鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應用的制作方法
【專利摘要】一種鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，其化學式為Me(PO4)x(BO3)1-x：yTi4+,其中，0.1≤x≤0.4，0.01≤y≤0.06，Me(PO4)x(BO3)1-x是基質(zhì)，鈦元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。該鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的電致發(fā)光光譜（EL）中，在410nm波長區(qū)都有很強的發(fā)光峰，能夠應用于薄膜電致發(fā)光顯示器中。本發(fā)明還提供該鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法及其應用。
【專利說明】鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應用 【【技術領域】】
[0001] 本發(fā)明涉及一種鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜、其制備方法、薄膜電致發(fā)光器件 及其制備方法。 【【背景技術】】
[0002] 薄膜電致發(fā)光顯示器（TFELD)由于其主動發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應快、視角 大、適用溫度寬、工序簡單等優(yōu)點，已引起了廣泛的關注，且發(fā)展迅速。目前，研究彩色及至 全色TFELD，開發(fā)多波段發(fā)光的薄膜，是該課題的發(fā)展方向。但是，可應用于薄膜電致發(fā)光顯 示器的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，仍未見報道。 【
【發(fā)明內(nèi)容】
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[0003] 基于此，有必要提供一種可應用于薄膜電致發(fā)光器件的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光 薄膜、其制備方法該鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。
[0004] 一種鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，其化學式為其中，
【權利要求】
1. 一種鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，其化學式為 7打4+，其中，0.1彡叉彡0.4,0.01彡7彡0.06，1^?04) !￡出03)1_!￡是基質(zhì)，鈦元素是激活元素， Me 為 Mg、Ca、Sr 或 Ba。
2. 根據(jù)權利要求1所述的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，所述鈦摻雜堿 土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為80nm?300nm。
3. -種鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 將襯底裝入化學氣相沉積設備的反應室中，并將反應室的真空度設置為 1.0Xl(T2Pa ?1.0Xl(T3Pa ; 調(diào)節(jié)襯底的溫度為250°C?650°C，轉速為50轉/分鐘?1000轉/分鐘，采用氬氣氣流 的載體，根據(jù)各元素的化學計量比將雙環(huán)戊二烯堿土金屬源、硼烷、 磷烷和四異丙醇鈦通入反應室內(nèi)；及 通入氧氣，進行化學氣相沉積得到化學式為:yTi4+的鈦摻雜堿土硼磷 酸鹽發(fā)光薄膜，其中，0. 1彡X彡0.4,0.01彡y彡0.06, Me (POjjBC^h是基質(zhì)，鈦元素是 激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba。
4. 根據(jù)權利要求3所述的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所 述雙環(huán)戊二烯堿土金屬源、硼烷、磷烷和四異丙醇鈦摩爾比為1 : (〇. 1?〇. 4): (0. 7?0. 9): (0· 01 ?0· 06)。
5. 根據(jù)權利要求3所述的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所 述氬氣氣流量為5?15sccm，所述氧氣氣流量為10?200sccm。
6. 根據(jù)權利要求3所述的鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，將 所述襯底裝入所述反應室后將所述襯底在600°C?800°C下熱處理10分鐘?30分鐘。
7. -種薄膜電致發(fā)光器件，該薄膜電致發(fā)光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發(fā) 光層以及陰極層，其特征在于，所述發(fā)光層的材料為鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，該鈦 摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的化學式為MeTC^UBOl^yTi'其中，0. 1彡X彡0.4， 0.01彡y彡0.06，1^?04)!￡出03) 1_!￡是基質(zhì)，鈦元素是激活元素，16為1%、0&、51'或8 &。
8. 根據(jù)權利要求7所述的薄膜電致發(fā)光器件，其特征在于，所述發(fā)光層的厚度為 80nm ?300nm。
9. 一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 提供具有陽極的襯底； 在所述陽極上形成發(fā)光層，所述發(fā)光層的薄膜為鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜，該 鈦摻雜堿土硼磷酸鹽發(fā)光薄膜的化學式為:yTi4+，其中，0. 1彡X彡0. 4， 0· 01彡y彡0· 06, Me (P04) x (B03) ^是基質(zhì)，鈦元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba ; 在所述發(fā)光層上形成陰極。
10. 根據(jù)權利要求9所述的薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，所述發(fā)光層的 制備包括以下步驟： 將所述襯底裝入化學氣相沉積設備的反應室，并將反應室的真空度設置為 1.0Xl(T2Pa ?1.0Xl(T3Pa ; 調(diào)節(jié)襯底的溫度為250°C?650°C，轉速為50轉/分鐘?1000轉/分鐘，采用氬氣氣 流作為載體，根據(jù)Me(P04)T(B0丄i:yTi4+各元素的化學計量比將雙環(huán)戊二烯堿土金屬源、硼 烷、磷烷和四異丙醇鈦通入反應室內(nèi)，其中，氬氣氣流量為5?15sccm， 然后通入氧氣，氧氣氣流量為10?200sCCm ;沉積薄膜在所述陽極上形成發(fā)光層。
【文檔編號】H01L33/50GK104119894SQ201310149446
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2013年4月26日 優(yōu)先權日:2013年4月26日
【發(fā)明者】周明杰, 陳吉星, 王平, 張振華 申請人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技術有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司