有機發(fā)光裝置及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種有機發(fā)光裝置包括：基板；多個薄膜晶體管，形成于所述基板機上；第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，形成于所述薄膜晶體管之上，并具備開口部，且具有彼此不同的高度；第一有機發(fā)光層、第二有機發(fā)光層、第三有機發(fā)光層，形成于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部，并連接于對應的薄膜晶體管，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜相互分開布置，所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件具有彼此不同的厚度，且所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件具有對應于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的高度的厚度。
【專利說明】有機發(fā)光裝置及其制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及有機發(fā)光裝置及其制造方法。
【背景技術】
[0002]最近，亮度特性和視角特性優(yōu)良，且與液晶顯示裝置不同，不需要專門的光源單元的有機發(fā)光顯示裝置(Organic Light Emitting Diode Display:0LED)作為下一代平板顯示裝置而受到關注。有機發(fā)光顯示裝置不需要專門的光源，因此可制作成輕量且薄型。而且，有機發(fā)光顯不裝置還具有低耗電、聞売度和聞響應速度等特性。
[0003]有機發(fā)光顯示裝置包括具備陽極、有機發(fā)光層、陰極的有機發(fā)光元件。在有機發(fā)光元件中，從陽極和陰極分別注入空穴和電子而形成激子，該激子遷移至基態(tài)而發(fā)光。有機發(fā)光層可通過噴墨印刷(Inkjet printing)或噴嘴印刷(Nozzle printing)等方法形成。
[0004]在有機發(fā)光層發(fā)出的紅光、綠光、藍光的波長彼此不同。為了提高色再現(xiàn)性，針對各個有機發(fā)光元件分別不同地設置了有機發(fā)光層的厚度，由此陽極和陰極之間的共振距離(光學長度)可被調(diào)節(jié)。通常，發(fā)出紅光的有機發(fā)光元件的共振距離最大，發(fā)出藍光的有機發(fā)光元件的共振距離最小。據(jù)此，發(fā)出紅光的有機發(fā)光元件的有機發(fā)光層可形成為最厚，發(fā)出藍光的有機發(fā)光兀件的有機發(fā)光層可形成為最薄。
[0005]為了使各個像素分別形成厚度彼此不同的有機發(fā)光層，形成有機發(fā)光層的有機物的濃度或噴射條件被調(diào)節(jié)為各式各樣。而且，有機物可多次被印刷到基板上而形成厚度彼此不同的有機發(fā)光層。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種包括均勻度高的有機發(fā)光元件的有機發(fā)光裝置。
[0007]本發(fā)明的另一目的在于提供一種可簡化制造工藝的有機發(fā)光裝置的制造方法。
[0008]根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置包括:基板；多個薄膜晶體管，形成于所述基板機上；第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，形成于所述薄膜晶體管之上，并具備開口部，且具有彼此不同的高度；第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件，形成于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部，并連接于對應的薄膜晶體管，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜相互分開布置，所述第一有機發(fā)光兀件、第二有機發(fā)光兀件、第三有機發(fā)光兀件具有彼此不同的厚度，且所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件具有對應于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的高度的厚度。
[0009]所述第一像素定義膜的第一高度大于所述第二像素定義膜的第二高度，所述第二像素定義膜的所述第二高度大于所述第三像素定義膜的第三高度。
[0010]所述第一有機發(fā)光元件的厚度大于所述第二有機發(fā)光元件，所述第二有機發(fā)光元件的所述厚度大于所述第三有機發(fā)光元件。
[0011]還包括形成為覆蓋所述薄膜晶體管的保護膜，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成于所述保護膜上，所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件分別包括:第一電極，形成于所述保護膜之上，并通過貫穿所述保護膜而形成的連接孔連接到對應的所述薄膜晶體管，且通過所述開口部而暴露預定區(qū)域；有機發(fā)光層，形成于所述第一電極之上；第二電極，形成于所述有機發(fā)光層上，所述第二電極形成為覆蓋所述有機發(fā)光層和所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，所述開口部形成為覆蓋所述第一電極的臨界面，所述有機發(fā)光層在所述開口部之內(nèi)形成于所述第一電極之上。
[0012]所述有機發(fā)光層包括:第一有機發(fā)光層，形成于所述第一像素定義膜的所述開口部；第二有機發(fā)光層，形成于所述第二像素定義膜的所述開口部；第三有機發(fā)光層，形成于所述第三像素定義膜的所述開口部。
[0013]所述第一有機發(fā)光層的厚度大于所述第二有機發(fā)光層的厚度，所述第二有機發(fā)光層的厚度大于所述第三有機發(fā)光層的厚度。
[0014]所述第一有機發(fā)光層生成紅光，所述第二有機發(fā)光層生成綠光，所述第三有機發(fā)光層生成藍光。
[0015]根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置的制造方法包括如下步驟:提供基板；在所述基板上形成多個薄膜晶體管；在所述薄膜晶體管上形成具有彼此不同的高度，且具有開口部的第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜；在所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的開口部形成具有對應于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的高度的厚度并連接于對應的薄膜晶體管的第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜相互分開而形成。
[0016]所述第一像素定義膜的第一高度大于所述第二像素定義膜的第二高度，所述第二像素定義膜的所述第二高度大于所述第三像素定義膜的第三高度。
[0017]所述第一有機發(fā)光元件的厚度大于所述第二有機發(fā)光元件的厚度，所述第二有機發(fā)光元件的所述厚度大于所述第三有機發(fā)光元件的厚度。
[0018]還包括步驟:形成覆蓋所述薄膜晶體管的保護膜；通過貫穿所述保護膜而形成的連接孔將所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件連接到對應的所述薄膜晶體管上，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成于所述保護膜之上。
[0019]形成所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件的步驟包括步驟:形成第一電極，該第一電極形成于所述保護膜之上，并通過所述連接孔連接到對應的所述薄膜晶體管，且通過所述開口部而暴露預定區(qū)域；在所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部向所述第一電極提供有機物，使該有機物被提供至達到所述第一像素定義膜的第一高度；將溢出所述第二像素定義膜和第三像素定義膜的有機物提供給彼此相鄰的所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜之間的臨界區(qū)域；形成第二電極，該第二電極形成為覆蓋由所述有機物形成的形成于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部的有機發(fā)光層和所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，所述開口部形成為覆蓋所述第一電極的臨界面。
[0020]所述有機發(fā)光層包括:第一有機發(fā)光層，形成于所述第一像素定義膜的所述開口部；第二有機發(fā)光層，形成于所述第二像素定義膜的所述開口部；第三有機發(fā)光層，形成于所述第三像素定義膜的所述開口部。
[0021]所述第一有機發(fā)光層的厚度大于所述第二有機發(fā)光層的厚度，所述第二有機發(fā)光層的厚度大于所述第三有機發(fā)光層的厚度。
[0022]所述第一有機發(fā)光層生成紅光，所述第二有機發(fā)光層生成綠光，所述第三有機發(fā)光層生成藍光。
[0023]所述有機物利用噴墨印刷和噴嘴印刷中的其中一個被提供至所述第一像素定義
膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部。
[0024]本發(fā)明的有機發(fā)光裝置包括均勻度高的有機發(fā)光元件，有機發(fā)光裝置的制造方法可簡化有機發(fā)光元件的制造工藝。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置的平面圖。
[0026]圖2為圖1所示的1-1’線的剖視圖。
[0027]圖3a至圖3e為用于說明根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光元件的制造方法的圖?！揪唧w實施方式】
[0028]對于本發(fā)明的優(yōu)點和特征以及其實現(xiàn)方法，若參照結(jié)合附圖詳細后述的實施例，則將變得更加明確。但是，本發(fā)明并不局限于以下公開的實施例，可實現(xiàn)為彼此不同的各種形態(tài)，本發(fā)明的實施例僅僅是為了使本發(fā)明的公開更加完整，且向本發(fā)明所屬【技術領域】中具有通常知識的技術人員完整地傳遞本發(fā)明的范疇而提供的，本發(fā)明僅根據(jù)權(quán)利要求項的范圍定義。在整個說明書中，相同的附圖標記表示相同的構(gòu)成要素。
[0029]當指出元件或?qū)游挥谄渌驅(qū)拥摹吧戏健被颉爸稀睍r,不僅包括位于其他元件或?qū)拥木o上方的情形，還包括中間介入其他層或其他元件的情形。反之，當指出元件“緊靠在上方”或“緊挨在上方”時，表示中間沒有介入其他元件或?qū)印！昂?或”包括所提及的項目的每一個或一個以上的所有的組合。
[0030]對于作為表示空間上的相對位置的術語，“在下面”、“在下方”、“下部”、“在上面”、“上部”等，如圖所示，可為了容易地描述一個元件或構(gòu)成要素與其他元件或構(gòu)成要素的相關關系而使用。表示空間上的相對位置的術語應理解為在圖中所示的方向的基礎上，還包括使用時或工作時的元件的相互不同的方向的術語。在整個說明書中，相同的附圖標記表示相同的構(gòu)成要素。
[0031]雖然第一、第二等使用為描述多種元件、構(gòu)成要素和/或選項，但這些元件、構(gòu)成要素和/或選項不限于這些術語。這些術語僅僅是為了將一個元件、構(gòu)成要素或選項與其他元件、構(gòu)成要素或選項進行區(qū)分而使用。因此，以下提及的第一元件、第一構(gòu)成要素或第一選項，顯然在本發(fā)明的技術思想之內(nèi)還可以是第二元件、第二構(gòu)成要素或第二選項。
[0032]對于本說明書中描述的實施例，將參照作為本發(fā)明的理想化的概略圖的平面圖和剖視圖進行說明。因此，根據(jù)制造技術和/或容許誤差等，示例圖的形態(tài)可以發(fā)生變更。據(jù)此，本發(fā)明的實施例并不局限于圖示的特定形態(tài)，還可以包括根據(jù)制造工藝生成的形態(tài)變化。因此，圖中例示的區(qū)域具有概略的屬性，圖中例示的區(qū)域的形狀僅僅是為了例示元件的區(qū)域的特定形態(tài)，并不是為了限定本發(fā)明的范疇。
[0033]以下，參照附圖更加詳細地說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
[0034]圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置的平面圖。圖2為圖1所示的1-1’線的剖視圖。
[0035]參照圖1和圖2，根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置100包括顯示面板110。顯示面板110包括基板111、形成于基板111之上的多個薄膜晶體管TFT、由對應的薄膜晶體管TFT驅(qū)動的多個有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3、定義對應的有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3 的多個像素定義膜 PDL1、PDL2、PDL3。
[0036]像素定義膜PDLl、PDL2、PDL3可彼此分開而布置。像素定義膜PDLl、PDL2、PDL3包括定義第一有機發(fā)光元件OLEDl的第一像素定義膜TOLl、定義第二有機發(fā)光元件0LED2的第二像素定義膜TOL2以及定義第三有機發(fā)光元件0LED3的第三像素定義膜TOL3。
[0037]基板111可以由利用玻璃、石英以及陶瓷等制作的透明的絕緣性基板形成或者可以由利用塑料等制作的透明的柔性基板形成。而且，基板111可以由利用不銹鋼等構(gòu)成的金屬性基板形成。
[0038]薄膜晶體管TFT具有相同的結(jié)構(gòu)。據(jù)此，以下僅對一個薄膜晶體管TFT的結(jié)構(gòu)進行說明。
[0039]在基板111上形成緩沖層112。在緩沖層112上形成薄膜晶體管TFT的半導體層SM。半導體層SM可以由諸如非晶硅或多晶硅的無機材料的半導體或有機半導體形成。而且，半導體層SM可以由氧化物半導體(oxide semiconductor)形成。雖然圖1中未顯示，但半導體層SM可以包括源區(qū)域、漏區(qū)域以及位于源區(qū)域和漏區(qū)域之間的溝道區(qū)域。
[0040]為了覆蓋半導體層SM，形成第一絕緣膜113。第一絕緣膜113可以被定義為柵絕緣膜。第一絕緣膜113上形成與半導體層SM交迭的薄膜晶體管TFT的柵極GE。具體來講，柵極GE可以形成為與半導體層SM的溝道區(qū)域交迭。柵極GE與向薄膜晶體管TFT施加開/關信號的柵極線(未圖示)連接。
[0041]為了覆蓋柵極GE，形成有第二絕緣膜114。第二絕緣膜114可以被定義為層間絕緣膜。在第二絕緣膜114上相互分開而形成有薄膜晶體管TFT的源極SE和漏極DE。源極SE可通過貫穿第一絕緣膜113和第二絕緣膜114而形成的第一連接孔Hl連接到半導體層SM。具體來講，源極SE連接到半導體層SM的源區(qū)域。漏極DE可通過貫穿第一絕緣膜113和第二絕緣膜114而形成的第二連接孔H2連接到半導體層SM。具體來講，漏極DE連接到半導體層SM的漏區(qū)域。
[0042]為了覆蓋薄膜晶體管TFT的源極SE和漏極DE，形成保護膜115。保護膜115起到平坦化上表面的作用，可由Si02、SiNx等形成。保護膜115可以被定義為鈍化膜。
[0043]保護膜115上形成第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3的多個第一電極E1。第一電極El可通過貫穿保護膜115而形成的對應的連接孔H連接到對應的薄膜晶體管TFT的漏極DE。第一電極El可被定義為像素電極或陽極。
[0044]在保護膜115上形成有第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3。第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3包括開口部0P，并具有彼此不同的高度D1、D2、D3。高度可以被定義為第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3的從下表面至上表面的高度。第一像素定義膜I3DLl的第一高度Dl可大于第二像素定義膜TOL2的第二高度D2，第二像素定義膜TOL2的第二高度D2可大于第三像素定義膜TOL3的第三高度D3。
[0045]第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3可以形成為覆蓋第一電極El的臨界面。第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3的開口部OP可以暴露對應的第一電極El的預定區(qū)域。第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3可以由有機絕緣膜形成。但是，并不局限于此，也可以由無機絕緣膜和有機絕緣膜依次層疊而形成。
[0046]在第一、第二、第三像素定義膜roLl、PDL2、PDL3的開口部OP內(nèi)，有機發(fā)光層10、
20、30形成于第一電極El之上。有機發(fā)光層10、20、30包括形成于第一像素定義膜F1DLl的開口部OP的第一有機發(fā)光層10、形成于第二像素定義膜TOL2的開口部OP的第二有機發(fā)光層20、形成于第三像素定義膜TOL3的開口部OP的第三有機發(fā)光層30。
[0047]第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30可包括可生成紅色、綠色、藍色等光的有機物質(zhì)，有機發(fā)光裝置100還可以組合這些顏色而顯示白色。作為示例性實施例，第一有機發(fā)光層10可生成紅光，第二有機發(fā)光層20可生成綠光，第三有機發(fā)光層30可生成藍光。
[0048]相鄰的第一、第二、第三像素定義膜roLl、PDL2、roL3之間的區(qū)域可以被定義為臨界區(qū)域BA。用于形成第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的有機物被提供到第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3的開口部OP且提供至達到第一像素定義膜I3DLl的第一高度Dl。由于有機物被提供至達到第一像素定義膜TOLl的第一高度Dl，因此有機物可能會溢出第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜PDL3。溢出第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的有機物可以被提供至臨界區(qū)域BA。據(jù)此，裝填到第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的開口部OP的有機物可以被裝填至達到第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的第二高度D2和第三高度D3。對于將有機物裝填于第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3的方法將在下面詳細說明。
[0049]有機物經(jīng)干燥之后可以形成第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30。當有機物被干燥時，體積將縮小，因此在圖2中第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的高度示出為相比第一、第二、第三像素定義膜PDL1、PDL2、PDL3的第一、第二、第三高度Dl、D2、D3低。第一有機發(fā)光層10的厚度可大于第二有機發(fā)光層20的厚度，第二有機發(fā)光層20的厚度可大于第三有機發(fā)光層30的厚度。即，可利用具有彼此不同的第一、第二、第三高度D1、D2、D3的第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3容易地調(diào)節(jié)第一、第二、第三有機發(fā)光層10、
20、30的厚度。
[0050]被提供至臨界區(qū)域BA的有機物經(jīng)干燥之后可形成有機層。形成于臨界區(qū)域BA的有機層可以被定義為非發(fā)光有機層ΝΕ0。
[0051]第一、第二、第三像素定義膜roLl、PDL2、PDL3的上面也有可能殘留有機物，但其量小于提供至臨界區(qū)域BA的有機物，且在進行干燥時，厚度可更加變薄。據(jù)此，對于殘留于第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3的上面的有機物，為了便于說明圖2中進行了省略。
[0052]在第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30之上形成第二電極E2。具體來講，在第一、第二、第三像素定義膜PDL1、PDL2、PDL3和第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30之上形成第二電極E2。第二電極E2可以被定義為共同電極或陰極。
[0053]第一電極El可以形成為透明電極或反射型電極。當?shù)谝浑姌OEl形成為透明電極時，第一電極El可包括ΙΤ0、IZO或ZnO等。當?shù)谝浑姌OEl形成為反射型電極時，第一電極El可包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr或由其化合物等形成的反射膜和由ITO、IZO、ZnO等形成的透明導電膜。
[0054]第二電極E2可以形成為透明電極或反射型電極。當?shù)诙姌OE2形成為透明電極時，第二電極E2可以包括利用L1、Ca、LiF/Ca、Li/A1、Al、Mg或其化合物蒸鍍?yōu)槌蛴袡C發(fā)光層而形成的膜和在其上面利用ITO、IZO或ZnO等透明的導電性物質(zhì)形成的輔助電極。當?shù)诙姌OE2形成為反射型電極時，第二電極E2可以由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr、L1、Ca、LiF/Ca、LiF/Al 或其化合物形成。
[0055]第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30可由低分子有機物或高分子有機物形成。雖然未圖不，但各個第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30可由包括空穴注入層(HoleInjection Layer, HIL)、空穴輸送層(Hole Transpoting Layer, HTL)、發(fā)光層(EmissionLayer:EML)、電子輸送層(Electron Transporting Layer, ETL)、電子注入層(ElectronInjection Layer,EIL)的多層膜形成。作為示例性實施例，空穴注入層可布置在作為陽極的第一電極El之上,空穴注入層上可依次層疊空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層。
[0056]第一電極El可以是作為空穴注入電極的陽極，第二電極E2可以是作為電子注入電極的陰極。但是，并不局限于此，根據(jù)有機發(fā)光裝置100的驅(qū)動方法，第一電極El可以是陰極，第二電極E2可以是陽極。
[0057]第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3包括對應的第一電極E1、第
一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30、第二電極E2。具體來講，第一有機發(fā)光元件0LED1包括對應的第一電極E1、第一有機發(fā)光層10、第二電極E2。第二有機發(fā)光兀件0LED2包括對應的第一電極E1、第二有機發(fā)光層20、第二電極E2。第三有機發(fā)光元件0LED3包括對應的第一電極E1、第三有機發(fā)光層30、第二電極E2。
[0058]由于第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的厚度彼此不同，因此第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3的厚度也可以被設定為彼此不同。即，第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3可形成為具有分別對應于第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3的第一、第二、第三高度Dl、D2、D3的厚度。據(jù)此，第一有機發(fā)光元件0LED1的厚度可大于第二有機發(fā)光元件0LED2的厚度，第二有機發(fā)光元件0LED2的厚度可大于第三有機發(fā)光元件0LED3的厚度。
[0059]第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的厚度作為第一電極El和第二電極E2之間的距離可以被定義為光學長度(Optical length)。第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3的光學長度可以被設定為對應于第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的波長。據(jù)此，由于發(fā)光的波長的色純度的光效率提升，因此可以提高有機發(fā)光裝置100的色再現(xiàn)性。
[0060]通過薄膜晶體管TFT，用于使第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3的第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30發(fā)光的驅(qū)動電源被施加到第一電極El,極性與驅(qū)動電源相反的電源被施加到第二電極E2。此時，注入到第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的空穴和電子結(jié)合而形成激子，且激子遷移至基態(tài)，據(jù)此第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3發(fā)光。因此，第一、第二、第三有機發(fā)光元件0LED1、0LED2、0LED3根據(jù)電流的流動發(fā)出紅色、綠色、藍色的光而能夠顯示預定的圖像信息。由于臨界區(qū)域BA中不會形成第一電極El，因此形成于臨界區(qū)域BA的非發(fā)光有機層NEO不會發(fā)光。
[0061]其結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光裝置100可以基于第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3設定第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的厚度。據(jù)此，有機發(fā)光裝置100可以提高色再現(xiàn)性。
[0062]圖3a至圖3e為用于說明根據(jù)本發(fā)明實施例的有機發(fā)光元件的制造方法的圖。
[0063]參照圖3a，提供有基板111，并在基板111上形成晶體管TFT。具體來講，在基板111上形成緩沖層112，并在緩沖層112上形成薄膜晶體管TFT。對于薄膜晶體管TFT的具體的結(jié)構(gòu)，由于在前面已經(jīng)進行說明，因此省略說明。
[0064]參照圖3b，在基板111上形成保護膜115，以覆蓋薄膜晶體管TFT。貫穿保護膜115形成暴露薄膜晶體管TFT的漏極DE的連接孔H。在保護膜115上形成第一電極E1。第一電極El通過對應的連接孔H連接到各自對應的薄膜晶體管TFT。具體來講，第一電極El連接到對應的薄膜晶體管TFT的漏極DE。
[0065]參照圖3c，在保護膜115上形成具有彼此不同的第一、第二、第三高度D1、D2、D3，且具備開口部OP的第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3。第一、第二、第三像素定義膜相互分開而形成。第一像素定義膜roLl具有第一高度D1，第二像素定義膜TOL2具有小于第一高度Dl的第二高度D2，第三像素定義膜TOL3具有小于第二高度D2的第三高度D3。
[0066]第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3可以形成為覆蓋第一電極El的臨界面。第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、PDL3的開口部OP可以暴露對應的第一電極El的預定區(qū)域。
[0067]參照圖3d，有機物ORG通過第一、第二、第三噴嘴N0Z1、N0Z2、N0Z3被提供至第一、第二、第三像素定義膜PDL1、PDL2、PDL3的開口部OP。
[0068]有機物ORG被提供到第一、第二、第三像素定義膜PDLl、PDL2、PDL3的開口部0P，且提供至達到第一像素定義膜TOLl的第一高度D1。由于有機物ORG被提供至達到第一像素定義膜I3DLl的第一高度D1，因此有機物ORG可溢出第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3。溢出第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的有機物ORG可被提供到臨界區(qū)域BA。據(jù)此，裝填到第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的開口部OP的有機物可被裝填至達到第二像素定義膜TOL2和第三像素定義膜TOL3的第二高度D2和第三高度D3。
[0069]為了將有機物ORG裝填到第一、第二、第三像素定義膜TOL1、PDL2、H)L3的開口部0P，可使用噴墨印刷或噴嘴印刷方法等。圖3d中，作為示例，示出了噴墨印刷方法。
[0070]參照圖3e，被提供至第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3的開口部OP的有機物ORG經(jīng)干燥而可形成第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30。被提供至臨界區(qū)域BA的有機物ORG經(jīng)干燥而可形成非發(fā)光有機層ΝΕ0。
[0071]當有機物被干燥時，由于體積變小，因此第一、第二、第三發(fā)光層10、20、30可具有小于第一、第二、第三像素定義膜PDL1、PDL2、PDL3的第一、第二、第三高度Dl、D2、D3的高度。第一有機發(fā)光層10的厚度可大于第二有機發(fā)光層20的厚度，第二有機發(fā)光層20的厚度可大于第三有機發(fā)光層30的厚度。據(jù)此，可利用具有彼此不同的第一、第二、第三高度D1、D2、D3的第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3調(diào)整第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30的厚度。
[0072]如前面說明，在第一、第二、第三像素定義膜roLl、PDL2、PDL3的上面也可能會殘留有機物0RG，但為了便于說明而進行了省略。
[0073]第二電極E2形成為覆蓋第一、第二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3和第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30。
[0074]當保護膜上形成具有相同的高度的格子狀的像素定義膜時，為了形成厚度彼此不同的有機發(fā)光層，將有機物的濃度或噴射條件調(diào)整為各式各樣。而且，有機物可多次被印刷到基板上而形成厚度彼此不同的有機發(fā)光層。變更濃度和噴射條件，或者多次印刷有機物時，會產(chǎn)生有機物的干燥時間差和印刷時間差。此時，由于先印刷的有機物和最后印刷的有機物的干燥時間差，可能導致有機發(fā)光層的均勻度下降。而且，由于有機物的濃度或噴射條件被調(diào)節(jié)為各式各樣，且有機物需要多次被印刷到基板上，因此工藝變得復雜。據(jù)此，工藝時間和工藝成本都將增加。
[0075]但是，本發(fā)明的有機發(fā)光裝置制造方法僅提供一次有機物0RG，并可基于第一、第
二、第三像素定義膜H)Ll、PDL2、roL3的第一、第二、第三高度D1、D2、D3形成厚度彼此不同的第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30。據(jù)此，沒有必要為了在開口部OP內(nèi)具有彼此不同的高度而設定有機物的噴射條件，或者為了使有機物具有彼此不同的高度而向開口部OP內(nèi)多次提供有機物。
[0076]S卩，本發(fā)明的有機發(fā)光裝置的制造方法無需多次印刷有機物，可單一化有機物的濃度或噴射條件。由于可以使印刷有機物的工藝單一化，可以不發(fā)生第一、第二、第三有機發(fā)光層10、20、30之間的印刷時間差和干燥時間差。據(jù)此，可以提高第一、第二、第三有機發(fā)光元件OLEDl、0LED2、0LED3的均勻度，且第一、第二、第三有機發(fā)光元件OLEDl、0LED2、0LED3的制造工藝可變得簡單。
[0077]其結(jié)果，本發(fā)明的有機發(fā)光裝置100可包括均勻度高的有機發(fā)光元件。而且，本發(fā)明的有機發(fā)光裝置的制造方法可以簡化有機發(fā)光元件的制造工藝。
[0078]以上雖然參照實施例進行了說明，但相關【技術領域】的熟練的技術人員可以理解，在不脫離權(quán)利要求書中記載的本發(fā)明的思想和領域的范圍之內(nèi)，可以對本發(fā)明進行各種修改和變更。而且，本發(fā)明公開的實施例并不是為了限制本發(fā)明，與權(quán)利要求書及與權(quán)利要求書等同的范圍內(nèi)的所有技術思想應解釋為包含于本發(fā)明的權(quán)利范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種有機發(fā)光裝置，包括: 基板； 多個薄膜晶體管，形成于所述基板機上； 第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，形成于所述薄膜晶體管之上，并具備開口部，且具有彼此不同的第一高度、第二高度、第三高度； 第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件，形成于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部，并連接于對應的薄膜晶體管， 所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜相互分開布置，所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件具有彼此不同的厚度，且所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件具有對應于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述第一高度、第二高度、第三高度的厚度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光裝置，其中，所述第一像素定義膜的第一高度大于所述第二像素定義膜的第二高度，所述第二像素定義膜的所述第二高度大于所述第三像素定義膜的第三高度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機發(fā)光裝置，其中，所述第一有機發(fā)光元件的厚度大于所述第二有機發(fā)光元件，所述第二有機發(fā)光元件的所述厚度大于所述第三有機發(fā)光元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光裝置，其中， 還包括形成為覆蓋所述薄膜晶體管的保護膜， 所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成于所述保護膜上，` 所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件分別包括: 第一電極，形成于所述保護膜之上，并通過貫穿所述保護膜而形成的連接孔連接到對應的所述薄膜晶體管，且通過所述開口部而暴露預定區(qū)域； 有機發(fā)光層，形成于所述第一電極之上； 第二電極，形成于所述有機發(fā)光層上， 所述第二電極形成為覆蓋所述有機發(fā)光層和所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜，所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成為覆蓋所述第一電極的臨界面，所述有機發(fā)光層在所述開口部之內(nèi)形成于所述第一電極之上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機發(fā)光裝置,其中，所述有機發(fā)光層包括:第一有機發(fā)光層，形成于所述第一像素定義膜的所述開口部；第二有機發(fā)光層，形成于所述第二像素定義膜的所述開口部；第三有機發(fā)光層，形成于所述第三像素定義膜的所述開口部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機發(fā)光裝置,其中,所述第一有機發(fā)光層的厚度大于所述第二有機發(fā)光層的厚度，所述第二有機發(fā)光層的厚度大于所述第三有機發(fā)光層的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機發(fā)光裝置，其中，所述第一有機發(fā)光層生成紅光，所述第二有機發(fā)光層生成綠光，所述第三有機發(fā)光層生成藍光。
8.一種有機發(fā)光裝置的制造方法，包括如下步驟: 提供基板； 在所述基板上形成多個薄膜晶體管； 在所述薄膜晶體管上形成具有彼此不同的第一高度、第二高度、第三高度，且具有開口部的第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜；在所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的開口部形成具有對應于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述第一高度、所述第二高度、所述第三高電壓的厚度并連接于對應的薄膜晶體管的第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件， 所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜相互分開而形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述第一像素定義膜的第一高度大于所述第二像素定義膜的第二高度，所述第二像素定義膜的所述第二高度大于所述第三像素定義膜的第三高度。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述第一有機發(fā)光元件的厚度大于所述第二有機發(fā)光元件的厚度，所述第二有機發(fā)光元件的所述厚度大于所述第三有機發(fā)光元件的厚度。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，還包括步驟: 形成覆蓋所述薄膜晶體管的保護膜； 通過貫穿所述保護膜而形成的連接孔將所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件連接到對應的所述薄膜晶體管上， 所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成于所述保護膜之上。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，形成所述第一有機發(fā)光元件、第二有機發(fā)光元件、第三有機發(fā)光元件的步驟包括步驟: 形成第一電極，該第一電極形成于所述保護膜之上，并通過所述連接孔連接到對應的所述薄膜晶體管，且通過所述開口部而暴露預定區(qū)域； 在所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部向所述第一電極提供有機物，使該有機物被提供至達到所述第一像素定義膜的第一高度； 將溢出所述第二像素定義膜和第三像素定義膜的有機物提供給彼此相鄰的所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜之間的臨界區(qū)域； 形成第二電極，該第二電極形成為覆蓋由所述有機物形成的形成于所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部的有機發(fā)光層和所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜， 所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜形成為覆蓋所述第一電極的臨界面。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述有機發(fā)光層包括--第一有機發(fā)光層，形成于所述第一像素定義膜的所述開口部；第二有機發(fā)光層，形成于所述第二像素定義膜的所述開口部；第三有機發(fā)光層，形成于所述第三像素定義膜的所述開口部。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述第一有機發(fā)光層的厚度大于所述第二有機發(fā)光層的厚度，所述第二有機發(fā)光層的厚度大于所述第三有機發(fā)光層的厚度。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述第一有機發(fā)光層生成紅光，所述第二有機發(fā)光層生成綠光，所述第三有機發(fā)光層生成藍光。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機發(fā)光裝置的制造方法，其中，所述有機物利用噴墨印刷和噴嘴印刷中的其中一個被提供至所述第一像素定義膜、第二像素定義膜、第三像素定義膜的所述開口部。`
【文檔編號】H01L21/77GK103779380SQ201310047382
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年2月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月22日
【發(fā)明者】魯承旭 申請人:三星顯示有限公司