專利名稱：惰性氣體注入設備及惰性氣體注入方法
技術領域：
本發(fā)明涉及惰性氣體注入設備、以及使用了這樣的惰性氣體注入設備的惰性氣體注入方法，所述惰性氣體注入設備包括:保管架，設置于與外部劃分形成的保管空間內，并配設有收納用于容納基板的容器的收納部；注入裝置，以使容器內的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內部；以及控制裝置，控制上述注入裝置的動作。
背景技術：
為了抑制在基板(例如半導體晶片)上附著微粒、并且抑制因氧或濕度而使基板從適當狀態(tài)惡化，而使用如上所述的惰性氣體注入設備，用于向收納基板的容器注入惰性氣體。S卩，隨著從收納基板的容器的供氣口注入惰性氣體，容器內的氣體被從排氣口向保管空間內排出，容器內成為被注入的惰性氣體充滿的狀態(tài)。因此，能夠抑制在基板上附著微粒以及因氧或濕度而使基板從適當狀態(tài)惡化。在日本特開2001-338971號公報(專利文獻I)中公開了這種惰性氣體注入設備的一例，在該惰性氣體注入設備中，在箱形的保管庫內沿上下方向和左右方向并排地設置有作為收納部的保管部，在各保管部裝備有供給作為惰性氣體的氮氣的氣體供給管。雖然在專利文獻I中沒有詳細的說明，但箱形的保管庫內相當于與外部劃分形成的保管空間，從容器向該箱形的保管庫內排出氮氣。在惰性氣體注入設備中，為了進行各種檢查作業(yè)，一般設置用于供作業(yè)人員出入保管空間內的檢查門。在設置這種檢查門的情況下，為了在作業(yè)人員位于保管空間內時，抑制從收納于收納部的容器的排氣口向保管空間內排出惰性氣體，可以考慮構成為當打開檢查門時停止供給惰性氣體。然而，若簡單地構成為當打開檢查門時停止供給惰性氣體，則無法進行惰性氣體對收納于收納部的容器的供氣口的供給狀態(tài)的檢查、惰性氣體從容器的排氣口的排出狀態(tài)的檢查等供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查。

發(fā)明內容
鑒于上述背景，期望實現(xiàn)這樣的惰性氣體注入設備:除了能夠進行停止供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)，還能夠進行繼續(xù)供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)。本發(fā)明的惰性氣體注入設備包括:
保管架，設置于與外部劃分形成的保管空間內，并配設有收納用于容納基板的容器的收納部；
注入裝置，以使容器內的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內部； 控制裝置，控制上述注入裝置的動作；
檢查門開閉檢測裝置，檢測用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內的檢查門的開閉狀態(tài)；以及
人為操作式的停止無效指令裝置，用于對上述控制裝置指示停止無效指令，
這里，上述控制裝置構成為，
在未由上述停止無效指令裝置指示上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體，并且，
在由上述停止無效指令裝置指示了上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動作以繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體。根據上述結構，作為檢查作業(yè)，在進行對收納于收納部的容器的供氣口的惰性氣體的供給狀態(tài)的檢查、來自容器的排氣口的惰性氣體的排出狀態(tài)的檢查等供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查時，從停止無效指令裝置對控制裝置指示停止無效指令，由此，即使檢查門打開，也能夠使對容器供給惰性氣體的狀態(tài)繼續(xù)。其結果是，能夠在繼續(xù)對容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進行檢查作業(yè)。并且，在檢查作業(yè)時不需要對容器供給惰性氣體的情況下，不從停止無效指令裝置對控制裝置指示停止無效指令，由此，當由檢測門開閉檢測裝置檢測到檢查門的打開狀態(tài)時，停止對容器供給惰性氣體。其結果是，能夠在停止對容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進行檢查作業(yè)。總之，根據上述結構，能夠提供這樣的惰性氣體注入設備:除了能夠進行停止供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)，還能夠進行繼續(xù)供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)。本發(fā)明的惰性氣體注入設備的技術特征也能夠應用于惰性氣體注入方法，本發(fā)明還能夠以這樣的方法為權利保護對象。在該惰性氣體注入方法中也能夠獲得上述的惰性氣體注入設備的作用效果。即，本發(fā)明的惰性氣體注入方法是使用了惰性氣體注入設備的方法，
上述惰性氣體注入設備包括:
保管架，設置于與外部劃分形成的保管空間內，并配設有收納用于容納基板的容器的收納部；
注入裝置，以使容器內的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內部；
控制裝置，控制上述注入裝置的動作，
檢查門開閉檢測裝置，檢測用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內的檢查門的開閉狀態(tài)；以及
人為操作式的停止無效指令裝置，用于對上述控制裝置指示停止無效指令，
上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下工序:
供給狀態(tài)控制工序，在該供給狀態(tài)控制工序中，
在未由上述停止無效指令裝置指示上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體，并且，
在由上述停止無效指令裝置指示了上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動作以繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體。以下，對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的示例進行說明。在本發(fā)明的惰性氣體注入設備的實施方式中，優(yōu)選的是，設置有檢測上述保管空間內的氧濃度的氧濃度檢測傳感器，上述控制裝置構成為，在上述停止無效模式下繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，在由上述氧濃度檢測傳感器檢測到氧濃度小于設定值的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體。根據上述結構，在停止無效模式下，在由于從容器的排氣口向保管空間內排出惰性氣體而使保管空間內的氧濃度小于設定值的情況下，停止對容器供給惰性氣體，能夠確保作業(yè)人員的安全性。S卩，為了將從容器排出的氣體排放到外部，保管空間未形成為完全密閉，而是適當開放為能夠與外部空間通氣的狀態(tài)。并且，在進行檢查作業(yè)時，檢查門維持打開狀態(tài)。因此，即使從容器的排氣口向保管空間內排出惰性氣體，保管空間內的氧濃度極端降低而小于設定值的可能性也較小，但萬一保管空間內的氧濃度變成小于設定值的情況下，停止對容器供給惰性氣體，能夠適當?shù)卮_保作業(yè)人員的安全性。在本發(fā)明的惰性氣體注入設備的實施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構成為，在上述停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)后繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，使對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動作。根據上述結構，當作業(yè)人員在保管空間內進行檢查作業(yè)時，能夠準確地識別繼續(xù)對容器供給惰性氣體的情況，因此，能夠在識別了繼續(xù)對容器供給惰性氣體的情況的狀態(tài)下良好地進行檢查作業(yè)。順便說一下，作為通知裝置，可以采用對作業(yè)人員攜帶的移動電話等便攜終端通知繼續(xù)供給惰性氣體的結構、以及在檢查門的附近設置揚聲器來通知繼續(xù)供給惰性氣體的結構等。在本發(fā)明的惰性氣體注入設備的實施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構成為，在對應于上述停止無效指令裝置的上述停止無效指令切換到上述停止無效模式后，即使經過了設定時間上述檢查門開閉檢測裝置也未檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，解除上述停止無效模式而切換至上述通常停止模式。根據上述結構，在作業(yè)人員為了在繼續(xù)對容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進行檢查作業(yè)，而由停止無效指令裝置對控制裝置指示了停止無效指令，但之后根據情況而中止了檢查作業(yè)的情況下等，自動地解除停止無效模式而切換至通知停止模式。因此，能夠避免不必要地繼續(xù)停止無效模式。即，能夠避免發(fā)生如下不良情況:若繼續(xù)停止無效模式，則認為處于通常停止模式的作業(yè)人員打開檢查門而進入保管空間內時，與作業(yè)人員認為的不同，而繼續(xù)對容器供給惰性氣體的狀態(tài)。在本發(fā)明的惰性氣體注入設備的實施方式中，優(yōu)選的是，上述停止無效指令裝置構成為，具備能夠在操作解除位置和無效指令位置之間操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且通過將上述操作體操作至上述無效指令位置，而對上述控制裝置指示上述停止無效指令。在操作體未被施力返回操作解除位置的情況下，解除停止無效模式而自動切換到通常停止模式時，看到保持于無效指令位置的操作體的作業(yè)人員有可能誤解為正在執(zhí)行停止無效模式。根據上述結構，由于操作體借助返回作用力而返回操作解除位置，因此能夠避免作業(yè)人員如上所述地誤解為處于停止無效模式。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在上述惰性氣體注入設備設置有檢測上述保管空間內的氧濃度的氧濃度檢測傳感器，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無效模式下繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，在由上述氧濃度檢測傳感器檢測到氧濃度小于設定值的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)后繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，使對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動作。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在對應于上述停止無效指令裝置的上述停止無效指令切換到上述停止無效模式后，即使經過了設定時間上述檢查門開閉檢測裝置也未檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，解除上述停止無效模式而切換至上述通常停止模式。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實施方式中，優(yōu)選的是，上述停止無效指令裝置具備能夠在操作解除位置和無效指令位置之間進行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且在將上述操作體操作至上述無效指令位置的情況下，對上述控制裝置指示上述停止無效指令。


圖1是物品保管設備的縱剖主視圖，
圖2是上述設備的切開側視圖，
圖3是收納部的立體圖，
圖4是表示氮氣的注入狀態(tài)的說明圖，
圖5是表示控制動作的流程圖。標號說明 10保管架 IOS收納部 50容器
50 i供氣口 50ο排氣口 55檢查門 56操作體 57Α通知裝置 A操作解除位置 B無效指令位置 H控制裝置
N注入裝置
SI檢查門開閉檢測裝置 S2氧濃度檢測傳感器 SW停止無效指令裝置。
具體實施例方式根據附圖對將本發(fā)明應用于物品保管設備的情況下的實施方式進行說明。(整體結構)
如圖1和圖2所示，物品保管設備包括:保管架10，用于保管以密閉狀態(tài)容納基板的搬運容器50 (以下簡稱為容器50);作為搬運裝置的塔式起重機20 ;以及作為容器50的入庫出庫部的入庫出庫輸送機CV。保管架10和塔式起重機20配設在利用墻體K與外部劃分形成的保管空間內，入庫出庫輸送機CV以貫穿墻體K的狀態(tài)配設。保管架10構成為，以沿上下方向和左右方向排列的狀態(tài)具有多個收納部10S，收納部IOS作為支承容器50的支承部，在多個收納部IOS中分別收納容器50，其詳細情況將在后文敘述。而且，如圖1所示，在本實施方式中構成為，在設置有物品保管設備的無塵室的天花板部，裝備有沿著鋪設的導軌G行進的升降機式的搬運車D，利用該升降機式的搬運車D，相對于入庫出庫輸送機CV搬入和搬出容器50。(容器50的結構)
容器 50 是遵照 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute)標準的合成樹脂制的氣密容器，用于收納作為基板的半導體晶片W(參照圖4)，被稱為F0UP(FrontOpening Unified Pod)。并且省略其詳細的說明，但是在容器50的正面形成有通過拆裝自如的蓋體而開閉的基板出入用的開口，在容器50的頂面形成有由升降機式的搬運車D把持的頂部凸緣52 (參照圖4)。在容器50的底面形成有與定位銷IOb (參照圖3)卡合的三個卡合槽(未圖示)。S卩，如圖4所示，容器50包括:殼體51，在內部沿上下方向具有能夠自由地載置多個半導體晶片W的基板支承體53 ;以及未圖不的蓋體。容器50構成為,在蓋體裝配于殼體51的狀態(tài)下，內部空間被密閉成氣密狀態(tài)，并且構成為，在收納于收納部IOS的狀態(tài)下，利用定位銷IOb進行定位。此外，如圖4所示，為了如后所述注入作為惰性氣體的氮氣，在容器50的底部設置有供氣口 50i和排氣口 50ο。雖然省略了圖示，但是在供氣口 50i設置有注入側開閉閥，在排氣口 50ο設置有排出側開閉閥。注入側開閉閥構成為，被彈簧等施力部件向關閉方向施力，當供給到供氣口 50i的氮氣的排出壓力成為比大氣壓高設定值的設定開閥壓力以上時，該注入側開閉閥由于所述壓力而被進行打開操作。
而且，排出側關閉閥構成為，被彈簧等施力部件向關閉方向施力，當容器50內部的壓力成為比大氣壓高設定值的設定開閥壓力以上時，該排出側開閉閥由于所述壓力而被進行打開操作。(塔式起重機20的結構)
如圖1所示，塔式起重機20包括:行進臺車21，能夠沿著設置于保管架10的正面?zhèn)鹊牡装宀康男羞M軌道E行進移動；桅桿22，立設于所述行進臺車21 ;以及升降臺24，能夠在由所述桅桿22引導的狀態(tài)下進行升降移動。另外，雖然未圖示，但構成為，設置于桅桿22的上端的上部框23與上部導軌卡合著移動，所述上部導軌設置于外周部被墻體K覆蓋的保管空間的天花板側。在升降臺24裝備有相對于收納部IOS移載容器50的移載裝置25。移載裝置25具有載置支承容器50的板狀的載置支承體25A，該載置支承體25A能夠在突出到收納部IOS的內部的突出位置和退避到升降臺24側的退避位置之間突出退避。具有移載裝置25的塔式起重機20構成為，通過載置支承體25A的突出退避動作以及升降臺24的升降動作，來進行將載置于載置支承體25A的容器50卸下到收納部IOS的卸下處理、以及將收納于收納部IOS的容器50取出的撈取處理。另外，具備移載裝置25的塔式起重機20相對于入庫出庫輸送機CV也進行卸下處理和撈取處理，從而進行相對于出庫輸送機CV的移載作業(yè)。雖未圖示，但是在塔式起重機20裝備有檢測行進路徑上的行進位置的行進位置檢測裝置、以及檢測升降臺24的升降位置的升降位置檢測裝置?？刂扑狡鹬貦C20的運轉的起重機控制器構成為，根據行進位置檢測裝置和升降位置檢測裝置的檢測信息來控制塔式起重機20的運轉。S卩，起重機控制器構成為，控制行進臺車21的行進動作和升降臺24的升降動作以及移載裝置25的載置支承體25A的突出退避動作，以進行將搬入到入庫出庫輸送機CV的容器50收納到收納部IOS的入庫作業(yè)、以及將收納于收納部IOS的容器50取出到入庫出庫輸送機CV的出庫作業(yè)。(收納部IOS的結構)
如圖3和圖4所示，多個收納部IOS分別具有載置支承容器50的板狀的載置支承部IOa (參照圖1)。該載置支承部IOa形成為俯視形狀為U字狀，以形成供移載裝置25的載置支承體25A上下通過的空間，在載置支承部IOa的頂面以向上方突出的狀態(tài)裝備有上述的定位銷10b。另外，在載置支承部IOa設置有一對存貨傳感器ΙΟζ，該存貨傳感器IOz用于檢測是否載置有容器50 (即，容器50是否收納于收納部10S)，并且構成為，所述存貨傳感器IOz的檢測信息被輸入到控制裝置H (參照圖4)，控制裝置H對后述的質量流量控制器40的運轉進行管理。在載置支承部IOa設置有將作為惰性氣體的氮氣供給到容器50內部的排出噴嘴IOi ;以及用于使從容器50的內部排出的氣體通流的排出用通氣體10ο。此外，在各收納部IOS裝備有控制氮氣的供給的質量流量控制器40 (參照圖2)。并且，在排出噴嘴IOi連接有使來自質量流量控制器40的氮氣流動的供給配管Li，在排出用通氣體IOo連接有端部開口的排出管Lo。構成為當容器50載置支承于載置支承部IOa時，排出噴嘴IOi與容器50的供氣口 50i以嵌合狀態(tài)連接，而且排出用通氣體IOo與容器50的排氣口 50ο以嵌合狀態(tài)連接。并且構成為，在容器50載置支承于載置支承部IOa的狀態(tài)下，通過從排出噴嘴IOi排出比大氣壓高設定值以上的壓力的氮氣，能夠在使容器內的氣體從容器50的排氣口 50ο排出到外部的狀態(tài)下，自容器50的供氣口 50i向容器50的內部注入氮氣。另外，如圖3所示，在供給配管Li裝備有手動操作式的開閉閥Vi，構成為在質量流量控制器40發(fā)生故障的緊急時等，能夠切換至停止氮氣的供給的狀態(tài)。(質量流量控制器40的結構)
如圖3和圖4所示，質量流量控制器40具有流入側端口 40i和排出側端口 40ο。在排出側端口 40ο連接有上述的供給配管Li，在流入側端口 40i連接有流入配管Ls，流入配管Ls引導來自氮儲氣瓶等氮氣供給源(未圖示)的氮氣。另外，在氮氣供給源裝備有:將氮氣的供給壓力調整至比大氣壓高設定值以上的設定壓力的調節(jié)器；以及使氮氣的供給間斷的手動操作式的開閉閥等。在質量流量控制器40裝備有:流量調節(jié)閥，對在從流入側端口 40i朝向排出側端口 40ο的內部流路中流動的氮氣的流量(向容器50的供給流量)進行變更調節(jié)；流量傳感器，對在內部流路中流動的氮氣的流量(向容器50的供給流量)進行計測；以及內部控制部，對流量調節(jié)閥的動作進行控制。并且內部控制部構成為，根據流量傳感器的檢測信息控制流量調節(jié)閥，以將向容器50的供給流量調整為從上述控制裝置H指示的目標流量。S卩，內部控制部控制流量調節(jié)閥，以使向容器50的供給流量與從控制裝置H指示的流量指令匹配。在本實施方式中，質量流量控制器40將在內部流路中流動的氮氣的流量(向容器50的供給流量)在O到50升/分鐘之間調節(jié)。在本實施方式中使用的質量流量控制器40構成為，在全流量調節(jié)范圍中以高速(例如I秒以內)調節(jié)為從控制裝置H指示的目標流量(流量指令)。順便說一下，在本實施方式中，以使容器內的氣體從容器50的排氣口 50ο向外部排出的狀態(tài)將作為惰性氣體的氮氣從容器50的供氣口 50i向容器50的內部注入的注入裝置N以氮氣供給源、質量流量控制器40及排出噴嘴IOi為主要部分構成，上述控制裝置H控制注入裝置N的動作。并且，注入裝置N構成為，能夠與從控制裝置H指示的流量指令匹配地改變作為惰性氣體的氮氣的供給流量。(控制裝置H的目標流量)
如圖4所示，控制裝置H經由可編程邏輯控制器P對分別對應于多個收納部IOS設置的質量流量控制器40指示目標流量(流量指令)。另外，在控制裝置H中裝備有用于輸入各種信息的控制臺HS。作為控制裝置H所指示的目標流量，有在容器50收納在收納部IOS中的狀態(tài)下，為了向容器50的內部注入氮氣而對質量流量控制器40指示的保管用的目標流量；還有在容器50即將收納到收納部IOS中之前，為了清潔排出噴嘴IOi而指示的噴嘴凈化用的目標流量；以及在保管架10的設置時等，為了清潔排出噴嘴IOi和供給配管Li等而指示的清潔用的目標流量。具體而言，控制裝置H對質量流量控制器40 (注入裝置N)指示流量指令，所述流量指令用于將向容器50的氮氣的供給量調整為保管用的目標流量、噴嘴凈化用的目標流量或清潔用的目標流量。S卩，控制裝置H構成為，在保管架10的設置時等，當由控制臺HS指示了清潔開始指令時，在設定時間期間對質量流量控制器40指示清潔用的目標流量(供給流量)。此外，控制裝置H構成為，當容器50被搬入到入庫出庫輸送機CV中時，在設定時間期間對質量流量控制器40指示噴嘴凈化用的目標流量。進而，控制裝置H構成為，當兩個存貨傳感器IOz檢測到容器50時，對質量流量控制器40指示保管用的目標流量。在本實施方式中，作為保管用的目標流量，設定了初始目標流量和比該初始目標流量少的恒定目標流量。控制裝置H構成為，在容器50收納于收納部IOS而開始供給氮氣時，首先，在設定時間期間指示初始目標流量作為保管用的目標流量，然后指示恒定目標流量作為保管用的目標流量。另外，指示保管用的目標流量的模型不限于上述模型。例如也可以是，在如上所述指示恒定目標流量作為保管用的目標流量時，間歇地供給恒定目標流量的氮氣的模型。在該情況下，交替地反復執(zhí)行在設定供給時間期間指示恒定目標流量作為目標流量、以及在設定待機時間期間指示O作為目標流量。此外，例如也可以為這樣的模型:作為保管用的目標流量，不設定初始目標流量而僅設定恒定目標流量，并間歇地供給該恒定目標流量的氮氣。這樣，作為指示保管用的目標流量的模型，可以應用各種保管用模型。(氮供給停止控制)
在本實施方式中，當用于供作業(yè)人員出入保管空間內的檢查門55 (參照圖2)打開時，控制裝置H執(zhí)行氮供給停止控制。在該氮供給停止控制中，基本上對保管的所有容器50停止注入裝置N進行的氮氣的供給。如下所述，在該氮供給停止控制中，即使檢查門55打開，有時也對容器50繼續(xù)供給氮氣。順便說一下，為了檢查作業(yè)而打開的檢查門55在檢查作業(yè)中維持在打開狀態(tài)，從而將外部的空氣導入保管空間內。然后，當檢查作業(yè)結束時，檢查門55關閉。如圖2和圖4所示，設置有檢測檢查門55的開閉狀態(tài)的作為檢查門開閉檢測裝置的檢查門開閉檢測傳感器S1、和對控制裝置H指示停止無效指令的人為操作式的作為停止無效指令裝置的停止無效指令開關SW。檢查門開閉檢測傳感器SI由被檢查門55按壓操作的限位開關等構成，檢測是處于檢查門55位于全閉位置的關閉狀態(tài)，還是處于檢查門55從全閉位置向打開側被操作了的打開狀態(tài)，并將該檢測信息輸出至控制裝置H。停止無效指令開關SW例如設置于處于墻體K的外表面部的檢測門55附近，如圖4所示，具備能夠相對于主體部插拔的作為操作體的鑰匙56。插入于主體部的鑰匙56能夠在操作解除位置A和無效指令位置B之間進行操作，插入于主體部的鑰匙56構成為被施力而返回到操作解除位置A。進而，停止無效指令開關SW構成為，當將鑰匙56操作至無效指令位置B時，對控制裝置H指示停止無效指令。順便說一下，作為停止無效指令開關SW，可以使用常設有作為操作體的操作旋鈕的開關、所謂的選擇器開關。
控制裝置H構成為，當由停止無效指令開關SW指示停止無效指令時，將停止無效模式設定為執(zhí)行模式，在未由停止無效指令開關SW指示停止無效指令時，將通常停止模式設定為執(zhí)行模式。控制裝置H構成為，在通常停止模式下，在由檢查門開閉檢測傳感器SI檢測到檢測門55的打開狀態(tài)的情況下，控制注入裝置N的動作以停止對所有容器50的氮氣的供給。具體而言，控制裝置H將對與多個收納部IOS對應地裝備的多個質量流量控制器40指示的目標流量設定為O。并且，控制裝置H構成為，在停止無效模式下，在由檢查門開閉檢測傳感器SI檢測到檢查門55的打開狀態(tài)的情況下，也控制注入裝置N的動作以繼續(xù)對容器50供給氮氣。具體而言，控制裝置H如上所述繼續(xù)對質量流量控制器40指示保管用的目標流量。(附帶控制)
如上所述，在停止無效模式下，即使檢查門55打開，也繼續(xù)對容器50供給氮氣。在本實施方式中，作為與此附帶的控制，裝備有下述的控制結構。控制裝置H在停止無效模式下，在由檢查門開閉檢測傳感器SI檢測到檢查門55的打開狀態(tài)的情況下，也繼續(xù)對容器50供給惰性氣體時，如圖4所示，使對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給氮氣的作為通知裝置的無線式通信器57A動作。即，通信器57A構成為，將表示繼續(xù)供給氮氣的情況的消息發(fā)送給作業(yè)人員攜帶的移動電話等便攜終端57B。進而，便攜終端57B通過將接收到的消息顯示于顯示畫面或將接收到的消息用聲音輸出，來將處于繼續(xù)供給氮氣的狀態(tài)告知作業(yè)人員。并且，控制裝置H構成為，在由停止無效指令開關SW指示了停止無效指令而切換到停止無效模式后，即使經過了設定時間(例如5分鐘)檢查門開閉檢測傳感器SI也未檢測到檢查門55的打開狀態(tài)的情況下，解除停止無效模式而切換至通常停止模式。即構成為，避免了作業(yè)人員為了檢查作業(yè)而利用停止無效指令開關SW指示了停止無效指令后中止該檢查作業(yè)這樣的情況下，繼續(xù)停止無效模式。另外，如圖2所示，設置有檢測利用墻體K與外部劃分的保管空間內的氧濃度的氧濃度檢測傳感器S2，如圖4所示，該氧濃度檢測傳感器S2的檢測信息被輸入到控制裝置H。順便說一下，如圖2和圖4所示，例示了設有一個氧濃度檢測傳感器S2的方式，但優(yōu)選的是在保管空間的內部的多個部位分散地設置多個氧濃度檢測傳感器S2。而且，控制裝置H構成為，在停止無效模式下繼續(xù)對容器50供給氮氣時，若由氧濃度檢測傳感器S2檢測到的氧濃度小于設定值，則控制注入裝置N的動作以停止對容器50供給惰性氣體。具體而言，控制裝置H將對與多個收納部IOS對應地裝備的多個質量流量控制器40指示的目標流量設定為O。順便說一下，在保管空間的內部的多個部位分散設置多個氧濃度檢測傳感器S2的情況下，控制裝置H可以構成為，若由多個氧濃度檢測傳感器S2中的某一個氧濃度檢測傳感器S2檢測到的氧濃度小于設定值，則控制注入裝置N的動作以停止對容器50供給惰性氣體。接著，根據圖5的流程圖對控制裝置H所執(zhí)行的供給狀態(tài)控制工序加以說明。在該供給狀態(tài)控制工序中，執(zhí)行用于上述氮供給停止控制的處理以及用于上述附帶控制的處理。
首先，判別是否處于對收納于收納部IOS的容器50停止了供給氮氣的供給停止狀態(tài)(步驟#1 )，在判別為不是停止供給狀態(tài)的情況下，接著判別是否正在執(zhí)行停止無效模式(步驟#2)。在步驟#2中，在判別為不是正在執(zhí)行停止無效模式的情況下，即，在正在執(zhí)行通常停止模式的情況下，接著判別是否有基于停止無效指令開關SW的停止無效指令(步驟#3)0在步驟#3中，在判別為沒有停止無效指示的情況下，接著判別是否打開了檢查門55 (步驟#4)，在判別為打開了檢查門55的情況下，執(zhí)行停止向容器50供給氮氣的氮供給停止處理(步驟#5)，然后轉移至步驟#1的處理。并且，在步驟#4中，在判別為檢查門55未打開的情況下，也轉移至步驟#1的處理。另外，步驟#5的氮供給停止處理是這樣的處理:將對與多個收納部IOS對應地裝備的多個質量流量控制器40指示的目標流量設定為O。在步驟#1中，在判別為處于供給停止狀態(tài)的情況下，接著判別是否處于檢查門55關閉的關閉狀態(tài)(步驟#6)，在判別為檢查門55處于關閉狀態(tài)的情況下，執(zhí)行開始向容器50供給氮氣的氮供給開始處理(步驟#7)，然后轉移至步驟#1的處理。并且，在步驟#6中，在判別為檢查門55未關閉的情況下，也轉移至步驟#1的處理。另外，步驟#7的氮供給開始處理是這樣的處理:作為對收納有容器50的收納部IOS的質量流量控制器40指示的目標流量,指示保管用的目標流量。在步驟#3中，在判別為有停止無效指示的情況下，接著執(zhí)行設定停止無效模式作為執(zhí)行模式的處理(步驟#8)，接著判別是否打開了檢查門55 (步驟#9)。在步驟#9中，在判別為打開了檢查門55的情況下，使通信器57A動作，執(zhí)行將表示繼續(xù)供給氮氣的消息傳達給作業(yè)人員攜帶的便攜終端57B的通知處理(步驟#10)。在執(zhí)行了步驟#10的處理后，判別是否處于檢查門55關閉的關閉狀態(tài)(步驟#11)，在判別為檢查門55處于關閉狀態(tài)的情況下，執(zhí)行解除停止無效模式的處理(步驟#12)，然后轉移至步驟#1的處理。順便說一下，通過步驟#12的解除停止無效模式的處理，將通常停止模式設定為執(zhí)行模式。在步驟#11中，在判別為檢查門55未關閉的情況下，接著判別由氧濃度檢測傳感器S2檢測到的氧濃度是否小于設定值(步驟#15)。在步驟#15中，在判別為小于設定值的情況下，執(zhí)行停止向容器50供給氮氣的氮供給停止處理(步驟#16)，然后轉移至步驟#1的處理。此外，在步驟#15中，在判別為氧濃度不小于設定值的情況下，也轉移至步驟#1的處理。另外，步驟#16的氮供給停止處理與步驟#5的處理同樣，是將對與多個收納部IOS對應地裝備的多個質量流量控制器40指示的目標流量設定為O的處理。在步驟#9中，在判別為檢查門55未打開的情況下，接著判別從指示了停止無效指令起是否經過了 5分鐘(步驟#14)，在判別為從指示了停止無效指令起經過了 5分鐘的情況下，執(zhí)行步驟#12的解除停止無效模式的處理，然后轉移至步驟#1的處理。并且，在步驟#14中，在判別為從指示了停止無效指令起未經過5分鐘的情況下，也轉移至步驟#1的處理。在步驟#2中，在判別為處于停止無效模式的情況下，接著，在設定了停止無效模式后，判別檢查門55是否已經打開(步驟#13)。在步驟#13中，在判別為檢查門55已經打開的情況下，轉移至步驟#11的處理，此夕卜，在步驟#13中，在判別為檢查門55未打開的情況下，轉移至步驟#9的處理。如上所述，根據本實施方式，在容器50收納于收納部IOS時，向容器50的內部注入氮氣，因此能夠將收納于容器內的半導體晶片W維持在適當狀態(tài)。而且，在通常停止模式下，為了抑制氮氣的消耗量和檢查作業(yè)時保管空間內的氧濃度的降低，在用于供作業(yè)人員出入保管空間內的檢查門55打開的情況下，基本上注入裝置N停止向容器50供給氮氣。與此相對，在停止無效模式下，即使在檢查門55打開的情況下，也能夠繼續(xù)供給氮氣，因此，能夠在對收納于收納部IOS的容器50繼續(xù)供給氮氣的狀態(tài)下進行檢查作業(yè)。(其他實施方式)
(I)在上述實施方式中，作為惰性氣體例示了使用氮氣的情況，但作為惰性氣體也可以使用氬氣等各種氣體。順便說一下，本發(fā)明的惰性氣體需要是氧含量低且絕對濕度低的氣體。(2)在上述實施方式中，例示了將氮氣供給源、排出噴嘴IOi及質量流量控制器40作為主要部分來構成注入裝置N的情況，即，使用質量流量控制器40來構成注入裝置N的情況，但本發(fā)明的實施方式不限于此。例如也可以以這樣的方式實施:不設置質量流量控制器40，而是在氮氣的供給路中設置變更調節(jié)向容器50的供給流量的流量調節(jié)閥、以及計測向容器50的供給流量的流量傳感器，控制裝置H根據流量傳感器的檢測信息來控制流量調節(jié)閥的動作。在該情況下，將氮氣供給源、排出噴嘴IOi及流量調節(jié)閥作為主要部分來構成注
入裝置N。(3)在上述實施方式中，在通常停止模式下檢查門55打開的情況下，通過對與多個收納部IOS分別對應地設置的質量流量控制器40指示O的目標流量，從而停止對容器50供給氮氣，但本發(fā)明的實施方式不限于此。例如，對裝備于氮供給源的供給繼續(xù)閥進行關閉操作來停止對容器50供給氮氣的結構等、停止對容器50供給氮氣的結構可以應用各種結構。(4)在上述實施方式中，例示了在向收納于收納部IOS的容器50供給作為惰性氣體的氮氣時，將保管用的目標流量切換設定為初始目標流量和比該初始目標流量少的恒定目標流量，同時供給氮氣的情況，但本發(fā)明的實施方式不限于此。例如也可以在將保管用的目標流量維持在一個設定流量的形態(tài)下供給氮氣。(5)在上述實施方式中，作為對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置，例示了將消息傳達給作業(yè)人員的便攜終端57B的通信器57A，但本發(fā)明的實施方式不限于此。例如，作為通知裝置，在檢查門55的附近設置利用聲音輸出上述消息的揚聲器等通知裝置的具體結構可以進行變更。
權利要求
1.一種惰性氣體注入設備，包括: 保管架，設置于與外部劃分形成的保管空間內，并配設有收納用于容納基板的容器的收納部； 注入裝置，以使容器內的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內部；以及 控制裝置，控制上述注入裝置的動作， 其特征在于， 該惰性氣體注入設備具有: 檢查門開閉檢測裝置，檢測用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內的檢查門的開閉狀態(tài)；以及 人為操作式的停止無效指令裝置，用于對上述控制裝置指示停止無效指令， 上述控制裝置構成為， 在未由上述停止無效指令裝置指示上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體，并且， 在由上述停止無效指令裝置指示了上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動作以繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體。
2.根據權利要求1所述的惰性氣體注入設備,其特征在于， 設置有檢測上述保管空間內的氧濃度的氧濃度檢測傳感器， 上述控制裝置構成為，在上述停止無效模式下繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，在由上述氧濃度檢測傳感器檢測到氧濃度小于設定值的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體。
3.根據權利要求1或2所述的惰性氣體注入設備，其特征在于， 上述控制裝置構成為，在上述停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)后繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，使對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動作。
4.根據權利要求1或2所述的惰性氣體注入設備，其特征在于， 上述控制裝置構成為，在對應于上述停止無效指令裝置的上述停止無效指令切換到上述停止無效模式后，即使經過了設定時間上述檢查門開閉檢測裝置也未檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，解除上述停止無效模式而切換至上述通常停止模式。
5.根據權利要求4所述的惰性氣體注入設備，其特征在于， 上述停止無效指令裝置構成為，具備能夠在操作解除位置和無效指令位置之間操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且通過將上述操作體操作至上述無效指令位置，而對上述控制裝置指示上述停止無效指令。
6.—種惰性氣體注入方法，使用了惰性氣體注入設備， 上述惰性氣體注入設備包括: 保管架，設置于與外部劃分形成的保管空間內，并配設有收納用于容納基板的容器的收納部；注入裝置，以使容器內的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內部； 控制裝置，控制上述注入裝置的動作， 檢查門開閉檢測裝置，檢測用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內的檢查門的開閉狀態(tài)；以及 人為操作式的停止無效指令裝置，用于對上述控制裝置指示停止無效指令， 上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下工序: 供給狀態(tài)控制工序，在該供給狀態(tài)控制工序中， 在未由上述停止無效指令裝置指示上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容器供給惰性氣體，并且， 在由上述停止無效指令裝置指示了上述停止無效指令的情況下執(zhí)行的停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動作以繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體。
7.根據權利要求6所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述惰性氣體注入設備設置有檢測上述保管空間內的氧濃度的氧濃度檢測傳感器， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無效模式下繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，在由上述氧濃度檢測傳感器檢測到氧濃度小于設定值的情況下，控制上述注入裝置的動作以停止對上述容 器供給惰性氣體。
8.根據權利要求6或7所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無效模式下，在由上述檢查門開閉檢測裝置檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)后繼續(xù)對上述容器供給惰性氣體時，使對作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動作。
9.根據權利要求6或7所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在對應于上述停止無效指令裝置的上述停止無效指令切換到上述停止無效模式后，即使經過了設定時間上述檢查門開閉檢測裝置也未檢測到上述檢查門的打開狀態(tài)的情況下，解除上述停止無效模式而切換至上述通常停止模式。
10.根據權利要求9所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 上述停止無效指令裝置具備能夠在操作解除位置和無效指令位置之間進行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且在將上述操作體操作至上述無效指令位置的情況下，對上述控制裝置指示上述停止無效指令。
全文摘要
本發(fā)明提供一種惰性氣體注入設備及惰性氣體注入方法。惰性氣體注入設備包括注入裝置，以使收納于保管架的收納部的容器內的氣體向與外部劃分形成的保管空間內排出的狀態(tài)，將惰性氣體注入該容器的內部；和控制注入裝置的動作的控制裝置。控制裝置構成為，在未由停止無效指令裝置指示停止無效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在檢測到檢查門的打開狀態(tài)的情況下，停止對容器供給惰性氣體，并且，在由停止無效指令裝置指示了停止無效指令的情況下執(zhí)行的停止無效模式下，在檢測到檢查門的打開狀態(tài)的情況下，也繼續(xù)對容器供給惰性氣體。
文檔編號H01L21/02GK103199038SQ20131000147
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月4日 優(yōu)先權日2012年1月5日
發(fā)明者進武士, 高原正裕, 上田俊人 申請人:株式會社大福