有機(jī)發(fā)光顯示裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種在基板上布置有多個子像素的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述子像素包括：形成于基板上的第一電極；形成于所述第一電極之上，并具備有機(jī)發(fā)光層的中間層；形成于所述中間層之上的第二電極，所述子像素中的發(fā)出至少一種顏色的光的任意一個子像素在所述有機(jī)發(fā)光層和所述第一電極之間具備發(fā)出與所述一種顏色不同的顏色的光的陰影發(fā)光層，且發(fā)出所述一種顏色的光的任意一個子像素的有機(jī)發(fā)光層包含空穴輸送物質(zhì)。
【專利說明】有機(jī)發(fā)光顯示裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光顯示裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，尤其涉及提高發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光顯示裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，顯示裝置趨于由能夠攜帶的薄型的平板顯示裝置所取代。平板顯示裝置中，有機(jī)發(fā)光顯示裝置作為自發(fā)光型顯示裝置，優(yōu)點(diǎn)在于視角寬，不僅對比度優(yōu)良，響應(yīng)速度也較快，因此作為下一代顯示裝置而受到關(guān)注。
[0003]有機(jī)發(fā)光顯示裝置具備中間層、第一電極和第二電極等各種薄膜。中間層具備有機(jī)發(fā)光層，當(dāng)向第一電極和第二電極施加電壓時，有機(jī)發(fā)光層將發(fā)出可視光線。
[0004]作為用于形成配備于有機(jī)發(fā)光顯示裝置的各種薄膜的方法，可利用蒸鍍工藝。為了通過蒸鍍工藝在基板上形成特定圖案，通常使用蒸鍍掩模。
[0005]另外，由于難以控制這種蒸鍍工藝，因此有機(jī)發(fā)光裝置的蒸鍍膜(尤其，具備與發(fā)光相關(guān)的有機(jī)發(fā)光層的中間層)的形成并不容易進(jìn)行，其結(jié)果，在提高有機(jī)發(fā)光顯示裝置的發(fā)光特性上存在制約。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明可提供容易地提高發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光顯示裝置和有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。
[0007]本發(fā)明公開一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置中在基板上布置有多個子像素，所述子像素包括:形成于基板上的第一電極；形成于所述第一電極之上，并具備有機(jī)發(fā)光層的中間層；形成于所述中間層之上的第二電極，所述子像素中的發(fā)出至少一種顏色的光的任意一個子像素在所述有機(jī)發(fā)光層和所述第一電極之間具備發(fā)出與所述一種顏色不同的顏色的光的陰影發(fā)光層，且發(fā)出所述一種顏色的光的任意一個子像素的有機(jī)發(fā)光層包含空穴輸送物質(zhì)。
[0008]在本發(fā)明中，所述子像素可包括紅色子像素、綠色子像素、藍(lán)色子像素。
[0009]在本發(fā)明中，發(fā)出所述一種顏色的光的任意一個子像素可以為紅色子像素，所述陰影發(fā)光層可包括配備于所述綠色子像素的有機(jī)發(fā)光層或配備于所述藍(lán)色子像素的有機(jī)發(fā)光層中的至少一個有機(jī)發(fā)光層的物質(zhì)。
[0010]本發(fā)明中，所述陰影發(fā)光層可以由發(fā)出互不相同的顏色的光的多個層形成。
[0011]本發(fā)明中，還可以包括布置在所述第一電極和所述陰影發(fā)光層之間的空穴輸送層。
[0012]本發(fā)明中，所述空穴輸送層可形成為多個層。
[0013]本發(fā)明中，還可以包括與所述第一電極電連接，且配備活性層、柵極、源極、漏極的
薄膜晶體管。
[0014]本發(fā)明中，所述中間層可利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成，所述中間層的蒸鍍區(qū)域可形成為，遠(yuǎn)離蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度大于靠近蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度。
[0015]本發(fā)明中，其特征在于，所述中間層可利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成，所述中間層的蒸鍍區(qū)域中，越是遠(yuǎn)離所述蒸鍍區(qū)域的中心的區(qū)域，遠(yuǎn)離所述蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度可越長。
[0016]本發(fā)明中，其特征在于，所述中間層可利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成，所述中間層的蒸鍍區(qū)域中，布置在所述蒸鍍區(qū)域的中心的區(qū)域形成為兩側(cè)斜邊的長度實(shí)質(zhì)相同。
[0017]本發(fā)明中，所述中間層可利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成，布置在所述中間層的蒸鍍區(qū)域的區(qū)域可以布置為以所述蒸鍍區(qū)域的中心為基準(zhǔn)對稱。
[0018]本發(fā)明中，所述基板可具有40英寸以上的大小。
[0019]本發(fā)明中，所述中間層可利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成，所述中間層的蒸鍍區(qū)域可具有不均勻的厚度(non-uniform thickness)。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，涉及制造基板上布置有多個子像素的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，包括如下步驟:形成所述子像素；在基板上形成第一電極；在所述第一電極上形成配備有機(jī)發(fā)光層的中間層；在所述中間層上形成第二電極，所述子像素中，發(fā)出至少一種顏色的光的任意一種子像素在所述有機(jī)發(fā)光層和所述第一電極之間具備發(fā)出不同于所述一種顏色的其他顏色的光的陰影發(fā)光層，發(fā)出所述一種顏色的光的任意一種子像素的有機(jī)發(fā)光層可包含空穴輸送物質(zhì)。
[0021]在本發(fā)明中，所述陰影發(fā)光層可以在形成所述子像素中的任意一種顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層之前，在形成與所述一種顏色不同的其他顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層的過程中形成。
[0022]在本發(fā)明中，所述中間層利用包括多個有機(jī)層蒸鍍組件的有機(jī)層蒸鍍裝置形成，所述有機(jī)層蒸鍍組件包括:放射蒸鍍物質(zhì)的蒸鍍源；布置在所述蒸鍍源的一側(cè)，具備多個蒸鍍源噴嘴的蒸鍍源噴嘴部；布置成與所述蒸鍍源噴嘴部面對，并具備多個圖案化狹縫的圖案化狹縫板，由此蒸鍍工藝可以執(zhí)行為由所述蒸鍍源放射的所述蒸鍍物質(zhì)通過所述圖案化狹縫板形成于所述基板上。
[0023]在本發(fā)明中，所述子像素具備紅色子像素、綠色子像素、藍(lán)色子像素，所述紅色子像素的有機(jī)發(fā)光層，所述綠色子像素的有機(jī)發(fā)光層，所述藍(lán)色子像素的有機(jī)發(fā)光層可利用所述多個有機(jī)層蒸鍍組件中的彼此不同的有機(jī)層蒸鍍組件形成。
[0024]本發(fā)明中，所述多個有機(jī)層蒸鍍組件中，用于形成所述一種顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)層蒸鍍組件和用于形成所述陰影發(fā)光層的有機(jī)層蒸鍍組件可相鄰地布置。
[0025]本發(fā)明中，利用所述有機(jī)層蒸鍍裝置形成所述中間層的步驟可包括如下步驟:在裝載部將所述基板固定到移動部；將固定有所述基板的移動部利用設(shè)置成可貫通腔體的第一移送部移送至所述腔體內(nèi)；在所述有機(jī)層蒸鍍組件布置在所述腔體內(nèi)，且布置于所述腔體內(nèi)的所述有機(jī)層蒸鍍組件和所述基板分隔預(yù)定程度的狀態(tài)下，所述基板相對所述有機(jī)層蒸鍍組件移動的同時，從所述有機(jī)層蒸鍍組件發(fā)散的蒸鍍物質(zhì)被蒸鍍到所述基板上，形成所述中間層；由卸載部將完成蒸鍍的所述基板從所述移動部分離出來；將與所述基板分離的所述移動部利用設(shè)置成貫通所述腔體的第二移送部移送至所述裝載部。
[0026]本發(fā)明中，所述基板通過所述多個有機(jī)層蒸鍍組件的同時可對所述基板連續(xù)地進(jìn)行蒸鍍。[0027]本發(fā)明中，所述移動部可在所述第一移送部和所述第二移送部之間循環(huán)。
[0028]本發(fā)明中，所述第一移送部和所述第二移送部可沿上下并排布置。
[0029]本發(fā)明中，所述移動部可以以與所述第一移送部非接觸的方式在所述腔體內(nèi)被移送。
[0030]本發(fā)明中，所述有機(jī)層蒸鍍組件的所述圖案化狹縫板可以形成為在第一方向或與所述第一方向交叉的第二方向中的至少一個方向上小于所述基板。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光顯示裝置和有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法可容易地提升發(fā)光特性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]圖1為概略地示出關(guān)于本發(fā)明一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。
[0033]圖2為圖1的A的放大圖。
[0034]圖3為示出圖2的其他變形示例的圖。
[0035]圖4為概略地示出根據(jù)本發(fā)明其他實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。
[0036]圖5為概略地示出用于制造圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍裝置的系統(tǒng)構(gòu)成的平面圖。
[0037]圖6為概略地示出圖5的有機(jī)層蒸鍍裝置的蒸鍍部的系統(tǒng)構(gòu)成的側(cè)視圖。
[0038]圖7為概略地示出圖5的蒸鍍部的立體圖。
[0039]圖8為圖7的概略的剖視圖。
[0040]圖9為示出用于制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍組件的概略的立體圖。
[0041]圖10為圖9的概略的側(cè)剖視圖。
[0042]圖11為圖9的概略的平面剖視圖。
[0043]圖12為示出用于制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍組件的其它示例的概略的立體圖。
[0044]圖13為示出用于制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍組件的其它示例的概略的立體圖。
[0045]圖14為示出圖案化狹縫以等間距形成在圖6的有機(jī)層蒸鍍裝置的圖案化狹縫板上的形態(tài)的圖。
[0046]圖15為不出利用圖14的圖案化狹縫板形成于基板上的有機(jī)層的圖。
[0047]圖16至圖18為順序地示出制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的圖。
[0048]符號的說明
[0049]1:有機(jī)層蒸鍍裝置
[0050]2:基板
[0051]30:第一電極
[0052]32R、32G、32B:中間層
[0053]SEML:陰影發(fā)光層
[0054]33:第二電極
[0055]100:蒸鍍部[0056]200:裝載部
[0057]300:卸載部
[0058]400:移送部
[0059]410:第一移送部
[0060]412:引導(dǎo)部
[0061]430:移動部
[0062]431:載體
[0063]1000、1100:有機(jī)發(fā)光顯示裝置【具體實(shí)施方式】
[0064]以下，參照附圖中示出的關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施例詳細(xì)地說明本發(fā)明的構(gòu)成及作用。
[0065]圖1為概略地示出關(guān)于本發(fā)明一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖，圖2為圖1的A的放大圖。
[0066]參照圖1和圖2，有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000在基板2上形成有三個子像素。
[0067]而且，各個子像素包括第一電極30、中間層32R、32G、32B、第二電極33。
[0068]S卩，發(fā)出紅色可視光線的紅色子像素包括第一電極30、中間層32R、第二電極33，發(fā)出綠色可視光線的綠色子像素包括第一電極30、中間層32G、第二電極33，發(fā)出藍(lán)色可視光線的藍(lán)色子像素包括第一電極30、中間層32B、第二電極33。優(yōu)選地，第二電極33經(jīng)由所有子像素而共同地形成。
[0069]對于各個部件具體進(jìn)行說明。
[0070]基板2可以由以SiO2為主要成分的透明的剝離材質(zhì)形成?；?并不局限于此，還可以由透明的塑料材質(zhì)形成。此時，形成基板2的塑料材質(zhì)可以是從多種有機(jī)物中選擇的一個以上的有機(jī)物。
[0071]雖然未圖示，但基板2和第一電極30之間還可進(jìn)一步形成緩沖層(未圖示)。緩沖層(未圖示)用于防止通過基板2的雜質(zhì)元素的侵入，并在基板2上部提供平坦的面，其可由能夠?qū)崿F(xiàn)這種作用的各種物質(zhì)形成。例如，緩沖層(未圖示)可以包括硅氧化物、硅氮化物、氮氧化硅、氧化鋁、氮化鋁、氧化鈦或者氮化鈦等無機(jī)物或者聚酰亞胺、聚酯、丙烯酸等有機(jī)物，并可以由舉例的材料中的多個材料的層疊體形成。
[0072]第一電極30形成于基板2之上。第一電極30可具有陽極的功能，第二電極33可具有陰極的功能，但顯然這種極性的順序互為相反也無妨。當(dāng)?shù)谝浑姌O30起到陽極的功能時，第一電極30可以包含功函數(shù)高的ΙΤ0、ΙΖ0、Ζη0、Ιη203。而且，根據(jù)目的及設(shè)計(jì)條件，第一電極30還可以包含由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr、L1、Yb或Ca等構(gòu)成的反射膜。
[0073]而且，第一電極30可以通過對各個子像素分別圖案化而形成。
[0074]利用絕緣物在第一電極30上形成像素定義膜31。此時，像素定義膜31形成為至少露出第一電極30的上面的一部分。
[0075]中間層32R、32G、32B形成于第一電極30的上面。中間層32R、32G、32B具備至少發(fā)出可視光線的有機(jī)發(fā)光層。
[0076]參照圖2，對于紅色子像素的中間層32R進(jìn)行具體的說明。[0077]中間層32R包括發(fā)出紅色可視光線的有機(jī)發(fā)光層EML(R)、陰影發(fā)光層SEML、空穴注入層HIL、空穴輸送層HTL、插入層IL、電子輸送層ETL。
[0078]空穴注入層HIL可以由多種材質(zhì)形成，作為具體示例，可以由銅酞菁等酞菁化合物，或者作為星型胺的TCTA、m-MTDATA、m-MTDAPB等形成。
[0079]空穴輸送層HTL可以由多種材質(zhì)形成，作為具體示例，可以由N，N' -二(3_甲苯基)-N，N' - 二苯基-[1，1-聯(lián)苯基]-4，4' -二胺01^)、1^-二(萘-1-基)州，^-二苯基聯(lián)苯胺(α-NPD)等形成。
[0080]而且，空穴輸送層HTL可以由多個層形成，而不是由單層形成。即，如圖3所示，第一空穴輸送層HTLl和第二空穴輸送層HTL2可以形成于空穴注入層HIL之上。
[0081 ] 空穴輸送層HTL和空穴注入層HIL之間可形成插入層IL，插入層IL使得電荷的產(chǎn)生或輸送變得容易。插入層IL可由多種材質(zhì)形成，作為具體示例，可包含1，4，5，8，9，12-六氮雜三亞苯基已臆(1,4,5,8,9,12-Hexaazatriphenylenehexanitri Ie)、四氰基對醌二甲燒(Tetracyanoquinodimethane, TCNQ)。
[0082]電子輸送層ETL可以利用Alq3形成。而且,雖然未圖不,但電子輸送層ETL和第二電極33之間還可以形成電子注入層(未圖示)。
[0083]陰影發(fā)光層SEML形成于空穴輸送層HTL之上，有機(jī)發(fā)光層EML(R)形成于陰影發(fā)光層SHML之上。
[0084]陰影發(fā)光層SEML具備第一發(fā)光層EML(B)和第二發(fā)光層EML(G)。第一發(fā)光層EML(B)為發(fā)出藍(lán)色可視光線的層，第二發(fā)光層EML(G)為發(fā)出綠色可視光線的層。陰影發(fā)光層SEML相比有機(jī)發(fā)光層EML (R)具有非常薄的厚度。而且，陰影發(fā)光層SEML還可以僅具備一個層(即，第一發(fā)光層EML(B)或第二發(fā)光層EML(G)中的其中一個層)，而不是兩個層。
[0085]有機(jī)發(fā)光層EML(R)可利用發(fā)出紅色可視光線的多種材料形成。而且，有機(jī)發(fā)光層EML(R)可包括主物質(zhì)和摻雜物質(zhì)。而且，有機(jī)發(fā)光層EML(R)包含空穴輸送物質(zhì)。此時，空穴輸送物質(zhì)以重量為基準(zhǔn)可以含有有機(jī)發(fā)光層EML(R)的5%至95%。
[0086]陰影發(fā)光層SEML是在有機(jī)發(fā)光層EML(R)發(fā)光時，盡可能不應(yīng)發(fā)光的層。陰影發(fā)光層SEML是在形成紅色子像素的有機(jī)發(fā)光層EML (R)時或者形成有機(jī)發(fā)光層EML (R)之前，不期望地形成的藍(lán)色子像素的發(fā)出藍(lán)色光的中間層32B的有機(jī)發(fā)光層(未圖示)物質(zhì)和綠色子像素的發(fā)出綠色的光的中間層32G的有機(jī)發(fā)光層(未圖示)物質(zhì)。
[0087]即，蒸鍍裝置，尤其構(gòu)成為沿一側(cè)方向移動的同時執(zhí)行蒸鍍工藝或蒸鍍裝置被固定而使被蒸鍍物移動時，可形成上述的陰影發(fā)光層SEML。對于這種蒸鍍裝置及利用此的蒸鍍方法將在后面說明。
[0088]這種陰影發(fā)光層SEML降低有機(jī)發(fā)光層EML (R)的發(fā)光特性。即，有機(jī)發(fā)光層EML (R)的主要發(fā)光區(qū)域位于有機(jī)發(fā)光層EML(R)和空穴輸送層HTL之間的界面，在本實(shí)施例中，空穴輸送層HTL和有機(jī)發(fā)光層EML(R)之間布置有陰影發(fā)光層SEML，據(jù)此陰影發(fā)光層SEML與空穴輸送層HTL相接，從而在陰影發(fā)光層SEML中產(chǎn)生非正常的發(fā)光。
[0089]但是,本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光層EML(R)形成為包含空穴輸送物質(zhì)。作為具體示例，使有機(jī)發(fā)光層EML (R)的主要物質(zhì)包含空穴輸送物質(zhì)，由此盡可能使紅色中間層32R的發(fā)光區(qū)域從陰影發(fā)光層SEML向有機(jī)發(fā)光層EML(R)側(cè)移動。據(jù)此，提高在紅色子像素的中間層32R體現(xiàn)的紅色可視光線的特性。提高在紅色子像素的中間層32R中體現(xiàn)的光的效率并減小驅(qū)動電壓。
[0090]雖然未圖示，但綠色子像素的中間層32G和藍(lán)色子像素的中間層32B也與紅色子像素的中間層32R相同地形成。
[0091]S卩，綠色子像素的中間層32G具備發(fā)出綠色可視光線并包含空穴輸送物質(zhì)的有機(jī)發(fā)光層，且可以具備發(fā)出紅色或藍(lán)色可視光線的陰影發(fā)光層。而且，藍(lán)色子像素的中間層32B具備發(fā)出藍(lán)色可視光線并包含空穴輸送物質(zhì)的有機(jī)發(fā)光層，且可以具備發(fā)出紅色或藍(lán)色可視光線的陰影發(fā)光層。
[0092]中間層32R、32G、32B之上形成第二電極33。第二電極33具有陰極的功能時，第二電極33可以由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr、Li或Ca等金屬形成。而且，第二電極33可以包含ΙΤΟ、IZO、ZnO, In2O3等，以能夠使光透過。
[0093]雖然未圖示，但第二電極33之上可以形成有包封部件(未圖示)。包封部件(未圖示)可利用多種材料形成，可以使用玻璃材料的基板，作為其它示例，還可以利用有機(jī)膜和無機(jī)膜來形成，也可以交替地層疊有機(jī)膜和無機(jī)膜而形成。
[0094]本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000利用蒸鍍裝置形成具備有機(jī)發(fā)光層的中間層。此時，形成中間層時，除了形成發(fā)出所期望的可視光線的有機(jī)發(fā)光層之外，還會形成不期望的陰影發(fā)光層，但本實(shí)施例中，在形成有機(jī)發(fā)光層時，使其包含空穴輸送物質(zhì)，從而使中間層的發(fā)光區(qū)域盡可能從陰影發(fā)光層沿有機(jī)發(fā)光層方向移動，據(jù)此提高中間層的發(fā)光效率。其結(jié)果，可容易地實(shí)現(xiàn)提高了發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0095]圖4為概略地示出關(guān)于本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。
[0096]參照圖4，將以與前述實(shí)施例的不同點(diǎn)為中心說明本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1100。
[0097]有機(jī)發(fā)光顯示裝置1100在基板2上形成多個子像素，各個子像素包括第一電極30、中間層32R、第二電極33、薄膜晶體管TFT。圖4中僅示出了包括紅色中間層32R的紅色子像素。這樣示出的目的在于便于進(jìn)行說明，因此本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1100如圖5所示，可具備綠色和藍(lán)色子像素。
[0098]基板2上形成緩沖層22。緩沖層22上形成具有預(yù)定圖案的活性層23?；钚詫?3可以由諸如硅系列的無機(jī)半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體或氧化物半導(dǎo)體形成，并包括源極區(qū)域、漏極區(qū)域、溝道區(qū)域。
[0099]活性層23的上部形成有柵極絕緣膜24，在柵極絕緣膜24的上部的預(yù)定區(qū)域形成柵極25。柵極絕緣膜24用于隔離活性層23和柵極25，可以由有機(jī)物或諸如SiNx、Si02的無機(jī)物形成。
[0100]柵極25可以包含Au、Ag、Cu、N1、Pt、Pd、Al、Mo，還可以包含諸如Al:Nd、Mo:W等
的合金，但并不局限于此，考慮與相鄰層的緊貼性、平坦性、電阻及加工性等而可使用多種材質(zhì)形成。
[0101]柵極25的上部形成有層間絕緣膜26。層間絕緣膜26和柵極絕緣膜24形成為露出活性層23的源極區(qū)域和漏極區(qū)域，且形成與這種露出的活性層23的源極區(qū)域和漏極區(qū)域分別相接的源極27和漏極28。
[0102]源極27和漏極28可利用多種導(dǎo)電物質(zhì)形成，可以是單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。
[0103]薄膜晶體管TFT的上部形成鈍化層29。具體來講，源極27和漏極28上形成鈍化層29。
[0104]鈍化層29不覆蓋整個漏極28而形成為露出預(yù)定區(qū)域，并形成第一電極30，且使該第一電極30與露出的漏極28連接。
[0105]利用絕緣物在第一電極30上形成像素定義膜31。像素定義膜31形成為露出第一電極30的預(yù)定區(qū)域。
[0106]中間層32R形成為與露出的第一電極30相接。中間層32R具備有機(jī)發(fā)光層，具體來講具備發(fā)出紅色可視光線的有機(jī)發(fā)光層，因中間層32R的具體結(jié)構(gòu)與前述實(shí)施例相同，因此省略具體的說明。
[0107]而且，形成第二電極33，且使該第二電極33與中間層32R連接。第二電極33上可布置密封部件(未圖示)。
[0108]前述圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000、示出圖1的變形示例的圖3的結(jié)構(gòu)以及圖4的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1100可利用多種有機(jī)層蒸鍍裝置形成，對于這種有機(jī)層蒸鍍裝置及利用此的蒸鍍方法進(jìn)行說明。為了便于說明，僅以圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000為例進(jìn)行說明。
[0109]圖5為概略地示出用于制造圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍裝置的系統(tǒng)構(gòu)成的平面圖，圖6為概略地示出圖5的有機(jī)層蒸鍍裝置的蒸鍍部的系統(tǒng)構(gòu)成的側(cè)視圖，圖7為概略地示出圖5的蒸鍍部的立體圖，圖8為圖7的概略的剖視圖。
[0110]參照圖5和圖6，根據(jù)本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍裝置I包括蒸鍍部100、裝載部200、卸載部300、移送部400。
[0111]裝載部200可包括第一機(jī)架212、導(dǎo)入室214、第一反轉(zhuǎn)室218、緩沖室219。
[0112]第一機(jī)架121上載置有多個進(jìn)行蒸鍍之前的基板2，導(dǎo)入室214上配備的導(dǎo)入機(jī)械手從第一機(jī)架212抓持基板2而放置在從第二移送部420移送過來的移動部430之后，將貼附有基板2的移動部430轉(zhuǎn)移到第一反轉(zhuǎn)室218。
[0113]第一反轉(zhuǎn)室218與導(dǎo)入室214相鄰地布置，位于第一反轉(zhuǎn)室218的第一反轉(zhuǎn)機(jī)械手將移動部430反轉(zhuǎn)之后將移動部430安裝到蒸鍍部100的第一移送部410。
[0114]從圖5中觀看，導(dǎo)入室214的導(dǎo)入機(jī)械手將基板2放置到移動部430的上面，在此狀態(tài)下，移動部430被移動至第一反轉(zhuǎn)室218，隨著第一反轉(zhuǎn)室218的第一反轉(zhuǎn)機(jī)械手反轉(zhuǎn)第一反轉(zhuǎn)室218，基板2在蒸鍍部100變成朝下。
[0115]卸載部300的結(jié)構(gòu)與上面說明的裝載部200的結(jié)構(gòu)相反。即，對于經(jīng)過蒸鍍部100的基板2和移動部430，在第二反轉(zhuǎn)室328由第二反轉(zhuǎn)機(jī)械手反轉(zhuǎn)并移送至輸出室324，由輸出機(jī)械手在輸出室324取出基板2和移動部430之后，將基板2從移動部430分離出來，并裝載到第二機(jī)架322。與基板2分離的移動部430通過第二移送部420被送回至裝載部200。
[0116]但是，本發(fā)明并不局限于此，還可以在基板2最初被固定到移動部430時開始就將基板2固定到移動部430的下面，并直接移送到蒸鍍部100。此時，無需例如第一反轉(zhuǎn)室218的第一反轉(zhuǎn)機(jī)械手和第二反轉(zhuǎn)室328的第二反轉(zhuǎn)機(jī)械手。
[0117]蒸鍍部100具備至少一個蒸鍍用腔體101。根據(jù)本實(shí)施例，所述蒸鍍部100具備腔體101，在該腔體101內(nèi)布置有多個有機(jī)層蒸鍍組件100-1、100-2、...、100-11。
[0118]具體來講，在腔體內(nèi)101布置有第一有機(jī)層蒸鍍組件100-1、第二有機(jī)層蒸鍍組件100-2?第十一有機(jī)層蒸鍍組件100-11這十一個有機(jī)層蒸鍍組件，但其數(shù)量可根據(jù)蒸鍍物質(zhì)和蒸鍍條件進(jìn)行變化。所述腔體101在進(jìn)行蒸鍍的期間內(nèi)維持真空。
[0119]在此，十一個有機(jī)層蒸鍍組件中，一部分有機(jī)層蒸鍍組件使用于蒸鍍共同層，剩余的一部分有機(jī)層蒸鍍組件可使用于蒸鍍圖案層。此時，使用于蒸鍍共同層的有機(jī)層蒸鍍組件可不配備專門的圖案化狹縫板(參照圖7的130)。作為十一個有機(jī)層蒸鍍組件的排列方式的一個示例，可布置成第一有機(jī)層蒸鍍組件100-1蒸鍍作為共同層的空穴注入層HIL，第二有機(jī)層蒸鍍組件100-2蒸鍍作為共同層的插入層IL，第三有機(jī)層蒸鍍組件100-3至第五有機(jī)層蒸鍍組件100-5蒸鍍作為共同層的空穴輸送層HTL，第六有機(jī)層蒸鍍組件100-6蒸鍍作為藍(lán)色中間層32B的圖案的有機(jī)發(fā)光層，第七有機(jī)層蒸鍍組件100-7蒸鍍作為綠色中間層32G的圖案的有機(jī)發(fā)光層，第八有機(jī)層蒸鍍組件100-8蒸鍍作為紅色中間層32R的圖案的有機(jī)發(fā)光層EML (R)，第九有機(jī)層蒸鍍組件100-9蒸鍍作為共同層的電子輸送層ETL，第十有機(jī)層蒸鍍組件100-10蒸鍍作為共同層的電子注入層EIL。當(dāng)然，這種有機(jī)層蒸鍍組件的排列可以進(jìn)行多種變更。
[0120]另外，根據(jù)基于圖5的本發(fā)明一實(shí)施例，固定有所述基板2的移動部430通過第一移送部410至少向蒸鍍部100移動，優(yōu)選為順序地向所述裝載部200、蒸鍍部100以及卸載部300移動，在所述卸載部300上與基板2分離的移動部430根據(jù)第二移送部420而送還至裝載部200。
[0121 ] 所述第一移送部410配置成在通過所述蒸鍍部100時貫通所述腔體101，所述第二移送部420配置成移送分離出基板2的移送部430。
[0122]在此，根據(jù)本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍裝置I中，第一移送部410和第二移送部420沿上下形成，且形成為通過第一移送部410完成蒸鍍的移動部430在卸載部300上與基板2分離之后，通過形成于其下部的第二移送部420被送回至裝載部200，從而可以得到提高空間使用效率的效果。
[0123]另外，圖5的蒸鍍部100可以在各個有機(jī)層蒸鍍組件100-1、100-2.....100-11的
一側(cè)進(jìn)一步設(shè)置蒸鍍源更換部190。雖然圖中沒有詳細(xì)示出，但蒸鍍源更換部190形成為片
匣狀，可形成為從各個有機(jī)層蒸鍍組件100-1、100-2.....100-11向外部引出。據(jù)此，有機(jī)
層蒸鍍組件100-1、100-2.....100-11的蒸鍍源(參照圖7的110)的更換將變得容易。
[0124]另外，圖5中，用于構(gòu)成由裝載部200、蒸鍍部100、卸載部300、移送部400構(gòu)成的有機(jī)層蒸鍍裝置的一系列的套件(set)并排配置了兩套。即，可理解為在圖5的上側(cè)和下側(cè)總共配備了兩個有機(jī)層蒸鍍裝置I。此時，在兩個有機(jī)層蒸鍍裝置I之間還可以設(shè)置圖案化狹縫板更換部500。即，通過在兩個有機(jī)層蒸鍍裝置I之間配備圖案化狹縫板更換部500，使得兩個有機(jī)層蒸鍍裝置I共同使用圖案化狹縫更換部500，從而與每個有機(jī)層蒸鍍裝置I配備圖案化狹縫板更換部500相比，可提高空間使用效率。
[0125]參照圖7和圖8，關(guān)于本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍裝置I的蒸鍍部100包括一個以上的有機(jī)層蒸鍍組件100-1和移送部400。
[0126]以下，對于整個蒸鍍部100的構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0127]腔體101形成為中空的箱型結(jié)構(gòu)，其內(nèi)部容置有一個以上的有機(jī)層蒸鍍組件100-1和移送部400。對此，從另一側(cè)面說明時，形成支腳(foot) 102，以便能夠固定于地面，并在支腳102之上形成殼體103，在殼體103的上部形成上部殼體104。而且，腔體101形成為將下部殼體103和上部殼體104全都收容于內(nèi)部。此時，可對于下部殼體103和腔體101的連接部實(shí)施密封處理，以使腔體101的內(nèi)部完全與外部隔絕。如此，通過使下部殼體103和上部殼體104形成于固定到地面上的支腳102之上，據(jù)此即便腔體101反復(fù)地收縮/膨脹，下部殼體103和上部殼體104可維持固定的位置，從而下部殼體103和上部殼體104在蒸鍍部100之內(nèi)起到一種基準(zhǔn)框架(reference frame)的作用。
[0128]另外，可以記述為，所述殼體104的內(nèi)部形成有有機(jī)層蒸鍍組件100-1和移送部400的第一移送部410，下部殼體103的內(nèi)部形成有移送部400的第二移送部420。而且，移動部430在第一移送部410和第二移送部420之間循環(huán)移動而連續(xù)地執(zhí)行蒸鍍。
[0129]以下，對于有機(jī)層蒸鍍組件100-1的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0130]各個有機(jī)層蒸鍍組件100-1包括蒸鍍源110、蒸鍍源噴嘴部120、圖案化狹縫板130、阻斷部件140、第一平臺(stage) 150、第二平臺160、照相機(jī)170、傳感器180等。在此，圖7和圖8的所有結(jié)構(gòu)優(yōu)選為布置在能夠維持適當(dāng)?shù)恼婵盏那惑w101之內(nèi)。這是為了確保蒸鍍物質(zhì)的直進(jìn)性。
[0131]具體來講，若要使從蒸鍍源110釋放的蒸鍍物質(zhì)115通過蒸鍍源噴嘴部120和圖案化狹縫板130而在基板2上被蒸鍍?yōu)樗谕膱D案，基本上腔體101內(nèi)部需要維持與FMM(高精度金屬掩模板)蒸鍍方法相同的高真空狀態(tài)。而且，圖案化狹縫板130的溫度應(yīng)要比蒸鍍源110的溫度足夠低(約100°C以下)。這是因?yàn)椋挥袌D案化狹縫板130的溫度足夠低，才能使溫度引起的圖案化狹縫板130的熱膨脹問題最小化。
[0132]在這種腔體101內(nèi)布置作為被蒸鍍體的基板2。所述基板2可以是平板顯示裝置用基板，可使用能夠形成多個平板顯示裝置的諸如母玻璃(mother glass)的大面積基板。
[0133]在此，本實(shí)施例中，一特征在于，使基板2對于有機(jī)層蒸鍍組件100-1相對移動而執(zhí)行蒸鍍。
[0134]具體來講，在以往的FMM蒸鍍方法中，F(xiàn)MM的大小需要與基板的大小相同。據(jù)此，基板的尺寸越增加，F(xiàn)MM越要趨于大型化，據(jù)此具有如下問題，S卩，F(xiàn)MM的制造變得困難，而且拉長FMM而以精密的圖案對齊(align)也不容易。
[0135]為了解決這種問題，關(guān)于本發(fā)明一實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件100-1，一特征在于，有機(jī)層蒸鍍組件100-1和基板2彼此相對移動而執(zhí)行蒸鍍。換句話說，被布置成與有機(jī)層蒸鍍組件100-1面對的基板2沿Y軸方向移動并執(zhí)行連續(xù)的蒸鍍。即，基板2沿圖7的箭頭A方向移動并以掃描(scanning)的方式執(zhí)行蒸鍍。在此，雖然圖中示出為基板2在腔體101內(nèi)沿Y軸方向移動并執(zhí)行蒸鍍，但本發(fā)明的思想并不局限于此，也可以是基板2被固定，有機(jī)層蒸鍍組件100-1本身沿Y軸方向移動并執(zhí)行蒸鍍。
[0136]因此，本發(fā)明的有機(jī)層蒸鍍組件100-1與以往的FMM相比可將圖案化狹縫板130制造為更小。即，對于本發(fā)明的有機(jī)層蒸鍍組件100-1來講，由于基板2沿Y軸方向移動并連續(xù)地以掃描(scanning)方式進(jìn)行蒸鍍，因此圖案化狹縫板130的X軸方向和Y軸方向長度中的至少一個方向的長度可遠(yuǎn)小于基板2的長度。如此，由于相比以往的FMM可使圖案化狹縫板130制造為更小，因此本發(fā)明的圖案化狹縫板130其制造容易。即，在圖案化狹縫板130的蝕刻作業(yè)或在這之后的精密拉伸和焊接作業(yè)、移動和清洗作業(yè)等所有工藝中，小尺寸的圖案化狹縫板130相比FMM蒸鍍方法更加有優(yōu)勢。而且，這對于大型化的顯示裝置更加有利。[0137]如此，優(yōu)選地，為了使有機(jī)層蒸鍍組件100-1和基板2彼此相對移動并實(shí)施蒸鍍，有機(jī)層蒸鍍組件100-1和基板2分隔一定的程度。對此，將在后面詳細(xì)說明。
[0138]另外，腔體內(nèi)與所述基板2面對的一側(cè)布置有收容和加熱蒸鍍物質(zhì)115的蒸鍍源110。隨著收容于所述蒸鍍源110內(nèi)的蒸鍍物質(zhì)115被汽化，可在基板2實(shí)現(xiàn)蒸鍍。
[0139]具體來講，蒸鍍源110包括在內(nèi)部裝填蒸鍍物質(zhì)115的坩堝111、加熱坩堝111而使裝填于坩堝111內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)115朝坩堝111的一側(cè)，具體來講，朝蒸鍍源噴嘴部120側(cè)蒸發(fā)的加熱器112。
[0140]在蒸鍍源110的一側(cè)，具體來講，在從蒸鍍源110朝向基板2的一側(cè)布置有蒸鍍源噴嘴部120。
[0141]在此，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)層蒸鍍組件在蒸鍍共同層和圖案層時，蒸鍍源噴嘴可以形成為彼此不同。即，用于形成圖案層的蒸鍍源噴嘴部中可以沿Y軸方向，即基板2的掃描方向形成有多個蒸鍍源噴嘴121。據(jù)此，將蒸鍍源噴嘴121形成為在X軸方向上僅存在一個蒸鍍源噴嘴121，可以極大地減少陰影(shadow)的產(chǎn)生。與此相反，雖然未圖示，但為了形成共同層，蒸鍍源的噴嘴部中，可以沿X軸方向形成多個蒸鍍源噴嘴121。據(jù)此，還可提高共同層的厚度均勻度。
[0142]蒸鍍源110和基板2之間布置有圖案化狹縫板130。圖案化狹縫板130可以粘貼在大致形成為窗框形的框架(未圖示)。
[0143]狹縫板130上沿著X軸方向形成有多個圖案化狹縫131。在蒸鍍源110內(nèi)被汽化的蒸鍍物質(zhì)115通過蒸鍍源噴嘴部120和圖案化狹縫板130朝向作為被蒸鍍體的基板2偵U。此時，所述圖案化狹縫板130可通過與以往的精密金屬掩模(FMM)，尤其條紋狀(stripetype)的掩模的制造方法相同的方法的蝕刻來制造。此時，圖案化狹縫131的總數(shù)量可多于蒸鍍源噴嘴121的總數(shù)量。
[0144]然后，上部殼體104內(nèi)的各個構(gòu)成要素的具體布置如下。
[0145]首先，在上部殼體104的底面部分布置上述的蒸鍍源110和蒸鍍源噴嘴部120。而且，蒸鍍源110和蒸鍍源噴嘴部120的兩側(cè)突出形成有安置部104-1，在安置部104-1上依次形成第一平臺150、第二平臺160以及上述的圖案化狹縫板130。
[0146]在此，所述第一平臺150形成為能夠沿X軸方向和Y軸方向移動，由此執(zhí)行將圖案化狹縫板130沿X軸方向和Y軸方向?qū)R的作用。即，第一平臺150具備多個致動器(actuator),從而形成為第一平臺150相對于上部殼體104朝X軸方向和Y軸方向移動。
[0147]另外，第二平臺160形成為能夠沿Z軸方向移動，由此執(zhí)行將圖案化狹縫板130沿Z軸對齊的作用。即，第二平臺160具備多個致動器，由此形成為第二平臺160相對于第一平臺150沿Z軸方向移動。
[0148]另外，第二平臺160上布置有圖案化狹縫板130。如此，圖案化狹縫板130布置在第一平臺150和第二平臺160之上，且圖案化狹縫板130形成為可以沿X軸方向、Y軸方向、Z軸方向移動，可以執(zhí)行基板2和圖案化狹縫板130之間的對齊，尤其可以執(zhí)行實(shí)時對齊(real-time align)。
[0149]進(jìn)而，上部殼體104、第一平臺150、第二平臺160可同時起到引導(dǎo)蒸鍍物質(zhì)的移動路徑的作用，以避免通過蒸鍍源噴嘴121排出的蒸鍍物質(zhì)被分散。即，通過上部殼體104、第一平臺150、第二平臺160，蒸鍍物質(zhì)的路徑被封閉，因此可同時引導(dǎo)蒸鍍物質(zhì)的沿X軸方向和Y軸方向的移動。
[0150]另外，在圖案化狹縫板130和蒸鍍源110之間還可以進(jìn)一步設(shè)置有阻斷部件140。具體來講，在基板2的外圍部分存在形成陽極圖案或陰極圖案，由此之后應(yīng)用為產(chǎn)品檢測用或制造產(chǎn)品時的端子的區(qū)域。如果有機(jī)物在該區(qū)域中成膜，則陽極或陰極將難以起到原本的作用，因此這種基板2的外圍部分應(yīng)形成為防止有機(jī)物等成膜的非成膜區(qū)域。但是，如上所述，由于在本發(fā)明的蒸鍍裝置中，基板2相對于薄膜蒸鍍裝置移動并以掃描的方式執(zhí)行蒸鍍，因此難以防止有機(jī)物被蒸鍍到基板2的非成膜區(qū)域中。
[0151]如此，為了防止有機(jī)物被蒸鍍到基板2的非成膜區(qū)域中，關(guān)于本發(fā)明一實(shí)施例的薄膜蒸鍍裝置中，可以在基板2的外圍部分進(jìn)一步設(shè)置專門的阻斷部件140。雖然圖中沒有詳細(xì)示出，但阻斷部件140可以由相鄰的兩個板構(gòu)成。
[0152]當(dāng)基板2不通過有機(jī)層蒸鍍組件100-1時，阻斷部件140遮擋蒸鍍源110，由此從蒸鍍源110發(fā)散的蒸鍍物質(zhì)115不會粘到圖案化狹縫板130。在此狀態(tài)下，當(dāng)基板2開始進(jìn)入有機(jī)層蒸鍍組件100-1時，原本遮擋蒸鍍源110的前方的阻斷部件140與基板2的移動一起移動并開放蒸鍍物質(zhì)的移動路徑，由此從蒸鍍物質(zhì)110發(fā)散的蒸鍍物質(zhì)115通過圖案化狹縫板130被蒸鍍到基板2。另外，當(dāng)整個基板2通過了有機(jī)層蒸鍍組件100-1時，后方的阻斷部件140與基板2的移動一起移動并重新封閉蒸鍍物質(zhì)的移動路徑以遮擋蒸鍍源110，據(jù)此防止從蒸鍍源110發(fā)散的蒸鍍物質(zhì)115粘到圖案化狹縫板130。
[0153]通過由這種阻斷部件140遮擋基板2的非成膜區(qū)域，由此無需專門的結(jié)構(gòu)物就可以簡單地得到防止有機(jī)物被蒸鍍到基板2的非成膜區(qū)域的效果。
[0154]以下，詳細(xì)說明移送作為被蒸鍍體的基板2的移送部400。
[0155]移送部400包括第一移送部410、第二移送部420、移動部430。
[0156]第一移送部410起到同軸(in-line)移動移動部430和基板2的作用，以通過有機(jī)層蒸鍍組件100-1在基板2上蒸鍍有機(jī)層。移動部430包括載體431和與之結(jié)合的靜電吸盤432，基板2被貼附到移動部430的狀態(tài)下移動。而且，第一移送部410包括線圈411、引導(dǎo)部412、上面磁浮軸承、側(cè)面磁浮軸承、間隙傳感器。
[0157]第二移送部420起到將通過蒸鍍部100完成一次蒸鍍之后在卸載部300分離出基板2的移動部430回送到裝載部200的作用。如此的第二移動部420包括線圈421、滾式引導(dǎo)件 422、充電軌道(charging track) 423。
[0158]移動部430包括沿著第一移送部410和第二移送部420移動的載體431、結(jié)合于載體431的一面上而貼附基板2的靜電吸盤432。
[0159]對于移送部400的各個構(gòu)成要素進(jìn)一步詳細(xì)地說明。
[0160]首先，對于移動部430的載體431進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0161]載體431包括主體部431a、磁軌431b、CPS模塊(無接觸輸電模塊)431c、電源部431d、引導(dǎo)槽。另外，載體431還可以包括凸輪從動件431f。
[0162]主體部431a構(gòu)成載體431的基底部，可以由諸如鐵的磁性體形成。根據(jù)這種載體431的主體部431a和磁浮軸承(未圖示)的斥力，載體431可對于引導(dǎo)部412維持相隔預(yù)定程度的狀態(tài)。
[0163]沿著主體部431a的行進(jìn)方向的中心線可形成有磁軌431b。主體部431a的磁軌431b和線圈411結(jié)合而可以構(gòu)成直線電機(jī)，通過這種直線電機(jī)，載體431可以沿A方向移送。
[0164]在主體部431a中，磁軌431b的一側(cè)可分別形成CPS模塊431c和電源部431d。電源部431d是為了使靜電吸盤432吸附基板2并維持而提供電源的一種充電電池，CPS模塊431c是為了給電源部431d充電的無線充電模塊。具體來講，形成于第二移送部420的充電軌道423與逆變器(inverter)(未圖示)連接，由此在載體431在第二移送部420內(nèi)被移送時，充電軌道423和CPS模塊431c之間產(chǎn)生磁場，從而向CPS模塊431c提供電力。然后，被提供到CPS模塊431c的電力對電源部431d進(jìn)行充電。
[0165]另外，靜電吸盤432在由陶瓷構(gòu)成的主體的內(nèi)部埋設(shè)被施加電源的電極，由此通過向該電極施加高電壓而在主體的表面貼附基板2。
[0166]以下，對于第一移送部410和移動部430進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0167]第一移送部410起到移動固定基板2的靜電吸盤432和移送靜電吸盤432的載體431的作用。在此，第一移送部410包括線圈411、引導(dǎo)部412、上面磁浮軸承(未圖示)、側(cè)面磁浮軸承(未圖示)、間隙傳感器(未圖示)。
[0168]線圈411和引導(dǎo)部412分別形成于上部殼體104的內(nèi)表面,其中，線圈411形成于上部殼體104的上側(cè)內(nèi)表面，引導(dǎo)部412形成于上部殼體104的兩側(cè)內(nèi)表面。
[0169]引導(dǎo)部412起到引導(dǎo)載體431沿一側(cè)方向移動的作用。此時,引導(dǎo)部412形成為貫通蒸鍍部100。
[0170]具體來講，引導(dǎo)部412收容載體431的兩側(cè)而起到引導(dǎo)載體431能夠沿圖7的A方向移動的作用。
[0171]側(cè)面磁浮軸承(未圖示)形成于引導(dǎo)部412的側(cè)面，以與載體431的兩側(cè)面對應(yīng)，并使載體431和引導(dǎo)部412之間產(chǎn)生間距，從而起到使載體431在移動時不與引導(dǎo)部412接觸而以非接觸的方式沿著引導(dǎo)部412移動的作用。
[0172]另外，上部磁浮軸承(未圖示)布置在引導(dǎo)部412的側(cè)面，以與載體431的上部對應(yīng)，并起到使載體431不與引導(dǎo)部412接觸而維持預(yù)定的間隔并沿著引導(dǎo)部412移動的作用。
[0173]引導(dǎo)部412還可以具備間隙傳感器(未圖示)，以用于測量載體431和引導(dǎo)部412之間的間距。
[0174]其次，對于移動部430的驅(qū)動進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0175]主體部431a的磁軌431b和線圈411結(jié)合而能夠構(gòu)成驅(qū)動部。在此，驅(qū)動部可以是直線電機(jī)(Linear Motor)。直線電機(jī)與以往的滑動引導(dǎo)系統(tǒng)相比，摩擦系數(shù)小，幾乎不會發(fā)生位置誤差，因此是位置確定能力非常高的裝置。如上所述，直線電機(jī)可以由線圈411和磁軌431b形成，其中，磁軌431b在載體431上排列成一列，線圈411可以在腔體101內(nèi)的一側(cè)以預(yù)定間隔布置多個，且布置成與所述磁軌431b面對。如此，在作為移動物體的載體431上布置磁軌431b而不是布置線圈411，因此即便不給載體431施加電源也能夠驅(qū)動載體431。
[0176]在此,線圈411可以形成于大氣箱(atmosphere box)內(nèi)。具體來講,通常直線電機(jī)即便相比以往的滑動引導(dǎo)系統(tǒng)具有位置確定能力非常高的優(yōu)點(diǎn)，但由于線圈(Coil)的脫氣(Outgassing)問題，難以在真空環(huán)境中使用。但是，應(yīng)用于本發(fā)明的有機(jī)層蒸鍍裝置的移送系統(tǒng)中，由于可以使磁軌431b和線圈411之間保持5_左右而進(jìn)行驅(qū)動，因此線圈411可以形成于大氣箱(atmosphere box, ATM箱)之內(nèi)而設(shè)置在大氣環(huán)境中，磁軌431b貼附在載體431上，由此載體431能夠在處于真空的腔體101內(nèi)移動。
[0177]其次，對于第二移送部420和移動部430進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0178]第二移送部420起到將在卸載部300分離出基板之后的靜電吸盤432和移送該靜電吸盤432的載體431再次移動至裝載部200的作用。在此，第二移送部420包括線圈421、滾式引導(dǎo)件422、充電軌道(charging track)423?
[0179]具體來講，線圈421、滾式引導(dǎo)件422、充電軌道423分別形成于下部殼體103的內(nèi)表面，其中，線圈421和充電軌道423形成于下部殼體103的上側(cè)內(nèi)表面，滾式引導(dǎo)件422形成于下部殼體103的兩側(cè)內(nèi)表面。在此，雖然圖中沒有示出，但線圈421與第一移送部410的線圈411相同,可形成于大氣箱之內(nèi)。
[0180]另外，與第一移送部410相同，第二移送部420也具備線圈421，且載體431的主體部431a的磁軌431b和線圈421結(jié)合可形成驅(qū)動部，在此，所述驅(qū)動部可以是直線電機(jī)。通過這種直線電機(jī)，載體431可以沿圖7的A方向的相反方向移動。
[0181]另外，滾式引導(dǎo)件422起到引導(dǎo)載體431沿一側(cè)方向移動的作用。此時，滾式引導(dǎo)件422貫通蒸鍍部100而形成。具體來講，滾式引導(dǎo)件422支撐形成于載體431兩側(cè)的凸輪從動件431f，起到引導(dǎo)載體431沿圖7的A方向的相反方向移動的作用。即，形成于載體431兩側(cè)的凸輪從動件431f沿著滾式引導(dǎo)件422旋轉(zhuǎn)，據(jù)此載體431進(jìn)行移動。在此，凸輪從動件431f為軸承的一種，在準(zhǔn)確地反復(fù)特定的動作時使用。如此的凸輪從動件431f在載體431的側(cè)面形成多個，當(dāng)載體431在第二移送部420的內(nèi)部移送時，起到輪子的作用。
[0182]結(jié)論上，第二 移送部420應(yīng)用于將載體431回送的步驟，而不是應(yīng)用于在基板上蒸鍍有機(jī)物的步驟之中，因此與第一移送部410相比，并不要求位置的精確度。因此，對于要求高的位置精確度的第一移送部410中應(yīng)用磁浮而確保位置精確度，而對于要求相對低的精確度的第二移送部420應(yīng)用以往的滾輪方式，以降低制造成本，并使有機(jī)層蒸鍍裝置的構(gòu)成更加簡單。當(dāng)然，雖然圖中沒有示出，但第二移送部420也可以與第一移送部410—樣地應(yīng)用磁浮。
[0183]另外，根據(jù)本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍裝置I的有機(jī)層蒸鍍組件100-1還可以具備用于對齊(align)的照相機(jī)170和傳感器180。
[0184]具體來講，照相機(jī)170可實(shí)時對齊形成于圖案化狹縫板130或用于結(jié)合圖案化狹縫板130的框架(未圖示)上形成的第一標(biāo)記(未圖示)和形成于基板2上的第二標(biāo)記(未圖示)。在此，照相機(jī)170配置為在進(jìn)行蒸鍍的真空腔體101內(nèi)能夠確保清晰的視野。為此，照相機(jī)170可布置于照相機(jī)容置部171之內(nèi)而設(shè)置于大氣狀態(tài)之中。即，在腔體101內(nèi)的對應(yīng)于照相機(jī)170的位置形成通道(hall)并對外部開放，照相機(jī)容置部171從該通道延伸而形成。由此，照相機(jī)170被收容于照相機(jī)容置部171之內(nèi)而處于大氣狀態(tài)，而腔體101的內(nèi)部仍可以維持真空狀態(tài)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，即便腔體101重復(fù)收縮/膨脹，照相機(jī)收容部171和被收容于其內(nèi)部的照相機(jī)170可以維持固定的位置，據(jù)此可以在正執(zhí)行蒸鍍的腔體101內(nèi)確保清晰的視野。
[0185]另外，在本發(fā)明中，基板2和圖案化狹縫板130分隔預(yù)定的程度，因此需要用一個照相機(jī)170同時測量處于互不相同的位置的至基板2的距離和至圖案化狹縫板130的距離。為此，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的有機(jī)層沉積裝置I的有機(jī)層蒸鍍組件100-1可配備傳感器180。在此,傳感器180可以是共焦傳感器(Confocal sensor)。共焦傳感器可利用高速旋轉(zhuǎn)的掃描鏡借助激光束掃描測量對象，并可利用因激光束產(chǎn)生的熒光或反射光線測量至測量對象的距離。共焦傳感器可通過檢測互不相同的媒質(zhì)之間的臨界面而測量距離。
[0186]S卩，諸如共焦傳感器的傳感器180布置在腔體101之內(nèi)，并位于基板2上。共焦傳感器可通過檢測基板2的上表面和空間的臨界面而獲取至基板2的上表面之間的距離，且可通過檢測基板2的下表面和空間的臨界面而測量至基板2的下表面的距離。而且，傳感器180可通過檢測空間和圖案化狹縫板130上表面的臨界面而測量至圖案化狹縫板130的上表面的距離。其結(jié)果，通過測量至基板2的下表面的距離和至圖案化狹縫板130的上表面的距離，傳感器180可獲取基板2和圖案化狹縫板130之間的距離。
[0187]通過配備這種照相機(jī)170和傳感器180，能夠?qū)崟r測量基板2與圖案化狹縫板130之間的間距，據(jù)此可實(shí)時對齊基板2和圖案化狹縫板130，從而可以獲得圖案的位置精密度進(jìn)一步提聞的效果。
[0188]圖9為示出用于制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍組件的概略的立體圖，圖10為圖9的概略的側(cè)剖視圖，圖11為圖9的概略的平面剖視圖。
[0189]為了便于說明，以與前述實(shí)施例不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。
[0190]參照圖9至圖11，關(guān)于本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件700包括蒸鍍源710、蒸鍍源噴嘴部720、阻斷板組件730、圖案化狹縫板750。
[0191]本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件700可以應(yīng)用于前述的有機(jī)層蒸鍍裝置1，但并非一定要如此。
[0192]蒸鍍源710和基板2之間布置有圖案化狹縫板750。圖案化狹縫板750結(jié)合于大致形成為窗框狀的框架755上，且在圖案化狹縫板750上沿X軸方向形成有多個圖案化狹縫751。相鄰的圖案化狹縫751之間形成有中間區(qū)域752。
[0193]由于圖案化狹縫板750與前述的圖案化狹縫板130相同，因此省略具體的說明。
[0194]在蒸鍍源710內(nèi)被汽化的蒸鍍物質(zhì)715通過蒸鍍源噴嘴部720和圖案化狹縫板750朝向作為被蒸鍍體的基板2偵U。
[0195]蒸鍍源710包括在其內(nèi)部裝填蒸鍍物質(zhì)715的坩堝711和加熱坩堝711以使裝填于坩堝711內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)715朝蒸鍍源噴嘴部720側(cè)蒸發(fā)的加熱器712。另外，在蒸鍍源710的一側(cè)布置有蒸鍍源噴嘴部720，而在蒸鍍源噴嘴部720沿X方向形成有多個蒸鍍源噴嘴 721。
[0196]另外，蒸鍍源噴嘴部720的一側(cè)配備有阻斷板組件730。所述阻斷板組件730包括多個阻斷板731和配備于阻斷板731的外側(cè)的阻斷板框架732。所述多個阻斷板731可沿X軸方向相互并排地布置。在此，所述多個阻斷板731可以等間距布置。而且，各個阻斷板731在圖中沿YZ平面延伸，優(yōu)選為形成四方形。如此布置的多個阻斷板731將蒸鍍源噴嘴部720和圖案化狹縫板750之間的空間劃分為多個蒸鍍空間S。S卩，如圖10所示，關(guān)于本實(shí)施例一實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件700通過所述阻斷板731按照噴射蒸鍍物質(zhì)的各個蒸鍍源噴嘴721劃分蒸鍍空間S。如此，通過由阻斷板731將蒸鍍源噴嘴部720和圖案化狹縫板750之間的空間劃分為多個蒸鍍空間S，由此從一個蒸鍍源噴嘴721排出的蒸鍍物質(zhì)不會與從其他蒸鍍源噴嘴721排出的蒸鍍物質(zhì)混合而通過圖案化狹縫751被蒸鍍到基板2。即，所述阻斷板731起到避免通過各個蒸鍍源噴嘴721排出的蒸鍍物質(zhì)分散，并引導(dǎo)蒸鍍物質(zhì)的移動路徑，以使蒸鍍物質(zhì)沿Z軸方向直進(jìn)的作用。
[0197]如此，通過配備阻斷板731而確保蒸鍍物質(zhì)的直進(jìn)性，可大幅度減小形成于基板上的陰影(shadow)的大小，據(jù)此可以使有機(jī)層蒸鍍組件700和基板2相隔預(yù)定程度。
[0198]而且，基板2在被移動部430的靜電吸盤固定的狀態(tài)下移動，且可以相對于有機(jī)層蒸鍍組件700移動的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0199]另外，雖然未圖示，但本發(fā)明顯然還可以包括如下的有機(jī)層蒸鍍裝置，S卩，配備多個本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件700，由此基板2順序地通過各個有機(jī)層蒸鍍組件700的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0200]圖12為示出用于制造圖5的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)層蒸鍍組件的另一示例的概略的立體圖。為了便于說明，以與前述實(shí)施例不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。
[0201]參照圖12，有機(jī)層蒸鍍組件800包括蒸鍍源810、蒸鍍源噴嘴部820、第一阻斷板組件830、第二阻斷板組件840、圖案化狹縫板850。
[0202]蒸鍍源810和基板2之間布置有圖案化狹縫板850。圖案化狹縫板850結(jié)合于大致形成為窗框狀的框架855上，且在圖案化狹縫板850上沿X軸方向形成有多個圖案化狹縫851。相鄰的圖案化狹縫851之間形成有中間區(qū)域852。
[0203]由于圖案化狹縫板850與前述相同，因此省略具體的說明。
[0204]而且，蒸鍍源810和第一阻斷板組件830的具體構(gòu)成與根據(jù)前述圖7的實(shí)施例相同，因此省略詳細(xì)的說明。本實(shí)施例與前述實(shí)施例的區(qū)別在于，在第一阻斷板830的一側(cè)配備有第二阻斷板組件840。
[0205]具體來講，所述第二阻斷板組件840包括多個第二阻斷板841和配備于第二阻斷板841外側(cè)的第二阻斷板框架842。所述多個第二阻斷板841可以沿X軸方向相互并排布置。而且，所述各個第二阻斷板841可以等間距布置。而且，從圖中觀看，各個第二阻斷板841形成為與YZ平面并排，換言之，形成為垂直于X軸方向。
[0206]如此布置的多個第一阻斷板831和第二阻斷板841起到劃分蒸鍍源噴嘴部820和圖案化狹縫板850之間的空間的作用。即，一特征在于，通過所述第一阻斷板831和第二阻斷板841，蒸鍍空間按照噴射蒸鍍物質(zhì)的各個蒸鍍源噴嘴821而被分離。
[0207]在此，各個第二阻斷板841可以布置為與各個第一阻斷板831—對一對應(yīng)。換言之，各個第二阻斷板841可與各個第一阻斷板831對齊而并排地布置。S卩，相互對應(yīng)的第一阻斷板831和第二阻斷板841位于相同的平面上。圖中，雖然示出為第一阻斷板831的長度和第二阻斷板841的X軸方向的寬度相同，但本發(fā)明的思想并不局限于此。即，要求與圖案化狹縫851精確地對齊的第二阻斷板841形成為相對薄，與此相反，不要求精確的對齊的第一阻斷板831形成為相對厚，據(jù)此使得其制造變得容易。
[0208]而且，基板2在被移動部430的靜電吸盤固定的狀態(tài)下移動，且可以相對于有機(jī)層蒸鍍組件800移動的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0209]另外，雖然未圖示，但本發(fā)明顯然還可以包括如下的有機(jī)層蒸鍍裝置，S卩，配備多個本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件800，由此基板2順序地通過各個有機(jī)層蒸鍍組件800的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0210]圖13為示出根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件的概略的立體圖。為了便于說明，以與前述實(shí)施例不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。[0211]參照圖13，有機(jī)層蒸鍍組件900包括蒸鍍源910、蒸鍍源噴嘴部920、圖案化狹縫板950。
[0212]蒸鍍源910和基板2之間布置有圖案化狹縫板950。圖案化狹縫板950結(jié)合于大致形成為窗框狀的框架955上，且在圖案化狹縫板950上沿X軸方向形成有多個圖案化狹縫951。相鄰的圖案化狹縫951之間形成有中間區(qū)域952。
[0213]由于圖案化狹縫板950與前述相同，因此省略具體的說明。
[0214]蒸鍍源910包括在其內(nèi)部裝填蒸鍍物質(zhì)915的坩堝911和加熱坩堝911以使裝填于坩堝911內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)915朝蒸鍍源噴嘴部920側(cè)蒸發(fā)的加熱器912。另外，在蒸鍍源910的一側(cè)布置有蒸鍍源噴嘴部920，而在蒸鍍源噴嘴部920沿Y方向形成有多個蒸鍍源噴嘴 921。
[0215]而且，蒸鍍源910和蒸鍍源噴嘴部920借助連接部件935與圖案化狹縫板950結(jié)
入
口 ο
[0216]蒸鍍源噴嘴部920中，沿著Y軸方向，即沿著基板2的掃描方向形成有多個蒸鍍源噴嘴921。在此，所述多個蒸鍍源噴嘴921可等間距布置。在蒸鍍源910內(nèi)被汽化的蒸鍍物質(zhì)915通過這種蒸鍍源噴嘴部920朝向作為被蒸鍍體的基板2側(cè)。其結(jié)果，在一個有機(jī)層蒸鍍組件900之內(nèi)沿著基板2的掃描方向形成有多個蒸鍍源噴嘴921。通過在X軸方向僅形成一個蒸鍍源噴嘴921，由此可以極大地減少陰影(shadow)的產(chǎn)生。而且，由于多個蒸鍍源噴嘴921沿掃描方向設(shè)置，因此即便個別蒸鍍源噴嘴之間發(fā)生流量的差異，但其差異可被抵消，由此可以得到蒸鍍均勻度維持恒定的效果。
[0217]而且，基板2在被移動部430的靜電吸盤432固定的狀態(tài)下移動，且可相對于有機(jī)層蒸鍍組件900移動的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0218]另外，雖然未圖示，但本發(fā)明顯然還可以包括如下的有機(jī)層蒸鍍裝置，S卩，配備多個本實(shí)施例的有機(jī)層蒸鍍組件900，由此基板2順序地通過各個有機(jī)層蒸鍍組件900的同時執(zhí)行蒸鍍工藝。
[0219]圖14為示出圖案化狹縫以等間距形成在圖5的有機(jī)層蒸鍍裝置的圖案化狹縫板上的形態(tài)的圖，圖15為示出利用圖14的圖案化狹縫板形成于基板上的有機(jī)層的圖。
[0220]圖14和圖15中示出了圖案化狹縫131等間距布置的圖案化狹縫板130。S卩，在圖15中，I1 = I2 = = I4的關(guān)系可以成立。
[0221]圖案化狹縫板130結(jié)合于框架135。
[0222]此時，經(jīng)過蒸鍍空間S的中心線C的蒸鍍物質(zhì)的入射角度幾乎與基板2垂直。據(jù)此，由通過圖案化狹縫131a的蒸鍍物質(zhì)形成的有機(jī)層P1其陰影的大小變?yōu)樽钚?，且形成為右?cè)陰影SR1和左側(cè)陰影SL1相互對稱。在此，蒸鍍空間S是利用圖案化狹縫131在基板2上實(shí)際形成蒸鍍圖案的空間。
[0223]經(jīng)過遠(yuǎn)離蒸鍍空間S的中心線C而布置的圖案化狹縫的蒸鍍物質(zhì)的臨界入射角度Θ逐漸變大，經(jīng)過最為末端的圖案化狹縫131e的蒸鍍物質(zhì)的臨界入射角Θ度約為55°C。因此，蒸鍍物質(zhì)相對于圖案化狹縫131e傾斜地入射，而由通過了圖案化狹縫131e的蒸鍍物質(zhì)所形成的有機(jī)層P5其陰影的大小變得最大，尤其左側(cè)陰影SL5相比右側(cè)陰影SR5形成的更長。
[0224]即，隨著蒸鍍物質(zhì)的臨界入射角度Θ變大，陰影的大小也變大，尤其遠(yuǎn)離蒸鍍空間S的中心線C 一側(cè)的陰影(shadow)變大。而且，對于蒸鍍物質(zhì)的臨界入射角度Θ來說，從蒸鍍空間S的中心部至圖案化狹縫的距離越遠(yuǎn)，則越變大。因此，越是從蒸鍍空間S的中心線C至圖案化狹縫的距離大的有機(jī)層，其陰影的大小越大，尤其有機(jī)層的兩端部的陰影中，從蒸鍍空間S的中心線C更遠(yuǎn)的一側(cè)的陰影的大小更加變大。
[0225]S卩，觀看圖15時，以蒸鍍空間S的中心線C為基準(zhǔn)，形成于左側(cè)的有機(jī)層中，左側(cè)斜邊大于右側(cè)斜邊，以蒸鍍空間S的中心線C為基準(zhǔn)，形成于右側(cè)的有機(jī)層中，右側(cè)斜邊大于左側(cè)斜邊。
[0226]而且，以蒸鍍空間S的中心線C為基準(zhǔn)，形成于左側(cè)的有機(jī)層中，越是遠(yuǎn)離中心線C而布置的有機(jī)層，左側(cè)斜邊的長度越大，以蒸鍍空間S的中心線C為基準(zhǔn)，形成于右側(cè)的有機(jī)層中，越是遠(yuǎn)離中心線C而布置的有機(jī)層，右側(cè)斜邊的長度越大。其結(jié)果，形成于蒸鍍空間S內(nèi)的有機(jī)層可以形成為以蒸鍍空間S的中心線為基準(zhǔn)相互對稱。
[0227]換言之，對于入射角而言，0b< 0。< 0d< Θ e的關(guān)系成立，因此通過各個圖案化狹縫的有機(jī)層的陰影的大小之間成立SL1 < SL2 < SL3 < SL4 < SL5的關(guān)系。
[0228]前述的陰影發(fā)光層SEML主要因如上的蒸鍍工藝中的陰影而產(chǎn)生。S卩，例如，在形成紅色中間層32R的發(fā)出紅色可視光的有機(jī)發(fā)光層EML(R)之前，與紅色中間層32R相鄰的藍(lán)色中間層32B或綠色中間層32G的各個有機(jī)發(fā)光層的陰影殘存于紅色中間層32R中，由此產(chǎn)生陰影發(fā)光層SEML，而在陰影發(fā)光層SEML之上形成有機(jī)發(fā)光層EML(R)。
[0229]這種陰影發(fā)光層SEML會降低有機(jī)發(fā)光層EML(R)的發(fā)光特性。即，有機(jī)發(fā)光層EML(R)的發(fā)光區(qū)域的相當(dāng)多的部分位于有機(jī)發(fā)光層EML(R)和空穴輸送層HTL與有機(jī)發(fā)光層EML(R)之間的界面，但由于本實(shí)施例中，空穴輸送層HTL與陰影發(fā)光層SEML相接，因此在陰影發(fā)光層SEML中產(chǎn)生非正常的發(fā)光。
[0230]但是，由于本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光層EML(R)形成為包含空穴輸送物質(zhì)，作為具體示例，使主要物質(zhì)包含空穴輸送物質(zhì)，由此盡可能使發(fā)光區(qū)域從陰影發(fā)光區(qū)域SEML移動至有機(jī)發(fā)光層EML(R)側(cè)。據(jù)此，提高紅色子像素的中間層32R中體現(xiàn)的紅色可視光線的特性。而且，提高紅色子像素的中間層32R中體現(xiàn)的光的效率，并減少驅(qū)動電壓。
[0231]圖16至圖18為順序地示出用于制造圖1的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的圖。雖然為了便于說明，省略圖3和圖4的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，但后述的方法顯然可以直接應(yīng)用或變形之后應(yīng)用于圖3和圖4的有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0232]參照圖16，在基板2上形成第一電極30和像素定義膜31。
[0233]然后參照圖17，按照各個像素分別形成中間層32R、32G、32B。
[0234]這種中間層32R、32G、32B可利用前述的有機(jī)層蒸鍍裝置I或有機(jī)層蒸鍍組件700、800、900進(jìn)行移動并連續(xù)地形成。而且，雖然產(chǎn)生如上所述的陰影發(fā)光層SEML將降低發(fā)光特性，但本實(shí)施例中，使得有機(jī)發(fā)光層包含空穴輸送物質(zhì)，據(jù)此提高發(fā)光特性。
[0235]然后，參照圖18，在中間層32R、32G、32B上形成第二電極33而最終完成有機(jī)發(fā)光顯示裝置1000。
[0236]雖然本發(fā)明參照圖示的實(shí)施例進(jìn)行了說明，但這僅僅是舉例性的，本領(lǐng)域具有一般的知識的技術(shù)人員應(yīng)可以理解，本發(fā)明可進(jìn)行各種變更并存在多種等同的其他實(shí)施例。因此，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)根據(jù)權(quán)利要求書的技術(shù)思想來制定。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置，該有機(jī)發(fā)光顯示裝置中在基板上布置有多個子像素，所述子像素包括: 形成于基板上的第一電極； 形成于所述第一電極之上，并具備有機(jī)發(fā)光層的中間層； 形成于所述中間層之上的第二電極， 所述子像素中的發(fā)出至少一種顏色的光的任意一個子像素在所述有機(jī)發(fā)光層和所述第一電極之間具備發(fā)出與所述一種顏色不同的顏色的光的陰影發(fā)光層，且發(fā)出所述一種顏色的光的任意一個子像素的有機(jī)發(fā)光層包含空穴輸送物質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述子像素包括紅色子像素、綠色子像素、藍(lán)色子像素。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，發(fā)出所述一種顏色的光的任意一個子像素為紅色子像素， 所述陰影發(fā)光層包括配備于所述綠色子像素的有機(jī)發(fā)光層或配備于所述藍(lán)色子像素的有機(jī)發(fā)光層中的至少一個有機(jī)發(fā)光層的物質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述陰影發(fā)光層由發(fā)出互不相同的顏色的光的多個層形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，還包括布置在所述第一電極和所述陰影發(fā)光層之間的空穴輸送層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述空穴輸送層形成為多個層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，還包括與所述第一電極電連接，且配備活性層、柵極、源極、漏極的薄膜晶體管。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 所述中間層的蒸鍍區(qū)域形成為，遠(yuǎn)離蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度大于靠近蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 所述中間層的蒸鍍區(qū)域中，越是遠(yuǎn)離所述蒸鍍區(qū)域的中心的區(qū)域，遠(yuǎn)離所述蒸鍍區(qū)域的中心的斜邊的長度越長。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 所述中間層的蒸鍍區(qū)域中，布置在所述蒸鍍區(qū)域的中心的區(qū)域形成為兩側(cè)斜邊的長度相同。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 布置在所述中間層的蒸鍍區(qū)域的區(qū)域布置為以所述蒸鍍區(qū)域的中心為基準(zhǔn)對稱。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述基板具有40英寸以上的大小。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層利用有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 所述中間層的蒸鍍區(qū)域具有不均勻的厚度。
14.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，涉及制造基板上布置有多個子像素的有機(jī)發(fā)光顯示裝置，包括如下步驟: 形成所述子像素； 在基板上形成第一電極； 在所述第一電極上形成配備有機(jī)發(fā)光層的中間層； 在所述中間層上形成第二電極， 所述子像素中，發(fā)出至少一種顏色的光的任意一種子像素在所述有機(jī)發(fā)光層和所述第一電極之間具備發(fā)出不同于所述一種顏色的其他顏色的光的陰影發(fā)光層，發(fā)出所述一種顏色的光的任意一種子像素的有機(jī)發(fā)光層包含空穴輸送物質(zhì)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述陰影發(fā)光層在形成所述子像素中的任意一種顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層之前，在形成與所述一種顏色不同的其他顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層的過程中形成。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述中間層利用包括多個有機(jī)層蒸鍍組件的有機(jī)層蒸鍍裝置形成， 所述有機(jī)層蒸鍍組件包括:放射蒸鍍物質(zhì)的蒸鍍源；布置在所述蒸鍍源的一側(cè)，具備多個蒸鍍源噴嘴的蒸鍍源噴嘴部；布置成與所述蒸鍍源噴嘴部面對，并具備多個圖案化狹縫的圖案化狹縫板， 由此蒸鍍工藝執(zhí)行為由所述蒸鍍源放射的所述蒸鍍物質(zhì)通過所述圖案化狹縫板形成于所述基板上。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述子像素具備紅色子像素、綠色子像素、藍(lán)色子像素， 所述紅色子像素的有機(jī)發(fā)光層，所述綠色子像素的有機(jī)發(fā)光層，所述藍(lán)色子像素的有機(jī)發(fā)光層利用所述多個有機(jī)層蒸鍍組件中的彼此不同的有機(jī)層蒸鍍組件形成。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述多個有機(jī)層蒸鍍組件中，用于形成所述一種顏色的子像素的有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)層蒸鍍組件和用于形成所述陰影發(fā)光層的有機(jī)層蒸鍍組件相鄰地布置。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，利用所述有機(jī)層蒸鍍裝置形成所述中間層的步驟包括如下步驟: 在裝載部將所述基板固定到移動部； 將固定有所述基板的移動部利用設(shè)置成貫通腔體的第一移送部移送至所述腔體內(nèi)； 在所述有機(jī)層蒸鍍組件布置在所述腔體內(nèi)，且布置于所述腔體內(nèi)的所述有機(jī)層蒸鍍組件和所述基板分隔預(yù)定程度的狀態(tài)下，所述基板相對所述有機(jī)層蒸鍍組件移動的同時，從所述有機(jī)層蒸鍍組件發(fā)散的蒸鍍物質(zhì)被蒸鍍到所述基板上，形成所述中間層； 由卸載部將完成蒸鍍的所述基板從所述移動部分離出來； 將與所述基板分離的所述移動部利用設(shè)置成貫通所述腔體的第二移送部移送至所述裝載部。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述基板通過所述多個有機(jī)層蒸鍍組件的同時對所述基板連續(xù)地進(jìn)行蒸鍍。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述移動部在所述第一移送部和所述第二移送部之間循環(huán)。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述第一移送部和所述第二移送部沿上下并排布置。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述移動部以與所述第一移送部非接觸的方式在所述腔體內(nèi)被移送。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中，所述有機(jī)層蒸鍍組件的所述圖案化狹縫板形成為在第一方向或與所述第一方向交叉的第二方向中的至少一個方向上小于所述 基板。
【文檔編號】H01L51/56GK103811520SQ201310077516
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】吳彥錫, 崔寶美, 姜炫聲, 金相烈 申請人:三星顯示有限公司