓角、弄圓(rounding)以及其他邊角處理。這些邊角處理可能不是必須的，并且本發(fā)明包括那些并不存在這些邊角處理的未示出的實(shí)施方式。此外，可以設(shè)想到一些實(shí)施方式，在這些實(shí)施方式中，沒有顯示為經(jīng)邊角處理的角和邊是傾斜的、錐狀的、倒角的、圓角的、圓形的，或經(jīng)另一邊角處理方式處理的。
[0059]在所公開的附圖中，緊固件顯示為以組裝排布的方式將噴射器清潔裝置100的部件保持一起。所示緊固件的種類和樣式僅是說明性的，本領(lǐng)域公知的緊固件的進(jìn)一步的類型和樣式設(shè)想作為進(jìn)一步的實(shí)施方式。
[0060]還應(yīng)當(dāng)注意，本文中“至少一個”部件、元件等這樣的描述不應(yīng)該被用來推斷:替代使用的冠詞“一”或“一個”(“a”or “an”)應(yīng)限于單個部件、元件等。
[0061]值得注意的是，如“優(yōu)選”、“通?！焙汀暗湫偷亍钡刃g(shù)語在本文使用時并不用于限制本發(fā)明要求保護(hù)的范圍或者暗示某些特征對于所要求保護(hù)的發(fā)明的結(jié)構(gòu)或功能是關(guān)鍵的、必要的、或者甚至是重要的。相反，這些術(shù)語僅僅旨在標(biāo)識出本發(fā)明的實(shí)施方式的特定方面或者強(qiáng)調(diào)可以或不可以在本發(fā)明的特定的實(shí)施方式中使用的替代的或額外的特征。
[0062]已經(jīng)參照本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述了本發(fā)明的主題，應(yīng)當(dāng)指出的是，本文所公開的各種細(xì)節(jié)不應(yīng)被視為暗示這些細(xì)節(jié)與是本文所描述的各種實(shí)施方式的基本部件的元件有關(guān)，即使在特定的元件圖解在伴隨本說明書的每一個附圖中的情況下也如此。相反，所附的權(quán)利要求應(yīng)被視為本發(fā)明和本文所描述的各種發(fā)明的相應(yīng)范圍的廣度的唯一表示。另外，顯而易見的是，在不脫離本發(fā)明的所附權(quán)利要求限定的范圍的情況下，一些修改方案和變化方案是可行的。更具體地，盡管本發(fā)明的一些方面在本文中確定為優(yōu)選的或特別有利的，但可以預(yù)期的是，本發(fā)明不必然受限于這些方面。
[0063]值得注意的是以下的權(quán)利要求中的一項(xiàng)或多項(xiàng)使用術(shù)語“其中”作為過渡語?；谙薅ū景l(fā)明的目的而言，應(yīng)當(dāng)注意，在權(quán)利要求中引入該術(shù)語作為開放式的過渡性短語，其用于引入對結(jié)構(gòu)的一系列特征的敘述，并應(yīng)當(dāng)以解釋更常用的開放式前序術(shù)語“包括”的方式類似的方式來解釋。
【權(quán)利要求】
1.一種噴射器清潔裝置，其包括同心雙流導(dǎo)引器和流分散噴射器座，其中:所述同心雙流導(dǎo)引器包括 內(nèi)部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通， 外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通，以及 輸入側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙；并且 所述流分散噴射器座包括 輸出側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中，所述噴射器清潔裝置還包括內(nèi)部流量控制模塊以調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動以及包括外部流量控 制模塊以調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴射器清潔裝置，其中所述內(nèi)部流量控制模塊、所述外部流量控制模塊、或兩者都包括至少一個閥、至少一個壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器和至少一個流量調(diào)節(jié)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部、所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部或所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部兩者都包括O形環(huán)式密封件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴射器清潔裝置，其中所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部兩者都包括O形環(huán)式密封件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部設(shè)置在形成于所述同心雙流導(dǎo)引器中的凹陷通道中，而所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部設(shè)置在形成于所述流分散噴射器座中的凹陷通道中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述噴射器清潔裝置還包括排放室以收集和排出從所述流分散噴射器座排放的流體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述噴射器清潔裝置還包括設(shè)置在所述流分散噴射器座和所述同心雙流導(dǎo)引器之間的隔離環(huán)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述流分散噴射器座還包括內(nèi)基環(huán)和外基環(huán)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所有沾濕的表面都不是由不銹鋼組成的。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴射器清潔裝置，其中所述流分散噴射器座和所述同心雙流導(dǎo)引器是由聚丙烯組成的。
12.—種噴射器清潔裝置，其包括同心雙流導(dǎo)引器、流分散噴射器座、內(nèi)部流量控制模塊和外部流量控制模塊，其中: 所述同心雙流導(dǎo)引器包括 內(nèi)部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通， 外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通，以及輸入側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙； 所述流分散噴射器座包括 輸出側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密 封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙，并且所述流分散噴射器座還包括內(nèi)基環(huán)和外基環(huán)； 所述內(nèi)部流量控制模塊被配置成調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動；并且 所述外部流量控制模塊被配置成調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動。
13.一種清潔氣體噴射器的方法，該方法包括: 提供噴射器清潔裝置，該噴射器清潔裝置包括同心雙流導(dǎo)引器、流分散噴射器座、內(nèi)部控制模塊和外部控制模塊，其中: 所述同心雙流導(dǎo)引器包括: 內(nèi)部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的中央通道連通， 外部同心清潔流體流動路徑，其配置成與氣體噴射器的多個外圍通道連通，以及輸入側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述輸入側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部之間的輸入側(cè)噴射器浮動間隙； 所述流分散噴射器座包括輸出側(cè)噴射器接合界面，其包括可壓縮密封部和剛性護(hù)面部，所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的可壓縮性，以在用流體清潔時產(chǎn)生浪涌，該浪涌能歸因于流過所述噴射器清潔裝置的清潔流體的流動的起始和終止，且所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述可壓縮密封部具有足夠的彈性以防止氣體噴射器和所述輸出側(cè)噴射器接合界面的所述剛性護(hù)面部鄰接并保持噴射器和所述流分散噴射器座之間的輸出側(cè)噴射器浮動間隙； 所述內(nèi)部流量控制模塊調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動；以及 所述外部流量控制模塊調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水和壓縮干燥空氣的流動； 將去離子水和壓縮干燥空氣引入所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑；并且 將去離子水和壓縮干燥空氣引入所述外部同心清潔流體流動路徑。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的清潔氣體噴射器的方法，其中所述內(nèi)部流量控制模塊以每分鐘約3.5加侖至約4.0加侖的流率調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的去離子水的流動以及以介于約40psi和約45psi之間的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)流到所述內(nèi)部同心清潔流體流動路徑的壓縮干燥空氣的流動。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的清潔氣體噴射器的方法，其中所述外部流量控制模塊以每分鐘約3.5加侖至約4.0加侖的流率調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的去離子水的流動以及以介于約40psi和約45psi之間的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)流到所述外部同心清潔流體流動路徑的壓縮干燥空氣的流動。
【文檔編號】H01L21/3065GK104040689SQ201280060293
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月7日
【發(fā)明者】阿爾曼·阿沃楊, 克利夫·拉克魯瓦, 石洪, 艾倫·龍尼, 約翰·多爾蒂, 凱瑟琳·周 申請人:朗姆研究公司